JPH06224656A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH06224656A
JPH06224656A JP50A JP1016793A JPH06224656A JP H06224656 A JPH06224656 A JP H06224656A JP 50 A JP50 A JP 50A JP 1016793 A JP1016793 A JP 1016793A JP H06224656 A JPH06224656 A JP H06224656A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 差動増幅器を構成する半導体装置に関し、差
動対トランジスタの特性を互いに同一とする。 【構成】 基準位置(O1 〜O25)を半導体基板上に複
数設け、複数の基準位置に対してそれぞれ所定の位置に
第1のトランジスタ対(Qi1とQi4、ただしi=1,〜
25)と第2のトランジスタ対(Qi2とQi3)とを複数
形成し、かつ、複数の第1のトランジスタ対をそれぞれ
並列接続することで複数の第1のトランジスタ対により
第1のトランジスタ群Qa を構成し、複数の第2のトラ
ンジスタ対をそれぞれ並列接続することで複数の第2の
トランジスタ対により第2のトランジスタ群Qb を構成
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置に係り、特に
差動増幅器を構成する半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は従来の差動増幅器の一例を示す回
路図である。
【0003】図4に示す差動増幅器1は、エミッタを共
通接続された差動対トランジスタQa 及びQb と、差動
対トランジスタQa 及びQb の共通エミッタに接続され
てこれを定電流駆動する定電流源Jと、差動対トランジ
スタQa 及びQb の各コレクタに接続されカレントミラ
ー対トランジスタQc 及びQd で構成される定電流負荷
などからなる差動入力段2と、トランジスタQb とQd
との共通コレクタに接続されて、差動対トランジスタQ
a 及びQb の両ベース間に入来する信号電圧に応じた出
力電圧を取り出して出力する出力段3とを有する一般的
な構成である。
【0004】また、4は電源電圧VCCが付与される電源
端子、5及び6は差動対トランジスタQa 及びQb の各
ベースに接続され信号電圧が入来する反転入力端子及び
非反転入力端子、7は出力電圧が出力される出力端子で
ある。
【0005】上記の差動増幅器30では、差動対トラン
ジスタQa 及びQb の両ベース間の電位差が零のとき
に、出力端子7に直流電圧を出力して直流オフセット電
圧を生じないことが望ましい。
【0006】この直流オフセット電圧は、差動対トラン
ジスタQa 及びQb のそれぞれのベースエミッタ接合の
順方向降下特性の違いにより生じる。そこで、通常、両
トランジスタを同一の半導体チップ上に形成することで
同一の特性を得るようにしている。
【0007】しかしながら、厳密には同一特性のトラン
ジスタを形成することは困難であり、主にマスク解像度
に起因する平面形状のばらつき、拡散工程に起因する半
導体特性(比抵抗ρ)のチップ面方向でのばらつきに応
じてトランジスタの特性がばらつく。
【0008】マスク解像度によるばらつきに対しては、
トランジスタのチップ面方向のサイズを大きく形成する
ことで相対的に解像度を上げてばらつきを低減すること
が知られている。また拡散工程によるばらつきに対して
は、両トランジスタQa 及びQb を、互いに並列に接続
された2個のトランジスタでそれぞれ構成し、計4個の
トランジスタを次のとおり配置することでチップ面方向
でのばらつきを低減することが知られている。
【0009】図5は従来の半導体装置の一例の要部を示
す図であり、(A)は回路図、(B)はチップ上での配
置を示す平面図である。
【0010】図5(A)に示すとおり、トランジスタQ
1 とトランジスタQ4 が並列接続されることで図4のト
ランジスタQa に相当し、トランジスタQ2 とトランジ
スタQ3 が並列接続されることでトランジスタQb に相
当している。
