JPH06201386A - 振動子の支持構造 - Google Patents
振動子の支持構造Info
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- JPH06201386A JPH06201386A JP5018164A JP1816493A JPH06201386A JP H06201386 A JPH06201386 A JP H06201386A JP 5018164 A JP5018164 A JP 5018164A JP 1816493 A JP1816493 A JP 1816493A JP H06201386 A JPH06201386 A JP H06201386A
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- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5663—Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度変化および衝撃に対して強い振動子の支
持構造を提供する。 【構成】 振動子１２は、たとえば正３角柱状の振動体
１４を含む。振動体１４には、２つの支持部材１８ａお
よび１８ｂの中央部がそれぞれ固着される。一方の支持
部材１８ａは、振動子１２の幅方向（ｙ軸方向）に延び
る直線状の中間部２０ａを含み、その中間部２０ａの両
端から直線状の２つの脚部２２ａおよび２２ａがそれぞ
れ下方に折れ曲がっている。この場合、２つの脚部２２
ａおよび２２ａの先端の間隔は、中間部２０ａの長さよ
り広がっている。同様に、他方の支持部材１８ｂも、直
線状の中間部２０ｂと、先端の間隔が広がった直線状の
２つの脚部２２ｂおよび２２ｂとを有する。
持構造を提供する。 【構成】 振動子１２は、たとえば正３角柱状の振動体
１４を含む。振動体１４には、２つの支持部材１８ａお
よび１８ｂの中央部がそれぞれ固着される。一方の支持
部材１８ａは、振動子１２の幅方向（ｙ軸方向）に延び
る直線状の中間部２０ａを含み、その中間部２０ａの両
端から直線状の２つの脚部２２ａおよび２２ａがそれぞ
れ下方に折れ曲がっている。この場合、２つの脚部２２
ａおよび２２ａの先端の間隔は、中間部２０ａの長さよ
り広がっている。同様に、他方の支持部材１８ｂも、直
線状の中間部２０ｂと、先端の間隔が広がった直線状の
２つの脚部２２ｂおよび２２ｂとを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は振動子の支持構造に関
し、特にたとえば、回転角速度を検出するための振動ジ
ャイロに用いられる振動子の支持構造に関する。
し、特にたとえば、回転角速度を検出するための振動ジ
ャイロに用いられる振動子の支持構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１１はこの発明の背景となる従来の振
動ジャイロの一例を示す斜視図であり、図１２はその正
面図である。この振動ジャイロ１は振動子２を含み、振
動子２はたとえば正３角柱状の振動体３を含む。振動体
３の３つの側面の略中央には、圧電素子４ａ，４ｂおよ
び４ｃがそれぞれ形成される。この振動子２のノード点
近傍には、コ字状の２つの支持部材５ａおよび５ｂが、
それぞれ取り付けられる。この場合、支持部材５ａおよ
び５ｂの中央部が振動体３の１つの稜線部分に固着され
る。さらに、一方の支持部材５ａの両端は一方の取付基
板６ａに固着され、他方の支持部材５ｂの両端は他方の
取付基板６ｂに固着される。なお、これらの取付基板６
ａおよび６ｂは、それぞれ、緩衝材（図示せず）を介し
てワークプレートなどの支持台（図示せず）に接着され
る。
動ジャイロの一例を示す斜視図であり、図１２はその正
面図である。この振動ジャイロ１は振動子２を含み、振
動子２はたとえば正３角柱状の振動体３を含む。振動体
