JP2002054929A - 振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動が長期間与えられた場合でも、支持部材
に亀裂、断裂が生じにくい振動ジャイロを提供する。 【解決手段】 支持体３００に固定される第一の部分１
０１ａ、１０２ａ、１０３ａ、１０４ａと、振動子１０
０に固定される第二の部分１０１ｂ、１０２ｂ、１０３
ｂ、１０４ｂとの間に設けられ、支持部材１０１、１０
２、１０３、１０４の厚み方向に屈折する屈折部１０１
ｃ、１０２ｃ、１０３ｃ、１０４ｃを有し、屈折部１０
１ｃ、１０２ｃ、１０３ｃ、１０４ｃが鈍角に屈折して
いることを特徴とする。 【効果】 本発明の振動ジャイロは、屈折部の角度が鈍
角であるため、弾力性が減少しにくく、亀裂や、断裂が
生じにくくなり、振動に対する強度が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動ジャイロ及び
これを用いた電子装置、例えば、手ぶれ防止機能付きビ
デオカメラ、カーナビゲーションシステム、ポインティ
ングデバイスなどに用いられる振動ジャイロ及びこれを
用いた電子装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０に従来の振動ジャイロを示す。図
１０（ａ）はその斜視図であり、図１０（ｂ）はその正
面図であり、図１０（ｃ）はその左側面図である。な
お、図１０に示した振動ジャイロ６０の基本的な考え方
は、特開平９−２７３９３４号公報に開示されている。

【０００３】図１０において、振動ジャイロ６０は、振
動子１００と、支持部材８０１、８０２、８０３、８０
４と、支持体である基板３００とを有する。振動子１０
０は一方主面に第一の検出電極１０４ａと第二の検出電
極１０４ｂが形成されるとともに厚み方向に分極された
第一の圧電体基板１０１と、一方主面に駆動電極１０５
が形成されるとともに厚み方向に分極された第二の圧電
体基板１０２とを有している。第一の圧電体基板１０１
の他方主面と第二の圧電体基板１０２の他方主面とは、
中間電極１０３を介して貼り合わされている。支持部材
８０１、８０２、８０３、８０４は、硬弾性材料である
金属からなり、基板３００に固定された第一の部分８０
１ａ、８０２ａ、８０３ａ、８０４ａと、振動子１００
のノード点Ｎ１、Ｎ２付近に固定された第二の部分８０
１ｂ、８０２ｂ、８０３ｂ、８０４ｂと、その厚み方向
に屈折する屈折部８０１ｃ、８０２ｃ、８０３ｃ、８０
４ｃとを有し、振動子１００を基板３００上に支持す
る。屈折部８０１ｃ、８０２ｃ、８０３ｃ、８０４ｃ
は、第一の部分８０１ａ、８０２ａ、８０３ａ、８０４
ａと、第二の部分８０１ｂ、８０２ｂ、８０３ｂ、８０
４ｂとの間に設けられ、振動子１００の幅方向から厚み
方向へ略直角に屈折している。第二の部分８０１ｂ、８
０２ｂは、それぞれ第一の検出電極１０４ａ、第二の検
出電極１０４ｂに接続され、第二の部分８０３ｂ、８０
４ｂは、駆動電極１０５に接続されている。なお、支持
部材８０１、８０２、８０３、８０４は、圧電体基板１
０１、１０２を支持すると同時に、リード線の機能をも
兼ねている。

【０００４】このような構成の振動ジャイロ６０は、駆
動電極１０５に電圧が印加され、振動子１００の厚み方
向に、最低次のモードの節がノード点Ｎ１、Ｎ２となる
長手方向両端自由たわみ振動をする。そして、振動ジャ
イロ６０に、振動子１００の長手方向を軸とする角速度
が与えられたときは、振動子１００が幅方向に屈曲し、
第一の検出電極１０４ａ及び第二の検出電極１０４ｂか
ら出力される信号を処理することにより、振動ジャイロ
６０に与えられた角速度が検出される。

