JPH06200217A - フッ素樹脂粘着テープの製造方法 - Google Patents
フッ素樹脂粘着テープの製造方法Info
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- JPH06200217A JPH06200217A JP34873692A JP34873692A JPH06200217A JP H06200217 A JPH06200217 A JP H06200217A JP 34873692 A JP34873692 A JP 34873692A JP 34873692 A JP34873692 A JP 34873692A JP H06200217 A JPH06200217 A JP H06200217A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基材であるフッ素樹脂フィルムの変色を防止
し、かつフッ素樹脂フィルムと粘着剤との密着性を改善
する。 【構成】 フッ素樹脂フィルム表面に有機珪素化合物を
プラズマ重合により成膜し、次いでその表面に粘着剤を
塗工する。
し、かつフッ素樹脂フィルムと粘着剤との密着性を改善
する。 【構成】 フッ素樹脂フィルム表面に有機珪素化合物を
プラズマ重合により成膜し、次いでその表面に粘着剤を
塗工する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、フッ素樹脂粘着テー
プの製造方法に関するものである。さらに詳しくは、こ
の発明は、基材としてのフッ素樹脂フィルムの変色を伴
わず、しかもフッ素樹脂フィルムと粘着剤との密着性を
改善することのできる、新しいフッ素樹脂粘着テープと
その製造方法に関するものである。
プの製造方法に関するものである。さらに詳しくは、こ
の発明は、基材としてのフッ素樹脂フィルムの変色を伴
わず、しかもフッ素樹脂フィルムと粘着剤との密着性を
改善することのできる、新しいフッ素樹脂粘着テープと
その製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フッ素樹脂フィルムを基材とした粘着テ
ープは、優れた耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性および高い
絶縁抵抗を有し、また、フィルム表面の摩擦抵抗が低
く、非接着性を有することから、コイル、モーター等の
耐熱結束、あるいはラミネーター、コーターのロール保
護、さらにはヒートシール用の耐熱離型などの広範の領
域で使用されてきている。
ープは、優れた耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性および高い
絶縁抵抗を有し、また、フィルム表面の摩擦抵抗が低
く、非接着性を有することから、コイル、モーター等の
耐熱結束、あるいはラミネーター、コーターのロール保
護、さらにはヒートシール用の耐熱離型などの広範の領
域で使用されてきている。
【０００３】一方、フッ素樹脂フィルムは、本来、上記
の通り、非接着性であるため、粘着テープとして用いる
場合には、フィルム表面の接着性を改善する必要があ
る。そこで、従来では、フッ素樹脂フィルム表面の接着
性を向上させ、これを基材とした粘着テープを工業的に
製造するために、フッ素樹脂フィルム表面にケミカル処
理を施している。すなわち、金属ナトリウムの液体アン
モニア溶液、あるいは金属ナトリウム・ナフタレン錯体
のテトラヒドロフラン溶液にフッ素樹脂フィルムを浸漬
し、その表面を脱フッ素化する。
の通り、非接着性であるため、粘着テープとして用いる
場合には、フィルム表面の接着性を改善する必要があ
る。そこで、従来では、フッ素樹脂フィルム表面の接着
性を向上させ、これを基材とした粘着テープを工業的に
製造するために、フッ素樹脂フィルム表面にケミカル処
理を施している。すなわち、金属ナトリウムの液体アン
モニア溶液、あるいは金属ナトリウム・ナフタレン錯体
のテトラヒドロフラン溶液にフッ素樹脂フィルムを浸漬
し、その表面を脱フッ素化する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この脱
フッ素化処理によりフッ素樹脂フィルムと粘着剤との密
着性は改善されるものの、実際には、上記したケミカル
処理剤の取扱、保管、廃棄等が難しく、安全面と環境面
との両面で問題となっていた。しかも、フッ素樹脂フィ