３の３つの側面の略中央には、圧電素子４ａ，４ｂおよ
び４ｃがそれぞれ形成される。この振動子２のノード点
近傍には、コ字状の２つの支持部材５ａおよび５ｂが、
それぞれ取り付けられる。この場合、支持部材５ａおよ
び５ｂの中央部が振動体３の１つの稜線部分に固着され
る。さらに、一方の支持部材５ａの両端は一方の取付基
板６ａに固着され、他方の支持部材５ｂの両端は他方の
取付基板６ｂに固着される。なお、これらの取付基板６
ａおよび６ｂは、それぞれ、緩衝材（図示せず）を介し
てワークプレートなどの支持台（図示せず）に接着され
る。
【０００３】この振動ジャイロ１では、圧電素子４ａお
よび４ｂあるいは圧電素子４ｃに駆動信号が印加され
る。それによって、振動体３は圧電素子４ｃ形成面に直
交する方向（ｘ軸方向）に屈曲振動する。この状態で、
振動体３の中心軸（ｚ軸）を中心として回転すると、コ
リオリ力によって屈曲振動の方向が変わり、圧電素子４
ａおよび４ｂの出力信号に差が生じる。したがって、圧
電素子４ａおよび４ｂ間の出力電圧の差を測定すれば、
回転角速度を検出することができる。
よび４ｂあるいは圧電素子４ｃに駆動信号が印加され
る。それによって、振動体３は圧電素子４ｃ形成面に直
交する方向（ｘ軸方向）に屈曲振動する。この状態で、
振動体３の中心軸（ｚ軸）を中心として回転すると、コ
リオリ力によって屈曲振動の方向が変わり、圧電素子４
ａおよび４ｂの出力信号に差が生じる。したがって、圧
電素子４ａおよび４ｂ間の出力電圧の差を測定すれば、
回転角速度を検出することができる。
【０００４】この振動ジャイロ１では、振動子２の振動
にともなって２つの支持部材５ａおよび５ｂが屈曲する
が、それらの支持部材５ａおよび５ｂがそれぞれ緩衝材
などを介して支持台に固着されるため、それらの支持部
材５ａおよび５ｂが互いに干渉しにくい。そのため、そ
れらの支持部材５ａおよび５ｂによって振動子２の振動
が抑圧されにくく、振動子２の安定した振動姿勢を確保
することが期待できる。
にともなって２つの支持部材５ａおよび５ｂが屈曲する
が、それらの支持部材５ａおよび５ｂがそれぞれ緩衝材
などを介して支持台に固着されるため、それらの支持部
材５ａおよび５ｂが互いに干渉しにくい。そのため、そ
れらの支持部材５ａおよび５ｂによって振動子２の振動
が抑圧されにくく、振動子２の安定した振動姿勢を確保
することが期待できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この振動ジ
ャイロ１では、振動子２の幅方向（ｙ軸方向）において
支持部材５ａおよび５ｂが撓みやすく、温度変化による
振動子２の膨張や収縮によって、支持部材５ａおよび５
ｂが振動子２のｙ軸方向に撓んでしまう場合がある。こ
の場合、回転角速度を正確に検出することができなくな
ってしまうことがある。さらに、この振動ジャイロ１で
は、たとえば落下して振動子２の長手方向（ｚ軸方向）
に衝撃が加わると、図１３に示すように、支持部材５ａ
および５ｂの中央部が折れ曲がり、回転角速度を正確に
検出することができなくなってしまうことがある。
ャイロ１では、振動子２の幅方向（ｙ軸方向）において
支持部材５ａおよび５ｂが撓みやすく、温度変化による
振動子２の膨張や収縮によって、支持部材５ａおよび５
ｂが振動子２のｙ軸方向に撓んでしまう場合がある。こ
の場合、回転角速度を正確に検出することができなくな
ってしまうことがある。さらに、この振動ジャイロ１で
は、たとえば落下して振動子２の長手方向（ｚ軸方向）
に衝撃が加わると、図１３に示すように、支持部材５ａ
および５ｂの中央部が折れ曲がり、回転角速度を正確に
検出することができなくなってしまうことがある。
【０００６】それゆえに、この発明の主たる目的は、温
度変化および衝撃に対して強い振動子の支持構造を提供
することである。
度変化および衝撃に対して強い振動子の支持構造を提供
することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、柱状の振動
子を支持するための支持部材を有する振動子の支持構造
であって、支持部材は、振動子に固着され、振動子の幅
方向に延びる直線状の中間部と、中間部の両端から延
び、それらの先端の間隔が中間部の長さより広がった直
線状の２つの脚部とを含む、振動子の支持構造である。
なお、さらに、振動子の長手方向における支持部材の変
位を規制するための保護ストッパが、支持部材の近傍に
設けられてもよい。
子を支持するための支持部材を有する振動子の支持構造
であって、支持部材は、振動子に固着され、振動子の幅
方向に延びる直線状の中間部と、中間部の両端から延
び、それらの先端の間隔が中間部の長さより広がった直
線状の２つの脚部とを含む、振動子の支持構造である。
なお、さらに、振動子の長手方向における支持部材の変
位を規制するための保護ストッパが、支持部材の近傍に
設けられてもよい。
【０００８】
【作用】支持部材は、その中間部の延びる振動子の幅方
向において撓みにくくなるとともに、振動子の長手方向
における衝撃に対して強度が増す。また、保護ストッパ
は、振動子の長手方向における支持部材の変位を規制す
る。
向において撓みにくくなるとともに、振動子の長手方向
における衝撃に対して強度が増す。また、保護ストッパ
は、振動子の長手方向における支持部材の変位を規制す
る。
【０００９】
【発明の効果】この発明によれば、温度変化によって振
動子が膨張や収縮しようとしても支持部材がその中間部
の延びる振動子の幅方向に撓みにくく、しかも、振動子
の長手方向における衝撃に対して支持部材の強度が増す
ので、温度変化および衝撃に強い振動子の支持構造が得
られる。そのため、この発明にかかる振動子の支持構造
を振動ジャイロに用いれば、温度変化や衝撃に対して、
回転角速度を正確に検出することができる。また、さら
に保護ストッパが設けられた場合、振動子の長手方向に
おける衝撃に対してさらに強くなる。
動子が膨張や収縮しようとしても支持部材がその中間部
の延びる振動子の幅方向に撓みにくく、しかも、振動子
の長手方向における衝撃に対して支持部材の強度が増す
ので、温度変化および衝撃に強い振動子の支持構造が得
られる。そのため、この発明にかかる振動子の支持構造
を振動ジャイロに用いれば、温度変化や衝撃に対して、
回転角速度を正確に検出することができる。また、さら
に保護ストッパが設けられた場合、振動子の長手方向に
おける衝撃に対してさらに強くなる。
【００１０】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１１】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図２はその正面図である。この発明は振動子の支持
構造に関するが、この実施例では、振動子を用いた振動
ジャイロについて説明する。
り、図２はその正面図である。この発明は振動子の支持
構造に関するが、この実施例では、振動子を用いた振動
ジャイロについて説明する。
【００１２】振動ジャイロ１０は振動子１２を含み、振
動子１２はたとえば正３角柱状の振動体１４を含む。こ
の振動体１４は、たとえばエリンバ，鉄−ニッケル合
金，石英，ガラス，水晶，セラミックなど、一般的に機
械的な振動を生じる材料で形成される。この振動体１４
の３つの側面の略中央には、圧電素子１６ａ，１６ｂお
よび１６ｃがそれぞれ形成される。
動子１２はたとえば正３角柱状の振動体１４を含む。こ
の振動体１４は、たとえばエリンバ，鉄−ニッケル合
金，石英，ガラス，水晶，セラミックなど、一般的に機
械的な振動を生じる材料で形成される。この振動体１４
の３つの側面の略中央には、圧電素子１６ａ，１６ｂお
よび１６ｃがそれぞれ形成される。
【００１３】この振動子１２は、圧電素子１６ａおよび
１６ｂに駆動信号を印加するかあるいは圧電素子１６ｃ
に駆動信号を印加すれば、振動体１４が圧電素子１６ｃ
