JPH06148416A

JPH06148416A - 紫外線硬化性樹脂組成物およびそれを用いたカラーフィルター保護膜

Info

Publication number: JPH06148416A
Application number: JP29615392A
Authority: JP
Inventors: Koichi Kunimune; 弘一国宗; Reiko Kato; 礼子加藤; Nobuyuki Otsuka; 信之大塚
Original assignee: Chisso Corp
Current assignee: JNC Corp
Priority date: 1992-11-05
Filing date: 1992-11-05
Publication date: 1994-05-27
Anticipated expiration: 2016-11-26
Also published as: JP3232709B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【構成】（Ａ）の構造単位と、の構造単位とを主構造単位として含み、ジエチレングリ
コールジメチルエーテル中における３０℃での極限粘度
（以下、粘度という）が０．０５〜１であるエポキシ基
含有（メタ）アクリル系共重合体。（Ｂ）粘度が０．０
５〜１であるカルボン酸基および多価カルボン酸無水物
基の内の１種以上を含有する（メタ）アクリル系重合
体。（Ｃ）（メタ）アクリル基を有する単量体。（Ｄ）
光重合開始剤。を含有する紫外線硬化性樹脂組成物。
（Ｒ¹ ，Ｒ² はＨ、Ｃ１〜５炭化水素基であり、ｍは１
〜４の整数を示す）。【効果】毒性の少ない現像液によりエッチング可能な
塗膜が得られ、透明性、耐熱性、耐薬品性、耐スパッタ
ー性および密着性のすぐれたカラーフィルター保護膜が
得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、紫外線硬化性樹脂組成
物および該組成物を用いたカラーフィルター保護膜に関
する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルターの保護膜用樹脂として
の必要特性としては、透明性、密着性、耐スパッター
性、塗布性、耐熱性などが要求されており、（メタ）ア
クリル系樹脂（例えば特開昭６０−２１６３０７号公
報）、エポキシ系樹脂（例えば特開平４−９７１０２号
公報）、ポリイミド系樹脂（例えば特開平１−２２９２
０３号公報）などが検討されてきた。これらの樹脂のう
ち（メタ）アクリル系樹脂が最も透明性に優れており、
幅広く検討されてきた。しかし（メタ）アクリル系樹脂
も含めこれらの樹脂は、密着性、耐スパッター性、耐熱
性などのバランスをとることに若干の問題点を有してい
る。これらの点を改良するために多くの提案がなされて
きた。例えば、前記特開昭６０−２１６３０７号公報お
よび特開平４−９７１００号公報ではエポキシ基含有ポ
リマーに多価カルボン酸無水物を混合し、加熱による架
橋反応によって、硬化膜を形成する方法が開示されてい
るが、高分子化合物と極性の強い低分子量化合物を混合
して反応を行うために、未反応の多価カルボン酸無水物
は残存して不均一層となり、そのため物性が低下して好
ましくない。

【０００３】一方、ポリイミド系樹脂は、本質的に透明
性が劣り、かつ膜の硬化時に高温加熱が必要であるとい
う難点を有している。また工程上カラーフィルター基板
の周辺の保護膜を除去する必要があり、それを現在はレ
ジストを用いて行っている。最近、特開平４−１５３２
７４号公報、特開平４−１６４９７０号公報などに紫外
線硬化樹脂組成物を用いたカラーフィルター保護膜が開
示されている。しかし、これらはいずれも現像液が毒性
の強い有機溶媒であり、操作上好ましくない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、プリ
ベークした後マスクを通して紫外線を照射し、現像を行
う際に、従来のような毒性の強い有機溶媒でなく、毒性
の少ない現像液によりエッチング可能な塗膜が得られる
紫外線硬化性樹脂組成物を提供することである。また、
物性の低下がなく、透明性、耐熱性、耐薬品性、耐スパ
ッター性および密着性などに優れているカラーフィルタ
ー保護膜を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者などは、種々検
討の結果、特定の紫外線硬化性樹脂組成物を用いること
により、前記カラーフィルター保護膜の必要特性を充た
すと共に、毒性の少ない弱アルカリ性水溶液によりエッ
チングが可能であるということを見出し本発明を完成す
るに至った。すなわち、

