JP2001221639A

JP2001221639A - 振動子及びそれを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置

Info

Publication number: JP2001221639A
Application number: JP2000029410A
Authority: JP
Inventors: Akira Mori; 章森
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2000-02-07
Filing date: 2000-02-07
Publication date: 2001-08-17

Abstract

(57)【要約】【課題】圧電基板を用いた振動ジャイロにおいて、角
速度の検出が正確にできる振動ジャイロを提供する。【解決手段】第一の帯状電極及び第二の帯状電極は、
長手方向に三つに分割され、中央に位置する第一の電極
部１０４ａ、１０５ａは検出電極となり、第四の電極部
１０６ａは駆動電極となる。そして、両端に位置する第
三の電極部１０４ｃ、１０５ｃと第五の電極部１０６ｂ
とは、接続電極１０８ａを介して中間電極１０３に接続
され、第二の極部１０４ｂ、１０５ｂと第六の電極部１
０６ｃとは、接続電極１０８ｂを介して中間電極１０３
に接続されている。【効果】両端に位置する電極部が中間電極と同じ電位
であるため、長手方向について振動子の電気力線分布が
均等になり、角速度の検出が正確にできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動子及びそれを
用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置、特に、
手ぶれ防止機能付きビデオカメラ、カーナビゲーション
システム、ポインティングデバイスなどに用いられる振
動子及びそれを用いた振動ジャイロ及びそれを用いた電
子装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８に、従来の振動子の斜視図を示す。
図８において、振動子４０は、一方主面に、第一の検出
電極１０４と第二の検出電極１０５とに分割された第一
の帯状電極が形成されるとともに、厚み方向に分極され
た第一の圧電体基板１０１と、一方主面に駆動電極１０
６である第二の帯状電極が形成されるとともに、厚み方
向に分極された第二の圧電体基板１０２とを有してい
る。第一の圧電体基板１０１の他方主面と第二の圧電体
基板１０２の他方主面とは、中間電極１０３を介して貼
り合わされている。そして、第一の検出電極１０４、第
二の検出電極１０５、駆動電極１０６上における、振動
子４０のノード点Ｎ１、Ｎ２に対応する位置には、リー
ド線の機能を兼ねる支持部材１０７ａ、１０７ｂ、１０
７ｃ、１０７ｄが設けられている。そして、第一の検出
電極１０４が支持部材１０７ａにより引き出され、第二
の検出電極１０５が支持部材１０７ｂにより引き出さ
れ、駆動電極１０６が支持部材１０７ｃ、１０７ｄによ
り引き出されている。また、圧電体基板１０１、１０２
の一方の端面において、中間電極１０３がリード線１０
７ｅにより引き出されている。

【０００３】このような構成を有する振動子４０は、中
間電極１０３が非常に薄い層からなり、また、圧電体基
板１０１、１０２とハンダとの密着性が非常に悪いた
め、中間電極１０３をリード線１０７ｅにより引き出す
作業が非常に困難であった。

【０００４】そこで、図９に中間電極１０３をリード線
により引き出す作業が困難であるという問題を解決した
従来の別の振動子の斜視図を示し、図１０にその平面図
及び正面図及び底面図を示す。図９、１０において、図
８に示した振動子４０と同一又は同等の部分には同じ記
号を付し、説明を省略する。なお、図９、１０に示した
振動子４１の基本的な考え方は、特開平１１−１７３８
４９号広報に開示されている。

【０００５】図９、１０において、振動子４１は、振動
子４０の構成に加えて、第一の帯状電極上に、振動子４
１の幅方向に沿ってノード点Ｎ１、Ｎ２に対応する位置
より端部側のノード点Ｎ１、Ｎ２の近傍に分割溝Ｓ１、
Ｓ２を有し、第二の帯状電極上に、振動子４１の幅方向
に沿ってノード点Ｎ１とＮ２とに対応する位置の間のノ
ード点Ｎ２の近傍に分割溝Ｓ３を有し、振動子４１の一
端面に接続電極１０８ａを有する。そして、第一の帯状
電極は、分割溝Ｓ１、Ｓ２により、第一の電極部１０４
ａ、１０５ａと、第二の電極部１０４ｂ、１０５ｂと、
第三の電極部１０４ｃ、１０５ｃとに分割され、第二の
帯状電極は、分割溝Ｓ３により、第四の電極部１０６ａ
と第五の電極部１０６ｂとに分割されている。そして、
第三の電極部１０４ｃ、１０５ｃと、中間電極１０３
と、第五の電極部１０６ｂとは、接続電極１０８ａを介
して接続されている。ここで、第一の電極部１０４ａは
第一の検出電極としてはたらき、第一の電極部１０５ａ
は第二の検出電極としてはたらき、第四の電極部１０６
ａは駆動電極としてはたらき、第二の電極部１０４ｂ、
１０５ｂは浮電極となる。そして、第三の電極部１０４
ｃ、１０５ｃと第五の電極部１０６ｂは中間電極１０３
に接続されて、中間電極１０３と同じ電位になる。