の主面に直交する方向（ｘ軸方向）に振動する。この場
合、振動子１２のノード点は、振動体１４の長手方向の
長さをＬとすると、振動体１４の中心軸上においてその
両端からそれぞれ０．２２４Ｌの長さだけ内側の点にあ
る。
１６ｂに駆動信号を印加するかあるいは圧電素子１６ｃ
に駆動信号を印加すれば、振動体１４が圧電素子１６ｃ
の主面に直交する方向（ｘ軸方向）に振動する。この場
合、振動子１２のノード点は、振動体１４の長手方向の
長さをＬとすると、振動体１４の中心軸上においてその
両端からそれぞれ０．２２４Ｌの長さだけ内側の点にあ
る。
【００１４】この振動子１２のノード点近傍には、２つ
の支持部材１８ａおよび１８ｂが固着される。一方の支
持部材１８ａは、振動子１２の幅方向（ｙ軸方向）に延
びるたとえば６ｍｍの直線状の中間部２０ａを含み、そ
の中間部２０ａの両端から直線状の２つの脚部２２ａお
よび２２ａが下方に折れ曲がっている。２つの脚部２２
ａおよび２２ａは、それらの先端の間がたとえば９ｍｍ
になるように、それらの間隔が先端に近づくにしたがっ
て徐々に広げられている。また、２つの脚部２２ａおよ
び２２ａの先端を結ぶ直線は、中間部２０ａからたとえ
ば６ｍｍ隔てられる。すなわち、一方の支持部材１８ａ
は、上底６ｍｍ，下底９ｍｍ，高さ６ｍｍの台形の輪郭
から下底を取り除いた形状である。なお、他方の支持部
材１８ｂは、一方の支持部材１８ａと同一構造であり、
１つの中間部２０ｂと２つの脚部２２ｂ，２２ｂとを有
する。そして、２つの支持部材１８ａおよび１８ｂの中
央部が、圧電素子１６ａおよび１６ｂが形成された振動
体１４の側面間の稜線部分において、その両端からたと
えば０．２２４Ｌの長さだけ内側の部分に、それぞれた
とえば溶着，接着などの方法で固着される。
の支持部材１８ａおよび１８ｂが固着される。一方の支
持部材１８ａは、振動子１２の幅方向（ｙ軸方向）に延
びるたとえば６ｍｍの直線状の中間部２０ａを含み、そ
の中間部２０ａの両端から直線状の２つの脚部２２ａお
よび２２ａが下方に折れ曲がっている。２つの脚部２２
ａおよび２２ａは、それらの先端の間がたとえば９ｍｍ
になるように、それらの間隔が先端に近づくにしたがっ
て徐々に広げられている。また、２つの脚部２２ａおよ
び２２ａの先端を結ぶ直線は、中間部２０ａからたとえ
ば６ｍｍ隔てられる。すなわち、一方の支持部材１８ａ
は、上底６ｍｍ，下底９ｍｍ，高さ６ｍｍの台形の輪郭
から下底を取り除いた形状である。なお、他方の支持部
材１８ｂは、一方の支持部材１８ａと同一構造であり、
１つの中間部２０ｂと２つの脚部２２ｂ，２２ｂとを有
する。そして、２つの支持部材１８ａおよび１８ｂの中
央部が、圧電素子１６ａおよび１６ｂが形成された振動
体１４の側面間の稜線部分において、その両端からたと
えば０．２２４Ｌの長さだけ内側の部分に、それぞれた
とえば溶着，接着などの方法で固着される。
【００１５】さらに、一方の支持部材１８ａの両端は、
たとえばセラミックなどの絶縁体からなる一方の取付基
板２４ａに固着される。同様に、他方の支持部材１８ｂ
の両端も、上述の取付基板２４ａと同じ構造の他方の取
付基板２４ｂに固着される。
たとえばセラミックなどの絶縁体からなる一方の取付基
板２４ａに固着される。同様に、他方の支持部材１８ｂ
の両端も、上述の取付基板２４ａと同じ構造の他方の取
付基板２４ｂに固着される。
【００１６】なお、これらの取付基板２４ａおよび２４
ｂは、それぞれ、たとえばシリコンゴムシートやシリコ
ン樹脂製の発泡シートなど緩衝材（図示せず）を介し
て、たとえば金属，セラミックなどの材料からなるワー
クプレートなどの支持台（図示せず）に接着剤で接着さ
れる。
ｂは、それぞれ、たとえばシリコンゴムシートやシリコ
ン樹脂製の発泡シートなど緩衝材（図示せず）を介し
て、たとえば金属，セラミックなどの材料からなるワー
クプレートなどの支持台（図示せず）に接着剤で接着さ
れる。
【００１７】この実施例では、支持部材１８ａの脚部２
