JPH061753B2 - ダウンフロ−型無塵室 - Google Patents
ダウンフロ−型無塵室Info
- Publication number
- JPH061753B2 JPH061753B2 JP58213982A JP21398283A JPH061753B2 JP H061753 B2 JPH061753 B2 JP H061753B2 JP 58213982 A JP58213982 A JP 58213982A JP 21398283 A JP21398283 A JP 21398283A JP H061753 B2 JPH061753 B2 JP H061753B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- free chamber
- air
- dust
- type dust
- floor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、集積回路等の構造に必要な清浄環境を維持す
るための無塵室に関し、特に清浄な空気が天井より吹き
出し、床に吸い込まれる構造のダウンフロー型無塵室に
関する。
るための無塵室に関し、特に清浄な空気が天井より吹き
出し、床に吸い込まれる構造のダウンフロー型無塵室に
関する。
従来のダウンフロー型無塵室においては、第１図に示し
たように、天井に設けられたＨＥＰＡフイルター１に送
られた空気２は清浄な空気３となつて無塵室内４内に吹
き出される。清浄な空気３は層流となつて下降し、床の
開口部５を通つて床下に吸い込まれ、リターンダクト６
に向かう。リターンエア７の一部は天井裏に戻され、Ｈ
ＥＰＡフイルタ１に向かう。このような構造の無塵室に
おいては、空気３は、全体的にリターンエアの方向に影
響を受けて、層流が一部斜めに下降する傾向のあること
が、発明者の検討により明らかになつた。このような状
態で、第１図に示したように無塵室４内に装置９を置く
と、装置９によつて層流が乱されると共に、装置９の側
面、特にリターン側に向いた側面で、乱流域８が形成さ
れて、塵埃がたまりやすくなることが判明した。
たように、天井に設けられたＨＥＰＡフイルター１に送
られた空気２は清浄な空気３となつて無塵室内４内に吹
き出される。清浄な空気３は層流となつて下降し、床の
開口部５を通つて床下に吸い込まれ、リターンダクト６
に向かう。リターンエア７の一部は天井裏に戻され、Ｈ
ＥＰＡフイルタ１に向かう。このような構造の無塵室に
おいては、空気３は、全体的にリターンエアの方向に影
響を受けて、層流が一部斜めに下降する傾向のあること
が、発明者の検討により明らかになつた。このような状
態で、第１図に示したように無塵室４内に装置９を置く
と、装置９によつて層流が乱されると共に、装置９の側
面、特にリターン側に向いた側面で、乱流域８が形成さ
れて、塵埃がたまりやすくなることが判明した。
また垂直層流を形成する別の方法として、床面のグレー
テイングの開口率を一定にせず、部分的に変化させると
か、グレーテイングの下面に抵抗体を設けるなどがあ
る。
テイングの開口率を一定にせず、部分的に変化させると
か、グレーテイングの下面に抵抗体を設けるなどがあ
る。
しかし床下のリターンエアの吸い込み口が偏在して床下
におけるリターンエアが一方向のみに流れる構造では、
上記の床面での施策は効果がないことが明きらかとなつ
た。
におけるリターンエアが一方向のみに流れる構造では、
上記の床面での施策は効果がないことが明きらかとなつ
た。
従つて本発明は、このような乱流域の形成されない構造
の無塵室を提供し、清浄度の優れた環境を作り、ひいて
は集積回路等の歩留りの向上に寄与することを目的とす
るものである。
の無塵室を提供し、清浄度の優れた環境を作り、ひいて
は集積回路等の歩留りの向上に寄与することを目的とす
るものである。
上記目的を達成するため本発明は、部屋の上部に設けら
れ、清浄な空気を吹き出すフィルタと、該フィルタに対
向して設けられた開口床と、該開口床を通過して床下領
域に抜けた該空気を該フィルタ上部に戻すリターンダク
トを備えたダウンフロー型無塵室において、更に上記床
下領域に設けられ、上記開口床の下部において複数の開
口部を有し、該床下領域において上記空気の流れの向き
とは反対方向に空気を導く第２のリターンダクトを備え
たものである。
れ、清浄な空気を吹き出すフィルタと、該フィルタに対
向して設けられた開口床と、該開口床を通過して床下領
域に抜けた該空気を該フィルタ上部に戻すリターンダク
トを備えたダウンフロー型無塵室において、更に上記床
下領域に設けられ、上記開口床の下部において複数の開
口部を有し、該床下領域において上記空気の流れの向き
とは反対方向に空気を導く第２のリターンダクトを備え
たものである。
実施例 第１図に示した無塵室にさらに、床下に追加のリターン
ダクト１０を、従来と対向する１８０度の位置につけ加
え第２図に示す構造の無塵室とした。これにより従来と
逆向きのリターン１１が生じ、室内の層流のかたよりは
なくなり、装置９の側面近傍の空気の流れも比較的良好
な層流となつた。このため塵埃のたまりやすい場所はな
くなり、無塵室の清浄度が向上した。なおこの場合、リ
ターンの方向を分散させたのみで新たなエネルギーの消
費はなかつた。したがつて運転経費を増やすことなく、
清浄度の向上がはかれた。
ダクト１０を、従来と対向する１８０度の位置につけ加
え第２図に示す構造の無塵室とした。これにより従来と
逆向きのリターン１１が生じ、室内の層流のかたよりは
なくなり、装置９の側面近傍の空気の流れも比較的良好
な層流となつた。このため塵埃のたまりやすい場所はな
くなり、無塵室の清浄度が向上した。なおこの場合、リ
ターンの方向を分散させたのみで新たなエネルギーの消
費はなかつた。したがつて運転経費を増やすことなく、
清浄度の向上がはかれた。
上記説明から明らかなように、本発明によれば、開口床
の下部において複数の開口部を有する第２のリターンダ
クトを設け、リターンエアを二以上の方向に流すことに