ルム表面は、処理後、黒褐色に変色し、商品価値が低下
してしまうという欠点もあった。
フッ素化処理によりフッ素樹脂フィルムと粘着剤との密
着性は改善されるものの、実際には、上記したケミカル
処理剤の取扱、保管、廃棄等が難しく、安全面と環境面
との両面で問題となっていた。しかも、フッ素樹脂フィ
ルム表面は、処理後、黒褐色に変色し、商品価値が低下
してしまうという欠点もあった。
【０００５】この発明は、以上の通りの事情に鑑みてな
されたものであり、従来のフッ素樹脂フィルムを基材と
した粘着テープについての欠点を解消し、フッ素樹脂フ
ィルムの変色を防止し、しかもフッ素樹脂フィルムと粘
着剤との密着性を改善することのできるフッ素樹脂粘着
テープの製造方法とこれによって得られるフッ素樹脂粘
着テープを提供することを目的としている。
されたものであり、従来のフッ素樹脂フィルムを基材と
した粘着テープについての欠点を解消し、フッ素樹脂フ
ィルムの変色を防止し、しかもフッ素樹脂フィルムと粘
着剤との密着性を改善することのできるフッ素樹脂粘着
テープの製造方法とこれによって得られるフッ素樹脂粘
着テープを提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、フッ素樹脂フィルム表面に有機
珪素化合物をプラズマ重合により成膜し、次いでその表
面にシリコーン粘着剤を塗工することを特徴とするフッ
素樹脂粘着テープの製造方法を提供する。基材として用
いることのできるフッ素樹脂フィルムについては、たと
えば四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、パーフルオロ
−アルコキシ樹脂（ＰＦＡ）、四フッ化エチレン六フッ
化プロピレン共重合樹脂（ＦＥＰ）、四フッ化エチレン
−エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ）、三フッ化塩化エチ
レン樹脂（ＣＴＦＥ）、フッ化ビニル樹脂（ＰＶＦ）、
フッ化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＦ）等の各種フィルム、
あるいはフッ素系樹脂を含浸させたガラスクロスや耐熱
性クロスなどを例示することができる。
を解決するものとして、フッ素樹脂フィルム表面に有機
珪素化合物をプラズマ重合により成膜し、次いでその表
面にシリコーン粘着剤を塗工することを特徴とするフッ
素樹脂粘着テープの製造方法を提供する。基材として用
いることのできるフッ素樹脂フィルムについては、たと
えば四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、パーフルオロ
−アルコキシ樹脂（ＰＦＡ）、四フッ化エチレン六フッ
化プロピレン共重合樹脂（ＦＥＰ）、四フッ化エチレン
−エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ）、三フッ化塩化エチ
レン樹脂（ＣＴＦＥ）、フッ化ビニル樹脂（ＰＶＦ）、
フッ化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＦ）等の各種フィルム、
あるいはフッ素系樹脂を含浸させたガラスクロスや耐熱
性クロスなどを例示することができる。
【０００７】この発明においては、以上のフッ素樹脂フ
ィルムの表面に有機珪素化合物をプラズマ重合させる
が、このプラズマ重合に使用することのできる高周波放
電用電極としては、誘導結合型または容量結合型電極が
例示される。高周波電源には、通常、数百ＫＨｚ〜数十
ＭＨｚの周波数のものが用いられているが、実用上の観
点からは工業用割当周波数の13.56 ＭＨｚの電源を用い
るのが好ましい。放電電力は、１０Ｗ〜１ｋＷの範囲内
で設定することができる。重合時間は、放電電力によっ
て異なるが、たとえば放電電力を200 Ｗとした場合には
２〜６０秒程度でよい。
ィルムの表面に有機珪素化合物をプラズマ重合させる
が、このプラズマ重合に使用することのできる高周波放
電用電極としては、誘導結合型または容量結合型電極が
例示される。高周波電源には、通常、数百ＫＨｚ〜数十
ＭＨｚの周波数のものが用いられているが、実用上の観
点からは工業用割当周波数の13.56 ＭＨｚの電源を用い
るのが好ましい。放電電力は、１０Ｗ〜１ｋＷの範囲内
で設定することができる。重合時間は、放電電力によっ