【０００５】ここで、図１１に、振動ジャイロ６０の支
持部材８０１の屈折部８０１ｃの拡大図を示す。図１１
に示したように、振動ジャイロ６０の支持部材８０１
は、曲げ加工により形成されている。硬弾性材料からな
る支持部材８０１には、その厚み方向に折曲げられた屈
折部８０１ｃが設けられ、振動子１００の振動がダンピ
ングされにくい柔構造にされている。したがって、振動
子１００の振動が、支持部材８０１、８０２、８０３、
８０４から漏れにくく、振動子１００の振幅が減衰しに
くい。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の振動ジャイロ６
０の支持部材８０１には、その厚み方向に略直角に折曲
げられた屈折部８０１ｃが設けられているため、振動子
１００の振動が、支持部材８０１、８０２、８０３、８
０４から漏れにくく、振動子１００の振幅が減衰しにく
い。

【０００７】しかし、従来の振動ジャイロ６０において
は、屈折部８０１ｃ、８０２ｃ、８０３ｃ、８０４ｃ
が、曲げ加工により曲げ角が略直角に形成されているた
め、屈折部８０１ｃ、８０２ｃ、８０３ｃ、８０４ｃに
大きな加工硬化が生じている。この加工硬化は、支持部
材がその厚み方向に折曲げられ、硬化することにより生
じる現象であり、曲げ角が大きくなるにしたがって、加
工硬化も大きくなる。加工硬化の生じた部分において
は、弾力性がなくなり、亀裂、断裂が生じ易くなる。し
たがって、振動子１００に振動が長期間与えられた場合
には、屈折部８０１ｃ、８０２ｃ、８０３ｃ、８０４ｃ
の近傍において亀裂、断裂が生じるという問題がある。

【０００８】そこで、本発明は、振動が長期間与えられ
た場合でも、支持部材に亀裂、断裂が生じにくい振動ジ
ャイロを提供することを目的とする。

【０００９】また、本発明は、長期的に信頼性のある電
子装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の振動ジャイロは、振動子と、支持体と、前
記支持体に前記振動子を支持する板状の支持部材とを有
する振動ジャイロであって、前記支持部材は、前記支持
体に固定される第一の部分と、前記振動子に固定される
第二の部分と、前記第一の部分と前記第二の部分との間
に設けられ、前記支持部材の厚み方向に屈折する屈折部
とを有し、前記支持部材は、前記屈折部において幅が広
くなっていることを特徴とする。

【００１１】また、本発明の振動ジャイロは、前記支持
部材が、前記第一の部分及び前記第二の部分の少なくと
も一方から前記屈折部に向かって、テーパー状に幅を広
げて形成されていることを特徴とする。

【００１２】また、本発明の振動ジャイロは、前記支持
部材の前記屈折部が、鈍角に屈折していることを特徴と
する。

【００１３】また、本発明の振動ジャイロは、振動子
と、支持体と、前記支持体に前記振動子を支持する板状
の支持部材とを有する振動ジャイロであって、前記支持
部材は、前記支持体に固定される第一の部分と、前記振
動子に固定される第二の部分と、前記第一の部分と前記
第二の部分との間に設けられ、前記支持部材の厚み方向
に屈折する屈折部とを有し、前記支持部材は、前記屈折
部が鈍角に屈折していることを特徴とする。

【００１４】また、本発明の振動ジャイロは、前記支持
部材の屈折部が、前記振動子の長手方向に直交する方向
から屈折していることを特徴とする。

【００１５】また、本発明の振動ジャイロは、前記支持
部材が硬弾性材料からなることを特徴とする。

【００１６】また、本発明の振動ジャイロは、前記振動
子を振動させるための駆動手段と、前記振動子から発生
する出力を検出する検出手段とを有することを特徴とす
る。

【００１７】また、本発明の電子装置は、前記振動ジャ
イロを用いたことを特徴とする。

【００１８】このように構成することにより、本発明の
振動ジャイロは、屈折部の角度が鈍角であるため、弾力
性が減少しにくく、亀裂や、断裂が生じにくくなり、振
動に対する強度が向上する。