２ａおよび２２ａの先端の間隔と支持部材１８ｂの脚部
２２ｂおよび２２ｂの先端の間隔とが支持部材１８ａお
よび１８ｂの中間部２０ａおよび２０ｂの長さよりそれ
ぞれ広がっているので、支持部材２０ａおよび２０ｂ
は、中間部２０ａおよび２０ｂの延びる振動子１２の幅
方向（ｙ軸方向）において撓みにくくなるとともに、振
動子１２の長手方向（ｚ軸方向）の衝撃に対して強度が
増す。そのため、この実施例では、温度変化や衝撃に対
して、回転角速度を正確に検出することができる。
２ａおよび２２ａの先端の間隔と支持部材１８ｂの脚部
２２ｂおよび２２ｂの先端の間隔とが支持部材１８ａお
よび１８ｂの中間部２０ａおよび２０ｂの長さよりそれ
ぞれ広がっているので、支持部材２０ａおよび２０ｂ
は、中間部２０ａおよび２０ｂの延びる振動子１２の幅
方向（ｙ軸方向）において撓みにくくなるとともに、振
動子１２の長手方向（ｚ軸方向）の衝撃に対して強度が
増す。そのため、この実施例では、温度変化や衝撃に対
して、回転角速度を正確に検出することができる。
【００１８】なお、上述の実施例において、支持部材の
２つの脚部の先端の間隔Ｗ′と中間部の長さＷとの比率
Ｗ′／Ｗと、振動子の振動方向（ｘ軸方向）における変
位の割合との関係について、有限要素法を用いて解析し
た結果を図３に示す。図３に示す結果より明らかなよう
に、上述の実施例のように、支持部材１８ａおよび１８
ｂの中間部２０ａおよび２０ｂの長さと支持部材１８ａ
および１８ｂの高さとをそれぞれ同じ寸法にした場合、
支持部材の２つの脚部の先端の間隔を支持部材の中間部
の長さの１．５倍以下にすれば、圧電素子による振動子
１２のｘ軸方向における振動をほとんど妨げることな
く、振動子１２の幅方向（ｙ軸方向）における不要な振
動を抑えることができる。
２つの脚部の先端の間隔Ｗ′と中間部の長さＷとの比率
Ｗ′／Ｗと、振動子の振動方向（ｘ軸方向）における変
位の割合との関係について、有限要素法を用いて解析し
た結果を図３に示す。図３に示す結果より明らかなよう
に、上述の実施例のように、支持部材１８ａおよび１８
ｂの中間部２０ａおよび２０ｂの長さと支持部材１８ａ
および１８ｂの高さとをそれぞれ同じ寸法にした場合、
支持部材の２つの脚部の先端の間隔を支持部材の中間部
の長さの１．５倍以下にすれば、圧電素子による振動子
１２のｘ軸方向における振動をほとんど妨げることな
く、振動子１２の幅方向（ｙ軸方向）における不要な振
動を抑えることができる。
【００１９】図４はこの発明の他の実施例を示す斜視図
であり、図５はその側面図である。図４および図５に示
す実施例では、図１および図２に示す実施例と比べて、
特に、支持部材１８ａおよび１８ｂの近傍に、たとえば
コ字状の金属からなる保護ストッパ２６ａおよび２６ｂ
がそれぞれ取り付けられる。この場合、保護ストッパ２
６ａおよび２６ｂは、支持部材１８ａおよび１８ｂの間
で、取付基板２４ａおよび２４ｂにそれぞれ取り付けら
れる。したがって、図４および図５に示す実施例では、
図１および図２に示す実施例と比べて、振動子１２のｚ
軸方向の衝撃に対して、支持部材１８ａおよび１８ｂが
保護される。なお、保護ストッパ２６ａおよび２６ｂ
は、金属以外に、金属を合成樹脂でモールドした材料や
合成樹脂で形成されてもよい。また、保護部材２６ａお
よび２６ｂは、取付基板２４ａおよび２４ｂとそれぞれ
一体的に形成されてもよい。
であり、図５はその側面図である。図４および図５に示
す実施例では、図１および図２に示す実施例と比べて、
特に、支持部材１８ａおよび１８ｂの近傍に、たとえば
コ字状の金属からなる保護ストッパ２６ａおよび２６ｂ
がそれぞれ取り付けられる。この場合、保護ストッパ２
６ａおよび２６ｂは、支持部材１８ａおよび１８ｂの間
で、取付基板２４ａおよび２４ｂにそれぞれ取り付けら
れる。したがって、図４および図５に示す実施例では、
図１および図２に示す実施例と比べて、振動子１２のｚ
軸方向の衝撃に対して、支持部材１８ａおよび１８ｂが
