JP2000208902A

JP2000208902A - パタ―ン欠陥修正装置

Info

Publication number: JP2000208902A
Application number: JP11008424A
Authority: JP
Inventors: Takehisa Sugimoto; 剛久杉本; Yoshihiro Shimada; 吉祐嶋田
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1999-01-14
Filing date: 1999-01-14
Publication date: 2000-07-28
Anticipated expiration: 2019-01-14
Also published as: JP3696426B2

Abstract

(57)【要約】【課題】作業者に関わりなく安定的に稼働させること
ができ、工程の安定化並びに省人化を図ることができ、
かつ、修正品位を向上させることができるパターン欠陥
修正装置を提供する。【解決手段】修正装置１は、パターン修正機構２、画
像検出機構３、駆動部６、駆動部制御部７、欠陥選別回
路１１、パターン比較回路１２、一致指摘回路１３、お
よび修正パターン制御回路１４等を備えている。パター
ン修正機構２は、ガラス基板のパターン欠陥を自動的に
修正する。画像検出機構３は、ガラス基板のパターンを
検出画像として検出する。パターン比較回路１２並びに
一致指摘回路１３は、パターン欠陥抽出画像２７ａと検
出画像とを比較する。駆動部制御部７は、パターン欠陥
位置情報２７ｂや、上記各回路１１・１３・１４から入
力される情報に基づいて、駆動部６の駆動を制御するこ
とによって、パターン修正機構２および画像検出機構３
の動作を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、液晶パネ
ルの基板等の修正対象物のパターン欠陥を修正するのに
好適に用いられるパターン欠陥修正装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶パネルの表示品位の高精細化
が進むに伴い、該液晶パネルの基板の配線パターンや回
路パターンの欠陥（パターン欠陥）の発生率が高くなっ
てきている。市場においては欠陥の無い液晶パネルが求
められているので、この要望を満たし、かつ、液晶パネ
ルを安定して供給するためには、液晶パネルの製造時
に、パターン欠陥のある基板を修正する必要がある。

【０００３】液晶パネルの基板を修正する従来の修正装
置は、パターン欠陥を検査する検査装置によって該パタ
ーン欠陥の位置座標を読み取った作業者が、パターン欠
陥を検出した検出画像を見ながら、欠陥内容を認識する
と共に修正方法等を判断して、操作するようになってい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、液晶パ
ネルの基板のパターン欠陥は様々な種類（タイプ）があ
り、上記従来の修正装置では、これら様々な種類のパタ
ーン欠陥に対して、修正の種類や位置、幅、大きさ等を
作業者が個々に判断して対応する必要がある。従って、
該修正装置は、その操作に熟練を要すると共に、作業者
によって作業時間（作業効率）がまちまちとなってしま
う。このため、作業者に関わりなく安定的に稼働させる
ことができるパターン欠陥修正装置が求められている。

【０００５】例えば特開平７−８６７２２号公報には、
作業者による作業時間のばらつきを無くし、製造工程を
安定化させることができるパターン欠陥自動修正装置が
開示されている。ところが、該パターン欠陥自動修正装
置は、パターン面積の過不足を検出することによってパ
ターン欠陥を判別する構成となっている（同公報の段落
番号〔００２０〕の欄等）。このため、上記従来のパタ
ーン欠陥自動修正装置では、様々な種類のパターン欠陥
を正確に判別することができないので、これらパターン
欠陥に適切に対応することができないという問題点を有
している。

【０００６】本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされ
たものであり、その目的は、作業者に関わりなく安定的
に稼働させることができ、工程の安定化並びに省人化を
図ることができ、かつ、修正品位を向上させることがで
きるパターン欠陥修正装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明のパ
ターン欠陥修正装置は、上記の課題を解決するために、
修正対象物のパターンを検査し、パターン欠陥を抽出画
像として抽出するパターン検査装置に接続され、該修正
対象物の所望の部分のパターンを検出画像として検出す
る画像検出機構、および、該修正対象物のパターン欠陥
を修正するパターン修正機構を備えたパターン欠陥修正
装置において、パターン検査装置から入力される抽出画
像と、画像検出機構によって検出した検出画像とを比較
する比較機構を具備することを特徴としている。