【０００６】本発明の紫外線硬化性樹脂組成物は、下記
の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）の４成分を含有
することを特徴とする。（Ａ）一般式(Ｉ)

【化５】で示される構造単位と、一般式（ＩＩ）

【化６】で示される構造単位とを主構造単位として含み、ジエチ
レングリコールジメチルエ−テル中における３０℃での
極限粘度が０．０５〜１であるエポキシ基含有（メタ）
アクリル系共重合体。（Ｂ）ジエチレングリコールジメチルエーテル中におけ
る３０℃での極限粘度が０．０５〜１であるカルボン酸
基および多価カルボン酸無水物基の内の１種以上を含有
する（メタ）アクリル系重合体。（Ｃ）（メタ）アクリル基を有する単量体。（Ｄ）光重合開始剤。（ただし、一般式（Ｉ)および(II)において、Ｒ¹および
Ｒ²は独立に水素原子または炭素数１〜５の炭化水素基
であり、ｍは１〜４の整数を示す）。

【０００７】本発明のカラーフィルター保護膜は、前記
の(Ａ)、(Ｂ)、(Ｃ)および(Ｄ)の４成分を含有する紫外
線硬化性樹脂組成物を基板に塗布し、必要に応じてプリ
ベークし、紫外線を照射し、必要によりエッチングを行
い、また必要によりポストベークを行うことにより得ら
れることを特徴とする。

【０００８】本発明の紫外線硬化性樹脂組成物の好まし
い態様は、（Ａ）成分が、メタクリル酸グリシジルとＮ
−ビニル−２−ピロリドンを主成分とする共重合体であ
り、かつ（Ｂ）成分が、メタクリル酸メチル（以下、Ｍ
ＭＡと略記することもある）、メタクリル酸（以下ＭＡ
と略記することもある）および無水マレイン酸（以下Ｍ
ＡＨと略記することもある）を主成分とする共重合体、
ＭＭＡおよびＭＡを主成分とする共重合体、またはＭＭ
ＡおよびＭＡＨを主成分とする共重合体である。

【０００９】（Ａ）および（Ｂ）成分は通常のラジカル
重合により容易に合成することができる。これらの両成
分と（Ｃ）（メタ）アクリル基を有する単量体、（Ｄ）
光重合開始剤を混合し、必要に応じてカップリング剤な
どの添加物を混合、有機溶媒に溶解することにより本発
明の紫外線硬化性樹脂組成物を生成することができる。

【００１０】本発明で用いられる（Ａ）成分は、下記一
般式(III)および(IV)

【化７】

【化８】（ただし、一般式(III)および(IV)において、Ｒ¹および
Ｒ²は独立に水素原子または炭素数１〜５の炭化水素基
であり、ｍは１〜４の整数である）。で示されるモノマ
ー（単量体）をラジカル重合開始剤の存在下で共重合す
ることにより容易に得ることができる。これらのうちメ
タクリル酸グリシジルおよびＮ−ビニル−２−ピロリド
ンの組み合わせが最も好ましい。この場合、得られたポ
リマーの溶解性、あるいは、密着性などの特性を改善す
るために、他の（メタ）アクリル系モノマーあるいは少
量のビニルモノマーを添加して、共重合を行うこともで
きる。これらのうちメタクリル酸グリシジルおよびＮ−
ビニル−２−ピロリドンの組み合わせが最も好ましい。

【００１１】他の（メタ）アクリル系モノマーとして
は、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸
ｎ−ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル
酸２−エトキシエチル、アクリル酸２−ヒドロキシエチ
ルなどのアクリル酸エステル類、もしくはメタクルル酸
メチル、メタクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸イソブ
チル、メタクリル酸ｔ−ブチル、メタクリル酸シクロヘ
キシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル
酸ベンジル、メタクリル酸２−ヒドロキシプロピルなど
のメタクリル酸エステル類などを例示することができ
る。他のビニルモノマーとしては、スチレン、ｐ−ヒド
ロキシスチレン、α−メチルスチレンなどを挙げること
ができる。