【0011】また半導体チップ上での各トランジスタの
配置は、図5(B)に示すとおり、基準位置Oと左斜め
上方に近接してトランジスタQ1 が形成されており、基
準位置Oに対してトランジスタQ1 と対称位置にトラン
ジスタQ4 が形成されている。
【0012】トランジスタQ1 及びQ4 が形成される方
向と垂直方向に基準位置Oと左斜め下方に近接してトラ
ンジスタQ3 が形成されており、基準位置Oに対してト
ランジスタQ3 と対称位置にトランジスタQ2 が形成さ
れている。
【0013】また、図では省略したが、トランジスタQ
1 とトランジスタQ4 の平面形状及びトランジスタQ2
とトランジスタQ3 の平面形状は、基準位置Oに対しそ
れぞれ点対称とされている。さらに、トランジスタQ1
とトランジスタQ3 の平面形状及びトランジスタQ2
トランジスタQ4 の平面形状は、x軸に対しそれぞれ線
対称とされている。
【0014】したがって、図中x軸方向に比抵抗ρが一
定の勾配をもってばらついた場合(y軸方向にはρは一
定とする)、トランジスタQ1 とトランジスタQ3 の特
性は同一とされ、トランジスタQ2 とトランジスタQ4
の特性も同一とされる。また、比抵抗ρがy軸方向にば
らついた場合は、トランジスタQ1 とトランジスタQ 2
の特性、及びトランジスタQ3 とトランジスタQ4 の特
性がそれぞれ同一とされる。
【0015】これにより、トランジスタQ1 とトランジ
スタQ4 との全体での特性と、トランジスタQ2 とトラ
ンジスタQ3 との全体での特性は、チップ面方向への一
定勾配のばらつきに対して同一とすることができる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記した
従来の半導体装置では、差動対トランジスタを構成する
両トランジスタの特性を全く同一とすることはできなか
った。このため、直流オフセット電圧の発生、hFEのば
らつきなどの問題があった。
【0017】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あって、差動対トランジスタを構成する両トランジスタ
の特性を同一として差動増幅器の特性を向上させること
を目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記の問題は、以下のと
おり構成することにより解決される。
【0019】すなわち、半導体基板上の基準位置と近接
して形成された第1のトランジスタと基準位置に対して
第1のトランジスタと対称位置に形成されており第1の
トランジスタと並列接続された第2のトランジスタとか
らなる第1のトランジスタ対と、第1のトランジスタ対
の形成方向と垂直方向に基準位置と近接して形成されて
おりエミッタ(ソース)を第1のトランジスタ対の共通
エミッタ(ソース)に接続された第3のトランジスタと
基準位置に対して第3のトランジスタと対称位置に形成
されており第3のトランジスタと並列接続された第4の
トランジスタとからなる第2のトランジスタ対と、第1
及び第2のトランジスタ対の共通エミッタ(ソース)に
接続されて第1及び第2のトランジスタ対を定電流駆動
する定電流源と、第1及び第2のトランジスタ対それぞ
れの共通コレクタ(ドレイン)に接続された負荷と、負
荷に接続されており第1及び第2のトランジスタ対それ
ぞれの共通ベース(ゲート)間の電位差に応じた電圧を
出力する出力段とを具備した半導体装置において、上記
基準位置を上記半導体基板上に複数設け、該複数の基準
位置に対してそれぞれ上記した位置に上記第1のトラン
ジスタ対と上記第2のトランジスタ対とを複数形成し、
かつ、該複数の第1のトランジスタ対をそれぞれ並列接
続することで該複数の第1のトランジスタ対により第1
のトランジスタ群を構成し、該複数の第2のトランジス
タ対をそれぞれ並列接続することで該複数の第2のトラ
ンジスタ対により第2のトランジスタ群を構成すること
により解決される。
【0020】
【作用】半導体基板上の近接位置の半導体特性は周知の
とおり正規分布でばらつくが、上記本発明の構成によれ
ば、第1及び第2のトランジスタ対の各トランジスタを
上記した位置に形成することで、半導体特性が半導体基
板の面方向に勾配をもって変化しても第1のトランジス