保護される。なお、保護ストッパ２６ａおよび２６ｂ
は、金属以外に、金属を合成樹脂でモールドした材料や
合成樹脂で形成されてもよい。また、保護部材２６ａお
よび２６ｂは、取付基板２４ａおよび２４ｂとそれぞれ
一体的に形成されてもよい。
【００２０】なお、振動子１２のｚ軸方向の衝撃に対し
て、支持部材１８ａおよび１８ｂを保護するためには、
振動子１２などにケースを被せて、そのケースの一部分
を振動子１２の軸方向における両端の近傍に配置させて
もよい。このようにすれば、支持部材１８ａおよび１８
ｂが、振動子１２のｚ軸方向における衝撃に対してさら
に保護される。
て、支持部材１８ａおよび１８ｂを保護するためには、
振動子１２などにケースを被せて、そのケースの一部分
を振動子１２の軸方向における両端の近傍に配置させて
もよい。このようにすれば、支持部材１８ａおよび１８
ｂが、振動子１２のｚ軸方向における衝撃に対してさら
に保護される。
【００２１】図６はこの発明のさらに他の実施例を示す
斜視図であり、図７はその側面図である。図６および図
７に示す実施例では、図４および図５に示す実施例と比
べて、特に、保護ストッパ２６ａおよび２６ｂの厚みが
厚く、保護ストッパ２６ａおよび２６ｂに支持部材１８
ａおよび１８ｂに対応する溝２８ａおよび２８ｂがそれ
ぞれ形成され、保護ストッパ２６ａおよび２６ｂが支持
部材１８ａおよび１８ｂの両側にそれぞれ配置される。
そのため、図６および図７に示す実施例では、図４およ
び図５に示す実施例と比べて、振動子１２のｚ軸方向に
おける衝撃に対して支持部材１８ａおよび１８ｂをさら
に保護することができる。
斜視図であり、図７はその側面図である。図６および図
７に示す実施例では、図４および図５に示す実施例と比
べて、特に、保護ストッパ２６ａおよび２６ｂの厚みが
厚く、保護ストッパ２６ａおよび２６ｂに支持部材１８
ａおよび１８ｂに対応する溝２８ａおよび２８ｂがそれ
ぞれ形成され、保護ストッパ２６ａおよび２６ｂが支持
部材１８ａおよび１８ｂの両側にそれぞれ配置される。
そのため、図６および図７に示す実施例では、図４およ
び図５に示す実施例と比べて、振動子１２のｚ軸方向に
おける衝撃に対して支持部材１８ａおよび１８ｂをさら
に保護することができる。
【００２２】なお、保護ストッパ２６ａ（２６ｂ）は、
図４ないし図７の各実施例に示す形状に限らず、たとえ
ば、図８に示すように、中央に矩形の孔を有する矩形板
材をＵ字状に曲げた形状、図９に示すように、コ字状の
板材の２つの先端に、先端が互いに外側に向く２つのＬ
字状の部材を設けた形状、あるいは、図１０に示すよう
に、コ字状の板材の２つの先端に、先端が互いに内側に
向く２つのＬ字状の部材を設けた形状などに形成されて
もよい。
図４ないし図７の各実施例に示す形状に限らず、たとえ
ば、図８に示すように、中央に矩形の孔を有する矩形板
材をＵ字状に曲げた形状、図９に示すように、コ字状の
板材の２つの先端に、先端が互いに外側に向く２つのＬ
字状の部材を設けた形状、あるいは、図１０に示すよう
に、コ字状の板材の２つの先端に、先端が互いに内側に
向く２つのＬ字状の部材を設けた形状などに形成されて
もよい。
【００２３】上述の各実施例では、それぞれ、振動子１
２に正３角柱状の振動体１４が用いられているが、振動
体１４の形状としては４角柱状など他の角柱状でもよ
く、円柱状であってもよい。
２に正３角柱状の振動体１４が用いられているが、振動
体１４の形状としては４角柱状など他の角柱状でもよ
く、円柱状であってもよい。
【００２４】また、上述の各実施例では、それぞれ、３
つの圧電素子を有するが、圧電素子の数は、３つに限ら
ず必要に応じて増減してもよい。
つの圧電素子を有するが、圧電素子の数は、３つに限ら
ず必要に応じて増減してもよい。
【図１】この発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す実施例の正面図である。