【００１２】これらモノマーの重合体中の割合は、一般
式(III)で示されるモノマ−３０〜９０重量％、一般式
(IV)で示されるモノマー１０〜７０重量％、他の（メ
タ）アクリルモノマー０〜３０重量％およびビニルモノ
マー０〜３０重量％である。他の（メタ）アクリルモノ
マーあるいはビニルモノマーの一部として１０重量％以
内の後述するカルボン酸基または多価カルボン酸無水物
基を有するモノマーを添加することもできる。上記モノ
マーを反応溶媒中でラジカル重合開始剤の存在下、常法
により重合反応を行うことにより容易に（Ａ）成分を得
ることができる。得られた共重合体の重合度はジエチレ
ングリコ−ルジメチルエーテル中における３０℃での極
限粘度が０．０５〜１の範囲であることが好ましい。こ
の範囲以下ではカラーフィルター保護膜としての物性が
低下し、この範囲以上では溶媒に対する溶解性が低下
し、溶媒の選択範囲がせばまり好ましくない。

【００１３】ここで用いられる反応溶媒としては、メチ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルシク
ロヘキサノンなどのケトン類、エチレングリコールジメ
チルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエ−テ
ル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテルなどのエーテル類、あるいはエチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのエ
ステル類を例示することができる。

【００１４】ラジカル重合開始剤としては、ベンゾイル
パーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、
ラウロイルパーオキサイドなどの有機過酸化物、あるい
はアゾビスイソブチロニトリルなどを例示することがで
きる。

【００１５】カルボン酸基および多価カルボン酸無水物
基の内の１種以上を含有する（Ｂ）成分である（メタ）
アクリル系重合体は、カルボン酸基または多価カルボン
酸無水物基を有するモノマー１０〜７０重量％、前述し
た他の（メタ）アクリル系モノマ−３０〜９０重量％、
必要に応じて、他のビニール系モノマーを３０重量％以
下を混合し、常法に従って、前述した溶媒およびラジカ
ル重合開始剤を用いて重合を行うことにより得ることが
できる。

【００１６】ここで、（メタ）アクリル系モノマーとし
て１０重量％以内の範囲内において、前述したエポキシ
基含有（メタ）アクリル系モノマーを添加することがで
きる。また、合成するに際して使われるカルボン酸基ま
たは多価カルボン酸無水物基を有するモノマーとして、
アクリル酸、メタクリル酸などの（メタ）アクリル系モ
ノマー、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水２，
３−ジメチルマレイン酸、無水１−シクロヘキサン−
１，２−ジカルボン酸、無水エチルマレイン酸、無水２
−メチル−３−エチルマレイン酸、無水２，３−ジエチ
ルマレイン酸などの無水マレイン酸誘導体などを例示す
ることができる。

【００１７】（Ｂ）成分の重合体の重合度はジエチレン
グリコールジメチルエーテル中における３０℃での極限
粘度が０．０５〜１の範囲であることが好ましい。この
範囲以下ではカラーフィルター保護膜としての物性が低
下し、この範囲以上では溶媒に対する溶解性が低下し、
溶媒の選択範囲がせばまり好ましくない。

