JPS6014739A - 電子線回折装置 - Google Patents
電子線回折装置Info
- Publication number
- JPS6014739A JPS6014739A JP12285983A JP12285983A JPS6014739A JP S6014739 A JPS6014739 A JP S6014739A JP 12285983 A JP12285983 A JP 12285983A JP 12285983 A JP12285983 A JP 12285983A JP S6014739 A JPS6014739 A JP S6014739A
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- JP
- Japan
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- electron beam
- deflection
- sample
- magnetic field
- angle
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は電子線の試料への入射角及び方位角を変化させ
ることにより試料の電子線回折像を得る装置に関する。
ることにより試料の電子線回折像を得る装置に関する。
［従来技術］
従来走査電子顕微鏡あるいは電子線走査手段を備えた複
合型電子顕微鏡においては、第１図に示すように、対物
レンズの上方磁界レンズ１ａを偏向手段として兼用する
と共に、この上方磁界レンズ１ａの上方に二段の偏向コ
イル２ａ、２ｂよりなる偏向手段を配置し、図示外の電
子銃より出射した電子線ＥＢをこれら偏向コイル２ａ、
２ｂにより偏向して、入射点を固定した状態で入射角θ
及び方位角Φを変化させて試料３に入射せしめ、試料３
によって回折された電子線のうち光軸Ｃ方向に出射した
電子を透過電子検出器４により検出し、該検出器４の出
力信号を前記入射角及び方位角の走査に同期走査されて
いる図示外の陰極線管に導入して、試料の電子線回折像
を表示するようにしている。尚、第１図において回折電
子線のうち太線ＥＢｏで示されたものは０次の回折線を
表わしている。
合型電子顕微鏡においては、第１図に示すように、対物
レンズの上方磁界レンズ１ａを偏向手段として兼用する
と共に、この上方磁界レンズ１ａの上方に二段の偏向コ
イル２ａ、２ｂよりなる偏向手段を配置し、図示外の電
子銃より出射した電子線ＥＢをこれら偏向コイル２ａ、
２ｂにより偏向して、入射点を固定した状態で入射角θ
及び方位角Φを変化させて試料３に入射せしめ、試料３
によって回折された電子線のうち光軸Ｃ方向に出射した
電子を透過電子検出器４により検出し、該検出器４の出
力信号を前記入射角及び方位角の走査に同期走査されて
いる図示外の陰極線管に導入して、試料の電子線回折像
を表示するようにしている。尚、第１図において回折電
子線のうち太線ＥＢｏで示されたものは０次の回折線を
表わしている。
又、他の方法としては、第２図に示すように試料３の下
方に偏向コイル５ａ、５ｂより成る偏向手段を配置し、
試料３を透過する際に回折された電子線ＥＢをこれら偏
向コイル５ａ、５ｂにより偏向して、透過電子検出器４
に入射する電子線の０次の回折線からの傾斜角θ′及び
方位角Φ′を切換えると共に、透過電子検出器４の出力
信号をこの傾斜角ｅ′及び方位角Φ′の走査に同期され
ている図示外の陰極線管に導入して、試料の電子線回折
像を表示するようにしている。尚、第１図において、Ｓ
は前方磁界レンズ１ａの物点てあり、第２図においてＳ
−は後方磁界レンズ１ｂの像点である。
方に偏向コイル５ａ、５ｂより成る偏向手段を配置し、
試料３を透過する際に回折された電子線ＥＢをこれら偏
向コイル５ａ、５ｂにより偏向して、透過電子検出器４
に入射する電子線の０次の回折線からの傾斜角θ′及び
方位角Φ′を切換えると共に、透過電子検出器４の出力
信号をこの傾斜角ｅ′及び方位角Φ′の走査に同期され
ている図示外の陰極線管に導入して、試料の電子線回折
像を表示するようにしている。尚、第１図において、Ｓ
は前方磁界レンズ１ａの物点てあり、第２図においてＳ