て異なるが、たとえば放電電力を200 Ｗとした場合には
２〜６０秒程度でよい。
【０００８】一方、有機珪素化合物としては、以下のよ
うなモノマーおよび／またはポリマー、あるいはそれら
の複合物を例示することができる。たとえばヘキサメチ
ルジシラン、ヘキシルトリメトキシシラン等のシラン
類、テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキ
サン等のシロキサン類、ジメチルクロロシラン、トリメ
チルクロロシラン等のクロロシラン類、ヘプタデカフロ
ロデシルメチルジメトキシシラン、ヘプタデカフロロデ
シルトリメトキシシラン等のフロロシラン類、ポリメチ
ルトリフロロプロピルシロキサン等のフロロシロキサン
類およびこれらのポリマーが挙げられる。これらの有機
珪素化合物の中でも、特にフロロシラン類とフロロシロ
キサン類は好適である。
うなモノマーおよび／またはポリマー、あるいはそれら
の複合物を例示することができる。たとえばヘキサメチ
ルジシラン、ヘキシルトリメトキシシラン等のシラン
類、テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキ
サン等のシロキサン類、ジメチルクロロシラン、トリメ
チルクロロシラン等のクロロシラン類、ヘプタデカフロ
ロデシルメチルジメトキシシラン、ヘプタデカフロロデ
シルトリメトキシシラン等のフロロシラン類、ポリメチ
ルトリフロロプロピルシロキサン等のフロロシロキサン
類およびこれらのポリマーが挙げられる。これらの有機
珪素化合物の中でも、特にフロロシラン類とフロロシロ
キサン類は好適である。
【０００９】これらの有機珪素化合物をプラズマ重合さ
せる場合には、ガス成分として上記の化合物とともに空
気、酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム、炭酸ガス等の無
機ガスを真空槽内に導入することができる。有機珪素化
合物のプラズマ重合時における真空槽内の雰囲気ガス圧
は、たとえば１×１０-5〜１×１０-2Torrとするのが好
ましい。この範囲を超えた場合には、基材としてのフッ
素樹脂フィルムと後述する粘着剤との密着性が低下す
る。また、プラズマ重合膜の膜厚は、特に制限はない
が、５０〜5000Åの範囲において適宜に選択することが
好ましい。
せる場合には、ガス成分として上記の化合物とともに空
気、酸素、窒素、アルゴン、ヘリウム、炭酸ガス等の無
機ガスを真空槽内に導入することができる。有機珪素化
合物のプラズマ重合時における真空槽内の雰囲気ガス圧
は、たとえば１×１０-5〜１×１０-2Torrとするのが好
ましい。この範囲を超えた場合には、基材としてのフッ
素樹脂フィルムと後述する粘着剤との密着性が低下す
る。また、プラズマ重合膜の膜厚は、特に制限はない
が、５０〜5000Åの範囲において適宜に選択することが
好ましい。
【００１０】プラズマ重合を行う場合には、図１に例示
したように、まず、基材フィルム（４）としてのフッ素
樹脂フィルムを冷却ロール（５）を通して巻出ロール
（６）および巻取ロール（７）にセットし、真空槽（１
１）内を真空ポンプで減圧する。次いで、ガス導入バル
ブ（１０）を介して有機珪素化合物のモノマーガス等の
ガス成分を導入し、所定の圧力とした後に、高周波電源
（８）からコイル状電極（１）に高周波電圧を印加しプ
ラズマを発生させる。放電電極は、この図１のコイル状
電極（１）の他、図２に例示したような平行平板状電極
（２）としてもよい。
したように、まず、基材フィルム（４）としてのフッ素
樹脂フィルムを冷却ロール（５）を通して巻出ロール
（６）および巻取ロール（７）にセットし、真空槽（１
１）内を真空ポンプで減圧する。次いで、ガス導入バル
ブ（１０）を介して有機珪素化合物のモノマーガス等の
ガス成分を導入し、所定の圧力とした後に、高周波電源
（８）からコイル状電極（１）に高周波電圧を印加しプ
ラズマを発生させる。放電電極は、この図１のコイル状
電極（１）の他、図２に例示したような平行平板状電極
（２）としてもよい。
【００１１】また、プラズマ重合に際しては、モノマー
ガス等のガス成分を導入しプラズマを発生させた後に、
蒸着ルツボ（３）に装填した有機珪素化合物のポリマー
を加熱して蒸発させることもできる。この後に、この発
明においては、有機珪素化合物のプラズマ重合膜表面に
粘着剤を塗工する。
ガス等のガス成分を導入しプラズマを発生させた後に、