【００１８】（Ｃ）成分である（メタ）アクリル基を有
するモノマーとしては、以下の化合物を例示することが
できるが必ずしもこれらに限定されるものではない。ブ
チルアクリラート、シクロヘキシルアクリラート、ジメ
チルアミノエチルメタクリラート、ベンジルアクリラー
ト、カルビトールアクリラート、２−エチルヘキシルア
クリラート、２−エチルヘキシルメタクリラート、ラウ
リルメタクリラート、２−ヒドロキシルエチルアクリラ
ート、２−ヒドロキエチルメタクリラート、２−ヒドロ
キシプロピルアクリラート、２−ヒドロキシルプロピル
メタクリラ−ト、グリシジルメタクリラート、Ｎ−メチ
ロ−ルアクリルアミド、Ｎ−ジアセトンアクリルアミ
ド、Ｎ，Ｎ’−メチレンビスアクリルアミド、Ｎ−ビニ
ルピロリドン、エチレングリコールジアクリラート、ジ
エチレングリコールジアクリラート、トリエチレングリ
コールジアクリラート、ブチレングリコールジアクリラ
ート、ブチレングリコールジメタクリラート、ネオペン
チルグリコールジアクリラート、ネオペンチルグリコ−
ルジメタクルラ−ト、１，４−ブタンジオールジアクリ
ラート、１，６−ヘキサンジオ−ルジアクリラート、
１，６−ヘキサンジオ−ルジメタアクリラート、ペンタ
エリスリトールジアクリラート、ペンタエリスリトール
トリアクリラート、トリメチロールプロパントリアクリ
ラート、トリメチロールプロパントリメタクリラート、
ペンタエリスリトールテトラ（３−メルカプトプロピオ
ネート）、ペンタエリスリトール（メルカプトアセテー
ト）、グリセロールアクリラ−ト／メタアクリラ−トな
ど。

【００１９】（Ｄ）成分の光重合開始剤としては、以下
の化合物を挙げることができるが、必ずしもこれらに限
定されるものではない。ベンゾフェノン、ミヒラーズケ
トン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、キサ
ントン、チオキサントン、イソプロピルキサントン、イ
ソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサ
ントン、２−エチルアントラキノン、アセトフェノン、
２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２−ヒ
ドロキシ−２−メチル−４’−イソプロピルプロピオフ
ェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケト
ン、イソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベン
ゾインエ−テル、２，２−ジエトキシアセトフェノン、
２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ベ
ンジル、カンファーキノン、ベンズアンスロン、２−メ
チル−１−｛４−（メチルチオ）フェニル｝−２−モル
フォリノ−１−プロパン−１−オン、２−ベンジル−２
−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）
−ブタノン−１、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブ
チルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、Ｎ−フェ
ニル−グリシン、ｐ−ヒドロキシ−Ｎ−フェニルグリシ
ン、テトラメチルチウラムモノスルフィド、テトラメチ
ルチウラムジスルフィド、ｐ−トリルジスルフィド、４
−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ
安息香酸イソアミル、３，３’−カルボニル−ビス（７
−ジエチルアミノ）クマリン、２，６−ビス（ｐ−アジ
ドベンジリデン）シクロヘキサノン、２，６−ビス（ｐ
−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘキサノ
ン、２，６−ビス（ｐ−アジドベンジリデン）−４−ｔ
−ブチルシクロヘキサノン、エチル−ｐ−（Ｎ，Ｎ−ジ
メチルアミノ）ベンゾエ−トなど。

【００２０】これら（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）および
（Ｄ）成分を混合した場合、互いに溶解する化合物の組
み合わせならそのまま本発明の組成物として使用するこ
とも可能である。しかし一般には塗布性を改善するため
に、これらの化合物を有機溶媒に溶解させ塗布液として
使用するのが好ましい。有機溶媒としては前記の反応溶
媒を任意の混合比で使用できる。（Ａ）（Ｂ）両成分の
混合比は（Ａ）成分中のエポキシ基と（Ｂ）成分中のカ
ルボン酸基（カルボン酸無水物基はカルボン酸２個とし
て計算）が当量近くであることが好ましいが、それほど
厳密なものではない。（Ｃ）成分は（Ａ）および（Ｂ）
成分の合計量１００重量部に対して２０〜３００重量部
が好ましく、５０〜２００重量部が特に好ましい。これ
より少ないと紫外線による硬化が不十分であり、多いと
硬化膜の物性が低下する。（Ｄ）成分は（Ｃ）成分１０
０重量部に対して１〜５０重量部、５〜２０重量部が特
に好ましい。これより少ないと紫外線による硬化が不十
分であり、多いと塗布液の経時安定性が低下して好まし
くない。