−は後方磁界レンズ１ｂの像点である。
しかしながら、このような従来装置においては、Ｏ又は
ｅ−を大きくとると偏向コイル及び対物レンズの収差に
より回折像が歪むため、ｅ又はθ−を大きく取った像を
観察づることはできなかった。
ｅ−を大きくとると偏向コイル及び対物レンズの収差に
より回折像が歪むため、ｅ又はθ−を大きく取った像を
観察づることはできなかった。
［発明の目的］
本発明はこのような従来の欠点を解決し、人きな角度で
回折された回折像を歪無く表示することのできる電子線
回折装置を提供するものである。
回折された回折像を歪無く表示することのできる電子線
回折装置を提供するものである。
［発明の構成］
本発明は対物レンズの前段に第１の偏向手段を設置し、
該対物レンズの前方磁界レンズを偏向手段として兼用し
、入射点を固定したまま入射角と方位角を変化させて電
子線を試料に入射させるだめの偏向信号を該第１の偏向
手段に供給するだめの手段を設け、対物レンズの後方磁
界レンズを偏向手段として兼用し、対物レンズの後方磁
界レンズの後段には第２の偏向手段を設４′Ｊると共に
、該第２の偏向手段によって偏向された電子のうち光軸
に沿って進行する電子を検出づ゛るための検出器を設け
、該検出器に大剣り−る電子線の０次の回折線に対する
傾斜角と方位角を変化させるための偏向信号を該第２の
偏向手段に供給するだめの手段を具備することを特徴と
している。
該対物レンズの前方磁界レンズを偏向手段として兼用し
、入射点を固定したまま入射角と方位角を変化させて電
子線を試料に入射させるだめの偏向信号を該第１の偏向
手段に供給するだめの手段を設け、対物レンズの後方磁
界レンズを偏向手段として兼用し、対物レンズの後方磁
界レンズの後段には第２の偏向手段を設４′Ｊると共に
、該第２の偏向手段によって偏向された電子のうち光軸
に沿って進行する電子を検出づ゛るための検出器を設け
、該検出器に大剣り−る電子線の０次の回折線に対する
傾斜角と方位角を変化させるための偏向信号を該第２の
偏向手段に供給するだめの手段を具備することを特徴と
している。
「実施例」
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第３図は本発明の一実施例を示すだめのもので、図中５
ａ、６ｂは対物レンズ６の前方及び後方磁界レンズであ
り、試料７はこれらレンズ６ａ、６ｂの間に配置されて
いる。前方磁界レンズ６ａの前段には偏向コイル８ａ、
８ｂが配置されでいる。
ａ、６ｂは対物レンズ６の前方及び後方磁界レンズであ
り、試料７はこれらレンズ６ａ、６ｂの間に配置されて
いる。前方磁界レンズ６ａの前段には偏向コイル８ａ、
８ｂが配置されでいる。
又後方磁界レンズ６ｂとレンズ６ｂの像点Ｓ２との間に
は二段の偏向コイル９ａ、９ｂが配置されている。偏向
コイル８ａと８ｂは同相の偏向信号が供給された際に、
逆向きに電子線を偏向覆るように互いに逆向きに巻かれ
ている。これは偏向コイル９ａと９ｂの関係にＪ３いて
も同様である。１１は走査信号発生回路であり、この走
査信号発生回路１１は鋸歯状の水平及び垂直走査信号を
発生づる。尚、第４図（ａ）には簡単のため、この水平
走査信号のみを示している。この走査信号発生回路１１
よりの走査信号は増幅器１２ｕにおいて、レンズ６ａと
偏向コイル８ａ、８ｂの収差が大きくならない限度内の
最大幅面出ツノまで増幅された後、第１の平衡回路１３
に供給される。第１の平衡回路１３は偏向コイル８ａに
より偏向された電子線ＥＢを偏向コイル８ｂの振り戻し
により、常にあたかも前方磁界レンズ６ａの物点ｓ１か
ら発生した電子線が前方磁界レンズ６ａに入射づる如く
偏向づ゛るため、偏向コイル８ａ、８ｂに供給づる走査
信号の大きさの比率を調節覆るための回路である。又、
走査信号発生回路１′１よりの走査信号は増幅器１２ｄ
により後方磁界レンズ６ｂと偏向コイル９ａ、９ｂの収
差が大きくならない限度内の最大偏向出力まで増幅され
た後、第２の平衡回路１４に供給される。第２の平衡回
路１４は後方磁界レンズ６ｂによって偏向された回折電
子線のうち、レンズ６ｂの像点Ｓ２に向かう電子線が透
過電子検出器１６に入射覆るように偏向コイル９ａ、９
ｂに供給する走査信号の大きさの比率を調節するだめの