タ対全体と第2のトランジスタ対全体での特性のばらつ
きが低減されるが、基準位置を半導体基板上に複数設け
て第1及び第2のトランジスタ対を複数形成して並列接
続することで第1及び第2のトランジスタ群を構成した
ため、第1のトランジスタ群全体と第2のトランジスタ
群全体での特性のばらつきがより低減され、第1のトラ
ンジスタ群全体と第2のトランジスタ群全体での特性が
互いに等しくなるように作用する。
【0021】また、第1のトランジスタ群と第2のトラ
ンジスタ群のそれぞれの共通エミッタ(ソース)が互い
に接続されることになり、第1のトランジスタ群と第2
のトランジスタ群とで差動対トランジスタ群が構成され
るように作用する。
【0022】
【実施例】初めに、半導体チップ上に近接して形成され
るトランジスタなどの素子の特性のは正規分布によりば
らつくことが本出願人の実験データにより立証されてお
り、近接素子の特性分布の標準偏差をσ0i、そのセンタ
ー値を
【0023】
【数1】
【0024】とすると、このような近接素子をn個並列
に接続して得た素子群全体での特性分布の標準偏差σは
【0025】
【数2】
【0026】で表せる。
【0027】すなわち、並列に接続する素子の数nを多
くすれば標準偏差σは限りなく零に近づくため、素子群
全体での特性のばらつきを低減することができる。本発
明はこの点に着眼して得られたものであり、以下、図面
を参照して本発明の実施例について説明する。
【0028】図1は本発明の一実施例を示す図であり、
(A)は回路図、(B)はその要部のチップ上での配置
を示す平面図である。図1(A)において、図4と同一
構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【0029】本実施例は、チップ上で図1(B)のとお
りに配置された複数のトランジスタを並列接続して得た
トランジスタ群により、トランジスタQa(第1のトラン
ジスタ群)及びトランジスタQb(第2のトランジスタ
群)を構成したことを特徴としている。
【0030】すなわち、各々の4個のトランジスタQi1
〜Qi4(i=1,2,〜25とする)の組みは、マトリ
クス状に仮想配置される基準位置O1 〜O25に対してそ
れぞれ前述したトランジスタQ1 〜Q4 と同様の位置関
係でチップ上に形成され配置されている。
【0031】ここで、図2は図1(B)の要部をその平
面形状とともに詳細に示す図である。
【0032】図2において、基準位置Oi と左斜め上方
に近接してトランジスタQi1(第1のトランジスタ)が
形成されており、基準位置Oi に対してトランジスタQ
i1と対称位置にトランジスタQi4(第2のトランジス
タ)が形成されている。
【0033】また、トランジスタQi1及びQi4が形成さ
れる方向と垂直方向に基準位置Oiと左斜め下方に近接
してトランジスタQi3(第3のトランジスタ)が形成さ
れており、基準位置Oi に対してトランジスタQi3と対
称位置にトランジスタQi2(第4のトランジスタ)が形
成されている。
【0034】したがって、図1(B)ではトランジスタ
Qi1とトランジスタQi4とで第1のトランジスタ対が複
数形成されており、トランジスタQi2とトランジスタQ
i3とで第2のトランジスタ対が複数形成されている。
【0035】また、図2においてB1 〜B4 、E1 〜E
4 、及びC1 〜C4 は各トランジスタQi1、Qi2、Q
i3、Qi4のベース、エミッタ、及びコレクタの各領域を
表しており、これらのトランジスタの平面形状は基準位
置Oi に対しそれぞれ点対称とされている。
【0036】さらに、トランジスタQi1とトランジスタ
Qi3の平面形状及びトランジスタQi2とトランジスタQ
i4の平面形状は、x軸に対しそれぞれ線対称とされてい
る。したがって、トランジスタQi1とトランジスタQi2
の平面形状及びトランジスタQi3とトランジスタQi4
平面形状は、y軸に対しそれぞれ線対称とされている。
【0037】これにより、拡散工程に起因してチップ面
方向のいずれの方向に比抵抗ρがばらついたとしても、
そのばらつき分布が一定の勾配をもっている場合には、
第1のトランジスタ対と第2のトランジスタ対の特性は
同一とされるような平面形状とされている。