【００２１】これらのほかに必要によりポリマ−の２０
重量％以下の架橋助剤、カップリング剤および熱重合禁
止剤を添加することもできる。架橋助剤としては水酸
基、カルボキシル基およびアミノ基含有化合物が用いら
れる。基板との密着性を向上させるためのカップリング
剤として、シラン、アルミニウムおよびチタネート系の
化合物が使われる。これらの具体例としては、３−アミ
ノプロピルトリエトキシシラン、３−アミノフェニルト
リエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメト
キシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシ
シランなどのシラン系、アセトアルコキシアルミニウム
ジイソプロピレ−トなどのアルミニウム系、テトライソ
プロピルビス（ジオクチルホスファイト）チタネ−トな
どのチタネート系を挙げることができるが、必ずしもこ
れらに限定されるものではない。熱重合禁止剤としては
ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノールなどが用いら
れる。

【００２２】次に、本発明の紫外線硬化性樹脂組成物を
用いた硬化膜の形成法について説明する。本発明の紫外
線硬化性樹脂組成物はスピンコート、浸漬または噴霧印
刷などの公知の方法によりガラス基板上にパターニング
されたカラーフィルター上に塗布し塗膜を形成する。塗
膜は電気炉あるいはホットプレートなどの加熱手段を用
い、３０〜１５０℃の温度でプリベークを行うことによ
り塗膜中の大部分の溶媒の除去を行う。この塗膜にネガ
マスクを置き、化学線を照射する。化学線としてはＸ
線、電子線、紫外線、あるいは可視光線などが例として
挙げられるが、紫外線または可視光線が特に好適であ
る。ついで必要により未露光部を現像液で溶解除去する
ことによりレリーフ・パターンを得る。現像液としては
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、
炭酸水素ナトリウム、テトラアンモニウムヒドロキシド
などの弱アルカリ性水溶液を使用することができる。必
要により非溶媒中でリンスを行うこともできる。現像に
より形成されたレリーフ・パターンのポリマーの硬化を
促進するために上記加熱手段により１５０〜３００℃、
好ましくは１８０〜２５０℃の温度でポストベークする
こともできる。

【００２３】更に、本発明の紫外線硬化性樹脂組成物は
スピンコート、浸漬または噴霧印刷などの公知の方法に
より、シリコンウエハー、金属板、プラスチック板など
の基板上に塗布し、塗膜を形成し、前記のカラーフィル
ター保護膜の形成と同様にプリベーク、ポストベークす
ることにより、硬化膜を形成することができ、電気部品
の基板の平坦化などに用いることができる。

【００２４】以下、合成例および実施例によって、本発
明を具体的に説明するが、本発明はこれらの合成例およ
び実施例により限定されるものではない。以下に示す各
例の「部」はすべて「重量部」である。重合体の極限粘
度は、ジエチレングリコールジメチルエーテル溶液中３
０℃で測定した。

【００２５】エポキシ基含有（メタ）アクリル系重合体
｛（Ａ）成分｝の合成（合成例１）メタクリル酸グリシジル（以下、ＧＭＡと
略す）の４０部、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン（以下、
ＶＰと略す）の２０部、およびアゾビスイソブチロニト
リル（以下ＡＩＢＮと略記する）の２部を、メチルエチ
ルケトンの３００部に溶解させて後、６０℃で４時間、
続いて８０℃で１２時間重合を行った。得られた反応液
を多量のｎ−ヘプタン中に移してポリマーを沈殿させ、
濾別した後５０℃の真空乾燥器中で一昼夜減圧乾燥し、
共重合体（Ａ−Ｉとする）を得た。得られた共重合体の
極限粘度は０．０９５であった。

【００２６】（合成例２）ＧＭＡの２０部、ＶＰの２５
部、ＭＭＡの５部、およびＡＩＢＮの２部を、メチルエ
チルケトンの３００部中に溶解させた以外は合成例１と
同様に合成し、極限粘度０．１４の共重合体（Ａ−II)
を得た。