回路である。又、１０ａ、１０ｂ。
は二段の偏向コイル９ａ、９ｂが配置されている。偏向
コイル８ａと８ｂは同相の偏向信号が供給された際に、
逆向きに電子線を偏向覆るように互いに逆向きに巻かれ
ている。これは偏向コイル９ａと９ｂの関係にＪ３いて
も同様である。１１は走査信号発生回路であり、この走
査信号発生回路１１は鋸歯状の水平及び垂直走査信号を
発生づる。尚、第４図（ａ）には簡単のため、この水平
走査信号のみを示している。この走査信号発生回路１１
よりの走査信号は増幅器１２ｕにおいて、レンズ６ａと
偏向コイル８ａ、８ｂの収差が大きくならない限度内の
最大幅面出ツノまで増幅された後、第１の平衡回路１３
に供給される。第１の平衡回路１３は偏向コイル８ａに
より偏向された電子線ＥＢを偏向コイル８ｂの振り戻し
により、常にあたかも前方磁界レンズ６ａの物点ｓ１か
ら発生した電子線が前方磁界レンズ６ａに入射づる如く
偏向づ゛るため、偏向コイル８ａ、８ｂに供給づる走査
信号の大きさの比率を調節覆るための回路である。又、
走査信号発生回路１′１よりの走査信号は増幅器１２ｄ
により後方磁界レンズ６ｂと偏向コイル９ａ、９ｂの収
差が大きくならない限度内の最大偏向出力まで増幅され
た後、第２の平衡回路１４に供給される。第２の平衡回
路１４は後方磁界レンズ６ｂによって偏向された回折電
子線のうち、レンズ６ｂの像点Ｓ２に向かう電子線が透
過電子検出器１６に入射覆るように偏向コイル９ａ、９
ｂに供給する走査信号の大きさの比率を調節するだめの
回路である。又、１０ａ、１０ｂ。
１５ａ、１５ｂは増幅器である。透過電子検出器１６よ
りの出力信号は増幅器１７を介して陰極線管１８に輝度
信号として供給されている。この陰極線管１８の偏向コ
イルＤには前記走査信号発生回路１１よりの走査信号が
供給されでいる。
りの出力信号は増幅器１７を介して陰極線管１８に輝度
信号として供給されている。この陰極線管１８の偏向コ
イルＤには前記走査信号発生回路１１よりの走査信号が
供給されでいる。
このような構成において、走査信号発生回路１１より第
４図（ａ＞に示す水平走査信号と図示してはいないが垂
直走査信号を発生させれば、各々第１．第２の平衡回路
１３．１４には各々第４図（ｂ）、（Ｇ）に示づ毎き走
査信号が供給される・（以下、簡単のため、水平走査信
号のみを示す“）。
４図（ａ＞に示す水平走査信号と図示してはいないが垂
直走査信号を発生させれば、各々第１．第２の平衡回路
１３．１４には各々第４図（ｂ）、（Ｇ）に示づ毎き走
査信号が供給される・（以下、簡単のため、水平走査信
号のみを示す“）。
そのため、図示外の電子銃よりの電子線ＥＢは偏向コイ
ル８ａにより光軸Ｃから離れる向きに偏向され、偏向コ
イル８ｂにより、振り戻され、常に前方磁界レンズ６ａ
の物点Ｓ１からの電子線の如く前方磁界レンズ６ａに入
射する。従って、電子線ＥＢは試料７にお【ノる入射点
をＰに固定した状態において、入射角０１及び方位角φ
１が走査される。この点Ｐから回折された電子線は後方
磁界レンズ６ｂに入射して偏向された後、偏向コイル９
ａによって光軸Ｃに近付く向きに偏向され、更に偏向コ
イル９ｂにより振り戻される。この場合、第２の平衡回
路１４により偏向コイル９ａ、９ｂには前述した比率で
走査信号が供給されているため、試料７から回折された
電子線のうら、レンズ６ｂにより偏向された後、像点Ｓ
２に向かう電子線のみが、検出器１６に入射して検出さ
れる。従ッテ、偏向コイル８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂに供
給される走査信号の変化に伴なって、透過電子検出器１
６に入射する電子線の０次の回折線に対する傾斜角θ及
び方位角が走査され、この走査に伴なって得られた検出
信号は陰極線管１８に供給されるため、陰極線管１８に
は試ｌｉ＋ ７の電子線回折像が表示される。ところで
、試料７を透過した直後の電子線のうち透過電子検出器
１６に入射Ｊ゛る電子線の光軸Ｃに対する角度を０２と
すると、透過電子検出器１６には角度 θ＝０１＋０２ だけ回折された電子線が検出できることになるため、従
来に比して収差を受番ブずに回折像に取り込める回折角
を格段に大きくすることができる。