【図３】支持部材の２つの脚部の先端の間隔Ｗ′と中間
部の長さＷとの比率Ｗ′／Ｗと、振動子の振動方向（ｘ
軸方向）における変位の割合との関係を示すグラフであ
る。
部の長さＷとの比率Ｗ′／Ｗと、振動子の振動方向（ｘ
軸方向）における変位の割合との関係を示すグラフであ
る。
【図４】この発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図５】図４に示す実施例の側面図である。
【図６】この発明のさらに他の実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図７】図６に示す実施例の側面図である。
【図８】保護ストッパの他の例を示す斜視図である。
【図９】保護ストッパのさらに他の例を示す斜視図であ
る。
る。
【図１０】保護ストッパの別の例を示す斜視図である。
【図１１】この発明の背景となる従来の振動ジャイロの
一例を示す斜視図である。
一例を示す斜視図である。
【図１２】図１１に示す振動ジャイロの正面図である。
【図１３】図１１および図１２に示す振動ジャイロを振
動子の長手方向（ｚ軸方向）に落下した後の状態を示す
正面図である。
動子の長手方向（ｚ軸方向）に落下した後の状態を示す
正面図である。
１０ 振動ジャイロ １２ 振動子 １４ 振動体 １６ａ〜１６ｃ 圧電素子 １８ａ，１８ｂ 支持部材 ２４ａ，２４ｂ 取付基板 ２６ａ，２６ｂ 保護ストッパ
Claims (2)
- 【請求項１】 柱状の振動子を支持するための支持部材
を有する振動子の支持構造であって、 前記支持部材は、 前記振動子に固着され、前記振動子の幅方向に延びる直
線状の中間部、および前記中間部の両端から延び、それ
らの先端の間隔が前記中間部の長さより広がった直線状
の２つの脚部を含む、振動子の支持構造。 - 【請求項２】 前記支持部材の近傍に設けられ、前記振
動子の長手方向における前記支持部材の変位を規制する
ための保護ストッパを含む、請求項１の振動子の支持構
造。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
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| DE69307680T DE69307680T2 (de) | 1993-01-08 | 1993-12-15 | Halterungsaufbau für einen Schwingungserzeuger |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01816493A JP3178137B2 (ja) | 1993-01-08 | 1993-01-08 | 振動子の支持構造 |
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|---|---|
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| JP3178137B2 JP3178137B2 (ja) | 2001-06-18 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| JP (1) | JP3178137B2 (ja) |
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- 1993-12-15 DE DE69307680T patent/DE69307680T2/de not_active Expired - Lifetime
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| DE69307680T2 (de) | 1997-07-10 |
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