【００２７】カルボン酸基および多価カルボン酸無水物
基の内１種以上を含有する（メタ）アクリル系重合体
｛（Ｂ）成分｝の合成（合成例３）ＭＡの３０部、ＭＭＡの７０部およびＡＩ
ＢＮの１部をジエチレングリコールジメチルエーテルの
３００部に溶解させた以外は合成例１と同様に合成し、
極限粘度０．１８の共重合体（Ｂ−Ｉ）を得た。

【００２８】（合成例４）ＭＡＨの３０部、ＭＡの１０
部、ＭＭＡの５０部、スチレンの１０部、およびＡＩＢ
Ｎの１部を、メチルエチルケトンの３００部中に溶解さ
せた以外は合成例１と同様に合成し、極限粘度０．１４
の共重合体（Ｂ−II)を得た。

【００２９】（実施例１）（Ａ）成分として重合体（Ａ
−Ｉ）を３６部、（Ｂ）成分として重合体（Ｂ−Ｉ）を
６４部、（Ｃ）成分としてペンタエリスリトールトリア
クリラートを１２０部、（Ｄ）成分として２−メチル−
１−｛４−（メチルチオ）フェニル｝−２−モルフォリ
ノプロパン−１を５部、エチル−ｐ−（Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアミノ）ベンゾエートを５部、イソプロピルチオキサ
ントンを３部およびシランカップリング剤（チッソ
（株）製：Ｓ５１０）５部を、溶媒のジエチレングリコ
ールジメチルエーテル（ＤＩＧと略す）の３００部に溶
解させ、紫外線硬化性樹脂組成物を調製した。

【００３０】この樹脂組成物をガラス板上に塗布し、７
０℃に保たれたホットプレート上で２０分間プリベーク
し、塗膜を形成した。これらの塗膜にマスクを通して超
高圧水銀灯（２０ｍｗ／ｃｍ2 ）で２０秒間露光した。
これらを２％炭酸ナトリウムからなる現像液に２分間浸
漬することにより現像を行い、水でリンスした。更に２
００℃のオーブン中で１時間ポストベークを行ったとこ
ろ、未露光部には残膜はなく、露光部には透明な膜が残
存していた。これとは別に同様な条件で全面露光した
後、現像液に浸漬することなくポストベークを行い塗膜
を形成した。

【００３１】露光後現像液に浸漬して得た膜と露光後現
像液に浸漬しないで得た膜、すなわち現像の有無による
各々の膜厚を測定し、次の式により残膜率を測定し、結
果を表１に示した。残膜率＝｛露光後膜厚（現像あり）／露光後膜厚（現像
なし）｝×１００次に、カラーフィルター保護膜として必要な特性である
透明性、基板との密着性、耐薬品性、耐熱性および耐ス
パッター性について測定した。またエポキシ基含有重合
体を低分子量酸無水物と混合した樹脂組成物の物性を比
較例１として示した。これらの結果を表１に示す。

【００３２】カラーフィルター保護膜に必要な特性はつ
ぎの方法で測定し、結果を表１に示す。（透明性）島津製作所製分光光度計ＵＶ−２１０Ａによ
り光透過性を測定し、波長４００ｎｍでの光透過率を示
した。（耐熱性）２５０℃で３時間熱処理後の透明性を示し
た。（耐薬品性）Ｎ−メチル−２−ピロリドン液に室温で３
０分間垂直に固定して浸し、液中に没している部分とそ
うでない部分との境界線が目視により見分けられるかど
うかを判定した。境界線が目視できる場合を×、できな
い場合を○とした。（耐スパッター性）スパッターにより、２００℃で膜厚
２００オングストロームのＩＴＯ膜（インジュウムース
ズ酸化物）を硬化膜上に形成せしめた時、膜の皺発生の
有無を調べた。しわがある時を×、ない時を○とした。（密着性）硬化膜上に切り目を入れて一片１ｍｍの正方
形の小片を１００個作り、その表面にセロハンテープを
貼り付け直ちににはがした。その時セロハンテープと共
に硬化膜のはがれがある時を×とし、ない時を○とし
た。