ル８ａにより光軸Ｃから離れる向きに偏向され、偏向コ
イル８ｂにより、振り戻され、常に前方磁界レンズ６ａ
の物点Ｓ１からの電子線の如く前方磁界レンズ６ａに入
射する。従って、電子線ＥＢは試料７にお【ノる入射点
をＰに固定した状態において、入射角０１及び方位角φ
１が走査される。この点Ｐから回折された電子線は後方
磁界レンズ６ｂに入射して偏向された後、偏向コイル９
ａによって光軸Ｃに近付く向きに偏向され、更に偏向コ
イル９ｂにより振り戻される。この場合、第２の平衡回
路１４により偏向コイル９ａ、９ｂには前述した比率で
走査信号が供給されているため、試料７から回折された
電子線のうら、レンズ６ｂにより偏向された後、像点Ｓ
２に向かう電子線のみが、検出器１６に入射して検出さ
れる。従ッテ、偏向コイル８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂに供
給される走査信号の変化に伴なって、透過電子検出器１
６に入射する電子線の０次の回折線に対する傾斜角θ及
び方位角が走査され、この走査に伴なって得られた検出
信号は陰極線管１８に供給されるため、陰極線管１８に
は試ｌｉ＋ ７の電子線回折像が表示される。ところで
、試料７を透過した直後の電子線のうち透過電子検出器
１６に入射Ｊ゛る電子線の光軸Ｃに対する角度を０２と
すると、透過電子検出器１６には角度 θ＝０１＋０２ だけ回折された電子線が検出できることになるため、従
来に比して収差を受番ブずに回折像に取り込める回折角
を格段に大きくすることができる。
尚、上述した実施例ｔま本発明の一実施例に過ぎず、幾
多の他の変形が考えられる。
多の他の変形が考えられる。
例えば、上述した実施例においては、第１の平衡回路と
第２の平衡回路に各々第４図（ｂ）。
第２の平衡回路に各々第４図（ｂ）。
（Ｃ）に示づような全く相似形の走査信号を供給するよ
うにしたが、例えばこれらの回路に各々第５図（ａ）、
（ｂ）に示すような走査信号を供給りることにより、こ
れら偏向フィルを交互に走査Ｊるようにしても良い。
うにしたが、例えばこれらの回路に各々第５図（ａ）、
（ｂ）に示すような走査信号を供給りることにより、こ
れら偏向フィルを交互に走査Ｊるようにしても良い。
［効果］
上述した説明から明らかなように、本発明においては、
試料の上下で電子線を偏向するようにしているため、大
きな回折角を有する電子線を取り込んで大きな角度の回
折像を歪無く表示づることができる。
試料の上下で電子線を偏向するようにしているため、大
きな回折角を有する電子線を取り込んで大きな角度の回
折像を歪無く表示づることができる。
第１図は従来装置を説明するＩｃめの図、第２図は従来
の伯の装置を説明するだめの図、第３図は本発明の一実
施例を示ずための図、第４図は第３図に示した一実施例
装置の偏向コイルに供給する走査信号を示すだめの図、
第５図は他の実施例における走査信号を例示づるための
図である。 ｌａ、６ａ：前方磁界レンズ、１ｂ、６ｔ）：後方磁界
レンズ、２ａ、２ｂ、５ａ、５ｂ、８ａ。 ８ｂ、９ａ、９ｂ：偏向コイル、３．７：試料、４．１
６：透過電子検出器、１１：走査信号発生回路、１２ｕ
、１２ｄ、１０ａ、１０ｂ、１５ａ。 １５ｂ、１７：増幅器、１３．１／Ｉ：平衡回路、１８
：陰極線管、ＥＢ：電子線、ＥＢｏ：０次の回折線。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 ９藤 −夫
の伯の装置を説明するだめの図、第３図は本発明の一実
施例を示ずための図、第４図は第３図に示した一実施例
装置の偏向コイルに供給する走査信号を示すだめの図、
第５図は他の実施例における走査信号を例示づるための
図である。 ｌａ、６ａ：前方磁界レンズ、１ｂ、６ｔ）：後方磁界
レンズ、２ａ、２ｂ、５ａ、５ｂ、８ａ。 ８ｂ、９ａ、９ｂ：偏向コイル、３．７：試料、４．１
６：透過電子検出器、１１：走査信号発生回路、１２ｕ
、１２ｄ、１０ａ、１０ｂ、１５ａ。 １５ｂ、１７：増幅器、１３．１／Ｉ：平衡回路、１８
：陰極線管、ＥＢ：電子線、ＥＢｏ：０次の回折線。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 ９藤 −夫
Claims (1)
