JPS626300B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS626300B2 JPS626300B2 JP53147927A JP14792778A JPS626300B2 JP S626300 B2 JPS626300 B2 JP S626300B2 JP 53147927 A JP53147927 A JP 53147927A JP 14792778 A JP14792778 A JP 14792778A JP S626300 B2 JPS626300 B2 JP S626300B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- sample
- deflection
- objective lens
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 29
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子顕微鏡の観察視野移動装置、特に
電気的な手段による電子顕微鏡の観察視野移動装
置に関する。
電気的な手段による電子顕微鏡の観察視野移動装
置に関する。
観察を目的とする視野を螢光板の中心に出すた
めには通常、機械的に試料を動かす試料微動装置
が用いられる。例えば、観察倍率が50万倍の場
合、通常直径100mm程度の螢光板の端から中央ま
で50mm視野を動かすとき、試料としては１μｍ動
かすだけでよい。しかし、機械的な試料微動装置
ではガタ等が必らずあり、このような微少量を精
度良く動かすことは極めて困難である。
めには通常、機械的に試料を動かす試料微動装置
が用いられる。例えば、観察倍率が50万倍の場
合、通常直径100mm程度の螢光板の端から中央ま
で50mm視野を動かすとき、試料としては１μｍ動
かすだけでよい。しかし、機械的な試料微動装置
ではガタ等が必らずあり、このような微少量を精
度良く動かすことは極めて困難である。
他方、機械的に試料を動かさずに、第１図に示
したような電子線偏向手段による視野移動装置も
ある。第１図において、対物レンズ３の下に光軸
１に沿つてｘ方向ｙ方向の２つの偏向コイル６か
らなる１段の偏向手段が設けられており、これに
基準電圧源８で制御された電流が偏向コイル電源
７よりそれぞれ供給される。このような構成で光
軸１を通る電子線をθだけ偏向することで透過電
子線像５をΔｘだけ移動させることができる。
したような電子線偏向手段による視野移動装置も
ある。第１図において、対物レンズ３の下に光軸
１に沿つてｘ方向ｙ方向の２つの偏向コイル６か
らなる１段の偏向手段が設けられており、これに
基準電圧源８で制御された電流が偏向コイル電源
７よりそれぞれ供給される。このような構成で光
軸１を通る電子線をθだけ偏向することで透過電
子線像５をΔｘだけ移動させることができる。
電子線偏向手段を使えば、移動量が電気的に制
御できるので、ガタあるいはバツクラツシユ等の
影響のない精度の良い観察視野の移動ができる。
しかし、この場合には、第１図に示したように対
物レンズ３の後焦点Ｆが、見かけ上F′に移動し
てしまう。これは、電子顕微鏡で試料２の回折像
を見たとき、回折像もまた移動してしまうことを
意味する。電子顕微鏡で試料２を観察する場合に
試料の透過電子線像とその回折像とを交互に対比
することが、頻繁に行われ、回折像が動いてしま
つては、電子顕微鏡の機能の半分が失われるとい
つても過言ではない。
御できるので、ガタあるいはバツクラツシユ等の
影響のない精度の良い観察視野の移動ができる。
しかし、この場合には、第１図に示したように対
物レンズ３の後焦点Ｆが、見かけ上F′に移動し
てしまう。これは、電子顕微鏡で試料２の回折像
を見たとき、回折像もまた移動してしまうことを
意味する。電子顕微鏡で試料２を観察する場合に
試料の透過電子線像とその回折像とを交互に対比
することが、頻繁に行われ、回折像が動いてしま
つては、電子顕微鏡の機能の半分が失われるとい
つても過言ではない。
回折像を固定し、透過電子線像だけを移動する
には、偏向手段を対物レンズ３の後焦点Ｆ面内に
設ければ良いが、通常後焦点Ｆは、対物レンズポ
ールピース内にあるので、この位置に偏向手段を
設けることは機械的に実際上困難である。
には、偏向手段を対物レンズ３の後焦点Ｆ面内に
設ければ良いが、通常後焦点Ｆは、対物レンズポ
ールピース内にあるので、この位置に偏向手段を
設けることは機械的に実際上困難である。
本発明の目的は、上記困難を克服しつつ試料の
回折像を移動させずに透過電子線像だけを精度よ