【０００８】請求項１記載の構成によれば、比較機構に
よって、パターン検査装置から入力される抽出画像と、
画像検出機構によって検出した検出画像とを比較するの
で、両画像の一致・不一致を判定することによって、修
正すべき様々な種類のパターン欠陥の位置および内容を
正確に識別することができる。従って、これら様々な種
類のパターン欠陥に対して、修正の種類や位置、幅、大
きさ等を正確に認識することができるので、これらパタ
ーン欠陥の修正に適切にかつ自動的に対応することがで
きる。これにより、作業者に関わりなく安定的に稼働さ
せることができ、工程の安定化並びに省人化を図ること
ができ、かつ、修正品位を向上させることができるパタ
ーン欠陥修正装置を提供することができる。

【０００９】請求項２記載の発明のパターン欠陥修正装
置は、上記の課題を解決するために、請求項１記載のパ
ターン欠陥修正装置において、パターン検査装置から入
力される抽出画像と、基準画像とを比較することによっ
て、修正対象物のパターン欠陥がパターン修正機構によ
って修正必要か否かを判定するパターン判定機構をさら
に備えていることを特徴としている。

【００１０】請求項２記載の構成によれば、パターン判
定機構によって、修正対象物のパターン欠陥がパターン
修正機構によって修正必要か否かを判定するので、該パ
ターン欠陥が修正不必要である場合には、該パターン欠
陥のある修正対象物を修正しないで、該修正対象物を次
の製造工程に向けて送り出すことができる。従って、修
正必要なパターン欠陥だけを修正することができるの
で、処理時間を短縮することができ、パターン欠陥修正
装置の処理能力をより一層向上させることができる。

【００１１】請求項３記載の発明のパターン欠陥修正装
置は、上記の課題を解決するために、請求項１または２
記載のパターン欠陥修正装置において、パターン修正機
構が、パターン欠陥を修正するための数種類のパターン
修正治具を有し、これらパターン修正治具が、パターン
検査装置から入力される抽出画像に基づいて選択される
ことを特徴としている。

【００１２】請求項３記載の構成によれば、パターン欠
陥に応じて適切なパターン修正治具を選択することがで
きるので、パターン欠陥修正装置の修正品位をより一層
向上させることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】〔実施の形態１〕本発明の実施の
一形態について図１ないし図５に基づいて説明すれば、
以下の通りである。尚、以下の説明においては、パター
ン欠陥修正装置として、液晶パネルのガラス基板（修正
対象物）のパターン欠陥を修正するのに好適に用いられ
るパターン欠陥修正装置を例に挙げることとする。

【００１４】図１に示すように、本実施の形態にかかる
パターン欠陥修正装置（以下、修正装置と記す）１は、
ガラス基板（図示せず）のパターンを検査し、パターン
欠陥を抽出画像として抽出するパターン検査装置（以
下、検査装置と記す）２１に接続されている。

【００１５】検査装置２１は、隣接パターン検出回路２
２と、基準パターン記憶部２３と、切り出し回路２４
と、パターン比較回路２５と、不一致指摘回路２６と、
抽出画像作成機構２７と、上記各構成を統括制御する統
括制御部（図示せず）とを備えている。

【００１６】隣接パターン検出回路２２は、ガラス基板
の所望の部分のパターンを、検出画像として順次検出
し、その情報を切り出し回路２４に送出する。これら検
出画像は、互いに隣接して検出されるようになってお
り、従って、隣接パターン検出回路２２は、ガラス基板
全面のパターンを検出する。

【００１７】基準パターン記憶部２３には、隣接パター
ン検出回路２２において検出した検出画像におけるパタ
ーン欠陥の有無を判定するための判断基準として、欠陥
の無い数種類のパターンが、基準パターンとして予め記
憶（登録）されている。

【００１８】切り出し回路２４は、基準パターンに対応
するパターンを、隣接パターン検出回路２２から入力さ
れた検出画像から切り出し（抽出し）、該パターンの情
報（信号）をパターン比較回路２５に送出する。

【００１９】パターン比較回路２５は、切り出し回路２
４にて切り出されたパターンと、基準パターンとを比較
して、その情報を不一致指摘回路２６に送出する。

【００２０】不一致指摘回路２６は、修正装置１にて修
正すべき部分を有するガラス基板を検出する回路であ
り、パターン比較回路２５から入力された情報に基づ
き、切り出し回路２４にて切り出されたパターンと、基
準パターンとに不一致が認められる場合に、ガラス基板
にパターン欠陥が存在すると指摘（判定）し、その情報
を抽出画像作成機構２７に送出する。