蒸着ルツボ（３）に装填した有機珪素化合物のポリマー
を加熱して蒸発させることもできる。この後に、この発
明においては、有機珪素化合物のプラズマ重合膜表面に
粘着剤を塗工する。
【００１２】粘着剤としては、耐熱性、耐候性、耐薬品
性、電気特性等において優れた特性を有し、しかも過酸
化物硬化型と異なり溶剤の予備乾燥と硬化温度を高くす
る必要がなく、硬化時の過酸化物の分解による悪臭と耐
熱性の低下を伴わないシリコーンガム成分とシリコーン
レジンの混合物または部分縮合物からなる付加反応型シ
リコーン系粘着剤を用いることができる。その塗工方法
については、ナイフロールコーター、ドクターロールコ
ーター、コンマロールコーター、リバースロールコータ
ー等が例示される。そして、粘着剤の塗布厚は２０〜10
0 μｍ程度とするのが好ましい。
性、電気特性等において優れた特性を有し、しかも過酸
化物硬化型と異なり溶剤の予備乾燥と硬化温度を高くす
る必要がなく、硬化時の過酸化物の分解による悪臭と耐
熱性の低下を伴わないシリコーンガム成分とシリコーン
レジンの混合物または部分縮合物からなる付加反応型シ
リコーン系粘着剤を用いることができる。その塗工方法
については、ナイフロールコーター、ドクターロールコ
ーター、コンマロールコーター、リバースロールコータ
ー等が例示される。そして、粘着剤の塗布厚は２０〜10
0 μｍ程度とするのが好ましい。
【００１３】
【作 用】この発明のフッ素樹脂粘着テープの製造方法
においては、基材としてのフッ素樹脂フィルム表面に有
機珪素化合物のプラズマ重合膜を成膜し、次いで粘着剤
層を設けるため、フッ素樹脂フィルムを変色させずに基
材と粘着剤との密着性を向上させることができる。
においては、基材としてのフッ素樹脂フィルム表面に有
機珪素化合物のプラズマ重合膜を成膜し、次いで粘着剤
層を設けるため、フッ素樹脂フィルムを変色させずに基
材と粘着剤との密着性を向上させることができる。
【００１４】以下実施例を示し、この発明のフッ素樹脂
粘着テープの製造方法についてさらに詳しく説明する。
粘着テープの製造方法についてさらに詳しく説明する。
【００１５】
【実施例】実施例１ 基材フィルムとして５０μｍのＰＴＦＥフィルム（ヨド
フロン，淀川化成株式会社製）を、図１に例示した真空
槽（１１）内のロール（５）（６）（７）にセットし、
５×１０-5Torrまで減圧した後に、ヘキサメチルジシロ
キサン（ＨＭＤＳＯ）を加熱して生成させたガスを導入
しガス圧５×１０-3Torrとし、コイル状電極（１）に1
3.56 ＭＨｚ，200 Ｗの高周波電圧を印加してプラズマ
を発生させた。
フロン，淀川化成株式会社製）を、図１に例示した真空
槽（１１）内のロール（５）（６）（７）にセットし、
５×１０-5Torrまで減圧した後に、ヘキサメチルジシロ
キサン（ＨＭＤＳＯ）を加熱して生成させたガスを導入
しガス圧５×１０-3Torrとし、コイル状電極（１）に1
3.56 ＭＨｚ，200 Ｗの高周波電圧を印加してプラズマ
を発生させた。
【００１６】次いで、蒸着ルツボ（３）を加熱し、これ
に装填したポリメチルトリフロロプロピルシロキサンを
蒸発させ、処理時間１０秒でＰＴＦＥフィルムの片側表
面に厚さ500 Åのプラズマ重合膜を成膜した。そして、
このプラズマ重合膜表面に付加反応型シリコーン粘着剤
（ＳＤ−4570，東レ・ダウコーニングシリコーン株式会
社製）を、以下の通りの配合でナイフロールコーターで
ダイレクト塗工した。塗布厚は４０μｍとした。
に装填したポリメチルトリフロロプロピルシロキサンを
蒸発させ、処理時間１０秒でＰＴＦＥフィルムの片側表
面に厚さ500 Åのプラズマ重合膜を成膜した。そして、
このプラズマ重合膜表面に付加反応型シリコーン粘着剤
（ＳＤ−4570，東レ・ダウコーニングシリコーン株式会
社製）を、以下の通りの配合でナイフロールコーターで
ダイレクト塗工した。塗布厚は４０μｍとした。
【００１７】 ＳＤ−4570（シリコーン粘着剤） １００部 ＳＲＸ−212 （白金触媒） １部 トルエン ５０部 こうして得られた粘着テープを２５mm×120 mmに切断
し、ＳＵＳ304 鋼板に貼り付け、２kgの圧着ローラーで
一往復圧着させた後に、180 度引き剥がし法により引張
スピード300 mm／分で引き剥がした時の粘着力を測定し
た。また、その時のＳＵＳ板への糊残りの有無を観察し
た。これらの結果を表１に示した。
し、ＳＵＳ304 鋼板に貼り付け、２kgの圧着ローラーで