く移動することができ、かつ視野選択時の明るさ
の逃げを防止することができる電子顕微鏡の観察
視野移動装置を提供するにある。
回折像を移動させずに透過電子線像だけを精度よ
く移動することができ、かつ視野選択時の明るさ
の逃げを防止することができる電子顕微鏡の観察
視野移動装置を提供するにある。
第２図は本発明の一実施例である。同図におい
て、試料２の透過電子線像５は対物レンズ３によ
りその像面に形成される。対物レンズ３の下方に
は、それぞれｘ方向、ｙ方向の偏向コイルからな
る第１偏向手段６と第２偏向手段７が設けられ、
各偏向コイルには、基準電圧源９で制御された電
流が偏向電源８から供給される。このような構成
で透過電子像を移動する場合、まず第１偏向手段
６で角度θ１だけ電子線を偏向し、つぎに第２偏
向手段７で角度θ２だけ振戻す。いま、対物レン
ズ３の後焦点Ｆと第１偏向手段６の距離をl1、第
１偏向手段６と第２偏向手段７との距離をl2とし
たとき、 θ１／θ２＝ｌ１＋ｌ２／ｌ１ (1) の関係を満たすようにθ１，θ２を決めると、電
子線の偏向支点は、見かけ上、対物レンズの後焦
点Ｆと一致する。Ｆでの偏向角θ３は θ３＝θ１−θ２ (2) であり、透過電子線像の移動量Δｘは、 Δｘ＝Ｌθ３＝Ｌ・ｌ２／ｌ１＋ｌ２θ１ (3) となる。
て、試料２の透過電子線像５は対物レンズ３によ
りその像面に形成される。対物レンズ３の下方に
は、それぞれｘ方向、ｙ方向の偏向コイルからな
る第１偏向手段６と第２偏向手段７が設けられ、
各偏向コイルには、基準電圧源９で制御された電
流が偏向電源８から供給される。このような構成
で透過電子像を移動する場合、まず第１偏向手段
６で角度θ１だけ電子線を偏向し、つぎに第２偏
向手段７で角度θ２だけ振戻す。いま、対物レン
ズ３の後焦点Ｆと第１偏向手段６の距離をl1、第
１偏向手段６と第２偏向手段７との距離をl2とし
たとき、 θ１／θ２＝ｌ１＋ｌ２／ｌ１ (1) の関係を満たすようにθ１，θ２を決めると、電
子線の偏向支点は、見かけ上、対物レンズの後焦
点Ｆと一致する。Ｆでの偏向角θ３は θ３＝θ１−θ２ (2) であり、透過電子線像の移動量Δｘは、 Δｘ＝Ｌθ３＝Ｌ・ｌ２／ｌ１＋ｌ２θ１ (3) となる。
このようにして、見かけ上の偏向支点を対物レ
ンズの後焦点Ｆに一致させると、視野をΔｘだけ
移動しても、回折像（対物レンズの後焦点Ｆの
像）が移動することはない。
ンズの後焦点Ｆに一致させると、視野をΔｘだけ
移動しても、回折像（対物レンズの後焦点Ｆの
像）が移動することはない。
一般に偏向角θは、コイルの電流ｉとターン数
ｎに比例するので、コイルに窓面積を一定とした
とき第１および第２の偏向手段の偏向コイルのタ
ーン数n1，n2を ｎ１／ｎ２＝ｌ１＋ｌ２／ｌ１ (4) を満足するよう決めれば、第１、第２の偏向手段
の偏向コイルを直列に接続して、任意のコイル電
流に対して式(1)を満たすことができる。
ｎに比例するので、コイルに窓面積を一定とした
とき第１および第２の偏向手段の偏向コイルのタ
ーン数n1，n2を ｎ１／ｎ２＝ｌ１＋ｌ２／ｌ１ (4) を満足するよう決めれば、第１、第２の偏向手段
の偏向コイルを直列に接続して、任意のコイル電
流に対して式(1)を満たすことができる。
このように本実施例によれば、視野の移動量Δ
ｘが電気的に調整できるので、その移動を精度良
く行うことができ、しかも回折像が逃げることも
ない。もちろん、第１および第２の偏向手段６お
よび７は対物レンズ３の後焦点面および像面間に
配置されるのであるから、対物レンズ３の後焦点
距離が短い場合でも第１および第２の偏向手段６
および７の配置上の困難さは特に生じない。
ｘが電気的に調整できるので、その移動を精度良
く行うことができ、しかも回折像が逃げることも
ない。もちろん、第１および第２の偏向手段６お
よび７は対物レンズ３の後焦点面および像面間に
配置されるのであるから、対物レンズ３の後焦点
距離が短い場合でも第１および第２の偏向手段６
および７の配置上の困難さは特に生じない。
なお、偏向手段としては、偏向コイルに限る訳
ではなく、例えば、偏向電極を用いても、同一の
効果を生じさせることができる。
ではなく、例えば、偏向電極を用いても、同一の
効果を生じさせることができる。
第３図は本発明のもう一つのポイントを説明す
るための観察視野移動装置の他の実施例である。
同図においては、第２図で述べた実施例と同じ
く、対物レンズ３により試料２の像が対物レンズ
３の像面に結像され、この像は２段の偏向手段
６，７により電子線を第２図の場合と同じく対物
レンズ３の後焦点Ｆが偏向支点となるように偏向
することによつて移動させることができる。しか