【００２１】抽出画像作成機構２７は、不一致指摘回路
２６から入力された情報に基づき、パターン欠陥抽出画
像（抽出画像）２７ａを作成すると共に、修正を行う際
に必要な情報であるパターン欠陥位置情報２７ｂやパタ
ーン欠陥サイズ情報２７ｃ、パターン欠陥分類情報２７
ｄ等を作成し、これら情報を修正装置１に対して出力す
る。

【００２２】上記の修正装置１は、パターン修正機構２
と、画像検出機構３と、ガラス基板を載置するテーブル
４と、駆動部６とを装置本体５に備えると共に、駆動部
制御部７と、基準画像記憶部１０と、欠陥選別回路（パ
ターン判定機構）１１と、パターン比較回路（比較機
構）１２と、一致指摘回路（比較機構）１３と、修正パ
ターン制御回路１４と、上記各構成を統括制御する統括
制御部（図示せず）とをさらに備えている。

【００２３】テーブル４は、パターン欠陥を修正すべき
ガラス基板を着脱自在に保持するようになっており、パ
ターン欠陥修正時においては該ガラス基板を固定する。

【００２４】パターン修正機構２は、ガラス基板のパタ
ーン欠陥を修正するための数種類のパターン修正治具
（図示せず）を有しており、検査装置２１から入力され
るパターン欠陥抽出画像２７ａに基づいて、適切なパタ
ーン修正治具を選択する。そして、パターン修正機構２
は、ガラス基板のパターン欠陥を自動的に修正するよう
になっている。上記のパターン修正治具としては、具体
的には、例えば、パターン欠陥が短絡である場合に該短
絡部分を切除するレーザカッター等の切除治具、パター
ン欠陥が断線である場合に該断線部分を接続する接続治
具等が挙げられるが、特に限定されるものではない。

【００２５】画像検出機構３は、ガラス基板の所望の部
分のパターンを検出画像として検出するようになってい
る。画像検出機構３は、パターン修正機構２と一体的に
構成されており、従って、両機構２・３は直結されてい
る。

【００２６】上記のパターン修正機構２および画像検出
機構３と、テーブル４とは、駆動部６による駆動によっ
て、相対的な位置関係を任意に変更可能となっている。
つまり、パターン修正機構２、画像検出機構３およびテ
ーブル４は、駆動部６によって駆動されるようになって
いる。これにより、テーブル４上に載置されたガラス基
板に対して、パターン修正機構２および画像検出機構３
を、それぞれ任意に位置決め可能となっている。

【００２７】駆動部６は、装置本体５に設けられてお
り、Ｘ軸方向駆動部６ａ、Ｙ軸方向駆動部６ｂ、および
Ｚ軸方向駆動部６ｃで構成されている。これら軸方向駆
動部６ａ・６ｂ・６ｃは、例えば分解能が１μｍ／パル
ス〜１０μｍ／パルス程度の高精度の制御が可能なパル
スモータからなっている。Ｘ軸方向駆動部６ａは、パタ
ーン修正機構２、画像検出機構３およびテーブル４をＸ
軸方向（テーブル４上面を基準として水平方向）に移動
させる。Ｙ軸方向駆動部６ｂは、パターン修正機構２、
画像検出機構３およびテーブル４をＹ軸方向（Ｘ軸方向
と直交し、かつ、テーブル４上面を基準として水平方
向）に移動させる。Ｚ軸方向駆動部６ｃは、パターン修
正機構２、画像検出機構３およびテーブル４をＺ軸方向
（テーブル４上面を基準として垂直方向）に移動させ
る。つまり、Ｚ軸方向駆動部６ｃは、例えば両機構２・
３をテーブル４上に載置されたガラス基板に対して垂直
方向に上昇・下降させるようになっている。また、Ｚ軸
方向駆動部６ｃには、ガラス基板表面を基準位置として
両機構２・３の高さを検出する高さ検出部（図示せず）
が設けられている。

【００２８】基準画像記憶部１０には、ガラス基板のパ
ターン欠陥が修正必要か否かを判定するための判断基準
として、修正必要な数種類のパターン、並びに、修正不
必要な数種類のパターンが、基準画像として予め記憶
（登録）されている。基準画像記憶部１０に記憶されて
いる基準画像としては、具体的には、例えば、図２に示
すような、並行に設けられた複数本の信号線のパター
ン、櫛形状に形成されたＴＦＴ部のパターン、複数個の
絵素のパターン等が挙げられるが、特に限定されるもの
ではない。

【００２９】欠陥選別回路１１は、検査装置２１から入
力されるパターン欠陥抽出画像２７ａ並びに各種情報２
７ｂ・２７ｃ・２７ｄに基づき、該パターン欠陥抽出画
像２７ａと、基準画像とを比較することによって、ガラ
ス基板のパターン欠陥が修正必要か否かを判定し、その
結果を画像検出機構３並びにパターン比較回路１２に送
出する。また、欠陥選別回路１１は、パターン欠陥の修
正を行わせるべく、上記の情報を駆動部制御部７に送出
する。従って、修正装置１は、修正必要なパターン欠陥
であると判定した場合には、該パターン欠陥のあるガラ
ス基板を修正する一方、修正不必要なパターン欠陥であ
ると判定した場合には、該パターン欠陥のあるガラス基
板を修正しないで、該ガラス基板を次の製造工程に向け
て送り出すようになっている。

【００３０】パターン比較回路１２は、画像認識機能を
備え、欠陥選別回路１１を介して入力されたパターン欠
陥抽出画像２７ａと、画像検出機構３によって検出した
検出画像とを比較して、その情報を一致指摘回路１３並
びに修正パターン制御回路１４に送出する。パターン比
較回路１２は、ガラス基板全面のパターンを順次比較す
るようになっている。尚、例えば、パターン欠陥位置情
報２７ｂにおけるパターン欠陥の位置座標を（ｘ1 ，ｙ
1 ）とし、基準画像の画面サイズを〔（ａ×ｎ）×（ｂ
×ｍ）〕画素とし、検出画像の画面サイズを（ａ×ｂ）
画素とし、該検出画像にパターン欠陥が存在すると仮定
すると、基準画像における上記位置座標（ｘ1 ，ｙ1 ）
に対応する位置座標を（ｘ2 ，ｙ2 ）とすることによ
り、検出画像と同じパターンを有する基準画像を得るこ
とができる。

【００３１】一致指摘回路１３は、画像検出機構３によ
って検出した検出画像が、検査装置２１から入力された
パターン欠陥抽出画像２７ａと一致しているか否か、つ
まり、検出画像が修正を行うべき目的のパターン欠陥抽
出画像であるか否かを検出する回路であり、パターン比
較回路１２から入力された情報に基づき、パターン欠陥
抽出画像２７ａと、検出画像とが一致している場合に、
検出画像が目的の画像であると指摘（判定）し、その情
報を修正パターン制御回路１４に送出する。また、該情
報を、パターン欠陥位置情報２７ｂや前記各種情報２７
ｃ・２７ｄと共に、駆動部制御部７を介してパターン修
正機構２に送出する。一方、一致指摘回路１３は、両画
像に不一致が認められる場合には、検出画像が目的の画
像でないと指摘し、その情報を駆動部制御部７に送出し
て、目的の画像を画像検出機構３によって捉えることが
できるように、駆動部６を駆動させる。

【００３２】修正パターン制御回路１４は、数種類の修
正モデルパターンを格納しており、パターン比較回路１
２並びに一致指摘回路１３からの情報に基づいて、パタ
ーン欠陥が存在する検出画像のパターンと、該修正モデ
ルパターンとを比較する。従って、この比較によって、
修正すべきパターンの種類や位置、幅、大きさ等を正確
に認識することができるようになっている。そして、修
正パターン制御回路１４は、上記検出画像のパターンが
修正モデルパターンと一致するように、即ち、修正が正
しく行われるように、パターン修正機構２および画像検
出機構３の動作を制御すべく、駆動部制御部７に情報を
送出する。また、修正パターン制御回路１４は、パター
ン欠陥が正しく修正されたか否か、即ち、パターン欠陥
の修正が終了したか否かを、検出画像のパターンと、修
正モデルパターンとが一致したか否かで判定することが
できるようになっている。尚、修正パターン制御回路１
４は、修正を施すことができないパターン欠陥の位置情
報を記録する記録部（図示せず）を備えている。また、
修正装置１は、該記録部に記録された情報を作業者に報
知する報知部（図示せず）を備えている。