【0038】図1に戻って説明するに、25対の第1の
トランジスタ対が同図(B)のとおりそれぞれの端子を
共通に接続されて並列接続されることで、同図(A)の
第1のトランジスタ群であるトランジスタQa が構成さ
れている。
【0039】なお、同図(B)において、各トランジス
タをむすぶ実線はトランジスタ同志が並列接続されてい
ることを、一点鎖線は第1のトランジスタ群(Qa)の共
通エミッタと第2のトランジスタ群(Qb)の共通エミッ
タとが互いに接続されていることをそれぞれ模式的に表
している。
【0040】以上説明した本実施例の差動増幅器によれ
ば、それぞれ25対の第1及び第2のトランジスタ対を
並列接続して得た第1及び第2のトランジスタ群により
差動対トランジスタ群Qa 及びQb が構成されているた
め、 (1) 式から、従来の差動対トランジスタに比べて
チップ面上での半導体特性のばらつき分布の標準偏差σ
25
【0041】
【数3】
【0042】、すなわち、1/5に低減することができ
る。
【0043】したがって、差動対トランジスタ群Qa 及
びQb の全体でのベースエミッタ接合の順方向降下特性
を互いに同一に形成できるため、出力端子7には両ベー
ス間の信号電圧のみに応じた直流オフセットのない出力
信号を得ることができ、また、hFEのばらつきも低減さ
れる。
【0044】なお、4個のトランジスタQi1〜Qi4の組
みの配置は、マトリクス状に限定されるものでなく、た
とえばモザイク状としてもよい。
【0045】次に、図3は本発明の他の実施例を示す図
である。
【0046】同図に示す差動増幅器では、差動対トラン
ジスタ群Qa 及びQb は複数のトランジスタQn1,Q
n2,Qn3,Qn4により図1と同様に形成され、さらに、
これらの各コレクタに接続された定電流負荷であるカレ
ントミラー対トランジスタQc及びQd を、これらのト
ランジスタQn1,Qn2,Qn3,Qn4と同様に形成された
複数のトランジスタQm5,Qm6,Qm7,Qm8からなるト
ランジスタ群で構成したものである。
【0047】これにより、各トランジスタ群Qc 及びQ
d の全体での特性のばらつきを低減して同一とすること
ができるため、カレントミラー回路の各共通コレクタに
所定の電流比を得ることができる。したがって、本実施
例によれば、差動増幅器の特性を前記実施例よりもさら
に向上させることができる。
【0048】なお、4個のトランジスタの組み(Qm5
Qm8及びQn1〜Qn4)の配置は、マトリクス状、モザイ
ク状など種々考えられる。また、mとnの値はそれぞれ
希望する特性に応じて選定すればよく、互いに独立な値
にしてよい。
【0049】また、上記の実施例ではバイポーラトラン
ジスタについて本発明を適用した例について説明した
が、MOSトランジスタについて同様に実施しても構わ
ない。この場合、ゲートはベースに、ソースはエミッタ
に、ドレインはコレクタに相当することは言うまでもな
い。通常、MOSトランジスタで構成する差動増幅器は
バイポーラトランジスタで構成する差動増幅器よりもオ
フセット電圧が大きいため、MOSトランジスタに対し
て特に有効である。。
【0050】さらに、各トランジスタは、マルチエミッ
タトランジスタ、マルチコレクタトランジスタ、マルチ
ソーストランジスタ、あるいはマルチドレイントランジ
スタであってもよい。
【0051】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、第1のトラ
ンジスタ群と第2のトランジスタ群とで差動対トランジ
スタ群が構成され、また、半導体特性が半導体基板の面
方向に勾配をもって変化しても第1のトランジスタ群全
体と第2のトランジスタ群全体での特性が互いに等しく
なるため、負荷に接続された出力段からは第1及び第2
のトランジスタ対それぞれの共通ベース(ゲート)間の
電位差に応じた電圧が出力されて直流オフセットのない
出力信号が得られる特長がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す図である。
【図2】本発明の一実施例の要部を詳細に示す図であ
る。
【図3】本発明の他の実施例を示す図である。
【図4】従来の差動増幅器の一例を示す回路図である。