し、試料２を照射する電子線のビーム径を、像の
移動量より小さくした場合を考えてみると、試料
２の透過電子線は４ａに示した光路を通り像面の
中心から大きくそれてしまい、ついには像面上に
は明るさが全く現れなくなることも考えられる。
すなわち、一般に試料を照射する電子線のビーム
径は倍率が非常に高い場合は数ミクロン程度に小
さいから、このような場合像の移動量をあまり大
きくすると試料の電子線照射部以外の部分が視野
選択されることになつて像面上には像が現れなく
なり、したがつて像面上から明るさが消えてしま
う（いわゆる明るさの逃げである）。
るための観察視野移動装置の他の実施例である。
同図においては、第２図で述べた実施例と同じ
く、対物レンズ３により試料２の像が対物レンズ
３の像面に結像され、この像は２段の偏向手段
６，７により電子線を第２図の場合と同じく対物
レンズ３の後焦点Ｆが偏向支点となるように偏向
することによつて移動させることができる。しか
し、試料２を照射する電子線のビーム径を、像の
移動量より小さくした場合を考えてみると、試料
２の透過電子線は４ａに示した光路を通り像面の
中心から大きくそれてしまい、ついには像面上に
は明るさが全く現れなくなることも考えられる。
すなわち、一般に試料を照射する電子線のビーム
径は倍率が非常に高い場合は数ミクロン程度に小
さいから、このような場合像の移動量をあまり大
きくすると試料の電子線照射部以外の部分が視野
選択されることになつて像面上には像が現れなく
なり、したがつて像面上から明るさが消えてしま
う（いわゆる明るさの逃げである）。
このような欠点を除くために、第３図の実施例
では、偏向コイル１０とそのための偏向電源８ｂ
および基準電圧源９ｂが設けられている。即ち、
第１偏向手段６、第２偏向手段７の２段で偏向さ
れた透過電子線の移動量と明るさの逃げ量とは当
然のことながら一致するので、基準電圧源９ａに
連動して基準電圧源９ｂを制御することにより視
野の移動量θに比例するように偏向手段１０によ
る電子線の偏向量を調整すれば電子線は４ｂの
光路を通り明るさは常に像面の中心にある。
では、偏向コイル１０とそのための偏向電源８ｂ
および基準電圧源９ｂが設けられている。即ち、
第１偏向手段６、第２偏向手段７の２段で偏向さ
れた透過電子線の移動量と明るさの逃げ量とは当
然のことながら一致するので、基準電圧源９ａに
連動して基準電圧源９ｂを制御することにより視
野の移動量θに比例するように偏向手段１０によ
る電子線の偏向量を調整すれば電子線は４ｂの
光路を通り明るさは常に像面の中心にある。
このように、基準電圧源９ａに連動させて、基
準電圧源９ｂを変化されば、像面の中心に常に明
るさを固定できる訳であるが、偏向手段１０とし
ては、従来の透過形電子顕微鏡に常に設けられて
いる明るさ移動用の偏向手段を用いればよい。
準電圧源９ｂを変化されば、像面の中心に常に明
るさを固定できる訳であるが、偏向手段１０とし
ては、従来の透過形電子顕微鏡に常に設けられて
いる明るさ移動用の偏向手段を用いればよい。
以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば偏向手段の配置上の困難さを克服しつつ試料の
回折像を移動させずに透過電子線像だけを精度よ
く移動することができるとともに、視野選択時の
明るさの逃げを防止することができる。
ば偏向手段の配置上の困難さを克服しつつ試料の
回折像を移動させずに透過電子線像だけを精度よ
く移動することができるとともに、視野選択時の
明るさの逃げを防止することができる。
第１図は従来の電子顕微鏡の観察視野移動装置
の概念図、第２図は本発明の一つのポイントを説
明するための一実施例を示す電子顕微鏡の観察視
野移動装置の概念図、第３図は本発明のもう一つ
のポイントを説明するための一実施例を示す電子
顕微鏡の観察視野移動装置の概念図である。 ２……試料、３……対物レンズ、５……透過電
子線像、６，７，１０……偏向手段、８……偏向
電源、９……基準電圧源。
の概念図、第２図は本発明の一つのポイントを説
明するための一実施例を示す電子顕微鏡の観察視
野移動装置の概念図、第３図は本発明のもう一つ
のポイントを説明するための一実施例を示す電子
顕微鏡の観察視野移動装置の概念図である。 ２……試料、３……対物レンズ、５……透過電
子線像、６，７，１０……偏向手段、８……偏向
電源、９……基準電圧源。
Claims (1)
- １ 対物レンズの像面に形成される試料の透過電
子線像を移動させるように上記試料の透過電子線
を偏向する手段と、上記試料を照射する電子線を
偏向する手段とを備え、上記試料透過電子線偏向