一往復圧着させた後に、180 度引き剥がし法により引張
スピード300 mm／分で引き剥がした時の粘着力を測定し
た。また、その時のＳＵＳ板への糊残りの有無を観察し
た。これらの結果を表１に示した。
【００１８】次に、粘着テープの粘着面同士を貼り合わ
せ、２kgの圧着ローラーで一往復圧着させた後に、引き
剥がす操作を繰り返し行い、ＰＴＦＥフィルムからシリ
コーン粘着剤が剥がれたときの回数（アンカリング）を
測定した。この結果も表１に併せて示した。
せ、２kgの圧着ローラーで一往復圧着させた後に、引き
剥がす操作を繰り返し行い、ＰＴＦＥフィルムからシリ
コーン粘着剤が剥がれたときの回数（アンカリング）を
測定した。この結果も表１に併せて示した。
【００１９】
【表１】
【００２０】表１からも明らかなように、基材のＰＴＦ
Ｅフィルムとシリコーン粘着剤との密着性は良好であっ
た。実施例２ 導入ガスのＨＭＤＳＯをアルゴンガスとした以外は、実
施例１と同様にして有機珪素化合物のプラズマ重合膜を
成膜し、シリコーン粘着剤を塗工して粘着テープを作製
した。得られた粘着テープについて実施例１と同様の性
能テストを行った。その結果を表１に示した。
Ｅフィルムとシリコーン粘着剤との密着性は良好であっ
た。実施例２ 導入ガスのＨＭＤＳＯをアルゴンガスとした以外は、実
施例１と同様にして有機珪素化合物のプラズマ重合膜を
成膜し、シリコーン粘着剤を塗工して粘着テープを作製
した。得られた粘着テープについて実施例１と同様の性
能テストを行った。その結果を表１に示した。
【００２１】ＰＴＦＥフィルムとシリコーン粘着剤との
密着性は良好であった。実施例３ 導入ガスのＨＭＤＳＯをトリフロロシランとし、ポリメ
チルトリフロロプロピルシロキサンを用いず、ガス圧を
１×１０-2Torrとした以外は、実施例１と同様にして有
機珪素化合物のプラズマ重合膜を成膜し、シリコーン粘
着剤を塗工して粘着テープを作製した。得られた粘着テ
ープについて実施例１と同様の性能テストを行った。そ
の結果を表１に示した。
密着性は良好であった。実施例３ 導入ガスのＨＭＤＳＯをトリフロロシランとし、ポリメ
チルトリフロロプロピルシロキサンを用いず、ガス圧を
１×１０-2Torrとした以外は、実施例１と同様にして有
機珪素化合物のプラズマ重合膜を成膜し、シリコーン粘
着剤を塗工して粘着テープを作製した。得られた粘着テ
ープについて実施例１と同様の性能テストを行った。そ
の結果を表１に示した。
【００２２】ＰＴＦＥフィルムとシリコーン粘着剤との
密着性は良好であった。比較例１ 実施例１と同様にして成膜した有機珪素化合物のプラズ
マ重合膜に、実施例１で用いた付加反応型シリコーン粘
着剤を、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）を硬化剤
として添加した過酸化物硬化型シリコーン粘着剤（ＫＲ
−130 ，信越化学工業株式会社製）に替え、以下のよう
な配合で塗工し、粘着テープを作製した。
密着性は良好であった。比較例１ 実施例１と同様にして成膜した有機珪素化合物のプラズ
マ重合膜に、実施例１で用いた付加反応型シリコーン粘
着剤を、ベンゾイルパーオキサイド（ＢＰＯ）を硬化剤
として添加した過酸化物硬化型シリコーン粘着剤（ＫＲ
−130 ，信越化学工業株式会社製）に替え、以下のよう
な配合で塗工し、粘着テープを作製した。
【００２３】 ＫＲ−130 １００部 ＢＰＯ 0.6 部 トルエン ５０部 得られた粘着テープについて実施例１と同様の性能テス
トを行った。その結果を表１に示した。
トを行った。その結果を表１に示した。
【００２４】ＳＵＳ板から粘着テープを引き剥がす際
に、糊残りを生じ、アンカリングも２０回を超えなかっ
た。基材のＰＴＦＥフィルムとシリコーン粘着剤との密
着性は不十分であった。比較例２ ガス圧を５×１０-1Torrとした以外は、実施例１と同様
にして有機珪素化合物のプラズマ重合膜を成膜し、シリ
コーン粘着剤を塗工して粘着テープを作製した。得られ
た粘着テープについて実施例１と同様の性能テストを行
った。その結果も表１に示した。
に、糊残りを生じ、アンカリングも２０回を超えなかっ
た。基材のＰＴＦＥフィルムとシリコーン粘着剤との密
着性は不十分であった。比較例２ ガス圧を５×１０-1Torrとした以外は、実施例１と同様
にして有機珪素化合物のプラズマ重合膜を成膜し、シリ
コーン粘着剤を塗工して粘着テープを作製した。得られ