【００１９】また、本発明の振動ジャイロは、屈折部の
幅が広くされているため、亀裂や、断裂が生じにくくな
り、振動に対する強度が向上する。

【００２０】また、本発明の電子装置は、支持部材に亀
裂、断裂が生じにくい振動ジャイロを用いているので、
長期的な信頼性が向上する

【００２１】

【発明の実施の形態】図１に本発明の振動ジャイロの一
実施例を示す。図１（ａ）はその平面図であり、図１
（ｂ）はその正面図であり、図１（ｃ）はその左側面図
である。図１において、図１０に示した振動ジャイロ６
０と同一又は同等の部分には同じ記号を付し、説明を省
略する。

【００２２】図１において、振動ジャイロ１０は、支持
部材８０１、８０２、８０３、８０４に代えて支持部材
２０１、２０２、２０３、２０４を有する点が図１０に
示した振動ジャイロ６０とは異なる。

【００２３】振動ジャイロ１０の支持部材２０１、２０
２、２０３、２０４は、硬弾性材料である金属からな
り、基板３００に固定された第一の部分２０１ａ、２０
２ａ、２０３ａ、２０４ａと、振動子１００のノード点
Ｎ１、Ｎ２付近に固定された第二の部分２０１ｂ、２０
２ｂ、２０３ｂ、２０４ｂと、その厚み方向に屈折する
屈折部２０１ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃとを有
する。屈折部２０１ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃ
は、第一の部分２０１ａ、２０２ａ、２０３ａ、２０４
ａと第二の部分２０１ｂ、２０２ｂ、２０３ｂ、２０４
ｂとの間に設けられ、振動子１００の幅方向、すなわち
振動子１００の長手方向に直交する方向から厚み方向へ
鈍角に屈折している。

【００２４】図２に、振動ジャイロ１０の支持部材２０
１の屈折部２０１ｃの拡大図を示す。図２に示したよう
に、振動ジャイロ１０の支持部材２０１は、曲げ加工に
より形成されている。硬弾性材料からなる支持部材２０
１には、その厚み方向へ鈍角に折曲げられた屈折部２０
１ｃが設けられ、振動子１００の振動がダンピングされ
にくい柔構造にされている。したがって、振動子１００
の振動が、支持部材２０１、２０２、２０３、２０４か
ら漏れにくく、振動子１００の振幅が減衰しにくい。

【００２５】このような構成を有する本発明の振動ジャ
イロ１０においては、屈折部２０１ｃの角度が鈍角であ
るため、屈折部２０１ｃに加工硬化があまり生じていな
い。そのため、弾力性が減少しにくく、亀裂や、断裂が
生じにくくなり、振動に対する強度が向上する。

【００２６】次に、図３に本発明の振動ジャイロの別の
実施例を示す。図３（ａ）はその平面図であり、図３
（ｂ）はその正面図であり、図３（ｃ）はその左側面図
である。図３において、図１に示した振動ジャイロ１０
と同一又は同等の部分には同じ記号を付し、説明を省略
する。

【００２７】図３において、振動ジャイロ２０は、支持
部材２０１、２０２、２０３、２０４に代えて支持部材
２１１、２１２、２１３、２１４を有する点が図１０に
示した振動ジャイロ６０とは異なる。