【０００６】このような構成を有する振動子４１は、中
間電極１０３が第五の電極部１０６ｂを介して支持部材
１０７ｄにより引き出されているため、中間電極１０３
にリード線を設ける必要がなくなる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の振動子４１は、
第五の電極部１０６ｂに支持部材１０７ｄが接続されて
いるため、中間電極１０３をリード線により引出す必要
がない。

【０００８】しかし、図１０の正面図に示すように、振
動子４１の第五の電極部１０６ｂは接続電極１０８ａを
介して中間電極１０３に接続されているため中間電極１
０３と同じ電位であり、駆動電極である第四の電極部１
０６ａと異なる電位である。このため、中間電極１０３
と、駆動電極である第四の電極部１０６ａとの間の電気
力線の分布が、振動子４１の長手方向に関して非対称に
なる。また、振動子４１の第二の電極部１０４ｂ、１０
５ｂは中間電極１０３に接続していない浮電極であるた
め電気力線が生じる。それに対して、振動子４１の第三
の電極部１０４ｃ、１０５ｃは接続電極１０８ａを介し
て中間電極１０３に接続されているため電気力線が生じ
ない。このため、中間電極１０３と、検出電極である第
一の電極部１０４ａ、１０５ａとの間の電気力線の分布
が、振動子４１の長手方向に関して非対称になる。

【０００９】このように、振動子４１の長手方向につい
て電気力線の分布が非対称になると、振動子４１の駆動
バランスが崩れるために、振動が乱れ、角速度を正確に
検出できなくなるという問題がある。

【００１０】そこで本発明は、振動子４１の長手方向に
ついて電気力線の分布を対称にすることにより、振動子
の駆動バランスが崩れないため、角速度を正確に検出で
きる振動子を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の振動子は、一方主面に第一の帯状電極が形
成されるとともに、厚み方向に分極された第一の圧電体
基板と、一方主面に第二の帯状電極が形成されるととも
に、厚み方向に分極された第二の圧電体基板とを有し、
前記第一の圧電体基板の他方主面と前記第二の圧電体基
板の他方主面とが、中間電極を介して貼り合わされてな
り、前記第一の帯状電極及び前記第二の帯状電極の少な
くとも一方は、幅方向に沿って分割されることにより、
長手方向に少なくとも三つの電極部が形成され、両端に
位置する前記電極部は、前記中間電極に接続されている
ことを特徴とする。

【００１２】また、本発明の振動子は、両端に位置する
前記電極部が、前記第一の圧電体基板もしくは前記第二
の圧電体基板の側面又は端面に形成された接続電極を介
して、前記中間電極に接続されていることを特徴とす
る。

【００１３】また、本発明の振動子は、前記接続電極
が、前記第一の圧電体基板及び前記第二の圧電体基板の
長手方向に関して対称形状となっていることを特徴とす
る。

【００１４】また、本発明の振動子は、前記第二の帯状
電極が、長手方向に形成された少なくとも三つの電極部
を有し、両端に位置する前記電極部の一方のみが、ノー
ド点の一つに対応する位置に設けられていることを特徴
とする。

【００１５】また、本発明の振動ジャイロは、前記振動
子と、前記振動子を振動させるための駆動手段と、前記
振動子から発生する出力を検出する検出手段とを有する
ことを特徴とする。

【００１６】また、本発明の電子装置は、前記振動ジャ
イロを用いたことを特徴とする。

【００１７】このように構成することにより、本発明の
振動子は、第一の帯状電極及び第二の帯状電極の少なく
とも一方に形成された電極部の両端が同じ電位であるた
め、長手方向について電気力線の分布が対称になり、振
動子の駆動バランス保たれ、振動が安定する。

【００１８】また、本発明の振動ジャイロは、長手方向
について電気力線の分布が対称になる振動子を用いてい
るため、振動子の駆動バランス保たれ、振動が安定する
ので、角速度を正確に検出できる。