た粘着テープについて実施例１と同様の性能テストを行
った。その結果も表１に示した。
【００２５】基材のＰＴＦＥフィルムとシリコーン粘着
剤との密着性は不十分であった。比較例３ ＰＴＦＥフィルム片側表面をフッ素樹脂表面処理剤（テ
トラエッチ，株式会社潤工社製）に１０秒間浸漬しケミ
カル処理した表面に、実施例１と同様の付加反応型シリ
コーン粘着剤を塗工し、粘着テープを作製した。得られ
た粘着テープについて実施例１と同様の性能テストを行
った。その結果も表１に示した。
剤との密着性は不十分であった。比較例３ ＰＴＦＥフィルム片側表面をフッ素樹脂表面処理剤（テ
トラエッチ，株式会社潤工社製）に１０秒間浸漬しケミ
カル処理した表面に、実施例１と同様の付加反応型シリ
コーン粘着剤を塗工し、粘着テープを作製した。得られ
た粘着テープについて実施例１と同様の性能テストを行
った。その結果も表１に示した。
【００２６】ＰＴＦＥフィルムとシリコーン粘着剤との
密着性は良好であるものの、フィルム表面が黒褐色に着
色した。もちろんこの発明は、以上の例によって限定さ
れるものではない。細部については様々な態様が可能で
あることはいうまでもない。
密着性は良好であるものの、フィルム表面が黒褐色に着
色した。もちろんこの発明は、以上の例によって限定さ
れるものではない。細部については様々な態様が可能で
あることはいうまでもない。
【００２７】
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この発明によ
って、フッ素樹脂フィルムの変色を防止しつつ、安全
で、しかも簡便かつ容易にフッ素樹脂粘着テープを製造
することが可能となる。
って、フッ素樹脂フィルムの変色を防止しつつ、安全
で、しかも簡便かつ容易にフッ素樹脂粘着テープを製造
することが可能となる。
【図１】この発明のフッ素樹脂粘着テープの製造方法に
用いることのできるプラズマ表面処理装置の構成を例示
した断面図である。
用いることのできるプラズマ表面処理装置の構成を例示
した断面図である。
【図２】プラズマ表面処理装置の別の例を示した断面図
である。
である。
１ コイル状電極 ２ 平行平板状電極 ３ 蒸着ルツボ ４ 基材フィルム ５ 冷却ロール ６ 巻出ロール ７ 巻取ロール ８ 高周波電源 ９ マッチングボックス １０ ガス導入バルブ １１ 真空槽 １２ 排気系
Claims (5)
- 【請求項１】 フッ素樹脂フィルム表面に有機珪素化合
物をプラズマ重合により成膜し、次いでその表面に粘着
剤を塗工することを特徴とするフッ素樹脂粘着テープの
製造方法。 - 【請求項２】 ガス圧１×１０-5〜１×１０-2Torrの雰
囲気で、有機珪素化合物のモノマーおよび／またはポリ
マーを高周波励起し、膜厚５０〜5000Åのプラズマ重合
膜を設ける請求項１の製造方法。 - 【請求項３】 有機珪素化合物のプラズマ重合膜上に、
シリコーンガム成分とシリコーンレジンとの混合物また
は部分縮合物からなる付加反応型のシリコーン粘着剤を
塗工する請求項１または２の製造方法。 - 【請求項４】 有機珪素化合物のプラズマ重合膜および
粘着剤層をフッ素樹脂フィルム表面に順次配設してなる
ことを特徴とするフッ素樹脂粘着テープ。 - 【請求項５】 粘着剤層をシリコーンガム成分とシリコ
ーンレジンとの混合物または部分縮合物からなる付加反
応型のシリコーン粘着剤より形成してなる請求項４のフ
ッ素樹脂粘着テープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34873692A JP3357695B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | フッ素樹脂粘着テープの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34873692A JP3357695B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | フッ素樹脂粘着テープの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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1992
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