手段は偏向支点が上記対物レンズの後焦点と実質
的に一致した状態で上記透過電子線を偏向させる
ように上記対物レンズの後焦点と前記対物レンズ
の像面との間に配置された少なくとも２段の電子
線偏向器からなり、上記試料の照射電子線偏向手
段は前記透過電子線の偏向に比例して上記試料照
射電子線を偏向するように上記試料透過電子線偏
向手段と連動していることを特徴とする電子顕微
鏡の観察視野移動装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14792778A JPS5576560A (en) | 1978-12-01 | 1978-12-01 | Observation field moving device for electron microscope |
| US06/098,664 US4283627A (en) | 1978-12-01 | 1979-11-29 | Electron microscope |
| GB7941496A GB2039139B (en) | 1978-12-01 | 1979-11-30 | Transmissions electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14792778A JPS5576560A (en) | 1978-12-01 | 1978-12-01 | Observation field moving device for electron microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5576560A JPS5576560A (en) | 1980-06-09 |
| JPS626300B2 true JPS626300B2 (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=15441220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14792778A Granted JPS5576560A (en) | 1978-12-01 | 1978-12-01 | Observation field moving device for electron microscope |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4283627A (ja) |
| JP (1) | JPS5576560A (ja) |
| GB (1) | GB2039139B (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59157942A (ja) * | 1983-02-25 | 1984-09-07 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
| JPS6014739A (ja) * | 1983-07-06 | 1985-01-25 | Jeol Ltd | 電子線回折装置 |
| JPS614142A (ja) * | 1984-06-16 | 1986-01-10 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
| JPH0537398Y2 (ja) * | 1984-12-05 | 1993-09-21 | ||
| JPS61168852A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-30 | Hitachi Ltd | 透過形電子顕微鏡の焦点合せ装置 |
| DE3825103A1 (de) * | 1988-07-23 | 1990-01-25 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zum beleuchten eines objektes in einem transmissions-elektronenmikroskop |
| FR2672061B1 (fr) * | 1991-01-28 | 1993-10-15 | Metaleurop Sa | Procede d'obtention d'une poudre fine de cadmium dendritique et poudre obtenue par le procede. |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4833903B1 (ja) * | 1969-04-08 | 1973-10-17 | ||