【００３３】駆動部制御部７は、検査装置２１から入力
されるパターン欠陥位置情報２７ｂ、並びに、欠陥選別
回路１１、一致指摘回路１３および修正パターン制御回
路１４から入力される情報に基づいて、パターン欠陥の
修正が正しく行われるように、駆動部６の駆動を制御す
ることによって、パターン修正機構２および画像検出機
構３の動作を制御する。また、駆動部制御部７は、パタ
ーン修正機構２が有するパターン修正治具の選択を適切
に行うと共に、その動作も制御するようになっている。

【００３４】上記の構成において、修正装置１によるガ
ラス基板のパターン欠陥の修正動作について、以下に説
明する。

【００３５】先ず、欠陥選別回路１１は、検査装置２１
からパターン欠陥抽出画像２７ａやパターン欠陥位置情
報２７ｂ、パターン欠陥サイズ情報２７ｃ、パターン欠
陥分類情報２７ｄ等の情報が入力されると、該パターン
欠陥抽出画像２７ａと、基準画像記憶部１０に格納され
ている基準画像とを比較することによって、ガラス基板
のパターン欠陥が修正必要か否かを判定する。そして、
欠陥選別回路１１は、修正必要なパターン欠陥であると
判定した場合には、該パターン欠陥のあるガラス基板を
修正するように、その結果を画像検出機構３、パターン
比較回路１２並びに駆動部制御部７に送出する。一方、
欠陥選別回路１１は、修正不必要なパターン欠陥である
と判定した場合には、該パターン欠陥のあるガラス基板
の修正を行わずに、該ガラス基板を次の製造工程に向け
て送り出す。

【００３６】より具体的には、欠陥選別回路１１は、図
３（ａ）〜（ｅ）に示すパターン欠陥抽出画像を修正必
要なパターン欠陥が存在する抽出画像であると判定する
一方、同図（ｆ）・（ｇ）に示すパターン欠陥抽出画像
を修正不必要なパターン欠陥が存在する抽出画像である
と判定する。但し、図３（ａ）に示すパターン欠陥抽出
画像は、２本の信号線の間にパターン欠陥がある（短絡
している）場合を表している。同図（ｂ）に示すパター
ン欠陥抽出画像は、３本の信号線の間にパターン欠陥が
ある（短絡している）場合を表している。同図（ｃ）に
示すパターン欠陥抽出画像は、２個の絵素の間にパター
ン欠陥がある（短絡している）場合を表している。同図
（ｄ）に示すパターン欠陥抽出画像は、ＴＦＴ部にパタ
ーン欠陥がある（短絡している）場合を表している。同
図（ｅ）に示すパターン欠陥抽出画像は、信号線にパタ
ーン欠陥がある（断線している）場合を表している。ま
た、同図（ｆ）に示すパターン欠陥抽出画像は、信号線
に修正不必要なパターン欠陥がある（短絡や断線等して
いない）場合を表している。同図（ｇ）に示すパターン
欠陥抽出画像は、パターンと直接関係の無い部分に、修
正不必要な欠陥がある場合を表している。尚、図３にお
いては、便宜上、パターン欠陥にハッチングを施してい
る。

【００３７】次に、駆動部制御部７は、欠陥選別回路１
１から情報が入力されると、該情報に基づいて、より具
体的には、パターン欠陥位置情報２７ｂの位置座標に基
づいて駆動部６の駆動を制御することによって、画像検
出機構３でパターン欠陥を検出画像として検出すること
ができるように、テーブル４をＸ−Ｙ軸方向に移動させ
る。そして、画像検出機構３は、上記パターン欠陥を検
出画像として検出して、その情報をパターン比較回路１
２に送出する。

【００３８】次いで、パターン比較回路１２は、図４に
示すように、欠陥選別回路１１を介して入力されたパタ
ーン欠陥抽出画像２７ａと、画像検出機構３によって検
出したパターン欠陥を含む検出画像とを、例えば、両画
像を重ね合わせることにより比較する。このとき、修正
装置１は、パターン欠陥抽出画像２７ａと検出画像とを
重ね合わせる際には、両者の位置ずれが無くなるよう
に、駆動部６によってテーブル４をＸ−Ｙ軸方法に適宜
移動させることによって検出画像を移動させるようにな
っている。そして、パターン比較回路１２は、その情報
を一致指摘回路１３並びに修正パターン制御回路１４に
送出する。尚、図４においては、便宜上、パターン欠陥
にハッチングを施している。