【００２８】図３において、振動ジャイロ２０の支持部
材２１１、２１２、２１３、２１４は、第一の部分２０
１ａ、２０２ａ、２０３ａ、２０４ａと、第二の部分２
０１ｂ、２０２ｂ、２０３ｂ、２０４ｂとの間に、その
厚み方向へ略直角に屈折する屈折部２１１ｃ、２１２
ｃ、２１３ｃ、２１４ｃを有する。支持部材２１１、２
１２、２１３、２１４には、第一の部分２０１ａ、２０
２ａ、２０３ａ、２０４ａから屈折部２１１ｃ、２１２
ｃ、２１３ｃ、２１４ｃに向かって幅を広げて形成され
たテーパー２１１ｄ、２１２ｄ、２１３ｄ、２１４ｄ
と、第二の部分２０１ｂ、２０２ｂ、２０３ｂ、２０４
ｂから屈折部２１１ｃ、２１２ｃ、２１３ｃ、２１４ｃ
に向かって幅を広げて形成されたテーパー２１１ｅ、２
１２ｅ、２１３ｅ、２１４ｅとが形成されている。この
ように、支持部材２１１、２１２、２１３、２１４は、
屈折部２１１ｃ、２１２ｃ、２１３ｃ、２１４ｃにおい
て幅が広くされている。

【００２９】このような構成を有する本発明の振動ジャ
イロ１０は、加工硬化が生じ易い部分である屈折部２１
１ｃ、２１２ｃ、２１３ｃ、２１４ｃの幅が広くされて
いるため、亀裂や、断裂が生じにくくなり、振動に対す
る強度が向上する。

【００３０】なお、図３に示した振動ジャイロ２０にお
いては、支持部材２１１、２１２、２１３、２１４にテ
ーパー２１１ｄ、２１２ｄ、２１３ｄ、２１４ｄとテー
パー２１１ｅ、２１２ｅ、２１３ｅ、２１４ｅとの両方
が形成されているが、テーパー２１１ｄ、２１２ｄ、２
１３ｄ、２１４ｄ又はテーパー２１１ｅ、２１２ｅ、２
１３ｅ、２１４ｅの一方のみが形成され、屈折部２１１
ｃ、２１２ｃ、２１３ｃ、２１４ｃを境に幅が広くされ
た場合でも、振動ジャイロ２０と同様の作用効果を奏す
るものである。

【００３１】図４に本発明の振動ジャイロの支持部材の
別の実施例の斜視図を示す。図４において、図３に示し
た振動ジャイロ２０の支持部材２１１と同一又は同等の
部分には同じ記号を付し、説明を省略する。

【００３２】図４において、支持部材２１１′は、テー
パー２１１ｅと第二の部分２０１ｂとの間に折返部２１
１ｆが設けられている点及び、テーパー２１１ｄが設け
られていない点が、図３に示した振動ジャイロ２０の支
持部材２１１とは異なる。

【００３３】図４において、支持部材２１１′の屈折部
２１１ｃは、テーパー２１１ｅにより幅が広くされてい
る。また、屈折部２１１ｃと第一の部分２０１ａとの間
の幅は広くされている。支持部材２１１′の折返部２１
１ｆは、振動子１００の幅方向から長手方向へ直角に折
返されている。

【００３４】このような構成の支持部材２１１′は、屈
折部２１１ｃが設けられているため振動子１００の厚み
方向の振動がダンピングされにくく、折返部２１１ｆが
設けられているため振動子１００の幅方向の振動がダン
ピングされにくい。つまり、支持部材２１１′において
は、屈折部２１１ｃ及び折返部２１１ｆが振動子１００
の長手方向に直交する方向から屈折しているため、振動
子１００の厚み方向及び幅方向の振動がダンピングされ
にくい柔構造が、より確実に達成される。ここで、折返
部２１１ｆは、打抜き加工により形成されているため、
加工硬化は生じない。したがって、折返部２１１ｆには
テーパーを設ける必要がない。なお、折返部２１１ｆが
曲げ加工により形成される場合には、テーパーを設ける
ことにより、本発明の効果を奏することは言うまでもな
い。