【図5】従来の半導体装置の一例の要部を示す図であ
る。
【符号の説明】
3 出力段Q11,〜Qi1,Qn1 第1のトランジスタ Q12,〜Qi2,Qn2 第4のトランジスタ Q13,〜Qi3,Qn3 第3のトランジスタ Q14,〜Qi4,Qn4 第2のトランジスタ Qa 第1のトランジスタ群 Qb 第2のトランジスタ群 Qc,Qd 負荷 O,O1,〜O25 基準位置 J 定電流源

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体基板上の基準位置と近接して形成
    された第1のトランジスタと、該基準位置に対して該第
    1のトランジスタと対称位置に形成されており該第1の
    トランジスタと並列接続された第2のトランジスタとか
    らなる第1のトランジスタ対と、 該第1のトランジスタ対の形成方向と垂直方向に該基準
    位置と近接して形成されておりエミッタを該第1のトラ
    ンジスタ対の共通エミッタに接続された第3のトランジ
    スタと、該基準位置に対して該第3のトランジスタと対
    称位置に形成されており該第3のトランジスタと並列接
    続された第4のトランジスタとからなる第2のトランジ
    スタ対と、 該第1及び第2のトランジスタ対の共通エミッタに接続
    されて該第1及び第2のトランジスタ対を定電流駆動す
    る定電流源と、 該第1及び第2のトランジスタ対それぞれの共通コレク
    タに接続された負荷と、 該負荷に接続されており該第1及び第2のトランジスタ
    対それぞれの共通ベース間の電位差に応じた電圧を出力
    する出力段とを具備した半導体装置において、 上記基準位置を上記半導体基板上に複数設け、該複数の
    基準位置に対してそれぞれ上記した位置に上記第1のト
    ランジスタ対と上記第2のトランジスタ対とを複数形成
    し、 かつ、該複数の第1のトランジスタ対をそれぞれ並列接
    続することで該複数の第1のトランジスタ対により第1
    のトランジスタ群を構成し、該複数の第2のトランジス
    タ対をそれぞれ並列接続することで該複数の第2のトラ
    ンジスタ対により第2のトランジスタ群を構成したこと
    を特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 半導体基板上の基準位置と近接して形成
    された第1のトランジスタと、該基準位置に対して該第
    1のトランジスタと対称位置に形成されており該第1の
    トランジスタと並列接続された第2のトランジスタとか
    らなる第1のトランジスタ対と、 該第1のトランジスタ対の形成方向と垂直方向に該基準
    位置と近接して形成されておりソースを該第1のトラン
    ジスタ対の共通ソースに接続された第3のトランジスタ
    と、該基準位置に対して該第3のトランジスタと対称位
    置に形成されており該第3のトランジスタと並列接続さ
    れた第4のトランジスタとからなる第2のトランジスタ
    対と、 該第1及び第2のトランジスタ対の共通ソースに接続さ
    れて該第1及び第2のトランジスタ対を定電流駆動する
    定電流源と、 該第1及び第2のトランジスタ対それぞれの共通ドレイ
    ンに接続された負荷と、 該負荷に接続されており該第1及び第2のトランジスタ
    対それぞれの共通ゲート間の電位差に応じた電圧を出力
    する出力段とを具備した半導体装置において、 上記基準位置を上記半導体基板上に複数設け、該複数の
    基準位置に対してそれぞれ上記した位置に上記第1のト
    ランジスタ対と上記第2のトランジスタ対とを複数形成
    し、 かつ、該複数の第1のトランジスタ対をそれぞれ並列接
    続することで該複数の第1のトランジスタ対により第1
    のトランジスタ群を構成し、該複数の第2のトランジス
    タ対をそれぞれ並列接続することで該複数の第2のトラ
    ンジスタ対により第2のトランジスタ群を構成したこと
    を特徴とする半導体装置。
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