【００３３】実施例２〜４各成分などの配合を表１に示すように調合する以外は、
実施例１と同様に行い、紫外線硬化性樹脂組成物を調製
した。該組成物の特性およびカラーフィルター保護膜に
必要な特性の測定結果を表１に示す。

【００３４】比較例１（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）成分を使用せず、架橋剤を
用いて、表１の配合とする以外、実施例１と同様に行
い、樹脂組成物を得た。該組成物のカラーフィルター保
護膜に必要な特性の測定結果を表１に示す。

【００３５】

【表１】

【００３６】表１の組成物の特性の結果から、本発明の
樹脂組成物から得た塗膜はアルカリ水溶液により現像が
可能であることが明らかである。

【００３７】

【発明の効果】本発明の樹脂組成物から得られた塗膜は
アルカリ水溶液により現像が可能であり、かつ硬化膜は
カラーフィルター保護膜の必要特性である透明性、耐熱
性、耐薬品性、耐スパッター性および密着性などをすべ
て充たしており、この用途に適した樹脂であることが明
らかである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１１ 7/028 7/038 ５０３

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】下記の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）および
（Ｄ）の４成分を含有することを特徴とする紫外線硬化
性樹脂組成物。（Ａ）一般式(Ｉ) 【化１】で示される構造単位と、一般式(II) 【化２】で示される構造単位とを主構造単位として含み、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル中における３０℃での
極限粘度が０．０５〜１であるエポキシ基含有（メタ）
アクリル系共重合体。（Ｂ）ジエチレングリコールジメチルエーテル中におけ
る３０℃での極限粘度が０．０５〜１であるカルボン酸
基および多価カルボン酸無水物基の内の１種以上を含有
する（メタ）アクリル系重合体。（Ｃ）（メタ）アクリル基を有する単量体。（Ｄ）光重合開始剤。（ただし、一般式(Ｉ)および(II)において、Ｒ¹ および
Ｒ² は独立に水素原子または炭素数１〜５の炭化水素基
であり、ｍは１〜４の整数を示す）。
【請求項２】（Ａ）成分の一般式(Ｉ)で示される構造単
位がメタクリル酸グリシジルから導かれるものであり、
一般式(II)で示される構造単位が、Ｎ−ビニル−２−ピ
ロリドンから導かれるものであり、かつ（Ｂ）成分が、
メタクリル酸メチル、メタクリル酸および無水マレイン
酸から得られる共重合体、メタクリル酸メチルおよびメ
タクリル酸から得られる共重合体、またはメタクリル酸
メチルおよび無水マレイン酸とから得られる共重合体で
あることを特徴とする請求項１に記載の紫外線硬化性樹
脂組成物。
【請求項３】下記の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）および
（Ｄ）の４成分を含有する紫外線硬化性樹脂組成物を基
板に塗布し、必要によりプリベークし、紫外線を照射
し、必要によりエッチングを行い、また必要によりポス
トベークを行うことにより得られるカラーフィルター保
護膜。（Ａ）一般式(Ｉ) 【化３】で示される構造単位と、一般式(II) 【化４】で示される構造単位とを主構造単位として含み、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル中における３０℃での
極限粘度が０．０５〜１であるエポキシ基含有（メタ）
アクリル系共重合体。（Ｂ）ジエチレングリコールジメチルエーテル中におけ
る３０℃での極限粘度が０．０５〜１であるカルボン酸
基および多価カルボン酸無水物基の内の１種以上を含有
する（メタ）アクリル系重合体。（Ｃ）（メタ）アクリル基を有する単量体。（Ｄ）光重合開始剤。（ただし、一般式(Ｉ)および(II)において、Ｒ¹および
Ｒ²は独立に水素原子または炭素数１〜５の炭化水素基
であり、ｍは１〜４の整数を示す）。