【００３５】次に、図５に本発明の振動ジャイロの更に
別の実施例を示す。図５（ａ）はその平面図であり、図
５（ｂ）はその正面図であり、図５（ｃ）はその左側面
図である。図５において、図３に示した振動ジャイロ２
０と同一又は同等の部分には同じ記号を付し、説明を省
略する。

【００３６】図５において、振動ジャイロ３０は、支持
部材２１１、２１２、２１３、２１４に代えて支持部材
２２１、２２２、２２３、２２４を有する点が図３に示
した振動ジャイロ２０とは異なる。

【００３７】図５において、振動ジャイロ３０の支持部
材２２１、２２２、２２３、２２４は、第一の部分２０
１ａ、２０２ａ、２０３ａ、２０４ａと、第二の部分２
０１ｂ、２０２ｂ、２０３ｂ、２０４ｂとの間に、その
厚み方向へ鈍角に屈折する屈折部２０１ｃ、２０２ｃ、
２０３ｃ、２０４ｃを有する。屈折部２０１ｃ、２０２
ｃ、２０３ｃ、２０４ｃには、第一の部分２０１ａ、２
０２ａ、２０３ａ、２０４ａから屈折部２０１ｃ、２０
２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃに向かって幅を広げて形成さ
れたテーパー２１１ｄ、２１２ｄ、２１３ｄ、２１４ｄ
と、第二の部分２０１ｂ、２０２ｂ、２０３ｂ、２０４
ｂから屈折部２０１ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃ
に向かって幅を広げて形成されたテーパー２１１ｅ、２
１２ｅ、２１３ｅ、２１４ｅとが形成されている。

【００３８】このような構成を有する本発明の振動ジャ
イロ３０は、屈折部２０１ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２
０４ｃの角度が鈍角であるため、屈折部２０１ｃ、２０
２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃに加工硬化があまり生じてい
ない。そのため、弾力性が増加し、亀裂や、断裂が生じ
にくくなり、振動に対する強度が向上する。

【００３９】また、振動ジャイロ３０は、加工硬化が生
じ易い部分である屈折部２０１ｃ、２０２ｃ、２０３
ｃ、２０４ｃの幅が広くされているため、亀裂や、断裂
が生じにくくなり、振動に対する強度が向上する。

【００４０】次に、図６、図７に本発明の振動ジャイロ
の支持部材の別の実施例を示す。図６はその破砕分解斜
視図であり、図７はその部分拡大図である。図６、図７
において、図１に示した振動ジャイロ１０と同一又は同
等の部分には同じ記号を付し、説明を省略する。

【００４１】図６、図７において、振動ジャイロ４０
は、支持部材２０１、２０２、２０３、２０４に代えて
支持部材２３１、２３２、２３３、２３４を有し、更
に、支持体である枠体４００と、蓋５００とを有する点
が、図１に示した振動ジャイロ１０とは異なる。

【００４２】図６、図７において、振動ジャイロ２０の
支持部材２３１、２３２、２３３、２３４は、第一の部
分２０１ａ、２０２ａ、２０３ａ、２０４ａと、第二の
部分２０１ｂ、２０２ｂ、２０３ｂ、２０４ｂと、屈折
部２０１ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃ、２０１
ｃ′、２０２ｃ′、２０３ｃ′、２０４ｃ′と、打抜き
加工により形成された略Ｚ字型の折返部２３１ｆ、２３
２ｆ、２３３ｆ、２３４ｆとを有する。第一の部分２０
１ａ、２０２ａ、２０３ａ、２０４ａは枠体４００の内
側面に固定され、第二の部分２０１ｂ、２０２ｂ、２０
３ｂ、２０４ｂは振動子１００に固定されている。第一
の部分２０１ａ、２０２ａ、２０３ａ、２０４ａと、第
二の部分２０１ｂ、２０２ｂ、２０３ｂ、２０４ｂとの
間には、その厚み方向に鈍角に屈折する屈折部２０１
ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃ、２０１ｃ′、２０
２ｃ′、２０３ｃ′、２０４ｃ′と折返部２３１ｆ、２
３２ｆ、２３３ｆ、２３４ｆとが形成されている。屈折
部２０１ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃには、屈折
部２０１ｃ′、２０２ｃ′、２０３ｃ′、２０４ｃ′側
から幅を広げて形成されたテーパー２１１ｅ、２１２
ｅ、２１３ｅ、２１４ｅが形成されている。枠体４０
０、下側の蓋５００及び上側の蓋（図示せず）は、樹脂
などの絶縁性の材料からなる。そして、振動子１００と
電気的に接続された電子部品（図示せず）が搭載された
基板３００は、枠体４００の内側面と固定部材４０２と
に固定される。そして、上側の蓋及び下側の蓋５００が
枠体４００に固定され、振動ジャイロとして一体化され
る。