【００１９】また、本発明の電子装置は、角速度を正確
に検出できる振動ジャイロを用いているため、精密な制
御機構を構成することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１に本発明の振動子の一実施例
の斜視図を示し、図２に平面図及び正面図及び底面図を
示す。図１、２において、図９に示した振動子４１と同
一又は同等の部分には同じ記号を付し、説明を省略す
る。

【００２１】図１において、振動子１０は、振動子４１
の構成に加えて、第二の帯状電極上に、振動子１０の幅
方向に沿ってノード点Ｎ１に対応する位置より端部側の
ノード点Ｎ１の近傍に分割溝Ｓ４を有し、振動子１０の
他端面に接続電極１０８ｂを有する。そして、第二の帯
状電極は、第四の電極部１０６ａと第五の電極部１０６
ｂと第六の電極部１０６ｃとに分割されている。そし
て、第二の電極部１０４ｂ、１０５ｂと、中間電極１０
３と、第六の電極部１０６ｃとは、接続電極１０８ｂを
介して接続されている。したがって、第一の電極部１０
４ａは第一の検出電極としてはたらき、第一の電極部１
０５ａは第二の検出電極としてはたらき、第四の電極部
１０６ａは駆動電極としてはたらく。

【００２２】ここで、図２の正面図に示すように、振動
子１０の第二の電極部１０４ｂ、１０５ｂと第三の電極
部１０４ｃ、１０５ｃとは、接続電極１０８ａ、１０８
ｂを介して中間電極１０３と接続されているため、中間
電極１０３と同じ電位である。同様に、第五の電極部１
０６ｂと第六の電極部１０６ｃは、接続電極１０８ａ、
１０８ｂを介して中間電極１０３と接続されているた
め、中間電極１０３と同じ電位である。したがって、中
間電極１０３と、駆動電極である第四の電極部１０６ａ
との間の電気力線の分布が、振動子１０の長手方向に関
して対称になる。同様に、中間電極１０３と、検出電極
である第一の電極部１０４ａ、１０５ａとの間の電気力
線の分布が、振動子１０の長手方向に関して対称にな
る。

【００２３】このような構成を有する振動子１０は、長
手方向について電気力線の分布が対称になるため、振動
子の駆動バランスが保たれ、振動が安定し、角速度を正
確に検出できるようになる。なお、接続電極１０８ａ、
１０８ｂは、印刷、蒸着又はスパッタ等で容易に形成す
ることができる。

【００２４】次に、図３に本発明の振動子の別の実施例
の斜視図を示す。図３において、図１に示した振動子１
０と同一又は同等の部分には同じ記号を付し、説明を省
略する。

【００２５】図３において、本発明の振動子１１は、図
１に示した振動子１０の第一の電極部１０４ａ、１０５
ａを、ノード点Ｎ１、Ｎ２に対応する位置より中央部側
で分割して形成された第七の電極部１０４ｄ、１０５ｄ
と、第八の電極部１０４ｅ、１０５ｅとを有する。ま
た、支持部材１０７ａ、１０７ｂに代えて、支持部材１
１７ａ、１１７ｂを有する。

【００２６】第七の電極部１０４ｄ、１０５ｄは、第一
の帯状電極におけるノード点Ｎ１に対応する位置に形成
され、第八の電極部１０４ｅ、１０５ｅは、第一の帯状
電極におけるノード点Ｎ２に対応する位置に形成されて
いる。そして、支持部材１１７ａは第七の電極部１０４
ｄ、１０５ｄに接続され、支持部材１１７ｂは第八の電
極部１０４ｅ、１０５ｅに接続されている。更に、支持
部材１１７ａは突起部で、第二の検出電極である第一の
電極部１０５ａに接続され、支持部材１１７ｂは突起部
で、第一の検出電極である第一の電極部１０４ａに接続
されている。

【００２７】その結果、支持部材１１７ａが第二の検出
電極である第一の電極部１０５ａに対するリード線の機
能を兼ね、支持部材１１７ｂが第一の検出電極である第
一の電極部１０４ａに対するリード線の機能を兼ねるこ
とになる。

【００２８】このような構成を有する振動子１１は、支
持部材１１７ａ、１１７ｂを用いているため、支持部材
１０７ａ、１０７ｂを用いる場合に比べて、使用する部
品点数が少なくなる。したがって、第一の検出電極であ
る第一の電極部１０４ａ、第二の検出電極である第一の
電極部１０５ａに、リード線と支持部材との機能を兼ね
る支持部材を設ける作業が非常に容易になる。