より、無塵室内の層流のかたよりがなくなり、無塵室内
に置かれた装置の近傍においても、空気の流れは、比較
的良好な層流となつた。その結果、塵埃のたまりやすい
場所はなくなり、無塵室内の空気の清浄度は著るしく向
上した。
の下部において複数の開口部を有する第２のリターンダ
クトを設け、リターンエアを二以上の方向に流すことに
より、無塵室内の層流のかたよりがなくなり、無塵室内
に置かれた装置の近傍においても、空気の流れは、比較
的良好な層流となつた。その結果、塵埃のたまりやすい
場所はなくなり、無塵室内の空気の清浄度は著るしく向
上した。
第１図は従来の無塵室を説明するため図、第２図は本発
明による改良された無塵室の説明図である。 １…ＨＥＰＡフイルタ、２…送風、３…清浄空気、４…
無塵室、５…床の吸込み開口部、６…リターンダクト、
７…リターンエア、８…乱流、９…装置、１０…追加の
リターンダクト。
明による改良された無塵室の説明図である。 １…ＨＥＰＡフイルタ、２…送風、３…清浄空気、４…
無塵室、５…床の吸込み開口部、６…リターンダクト、
７…リターンエア、８…乱流、９…装置、１０…追加の
リターンダクト。
Claims (1)
- 【請求項１】部屋の上部に設けられ、清浄な空気を吹き
出すフィルタと、該フィルタに対向して設けられた開口
床と、該開口床を通過して床下領域に抜けた該空気を該
フィルタ上部に戻すリターンダクトを備えたダウンフロ
ー型無塵室において、更に上記床下領域に設けられ、上
記開口床の下部において複数の開口部を有し、該床下領
域において上記空気の流れの向きとは反対方向に空気を
導く第２のリターンダクトを備えたことを特徴とするダ
ウンフロー型無塵室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58213982A JPH061753B2 (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | ダウンフロ−型無塵室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58213982A JPH061753B2 (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | ダウンフロ−型無塵室 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60107820A JPS60107820A (ja) | 1985-06-13 |
| JPH061753B2 true JPH061753B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=16648282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58213982A Expired - Lifetime JPH061753B2 (ja) | 1983-11-16 | 1983-11-16 | ダウンフロ−型無塵室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061753B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56162336A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-14 | Hitachi Ltd | Air conditioner |
-
1983
- 1983-11-16 JP JP58213982A patent/JPH061753B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60107820A (ja) | 1985-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100592208B1 (ko) | 클린 벤치 | |
| EP0250596B1 (en) | Clean room | |
| KR20100088386A (ko) | 엘리베이터의 공기 순환 청정장치 | |
| US5700190A (en) | Flowhood work station | |
| JPH061753B2 (ja) | ダウンフロ−型無塵室 | |
| JPS6127435A (ja) | 空気清浄化システムに於る汚染空気の誘引混入防止装置 | |
| JPS626428Y2 (ja) | ||
| JPH0570051B2 (ja) | ||
| JPH11197429A (ja) | フィルタユニットおよび清浄領域形成方法 | |
| JP2003214668A (ja) | クリーンルーム | |
| JPH05116863A (ja) | エレベータのかご内清浄装置 | |
| JPH07310941A (ja) | クリーンルーム | |
| JPS59185923A (ja) | クリーンルームの形成方法 | |
| JPS61282742A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPH019669Y2 (ja) | ||
| JPH08261532A (ja) | クリーンルーム | |
| JP2005048971A (ja) | クリーンベンチ | |
| JPS60144544A (ja) | 清浄空間形成方法 | |
| JP3749215B2 (ja) | 空気清浄装置 | |
| JPS61202026A (ja) | クリ−ンル−ム | |
| JPH0533855Y2 (ja) | ||
| JP4256185B2 (ja) | クリーンルームにおける気流制御構造 | |
| JPH07127889A (ja) | クリーンブース装置 | |
| JP3521764B2 (ja) | クリーンルームの天井構造 | |
| JPH0123055Y2 (ja) |