【００４３】次に、図８に図６に示した振動ジャイロ４
０の回路のブロック図を示す。図８において、振動ジャ
イロ４０は、振動子１００と駆動手段である発振回路６
０１と検出手段である検出回路６０２とが電気的に接続
されている。発振回路６０１は、第一のバッファ回路６
０１ａと第二のバッファ回路６０１ｂと、抵抗６１１
ａ、６１１ｂと、加算回路６０１ｃと、ＡＧＣ回路６０
１ｄと、位相補正回路６０１ｅとを有し、検出回路６０
２は、第一のバッファ回路６０１ａと第二のバッファ回
路６０１ｂと、抵抗６１１ａ、６１１ｂと、差動回路６
０２ａと、検波回路６０２ｂと、平滑回路６０２ｃと、
増幅回路６０２ｄとを有している。

【００４４】ここで、第一の検出電極１０４ａに抵抗６
１１ａと第一のバッファ回路６０１ａとが接続され、第
二の検出電極１０４ｂに抵抗６１１ｂと第二のバッファ
回路６０１ｂとが接続されている。そして、第一のバッ
ファ回路６０１ａ、第二のバッファ回路６０１ｂは、加
算回路６０１ｃと差動回路６０２ａとにそれそれ接続さ
れている。加算回路６０１ｃはＡＧＣ回路６０１ｄに接
続され、ＡＧＣ回路６０１ｄは位相補正回路６０１ｅに
接続され、位相補正回路６０１ｅは検波回路６０２ｂ
と、駆動電極１０５とに接続されている。そして、差動
回路６０２ａは検波回路６０２ｂに接続され、検波回路
６０２ｂは平滑回路６０２ｃに接続され、平滑回路６０
２ｃは増幅回路６０２ｄに接続されている。

【００４５】このように構成された振動ジャイロ４０に
おいて、第一のバッファ回路６０１ａは第一の検出電極
１０４ａの電圧を加算回路６０１ｃと差動回路６０２ａ
とに出力するためのものであり、第二のバッファ回路６
０１ｂは第二の検出電極１０４ｂの電圧を加算回路６０
１ｃと差動回路６０２ａとに出力するためのものであ
り、抵抗６１１ａ、６１１ｂは、第一の検出電極１０４
ａ、第二の検出電極１０４ｂのインピーダンスを調整す
るためのものである。加算回路６０１ｃは、入力された
二つの信号を加算してＡＧＣ回路６０１ｄに出力し、Ａ
ＧＣ回路６０１ｄは、入力された信号の振幅が一定とな
るように増幅して、位相補正回路６０１ｅに出力し、位
相補正回路６０１ｅは入力された信号の位相を補正して
駆動電極１０５に駆動信号として印加する。

【００４６】一方、差動回路６０２ａは、入力された二
つの信号を減算して検波回路６０２ｂに出力し、検波回
路６０２ｂは差動回路６０２ａから入力された信号を位
相補正回路６０１ｅから入力された信号を用いて検波し
て平滑回路６０２ｃに出力し、平滑回路６０２ｃは入力
された信号を平滑して増幅回路６０２ｄに出力し、増幅
回路６０２ｄは入力された信号を直流増幅して外部に出
力する。