【００２９】次に、図４に本発明の振動子の更に別の実
施例の斜視図を示す。図４において、図３に示した振動
子１１と同一又は同等の部分には同じ記号を付し、説明
を省略する。

【００３０】図４において、本発明の振動子１２は、図
３に示した振動子１１の接続電極１０８ａ、１０８ｂに
代えて、接続電極１０８ｃ、１０８ｄを有する。そし
て、振動子１２の一方端付近の両側面において、第三の
電極部１０４ｃ、１０５ｃと、中間電極１０３と、第五
の電極部１０６ｂとは、接続電極１０８ｃを介して接続
され、振動子１２の他方端付近の両側面において、第二
の電極部１０４ｂ、１０５ｂと、中間電極１０３と、第
六の電極部１０６ｃとは、接続電極１０８ｄを介して接
続されている。

【００３１】このような構成を有する振動子１２におい
ても、図３に示した振動子１１と同様の効果を奏するこ
とができる。

【００３２】また、接続電極１０８ａ、１０８ｂ、及
び、接続電極１０８ｃ、１０８ｄはそれぞれ、振動子１
２の長手方向に関して対称に配置されているため、構造
的に長手方向に関するバランスが保たれることとなる。
そして、接続電極を一方側面と他方側面、又は、一方側
面同士に設けても、長手方向に関して対称な配置にな
り、同様の効果を奏する。

【００３３】なお、図３、４に示した実施例において
は、第一の帯状電極及び第二の帯状電極が、接続電極を
介して中間電極１０３に接続している場合を説明した
が、第一の帯状電極又は第二の帯状電極の一方のみが接
続電極を介して、中間電極１０３に接続していてもよ
い。そして、その場合には第一の帯状電極又は第一の帯
状電極の一方に関して、同様の効果を奏する。

【００３４】次に、図５に本発明の振動子を用いた振動
ジャイロの一実施例のブロック図を示す。

【００３５】図５において、本発明の振動ジャイロは２
０は、本発明の振動子１０と駆動手段である発振回路２
０１と、検出手段である検出回路２０２とを有する。発
振回路２０１は、第一のチャージアンプ２０１ａと、第
二のチャージアンプ２０１ｂと、加算回路２０１ｃと、
ＡＧＣ回路２０１ｄと、位相補正回路２０１ｅとを有
し、検出回路２０２は、第一のチャージアンプ２０１ａ
と、第二のチャージアンプ２０１ｂと、差動回路２０２
ａと、検波回路２０２ｂと、平滑回路２０２ｃと、増幅
回路２０２ｄとを有している。

【００３６】ここで、振動子１０の第一の検出電極であ
る第一の電極部１０４ａは第一のチャージアンプ２０１
ａに接続され、第二の検出電極である第一の電極部１０
５ａは第二のチャージアンプ２０１ｂに接続されてい
る。中間電極１０３は、図示を省略した支持部材１０７
ｄを介して基準電位に接地されている。第一のチャージ
アンプ２０１ａ、第二のチャージアンプ２０１ｂは、加
算回路２０１ｃと差動回路２０２ａとにそれぞれ接続さ
れている。加算回路２０１ｃはＡＧＣ回路２０１ｄに接
続され、ＡＧＣ回路２０１ｄは位相補正回路２０１ｅに
接続され、位相補正回路２０１ｅは検波回路２０２ｂ
と、駆動電極である第四の電極部１０６ａとに接続され
ている。そして、差動回路２０２ａは検波回路２０２ｂ
に接続され、検波回路２０２ｂは平滑回路２０２ｃに接
続され、平滑回路２０２ｃは増幅回路２０２ｄに接続さ
れている。

【００３７】このように構成された本発明の振動ジャイ
ロは２０において、第一のチャージアンプ２０１ａは第
一の検出電極である第一の電極部１０４ａの発生電荷を
電圧に変換して加算回路２０１ｃと差動回路２０２ａと
に出力し、第二のチャージアンプ２０１ｂは第二の検出
電極である第一の電極部１０５ａの発生電荷を電圧に変
換して加算回路２０１ｃと差動回路２０２ａとに出力す
る。加算回路２０１ｃは、入力された信号を加算してＡ
ＧＣ回路２０１ｄに出力し、ＡＧＣ回路２０１ｄは、入
力された信号の振幅が一定となるように増幅して、位相
補正回路２０１ｅに出力し、位相補正回路２０１ｅは入
力された信号の位相を補正して駆動電極である第四の電
極部１０６ａに駆動信号を印加する。