| NL7604553A (nl) * | 1975-08-28 | 1977-03-02 | Siemens Ag | Met corpusculaire stralen werkende doorstraal- rastermicroscoop met energie-analysator. |
-
1978
- 1978-12-01 JP JP14792778A patent/JPS5576560A/ja active Granted
-
1979
- 1979-11-29 US US06/098,664 patent/US4283627A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-11-30 GB GB7941496A patent/GB2039139B/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5576560A (en) | 1980-06-09 |
| GB2039139B (en) | 1983-04-13 |
| US4283627A (en) | 1981-08-11 |
| GB2039139A (en) | 1980-07-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4649316A (en) | Ion beam species filter and blanker | |
| JP3942363B2 (ja) | 透過電子顕微鏡の位相板用レンズシステム、および透過電子顕微鏡 | |
| WO2015045476A1 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| US6759656B2 (en) | Electron microscope equipped with electron biprism | |
| JP2810797B2 (ja) | 反射電子顕微鏡 | |
| KR102277431B1 (ko) | 듀얼 빈 필터 모노크로메이터를 사용한 전자 빔 영상화 | |
| US6040576A (en) | Energy filter, particularly for an electron microscope | |
| JPH0279347A (ja) | 透過形電子顕微鏡における物体の照射方法及びそのための電子顕微鏡 | |
| JP2020047589A (ja) | 性能が向上されたマルチ電子ビーム撮像装置 | |
| JPH05314938A (ja) | 電子ビーム装置 | |
| JPS626300B2 (ja) | ||
| GB1563819A (en) | Scanning transmission microscopes | |
| JPS55121259A (en) | Elelctron microscope | |
| US3978338A (en) | Illumination system in a scanning electron microscope | |
| DE879876C (de) | Vorrichtung mit elektronenoptischer Abbildung einer photoelektrischen Kathode | |
| JP2003187730A (ja) | ビームセパレータ及び反射電子顕微鏡 | |
| KR100518812B1 (ko) | 주사 전자 현미경과 그 유사 장치에서 빈 필터에 의해발생되는 광행차의 감소 | |
| KR20040034600A (ko) | 입자 비임용 슬릿 렌즈장치 | |
| JP3790646B2 (ja) | 低エネルギー反射電子顕微鏡 | |
| GB2088124A (en) | Method of operating a transmission electron microscope | |
| JP2001508584A (ja) | エネルギフィルタ、透過型電子顕微鏡及びエネルギを濾波するための方法 | |
| SU1243046A1 (ru) | Электронный микроскоп | |
| JPS62140346A (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| JPS6314814B2 (ja) | ||
| JP3705760B2 (ja) | 最適電子光学設計による高性能ｘ線像観察装置 |