JPH0614458B2 - 磁区観察装置 - Google Patents
磁区観察装置Info
- Publication number
- JPH0614458B2 JPH0614458B2 JP62133074A JP13307487A JPH0614458B2 JP H0614458 B2 JPH0614458 B2 JP H0614458B2 JP 62133074 A JP62133074 A JP 62133074A JP 13307487 A JP13307487 A JP 13307487A JP H0614458 B2 JPH0614458 B2 JP H0614458B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- objective lens
- magnetic domain
- pole
- pole piece
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、対物レンズをオフにして磁区を観察する磁区
観察装置に関する。
観察装置に関する。
〔従来の技術〕 第２図は磁区観察装置の従来例を示す図であり、１はヨ
ーク、２と２′はポールピース、９は補助レンズ、１０
はコイル、１１は試料ホルダーを示す。
ーク、２と２′はポールピース、９は補助レンズ、１０
はコイル、１１は試料ホルダーを示す。
電子顕微鏡により、通常の透過顕微鏡像を観る場合に
は、試料の位置でフォーカス（ジャストフォーカス）し
て試料像を観察する。他方、試料の磁区による干渉像を
観察（磁区観察）する場合には、若干デフォーカスにし
干渉のコントラストがよく観えるようにして観察する。
は、試料の位置でフォーカス（ジャストフォーカス）し
て試料像を観察する。他方、試料の磁区による干渉像を
観察（磁区観察）する場合には、若干デフォーカスにし
干渉のコントラストがよく観えるようにして観察する。
従来の透過型電子顕微鏡における磁区観察は、例えば第
２図に示すような構成により行われる。その１つは、第
２図(a)に示すような磁区観察用として試料の位置に磁
界が発生しないようにした特殊の形状のポールピース
２′を用いるものであり、もう１つは、第２図(b)に示
すように対物レンズをオフにし結像側の補助レンズ９等
を対物レンズとする場合である。
２図に示すような構成により行われる。その１つは、第
２図(a)に示すような磁区観察用として試料の位置に磁
界が発生しないようにした特殊の形状のポールピース
２′を用いるものであり、もう１つは、第２図(b)に示
すように対物レンズをオフにし結像側の補助レンズ９等
を対物レンズとする場合である。
ところが、第２図(b)に示すような対物レンズをオフに
し結像側のいずれかのレンズを対物レンズとする場合に
は、対物レンズをオフにしても、対物レンズに残留磁気
があるため、対物レンズギャップ間に大きな残留磁界が
発生するという問題がある。
し結像側のいずれかのレンズを対物レンズとする場合に
は、対物レンズをオフにしても、対物レンズに残留磁気
があるため、対物レンズギャップ間に大きな残留磁界が
発生するという問題がある。
本発明は、上記の問題点を解決するものであって、対物
レンズをオフにして磁区観察を行う場合において、残留
磁界による影響を低減せしめた磁区観察装置を提供する
ことを目的とするものである。
レンズをオフにして磁区観察を行う場合において、残留
磁界による影響を低減せしめた磁区観察装置を提供する
ことを目的とするものである。
そのために本発明の磁区観察装置は、対物レンズをオフ
にし結像側のレンズを対物レンズとして試料の磁区観察
を行う磁区観察装置において、ポールピース上極とポー
ルピース下極との間に形成される対物レンズギャップの
磁路を短絡、退避する磁性体を設け、通常の像観察を行
う場合には磁性体を対物レンズギャップから退避させ、
対物レンズをオフにして磁区観察を行う場合には磁性体
により対物レンズギャップ間の磁路を短絡して残留磁束
をバイパスするように構成したことを特徴とするもので
ある。
にし結像側のレンズを対物レンズとして試料の磁区観察
を行う磁区観察装置において、ポールピース上極とポー
ルピース下極との間に形成される対物レンズギャップの
磁路を短絡、退避する磁性体を設け、通常の像観察を行
う場合には磁性体を対物レンズギャップから退避させ、
対物レンズをオフにして磁区観察を行う場合には磁性体
により対物レンズギャップ間の磁路を短絡して残留磁束
をバイパスするように構成したことを特徴とするもので
ある。
本発明の磁区観察装置では、通常の顕微鏡像観察におい
ては磁性体を対物レンズギャップ間の短絡位置から退避
させ、磁区観察を行う際に対物レンズギャップ間の磁路
を短絡する位置まで磁性体を移動させることができるの
で、対物レンズに残留磁気があっても磁区観察時には残
留磁束をバイパスさせることができ、試料の位置におけ
る残留磁界を小さくすることができる。
ては磁性体を対物レンズギャップ間の短絡位置から退避
させ、磁区観察を行う際に対物レンズギャップ間の磁路
を短絡する位置まで磁性体を移動させることができるの
で、対物レンズに残留磁気があっても磁区観察時には残
留磁束をバイパスさせることができ、試料の位置におけ
る残留磁界を小さくすることができる。
以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
第１図は磁区観察装置の１実施例を示す図であり、１は
ヨーク、２はポールピース上極、３はポールピース下
極、４は磁性体、５は軸、６は穴、７はカバー、８は突
起部、９は補助レンズを示す。
ヨーク、２はポールピース上極、３はポールピース下
極、４は磁性体、５は軸、６は穴、７はカバー、８は突
起部、９は補助レンズを示す。
第１図において、磁性体４は、ポールピース上極２とポ
ールピース下極３に密着にしてポールピース上極２とポ
ールピース下極３との間で形成される対物レンズギャッ
プ間の磁路を短絡可能にするものである。そのために、
対物レンズのヨーク１には孔６を設け、この孔６にＯリ
ングシールした軸５を嵌合する。そして、その先端に
は、対物レンズのポールピース上極２とポールピース下
極３に密着する形状にした磁性体４を取り付け、反対側
のヨーク外側端部には、軸５の位置に固定するための突
起部８を設ける。この突起部８は、ヨーク１に固定され
たカバー７の溝穴に沿って動き、磁性体が図中Ａ又はＢ
に対応する位置にあるとき軸５と垂直な溝穴に嵌合し、
磁性体４の位置が固定される。
ールピース下極３に密着にしてポールピース上極２とポ
ールピース下極３との間で形成される対物レンズギャッ
プ間の磁路を短絡可能にするものである。そのために、
対物レンズのヨーク１には孔６を設け、この孔６にＯリ
ングシールした軸５を嵌合する。そして、その先端に
は、対物レンズのポールピース上極２とポールピース下