【００４７】このような構成を有する本発明の振動ジャ
イロ４０は、屈折部２０１ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２
０４ｃ、２０１ｃ′、２０２ｃ′、２０３ｃ′、２０４
ｃ′の角度が鈍角であるため、加工硬化があまり生じて
いない。そのため、弾力性が増加し、亀裂や、断裂が生
じにくくなり、振動に対する強度が向上する。また、ま
た、振動ジャイロ４０は、加工硬化が生じ易い部分であ
る屈折部２０１ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃの幅
が広くされているため、亀裂や、断裂が生じにくくな
り、振動に対する強度が向上する。

【００４８】なお、本発明において、振動子は、四角柱
状に限らず、三角柱状、円柱状などであってもよい。支
持体は、支持部材を固定することができるものであれ
ば、基板や枠型のような形状に限られるものではない。
支持部材は、金属などの高弾性材料を用いることが好ま
しい。また、支持部材は、少なくとも一方方向に所定の
厚みを有していれば、その断面が正方形や円形などであ
ってもよい。

【００４９】次に、図９に本発明の振動ジャイロを用い
た電子装置の一実施例を示す。図９は本発明の電子装置
であるビデオカメラに用いられる手ぶれ防止回路の一実
施例を示すブロック図である。手ぶれ防止回路５０は、
本発明の振動ジャイロ１０と積分回路７０１とサーボ回
路７０２と電流ドライバ７０３とアクチュエータ７０４
と位置検出センサ７０５とを有する。手ぶれ防止回路５
０は、振動ジャイロ１０と、積分回路７０１と、サーボ
回路７０２と、電流ドライバ７０３と、アクチュエータ
７０４とが直列に接続され、アクチュエータ７０４の出
力が位置検出センサ７０５を介してサーボ回路７０２に
帰還されている。

【００５０】このように構成された手ぶれ防止回路５０
においては、ビデオカメラに与えられた手ぶれのうち、
角速度信号のみが振動ジャイロ１０から積分回路７０１
に入力され、積分回路７０１は角速度信号を積分してビ
デオカメラの振れ角に変換してサーボ回路７０２に出力
し、サーボ回路７０２は、積分回路７０１と位置検出セ
ンサ７０５とから入力された振れ角の信号を用いて現在
値と目標値との差を演算して電流ドライバ７０３に出力
し、電流ドライバ７０３は入力された信号に応じた電流
をアクチュエータ７０４に出力し、アクチュエータ７０
４はビデオカメラの光学系を機械的に駆動する。そし
て、位置検出センサ７０５は光学系が駆動した振れ角を
サーボ回路７０２に出力する。

【００５１】このような構成を有する手ぶれ防止回路５
０を有する電子装置は、支持部材に亀裂、断裂が生じに
くい振動ジャイロ１０を用いているので、長期的な信頼
性が向上する。

【００５２】以上、ビデオカメラを用いて本発明の電子
装置を説明したが、本発明の電子装置は、このような構
成のビデオカメラに限られるものではない。

【００５３】

【発明の効果】本発明の振動ジャイロは、屈折部の角度
が鈍角であるため、亀裂や、断裂が生じにくくなり、振
動に対する強度が向上する。

【００５４】また、本発明の振動ジャイロは、屈折部に
テーパーが設けられているため、亀裂や、断裂が生じに
くくなり、振動に対する強度が向上する。

【００５５】また、本発明の電子装置は、支持部材に亀
裂、断裂が生じにくい振動ジャイロを用いているので、
長期的な信頼性が向上する

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の振動ジャイロの一実施例を示す（ａ）
平面図、（ｂ）正面図、（ｃ）左側面図である。

【図２】図１の振動ジャイロの支持部材の部分拡大図で
ある。

【図３】本発明の振動ジャイロの別の実施例を示す
（ａ）平面図、（ｂ）正面図、（ｃ）左側面図である。

【図４】本発明の振動ジャイロの支持部材の別の実施例
を示す斜視図である。

【図５】本発明の振動ジャイロの更に別の実施例を示す
（ａ）平面図、（ｂ）正面図、（ｃ）左側面図である。

【図６】本発明の振動ジャイロの更に別の実施例を示す
斜視図である。

【図７】図６の振動ジャイロの部分拡大図である。

【図８】図６の振動ジャイロの回路のブロック図であ
る。

【図９】本発明の電子装置に用いられる手ぶれ防止回路
の一実施例を示すブロック図である。

【図１０】従来の振動ジャイロを示す（ａ）斜視図、
（ｂ）正面図、（ｃ）左側面図である。

【図１１】図１０の振動ジャイロの支持部材の部分拡大
図である。

【符号の説明】

１０、２０、３０、４０…振動ジャイロ １００…振動子 ５０…手ぶれ防止回路 Ｎ１、Ｎ２…ノード点 １０１…第一の圧電体 １０２…第二の圧電体 １０３…中間電極 ２０１、２０２、２０３、２０４、２１１、２１２、２
１３、２１４、２１１′、２２１、２２２、２２３、２
２４、２３１、２３２、２３３、２３４…支持部材 ２０１ｃ、２０２ｃ、２０３ｃ、２０４ｃ、２１１ｃ、
２１２ｃ、２１３ｃ、２１４ｃ、２０１ｃ′、２０２
ｃ′、２０３ｃ′、２０４ｃ′…屈折部 ２１１ｄ、２１２ｄ、２１３ｄ、２１４ｄ、２１１ｅ、
２１２ｅ、２１３ｅ、２１４ｅ…テーパー

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動子と、支持体と、前記支持体に前記
   振動子を支持する板状の支持部材とを有する振動ジャイ
   ロであって、 前記支持部材は、前記支持体に固定される第一の部分
   と、前記振動子に固定される第二の部分と、前記第一の
   部分と前記第二の部分との間に設けられた、前記支持部
   材の厚み方向に屈折する屈折部とを有し、 前記支持部材は、前記屈折部において幅が広くなってい
   ることを特徴とする、振動ジャイロ。
2. 【請求項２】 前記支持部材は、前記第一の部分及び前
   記第二の部分の少なくとも一方から前記屈折部に向かっ
   て、テーパー状に幅を広げて形成されていることを特徴
   とする、請求項１に記載の振動ジャイロ。
3. 【請求項３】 前記支持部材の前記屈折部は、鈍角に屈
   折していることを特徴とする、請求項１又は２に記載の
   振動ジャイロ。
4. 【請求項４】 振動子と、支持体と、前記支持体に前記
   振動子を支持する板状の支持部材とを有する振動ジャイ
   ロであって、 前記支持部材は、前記支持体に固定される第一の部分
   と、前記振動子に固定される第二の部分と、前記第一の
   部分と前記第二の部分との間に設けられ、前記支持部材
   の厚み方向に屈折する屈折部とを有し、 前記支持部材は、前記屈折部が鈍角に屈折していること
   を特徴とする、振動ジャイロ。
5. 【請求項５】 前記支持部材の屈折部は、前記振動子の
   長手方向に直交する方向から屈折していることを特徴と
   する、請求項１乃至４のいずれかに振動ジャイロ。
6. 【請求項６】 前記支持部材は、硬弾性材料からなるこ
   とを特徴とする、請求項１乃至５のいずれかに記載の振
   動ジャイロ。
7. 【請求項７】 前記振動子を振動させるための駆動手段
   と、前記振動子から発生する出力を検出する検出手段と
   を有することを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか
   に記載の振動ジャイロ。
8. 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれかに記載の振動
   ジャイロを用いたことを特徴とする電子装置。