【００３９】一致指摘回路１３は、上記の情報に基づ
き、検出画像とパターン欠陥抽出画像２７ａとが一致し
ている（重なり合う）場合には、パターン欠陥の修正を
行うべく、その情報（パターン欠陥の中心位置座標、お
よびパターン欠陥の内容等）を、パターン欠陥位置情報
２７ｂや前記各種情報２７ｃ・２７ｄと共に、駆動部制
御部７を介してパターン修正機構２に送出する。また、
上記の情報を修正パターン制御回路１４に送出する。

【００４０】修正パターン制御回路１４は、パターン比
較回路１２並びに一致指摘回路１３から入力された情報
に基づいて、検出画像のパターンと、修正モデルパター
ンとを比較して、修正すべきパターンの種類や位置、
幅、大きさ等を正確に認識する。そして、修正パターン
制御回路１４は、パターン欠陥の修正が正しく行われる
ように、駆動部制御部７に情報を送出し、駆動部６を駆
動させることによってパターン修正機構２および画像検
出機構３の動作を制御する。

【００４１】駆動部制御部７は、欠陥選別回路１１、一
致指摘回路１３および修正パターン制御回路１４等から
情報が入力されると、これら情報に基づいて駆動部６の
駆動を制御することによって、パターン修正機構２およ
び画像検出機構３を例えばＺ軸方向に移動させる等の両
機構２・３の動作を制御する。また、駆動部制御部７
は、パターン修正機構２が有するパターン修正治具から
適切な修正治具を選択すると共に、その動作も制御す
る。

【００４２】パターン修正機構２は、駆動部６の駆動に
よって位置決めがなされると、選択された適切なパター
ン修正治具を用いて、ガラス基板のパターン欠陥を修正
する。一方、画像検出機構３は、駆動部６の駆動によっ
て位置決めがなされると、パターン修正機構２によって
修正が行われているパターン欠陥を検出画像として検出
して、その情報をパターン比較回路１２に送出する。

【００４３】これにより、ガラス基板のパターン欠陥が
自動的に修正される。パターン欠陥の修正が終了したか
否かは、修正パターン制御回路１４において、検出画像
のパターンと、修正モデルパターンとが一致したか否か
で判定される。

【００４４】次に、パターン修正機構２が有するパター
ン修正治具によるガラス基板のパターン欠陥のより具体
的な修正動作について、以下に説明する。

【００４５】先ず、修正パターン制御回路１４には、下
記表１に一例を示すように、例えば、パターン欠陥の内
容が短絡欠陥である場合等に対応した、数種類の修正モ
デルパターンが格納されている。

【００４６】

【表１】

【００４７】上記修正モデルパターンは、パターン欠陥
の種類や幅、大きさ等に応じて準備されている。例え
ば、表１においては、４種類の修正モデルパターンを、
記号Ａ，Ｂ，Ａ’，Ｂ’で示される修正データによって
規定している。該修正データには、修正治具の選択や、
開始点ｓの位置座標（検出画像における座標）、曲点ｔ
₁，ｔ₂の位置座標（同上）、終了点ｅの位置座標（同
上）、切除幅α等のデータ内容が必要に応じて含まれて
いる。修正パターン制御回路１４は、認識した修正すべ
きパターンの種類や位置、幅、大きさ等に基づいて、ど
の修正データを用いてパターン欠陥を修正するかを自動
的に選択する。そして、修正パターン制御回路１４は、
選択した修正データに基づいて、駆動部制御部７を介し
て駆動部６の駆動を制御することによって、パターン修
正機構２が有するパターン修正治具に、切除に関する連
続動作指示を行う。

【００４８】記号Ａ，Ｂで示される修正データは、切除
方向が互いに直交する方向に設定されており、パターン
欠陥を直線的に切除する。また、記号Ａ’，Ｂ’で示さ
れる修正データは、パターン欠陥を「コ」の字状に切除
することによって切除幅を広くする場合に適用される。
従って、修正モデルパターン、即ち、修正データを各種
準備しておくことによって、あらゆるパターン欠陥の修
正に対応することができる。

【００４９】ここで、修正パターン制御回路１４におけ
る修正モデルパターン、即ち、パターン欠陥の修正に用
いるべき修正データの選択基準について説明する。検出
画像におけるパターンが直線および矩形のみで形成され
ている場合には、記号Ａ，Ｂで示される修正データから
選択し、一方、検出画像におけるパターンが直線および
矩形のみで形成されていない場合には、記号Ａ，Ｂ，
Ａ’，Ｂ’で示される修正データから選択する。

【００５０】より具体的には、例えば、検出画像におけ
るパターンが直線および矩形のみで形成されている場合
には、図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、記号Ａ（また
はＢ）で示される修正データを選択し、開始点ｓおよび
終了点ｅの位置座標を設定して、パターン欠陥を直線的
に切除する。

【００５１】また、例えば、検出画像におけるパターン
が直線および矩形のみで形成されていない場合には、図
５（ａ）に示すように、該検出画像におけるＴＦＴ部の
パターンとパターン欠陥との間に一部分隙間があるとき
には、記号Ａ（またはＢ）で示される修正データを選択
し、開始点ｓおよび終了点ｅの位置座標を設定して、パ
ターン欠陥を直線的に切除する。一方、図５（ｂ）に示
すように、検出画像におけるＴＦＴ部のパターンとパタ
ーン欠陥との間に隙間が無いときには、記号Ａ’（また
はＢ’）で示される修正データを選択し、開始点ｓ、曲
点ｔ₁，ｔ₂および終了点ｅの位置座標を設定して、図
３（ｄ）に示すように、パターン欠陥を「コ」の字状に
切除する。

【００５２】さらに、図５（ｃ）に示すように、検出画
像における２本の信号線の間にパターン欠陥があり、し
かも、両信号線の間隔ｗが広いときには、記号Ａ（また
はＢ）で示される修正データを選択し、かつ、該パター
ン欠陥を両信号線に沿った二箇所で切除するようにする
こともできる。これにより、修正品位をより一層向上さ
せることができる。尚、図５においては、便宜上、パタ
ーン欠陥にハッチングを施している。また、図３（ａ）
〜（ｄ）並びに図５（ｃ）においては、便宜上、切除箇
所を点線で示している。

【００５３】上記のように修正モデルパターンを選択す
ることにより、ガラス基板のパターン欠陥の修正動作が
自動的に行われる。但し、修正パターン制御回路１４
は、例えばパターン欠陥が複雑な場合や非常に大きい場
合等、特殊な場合において、適切な修正モデルパターン
を選択することができないとき、即ち、修正動作を自動
的に行うことができないときには、警報を発して作業者
に報知するか、または、修正を施すことができないパタ
ーン欠陥の位置情報を記録部に記録しておき、一定の修
正動作が終了した（修正動作が一区切りした）時点で、
表示等によって作業者に報知するようになっている。こ
のように、修正装置１は、修正動作を自動的に行うこと
ができないときには、作業者に修正方法の判断を委ねる
ことになっているので、不適切な修正を施すこと、並び
に、修正を施さないでガラス基板を次の製造工程に向け
て送り出すことを防止できるようになっている。

【００５４】以上のように、本実施の形態にかかる修正
装置１は、検査装置２１から入力されるパターン欠陥抽
出画像２７ａと、画像検出機構３によって検出した検出
画像とを比較するパターン比較回路１２並びに一致指摘
回路１３を具備しているので、パターン欠陥抽出画像２
７ａおよび検出画像の一致・不一致を判定することによ
って、修正すべき様々な種類のパターン欠陥の位置およ
び内容を正確に識別することができる。従って、これら
様々な種類のパターン欠陥に対して、修正の種類や位
置、幅、大きさ等を正確に認識することができるので、
これらパターン欠陥の修正に適切にかつ自動的に対応す
ることができる。これにより、作業者に関わりなく安定
的に稼働させることができ、工程の安定化並びに省人化
を図ることができ、かつ、修正品位を向上させることが
できる修正装置１を提供することができる。

【００５５】また、本実施の形態にかかる修正装置１
は、パターン欠陥抽出画像２７ａと基準画像とを比較す
ることによって、ガラス基板のパターン欠陥がパターン
修正機構２によって修正必要か否かを判定する欠陥選別
回路１１をさらに備えているので、該パターン欠陥が修
正不必要である場合には、該パターン欠陥のあるガラス
基板を修正しないで、該ガラス基板を次の製造工程に向
けて送り出すことができる。従って、修正必要なパター
ン欠陥だけを修正することができるので、処理時間を短
縮することができ、修正装置１の処理能力をより一層向
上させることができる。