極３に密着する形状にした磁性体４を取り付け、反対側
のヨーク外側端部には、軸５の位置に固定するための突
起部８を設ける。この突起部８は、ヨーク１に固定され
たカバー７の溝穴に沿って動き、磁性体が図中Ａ又はＢ
に対応する位置にあるとき軸５と垂直な溝穴に嵌合し、
磁性体４の位置が固定される。
上記のように構成した磁区観察装置によると、通常の像
観察の場合には、突起部８により磁性体４をＢの位置に
固定し、対物レンズをオンにして、対物レンズギャップ
間に磁場を形成せしめることによって像観察を行う。こ
れに対して磁区観察の場合には、対物レンズをオフにし
突起部８により磁性体４をＡの位置に固定することによ
って、ポールピース上極２とポールピース下極３に磁性
体４を密着させる。このようにして対物レンズ残留磁気
による磁束は、図示矢印のように磁性体４を通すので、
試料付近での残留磁気による磁場を小さくすることがで
き、その影響を排除し補助レンズ９を励磁して像観察を
行うことができる。
観察の場合には、突起部８により磁性体４をＢの位置に
固定し、対物レンズをオンにして、対物レンズギャップ
間に磁場を形成せしめることによって像観察を行う。こ
れに対して磁区観察の場合には、対物レンズをオフにし
突起部８により磁性体４をＡの位置に固定することによ
って、ポールピース上極２とポールピース下極３に磁性
体４を密着させる。このようにして対物レンズ残留磁気
による磁束は、図示矢印のように磁性体４を通すので、
試料付近での残留磁気による磁場を小さくすることがで
き、その影響を排除し補助レンズ９を励磁して像観察を
行うことができる。
なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変更が可能である。例えば上記の実施例で
は、カバー７の溝穴と突起部８を使って磁性体の位置を
固定したが、他の構造により磁性体を固定するようにし
てもよい。
く、種々の変更が可能である。例えば上記の実施例で
は、カバー７の溝穴と突起部８を使って磁性体の位置を
固定したが、他の構造により磁性体を固定するようにし
てもよい。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、対物
レンズギャップ間に磁性体を配置し、磁区観察の場合に
磁性体を挿入するように構成したので、残留磁界による
磁束をこの磁性体によりバイパスさせることができる。
従って、試料をおく部分の磁場を小さくすることができ
る。
レンズギャップ間に磁性体を配置し、磁区観察の場合に
磁性体を挿入するように構成したので、残留磁界による
磁束をこの磁性体によりバイパスさせることができる。
従って、試料をおく部分の磁場を小さくすることができ
る。
第１図は磁区観察装置の１実施例を示す図、第２図は磁
区観察装置の従来例を示す図である。 １……ヨーク、２……ポールピース上極、３……ポール
ピース下極、４……磁性体、５……軸、６……穴、７…
…カバー、８……把手、９……補助レンズ。
区観察装置の従来例を示す図である。 １……ヨーク、２……ポールピース上極、３……ポール
ピース下極、４……磁性体、５……軸、６……穴、７…
…カバー、８……把手、９……補助レンズ。
Claims (1)
- 【請求項１】対物レンズをオフにし結像側のレンズを対
物レンズとして試料の磁区観察を行う磁区観察装置にお
いて、ポールピース上極とポールピース下極との間に形
成される対物レンズギャップの磁路を短絡、退避する磁
性体を設け、通常の像観察を行う場合には磁性体を対物
レンズギャップから退避させ、対物レンズをオフにして
磁区観察を行う場合には磁性体により対物レンズギャッ
プ間の磁路を短絡して残留磁束をバイパスするように構
成したことを特徴とする磁区観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62133074A JPH0614458B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 磁区観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62133074A JPH0614458B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 磁区観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298947A JPS63298947A (ja) | 1988-12-06 |
| JPH0614458B2 true JPH0614458B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=15096237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62133074A Expired - Lifetime JPH0614458B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 磁区観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614458B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3469213B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2003-11-25 | 株式会社日立製作所 | 磁場印加試料観察システム |
| JP4323376B2 (ja) * | 2004-05-21 | 2009-09-02 | 国立大学法人東北大学 | 磁性マイクロプローブを具備した電子顕微鏡 |
| US9310596B2 (en) | 2010-04-06 | 2016-04-12 | Inter-University Research Institute Corporation National Institute Of Natural Sciences | Compound microscope device |
| JP6718782B2 (ja) | 2016-09-21 | 2020-07-08 | 日本電子株式会社 | 対物レンズおよび透過電子顕微鏡 |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP62133074A patent/JPH0614458B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63298947A (ja) | 1988-12-06 |
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