【００３８】一方、差動回路２０２ａは、入力された信
号を減算して検波回路２０２ｂに出力し、検波回路２０
２ｂは差動回路２０２ａから入力された信号を位相補正
回路２０１ｅから入力された信号により検波して平滑回
路２０２ｃに出力し、平滑回路２０２ｃは入力された信
号を平滑して増幅回路２０２ｄに出力し、増幅回路２０
２ｄは入力された信号を直流増幅して外部に出力する。

【００３９】このような構成の振動ジャイロ２０は、駆
動電極である第四の電極部１０６ａに駆動信号を印可す
ることにより、振動子１０が厚み方向に、最低次のモー
ドの節がノード点Ｎ１、Ｎ２となる長手方向両端自由た
わみ振動をする。そして、振動子１０に、長手方向を軸
とする角速度が与えられた場合には、コリオリ力により
幅方向に屈曲変位が発生するため、第一の検出電極であ
る第一の電極部１０４ａ及び第二の検出電極である第一
の電極部１０５ａの信号の差から角速度を検出すること
ができる。また、第一の検出電極である第一の電極部１
０４ａ及び第二の検出電極である第一の電極部１０５ａ
の信号の和から、コリオリ力の影響を受けない、振動子
１０の厚み方向の屈曲変位に相当する信号を検出でき
る。

【００４０】そして、本発明の振動子１０を用いている
ために、振動子１０の長手方向について電気力線の分布
が対称になるため、振動子の駆動バランスが保たれ、振
動が安定するので、角速度を正確に検出することができ
る。

【００４１】次に、図６に本発明の振動子を用いた振動
ジャイロの別の実施例を示す。図６において、図５に示
した振動ジャイロ２０と同一又は同等の部分には同じ記
号を付し、説明を省略する。

【００４２】図６において、本発明の振動ジャイロ２１
の発振回路２１１、検出回路２１２は、図５に示した第
一のチャージアンプ２０１ａ、第二のチャージアンプ２
０１ｂに代えて、抵抗２１１ａ、２１１ｂと第一のバッ
ファ回路２１１ｃと第二のバッファ回路２１１ｄとを有
する点のみが、図５に示した振動ジャイロ２０の発振回
路２０１、検出回路２０２と異なる。

【００４３】このように、振動ジャイロは２１は、第一
の検出電極である第一の電極部１０４ａに抵抗２１１ａ
と第一のバッファ回路２１１ｃとが接続され、第二の検
出電極である第一の電極部１０５ａに抵抗２１１ｂと第
二のバッファ回路２１１ｄとが接続されている。そし
て、第一のバッファ回路２１１ｃ、第二のバッファ回路
２１１ｄは、加算回路２０１ｃと差動回路２０２ａとに
接続されている。ここで、第一のバッファ回路２１１ｃ
は第一の検出電極である第一の電極部１０４ａの電圧を
加算回路２０１ｃと差動回路２０２ａとに出力するため
のものであり、第二のバッファ回路２１１ｄは第二の検
出電極である第一の電極部１０５ａの電圧を加算回路２
０１ｃと差動回路２０２ａとに出力するためのものであ
り、抵抗２１１ａ、２１１ｂは、第一の検出電極である
第一の電極部１０４ａ、第二の検出電極である第一の電
極部１０５ａのインピーダンスを調整するためのもので
ある。

【００４４】このような構成を有する振動ジャイロ２１
を用いた場合も、図５に示した振動ジャイロは２０と同
様の効果を奏することができる。

【００４５】次に、図７に本発明の振動ジャイロを用い
た電子装置の一実施例を示す。図７は本発明の電子装置
であるビデオカメラに用いられる手ぶれ防止回路の一実
施例を示すブロック図である。手ぶれ防止回路３０は、
本発明の振動ジャイロ２０と積分回路３０１とサーボ回
路３０２と電流ドライバ３０３とアクチュエータ３０４
と位置検出センサ３０５とを有する。手ぶれ防止回路３
０は、振動ジャイロ２０と、積分回路３０１と、サーボ
回路３０２と、電流ドライバ３０３と、アクチュエータ
３０４とが直列に接続され、アクチュエータ３０４の出
力が位置検出センサ３０５を介してサーボ回路３０２に
帰還されている。