【００５６】さらに、本実施の形態にかかる修正装置１
は、パターン修正機構２が、パターン欠陥を修正するた
めの数種類のパターン修正治具を有し、これらパターン
修正治具が、検査装置２１から入力されるパターン欠陥
抽出画像２７ａに基づいて選択されるので、パターン欠
陥に応じて適切なパターン修正治具を選択することがで
きる。従って、修正装置１の修正品位をより一層向上さ
せることができる。

【００５７】

【発明の効果】本発明の請求項１記載のパターン欠陥修
正装置は、以上のように、パターン検査装置から入力さ
れる抽出画像と、画像検出機構によって検出した検出画
像とを比較する比較機構を具備する構成である。

【００５８】これにより、作業者に関わりなく安定的に
稼働させることができ、工程の安定化並びに省人化を図
ることができ、かつ、修正品位を向上させることができ
るパターン欠陥修正装置を提供することができるという
効果を奏する。

【００５９】本発明の請求項２記載のパターン欠陥修正
装置は、以上のように、パターン検査装置から入力され
る抽出画像と、基準画像とを比較することによって、修
正対象物のパターン欠陥がパターン修正機構によって修
正必要か否かを判定するパターン判定機構をさらに備え
ている構成である。

【００６０】これにより、修正必要なパターン欠陥だけ
を修正することができるので、パターン欠陥修正装置の
処理能力をより一層向上させることができるという効果
を奏する。

【００６１】本発明の請求項３記載のパターン欠陥修正
装置は、以上のように、パターン修正機構が、パターン
欠陥を修正するための数種類のパターン修正治具を有
し、これらパターン修正治具が、パターン検査装置から
入力される抽出画像に基づいて選択される構成である。

【００６２】これにより、パターン欠陥修正装置の修正
品位をより一層向上させることができるという効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態にかかるパターン欠陥修
正装置の構成を、パターン検査装置の構成と共に示す概
略のブロック図である。

【図２】上記パターン欠陥修正装置が備える基準画像記
憶部に記憶されている基準画像のパターンを示す説明図
である。

【図３】（ａ）〜（ｇ）は、パターン欠陥の種類および
その修正方法を説明する説明図である。

【図４】上記パターン欠陥修正装置が備えるパターン比
較回路並びに一致指摘回路の動作を説明する説明図であ
る。

【図５】（ａ）〜（ｃ）は、パターン欠陥の修正方法を
説明する説明図である。

【符号の説明】

１パターン欠陥修正装置２パターン修正機構３画像検出機構４テーブル６駆動部６ａＸ軸方向駆動部６ｂＹ軸方向駆動部６ｃＺ軸方向駆動部７駆動部制御部１０基準画像記憶部１１欠陥選別回路（パターン判定機構）１２パターン比較回路（比較機構）１３一致指摘回路（比較機構）１４修正パターン制御回路２１パターン検査装置２２隣接パターン検出回路２３基準パターン記憶部２４切り出し回路２５パターン比較回路２６不一致指摘回路２７抽出画像作成機構２７ａパターン欠陥抽出画像（抽出画像）２７ｂパターン欠陥位置情報２７ｃパターン欠陥サイズ情報２７ｄパターン欠陥分類情報

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】修正対象物のパターンを検査し、パターン
欠陥を抽出画像として抽出するパターン検査装置に接続
され、該修正対象物の所望の部分のパターンを検出画像として
検出する画像検出機構、および、該修正対象物のパター
ン欠陥を修正するパターン修正機構を備えたパターン欠
陥修正装置において、パターン検査装置から入力される抽出画像と、画像検出
機構によって検出した検出画像とを比較する比較機構を
具備することを特徴とするパターン欠陥修正装置。
【請求項２】パターン検査装置から入力される抽出画像
と、基準画像とを比較することによって、修正対象物の
パターン欠陥がパターン修正機構によって修正必要か否
かを判定するパターン判定機構をさらに備えていること
を特徴とする請求項１記載のパターン欠陥修正装置。
【請求項３】パターン修正機構が、パターン欠陥を修正
するための数種類のパターン修正治具を有し、これらパ
ターン修正治具が、パターン検査装置から入力される抽
出画像に基づいて選択されることを特徴とする請求項１
または２記載のパターン欠陥修正装置。