JP4742718B2 - パネル検査装置 - Google Patents
パネル検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4742718B2 JP4742718B2 JP2005209699A JP2005209699A JP4742718B2 JP 4742718 B2 JP4742718 B2 JP 4742718B2 JP 2005209699 A JP2005209699 A JP 2005209699A JP 2005209699 A JP2005209699 A JP 2005209699A JP 4742718 B2 JP4742718 B2 JP 4742718B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- black matrix
- illumination
- panel
- rotation correction
- correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 25
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 32
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 31
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
Claims (4)
- 表示パネルのブラックマトリックスを用いて回転補正を行なう補正手段を備え、
前記回転補正時の照明は落射照明および透過照明とし、非発光不良検査時は照明無しとし、破壊不良検査時は透過照明とし、
照明条件をそれぞれ自動的に切り替えて実行する
ことを特徴とするパネル検査装置。 - 前記補正手段は、
前記ブラックマトリックスの中心から垂直に延びる線の交点とそれから水平方向に一定距離離れた点における垂直線とブラックマトリックス上の交点とを利用する第1の回転補正と、
ブラックマトリックスの右下隅点と左下隅点とを利用する第2の回転補正とを行なう
ことを特徴とする請求項1に記載のパネル検査装置。 - 表示パネルのブラックマトリックスを用いて回転補正を行なう補正手段を備え、
前記ブラックマトリックスの中心から垂直に延びる線の交点とそれから水平方向に一定距離離れた点における垂直線とブラックマトリックス上の交点とを利用する第1の回転補正と、
ブラックマトリックスの右下隅点と左下隅点とを利用する第2の回転補正とを行なう
ことを特徴とするパネル検査装置。 - 前記表示パネルを同軸落射照明型顕微鏡で拡大して検査する
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のパネル検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005209699A JP4742718B2 (ja) | 2005-07-20 | 2005-07-20 | パネル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005209699A JP4742718B2 (ja) | 2005-07-20 | 2005-07-20 | パネル検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007024747A JP2007024747A (ja) | 2007-02-01 |
JP4742718B2 true JP4742718B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=37785699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005209699A Expired - Fee Related JP4742718B2 (ja) | 2005-07-20 | 2005-07-20 | パネル検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4742718B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101041840B1 (ko) | 2008-05-15 | 2011-06-17 | 주식회사 쎄크 | 불량검사장치 및 그 제어방법 |
JP5304133B2 (ja) * | 2008-09-24 | 2013-10-02 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの検査方法 |
KR101979054B1 (ko) * | 2012-03-12 | 2019-05-15 | 수미토모 케미칼 컴퍼니 리미티드 | 광학 표시 부품의 얼라이먼트 장치 및 광학 표시 부품의 얼라이먼트 방법 |
CN104714315B (zh) * | 2013-12-12 | 2017-07-25 | 珠海格力电器股份有限公司 | 液晶胶框粘合的压裂强度试验工装及方法 |
CN109813441B (zh) * | 2019-03-26 | 2020-07-28 | 广州市浩洋电子股份有限公司 | 一种灯具红外测试系统 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0886913A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-02 | Asahi Glass Co Ltd | カラーフィルターの形成方法及びインクジェット描画装置 |
JP2002250697A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Horiba Ltd | 平面表示パネルの欠陥検査装置および方法 |
JP2002317330A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-31 | Kanebo Ltd | パイル用原綿 |
JP2004108902A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Hitachi Ltd | カラー表示画面の欠陥分類方法およびその装置 |
JP2004317330A (ja) * | 2003-04-17 | 2004-11-11 | Micronics Japan Co Ltd | 表示用パネルの検査方法及び装置 |
JP2004325544A (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Ushio Inc | ディスプレイパネルの貼り合わせ装置 |
-
2005
- 2005-07-20 JP JP2005209699A patent/JP4742718B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007024747A (ja) | 2007-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7995833B2 (en) | Method of alignment for efficient defect review | |
JP4742718B2 (ja) | パネル検査装置 | |
KR101802843B1 (ko) | 자동 비전 검사 시스템 | |
JP2012063725A (ja) | 欠陥修正装置及び欠陥修正方法 | |
JP3977398B2 (ja) | XYθステージによる位置アライメントシステム | |
JP2009115566A (ja) | パネルの欠陥位置の特定装置 | |
JP4577717B2 (ja) | バンプ検査装置および方法 | |
US6119337A (en) | Method of mounting conductive balls | |
JP2002107311A (ja) | 実装基板検査装置及び方法 | |
JP5116176B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2000164658A (ja) | 半導体ウェハのレビューステーション及び外観検査装置 | |
CN110763703A (zh) | 一种辅助印刷电路板快速定位定点放大观察的投影式系统 | |
KR100883284B1 (ko) | 배선 수정 방법 | |
JP2008058352A (ja) | リペア装置 | |
JP2005010042A (ja) | 検査装置 | |
WO2018146887A1 (ja) | 外観検査装置 | |
JP3947205B2 (ja) | XYθステージによる位置アライメントシステム | |
WO2013027550A1 (ja) | 基板検査用マスタデータ作成方法 | |
JP3896381B2 (ja) | XYθステージによる位置アライメントシステム | |
JP4130848B2 (ja) | ピクセルの検査方法、及び、ピクセルの検査装置 | |
JP2007019457A (ja) | XYθステージによる位置アライメントシステム | |
JP5039594B2 (ja) | レビュー装置,検査領域設定支援システム、および、欠陥の画像得方法 | |
JP2001343214A (ja) | 搭載部品の位置検査方法と装置、部品搭載方法と装置 | |
JP2008151634A (ja) | 電気光学装置の検査方法 | |
JP3105365B2 (ja) | 自動検査機能付き目視検査システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080617 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110412 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110425 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4742718 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |