KR970030569A - 반도체 웨이퍼의 인식/분류 방법 및 장치 - Google Patents
반도체 웨이퍼의 인식/분류 방법 및 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 웨이퍼의 제조 공정에 있어서, 각 생산 설비에 투입되는 웨이퍼의 ID 인식/분류 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 ID 식별에 의한 임의의 분류가 가능하게 하여 웨이퍼 가공에서의 웨이퍼 오염 방지와 효과적인 품질관리가 가능하게 한 반도체 웨이퍼의 인식/분류 방법 및 장치에 관한 것으로 웨이퍼가 투입되는 반도체 제조 공정에 있어서, 상기 웨이퍼를 특정하기 위해 인식 마아크를 부착하는 단계; 상기 특정된 인식 마아크를 광학적 수단에 의해 식별하여 데이터를 출력하는 단계; 상기 출력된 데이터가 미리 지정된 웨이퍼 분류순에 따라 분류되는 단계가 구비되고 이송수단에 의해 공급되는 반도체웨이퍼의 ID를 광학적으로 인식하여 데이터를 출력하는 인식 수단과, 상기 반도체 웨이퍼의 종류에 대응토록 마련된 복수개의 캐리어와, 상기 출력된 데이터에 의하여 특정된 반도체 웨이퍼에 대응한 캐리어를 자동적으로 선택하는 선택 수단 및 상기 선택된 캐리어에 특정된 반도체 웨이퍼를 분류 처리시키는 웨이퍼 처리 수단과를 구비함을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 웨이퍼의 인식과 분류 상태를 도시한 캐리어의 개략적인 예시도.
제2도는 본 발명에서 이미지 센서를 이용한 웨이퍼의 인식 장치를 도시한 개략도.
제3도는 본 발명에서 CCD검출 소자를 이용한 웨이퍼의 인식 장치를 도시한 개략도.
Claims (4)
- 웨이퍼가 투입되는 반도체 제조 공정에 있어서, 상기 웨이퍼를 특정하기 위해 인식 마아크를 부착하는 단계; 상기 특정된 인식 마아크를 광학적 수단에 의해 식별하여 데이터를 출력하는 단계; 상기 출력된 데이터가 미리 지정된 웨이퍼 분류순에 따라 분류되는 단계가 구비됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 인식/분류 방법.
- 이송 수단에 의해 공급되는 반도체 웨이퍼의 ID를 광학적으로 인식하여 데이터를 출력하는 인식 수단과, 상기 반도체 웨이퍼의 종류에 대응토록 마련된 복수개의 캐리어와, 상기 출력된 데이터에 의하여 특정된 반도체 웨이퍼에 대응한 캐리어를 자동적으로 선택하는 선택 수단 및 상기 선택된 캐리어에 특정된 반도체 웨이퍼를 분류 처리시키는 웨이퍼 처리 수단과를 구비함을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 인식/분류 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 인식 수단으로 이미지 센서가 채택됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 인식/분류 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 인식 수단으로 CCD검출 소자가 채택됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 인식/분류 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042861A KR970030569A (ko) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 반도체 웨이퍼의 인식/분류 방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042861A KR970030569A (ko) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 반도체 웨이퍼의 인식/분류 방법 및 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030569A true KR970030569A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66587967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950042861A KR970030569A (ko) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 반도체 웨이퍼의 인식/분류 방법 및 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030569A (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100664783B1 (ko) * | 1999-12-31 | 2007-01-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 미세 패턴 측정 시스템의 웨이퍼 분류 방법 |
| KR20150023376A (ko) * | 2012-06-12 | 2015-03-05 | 에리히 탈너 | 기판 정렬 장치 및 방법 |
| KR20160128094A (ko) * | 2015-04-28 | 2016-11-07 | 웅진에너지 주식회사 | 인라인 웨이퍼 처리시스템 및 그 처리방법 |
-
1995
- 1995-11-22 KR KR1019950042861A patent/KR970030569A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100664783B1 (ko) * | 1999-12-31 | 2007-01-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 미세 패턴 측정 시스템의 웨이퍼 분류 방법 |
| KR20150023376A (ko) * | 2012-06-12 | 2015-03-05 | 에리히 탈너 | 기판 정렬 장치 및 방법 |
| KR20160128094A (ko) * | 2015-04-28 | 2016-11-07 | 웅진에너지 주식회사 | 인라인 웨이퍼 처리시스템 및 그 처리방법 |
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