【００４６】このように構成された手ぶれ防止回路３０
においては、ビデオカメラに与えられた手ぶれのうち、
角速度信号のみが振動ジャイロ２０から積分回路３０１
に入力され、積分回路３０１は角速度信号を積分してビ
デオカメラの振れ角に変換してサーボ回路３０２に出力
し、サーボ回路３０２は、積分回路３０１と位置検出セ
ンサ３０５とから入力された振れ角の信号を用いて現在
値と目標値との差を演算して電流ドライバ３０３に出力
し、電流ドライバ３０３は入力された信号に応じた電流
をアクチュエータ３０４に出力し、アクチュエータ３０
４はビデオカメラの光学系を機械的に駆動する。そし
て、位置検出センサ３０５は光学系が駆動した振れ角を
サーボ回路３０２に出力する。

【００４７】このような構成を有する手ぶれ防止回路３
０を有するビデオカメラは、振動子の駆動バランスが良
好であるため角速度を正確に検出できる振動ジャイロ２
０を用いているので、ビデオカメラに与えられる手ぶれ
の影響を的確に除去できる。

【００４８】

【発明の効果】本発明の振動子は、第一の帯状電極及び
第二の帯状電極の少なくとも一方に形成された電極部の
両端が同じ電位であるため、長手方向について電気力線
の分布が対称になり、振動子の駆動バランス保たれ、振
動が安定する。

【００４９】また、本発明の振動ジャイロは、長手方向
について電気力線の分布が対称になる振動子を用いてい
るため、振動子の駆動バランス保たれ、振動が安定する
ので、角速度を正確に検出できる。

【００５０】また、本発明の電子装置は、角速度を正確
に検出できる振動ジャイロを用いているため、精密な制
御機構を構成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の振動子の一実施例を示す斜視図であ
る。

【図２】図１の振動子の平面図及び正面図及び底面図で
ある。

【図３】本発明の振動子の別の実施例を示す斜視図であ
る。

【図４】本発明の振動子の更に別の実施例を示す斜視図
である。

【図５】本発明の振動ジャイロの一実施例を示すブロッ
ク図である。

【図６】本発明の振動ジャイロの別の実施例を示すブロ
ック図である。

【図７】本発明の電子装置に用いられる手ぶれ防止回路
の一実施例を示すブロック図である。

【図８】従来の振動子を示す斜視図である。

【図９】従来の別の振動子を示す斜視図である。

【図１０】図９の振動子の平面図及び正面図及び底面図
である。

【符号の説明】

１０、１１、１２…振動子２０、２１…振動ジャイロ３０…手ぶれ防止回路１０１…第一の圧電体１０２…第二の圧電体１０３…中間電極１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃ、１０８ｄ…接続電極１０４ａ、１０５ａ…第一の電極部１０４ｂ、１０５ｂ…第二の電極部１０４ｃ、１０５ｃ…第三の電極部１０６ａ…第四の電極部１０６ｂ…第五の電極部１０６ｃ…第六の電極部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一方主面に第一の帯状電極が形成される
とともに、厚み方向に分極された第一の圧電体基板と、一方主面に第二の帯状電極が形成されるとともに、厚み
方向に分極された第二の圧電体基板とを有し、前記第一の圧電体基板の他方主面と前記第二の圧電体基
板の他方主面とが、中間電極を介して貼り合わされてな
り、前記第一の帯状電極及び前記第二の帯状電極の少なくと
も一方は、幅方向に沿って分割されることにより、長手
方向に少なくとも三つの電極部が形成され、両端に位置
する前記電極部は、前記中間電極に接続されていること
を特徴とする振動子。
【請求項２】両端に位置する前記電極部が、前記第一
の圧電体基板もしくは前記第二の圧電体基板の側面又は
端面に形成された接続電極を介して、前記中間電極に接
続されていることを特徴とする、請求項１に記載の振動
子。
【請求項３】前記接続電極が、前記第一の圧電体基板
及び前記第二の圧電体基板の長手方向に関して対称形状
となっていることを特徴とする、請求項２に記載の振動
子。
【請求項４】前記第二の帯状電極は、長手方向に形成
された少なくとも三つの電極部を有し、両端に位置する
前記電極部の一方のみが、ノード点の一つに対応する位
置に設けられていることを特徴とする、請求項１乃至３
のいずれかに記載の振動子。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかに記載の振動
子と、前記振動子を振動させるための駆動手段と、前記
振動子から発生する出力を検出する検出手段とを有する
ことを特徴とする振動ジャイロ。
【請求項６】請求項５に記載の振動ジャイロを用いた
ことを特徴とする電子装置。