- 対物レンズの前段に第１の偏向手段を設置し、該対物レ
ンズの前方磁界レンズを偏向手段として兼用し、入射点
を固定したまま入射角と方位角を変化させて電子線を試
料に入射させるための偏向信号を該第１の偏向手段に供
給するための手段を設け、対物レンズの後方磁界レンズ
を偏向手段として兼用し、対物レンズの後方磁界レンズ
の後段には第２の偏向手段を設りると共に、該第２の偏
向手段によって偏向された電子のうち光軸に沿って進行
する電子を検出するための検出器を設け、該検出器に入
射する電子線の０次の回折線に対する傾斜角と方位角を
変化させるための偏向信号を該第２の偏向手段に供給す
るだめの手段を具備することを特徴とする電子線回折装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12285983A JPS6014739A (ja) | 1983-07-06 | 1983-07-06 | 電子線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12285983A JPS6014739A (ja) | 1983-07-06 | 1983-07-06 | 電子線回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6014739A true JPS6014739A (ja) | 1985-01-25 |
Family
ID=14846402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12285983A Pending JPS6014739A (ja) | 1983-07-06 | 1983-07-06 | 電子線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6014739A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5339848A (en) * | 1976-09-23 | 1978-04-12 | Siemens Ag | Method of indicating diffractive picture in transmission scanning particle beam microscope |
| JPS5468150A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-01 | Jeol Ltd | Electron ray deflector |
| JPS5576560A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-09 | Hitachi Ltd | Observation field moving device for electron microscope |
-
1983
- 1983-07-06 JP JP12285983A patent/JPS6014739A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5339848A (en) * | 1976-09-23 | 1978-04-12 | Siemens Ag | Method of indicating diffractive picture in transmission scanning particle beam microscope |
| JPS5468150A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-01 | Jeol Ltd | Electron ray deflector |
| JPS5576560A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-09 | Hitachi Ltd | Observation field moving device for electron microscope |
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