JPS60107820A - ダウンフロ−型無塵室 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、集積回路等の構造に必要な清浄環境を維持す
るための無塵室に関し、葦（に清浄な空気が天井よ）吹
き出し、床に吸い込まれる構造のダウンフロー型無塵室
に関する。

〔発明のＲ景〕

従来のダウンフロー型無塵室においては、第１図に示し
たように、天井に設けられたＨ　Ｅ　Ｐ　Ａフィルター
１に送られた空気２は清浄な空気３となって無塵室内４
内に吹き出される。清浄な空気３は層流となって下降し
、床の開口部５を通って床下に吸い込まれ、リターンダ
クト６に向かう。リターンエア７の一部は天井裏に戻さ
れ、ＨＥＰＡフィルターに向かう。このような構造の無
塵室においては、空気３は、全体的にリターンエアの方
向に影響を受けて、層流が一部斜めに下降する順向のあ
ることが、発明者の検討にょシ明らかになった。このよ
うな状態で、第１図に示したように無塵室４内に装置９
を置くと、＃ＣＣＯ２よって層流が乱されると共に、装
置９の１ｉｌｌｌ向、特にリターン側に向いた側面で、
乱流域８が形成されて、塵埃がたまシやすくなることが
判明した。

また垂直層流を形成する別の方法として、床面のグレー
ティングの開口率を一定にせず、部分的に変化させると
か、グレーティングの下向に抵抗体を設けるなどがある
。

しかし床下のリターンエアの吸い込み口が偏在して床下
におけるリターンエアが一方向のみに流れる構造では、
上記の床面での施策は効果がないことが明きらかとなっ
た。

〔発明の目的〕

従って本発明は、このような乱流域の形成されない構造
の無塵室を提供し、清浄度の憂れた環境を作り、ひいて
は果慎回路等の歩留シの向上に寄与することを目的とす
るものでるる。

〔発明の、既製〕

上記目的を達成するため本発明は、吸い込み口方向を二
以上設けることによシ、上記リターン方向性がないよう
にするものでるる。

〔発明の実施例〕

実施列 第１図に示した無塵室にさらに、床下に追加のリターン
ダクトｌＯを、従来と対向する１８０度の位置につけ加
え第２図に示す構造の無塵室とした。これによシ眞来と
逆向きのリターン１１が生じ、室内の層流のかたよシは
なくなシ、装置９の側面近傍の空気の流れも比較的良好
な層流となった。この７ヒめ塵埃のたまシやすい場所は
ｌくなシ、無塵室の清浄度が向上した。なおこの場合、
リターンの方向を分散さぜたのみで新たなエネルギーの
消費はなかった。したがって運転経費を増やすことなく
、清浄度の向上がはかれた。

〔発明の効果〕

上記説明から明らかなように、本発明によれば、リター
ンエアを二以上の方向に流すことによシ、無塵室内の層
流のかたよシがなくｈ＃）、無塵室内に置かれた装置の
近傍にｐいても、空気の流れは、比較的良好なノー流と
なった。その結果、雇埃のたまシやすい場所はｉくなシ
、無塵室内の空気の清浄度は著るしく向上した。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の無塵室を説明するため図、第２図は本発
明による改良されたＮ＠塵室の説明図である。 ｌ・・・Ｉ（Ｅ　Ｐ　Ａフィルタ、２・・・送風、３・
・・清浄空気、４・・・無塵室、５・・・床の吸込み開
口部、６・・・リターンダクト、７・・・リターンエア
、８・・・乱流、９・・・装置　１　図 ■　Ｚ　図 ４　１１１１１１番 ＋ＪＪＪＮ↓

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、清浄な空気が上方よシ吹き出し、床に吸い込まれる
   構造のダウンフロー型無塵室において、床下のリターン
   エアの方向が少くとも二方向になるように床下に吸い込
   み口を設けたことを特徴とするダウンフロー型無塵室。