KR970003743A - 웨이퍼 번호 마킹 방법 및 그 인식장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 번호 마킹 방법 및 그 인식장치에 관한 것으로, 플렛 존과 소정 간격 이격된 지점에 번호 마킹 영영을 갖는 웨이퍼와; 상기 웨피어의 번호 마킹 영역 상측부에 배열되며, 렌즈를 통하여 마킹 영역의 마킹 형상을 인식하는 디덱터 및; 상기 디덱터에서 감지된 신호를 숫자로 변환시켜 주는 제어부로 구성되도록 상기 장치를 형성하므로써, 1) 1회의 사진식각(photo/etch) 공정으로 6개의 블럭에 마킹을 실시한 후 각 블럭의 신호 조합으로 번호를 표시할 수 있게 되어 웨이퍼의 번호 마킹 공정이 단순해지고, 2) 별도의 필터 없이 광 센서를 이용하여 빛의 세기 차이로 신호를 분류하므로써 디덱터의 검출과정이 용이해지며, 3) 메인(main)장비 시스템과 결합하여 공정 진행시 각각의 웨이퍼에 대해 진행된 장비 이력이 시스템 내에 기록되어 향후 특정 웨이퍼에 대한 사전 공정의 이상 유/무 또한 확인할 수 있는 고 신뢰성의 웨피어 번호 마킹 및 그 인식장치를 구현할 수 있게 된다.

Description

웨이퍼 번호 마킹 방법 및 그 인식장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래 기술에 따른 웨이퍼 번호 인식장치의 구조를 개략적으로 도시한 구성도, 제2도는 본 발명에 따른 웨이퍼 번호 인식장치의 웨이퍼 상에 번호를 마킹하는 방법을 도시한 공정수순도, 제3도(가)도 내지 제3도(라)도는 본 발명에 따른 웨이퍼 번호 인식장치 구조를 도시한 것으로, 제3(가)도는 그 전체적인 구성도들, 제3(나)도는 제3(가)도의 웨이퍼를 확대 도시한 평면도, 제3(다)도는 제3(나)도의 웨이퍼 번호 마킹 위치를 확대 도시한 상세도, 제3(라)도는 제3(가)도의 디텍터를 확대 도시한 상세도.

Claims (9)

  1. 플렛 존과 소정 간격이 이격된 지점에 번호 마킹 영역을 갖는 웨이퍼와; 상기 웨이퍼의 번호 마킹 영역 상측부에 배열되며, 렌즈를 통하여 마킹 영역의 마킹 형상을 인식하는 디텍터 및; 상기 디텍터에서 감지된 신호를 숫자로 변환시켜 주는 제어부로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 번호 인식장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 번호 마킹 영역은 2*3 매트릭스 형태의 6개의 블럭으로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번호 인식장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 디텍터는 2*3 매트릭스 형태의 6개의 블럭으로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번호 인식장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 디텍터는 6개의 블럭 각각에 광 센서가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번호 인식장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 디덱터로부터 공급되는 전기적 신호를 인텐시티에 따라 0.1로 구분해주는 이진법 변환기와, 이를 다시 10진법의 웨이퍼 신호로 바꾸어주는 10진법 변환기를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번호 인식장치.
  6. 웨이퍼 내에 번호 마킹 영역을 형성하는 단계와; 상기 번호 마킹 영역에 소정 패턴을 형성하는 단계를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번호 마킹 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 번호 마킹 영역은 웨이퍼의 플렛 존 부위로부터 소정 간격 이격된 일측 지점에 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번호 마킹 방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 번호 마킹 영역은 2*3 매트릭스 형태의 6개 블럭으로 형성하여, 각 블럭들의 신호 조합으로 숫자를 표시하도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번호 마킹방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 번호 마킹 영역에 소정 패턴을 형성하는 단계는 웨이퍼 상에 산화막과 감광막을 연속 증착하는 단계와; 번호 마킹 영역 중 패턴 형성 부위에만 소정의 감광막 패턴이 형성되도록 선택식각하는 단계와; 상기 감광막 패턴을 마스크로 산화막을 식각하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 번호 마킹 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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