JPS5842934B2 - 電子銃における放出電子流角度分布測定方法 - Google Patents
電子銃における放出電子流角度分布測定方法Info
- Publication number
- JPS5842934B2 JPS5842934B2 JP15610878A JP15610878A JPS5842934B2 JP S5842934 B2 JPS5842934 B2 JP S5842934B2 JP 15610878 A JP15610878 A JP 15610878A JP 15610878 A JP15610878 A JP 15610878A JP S5842934 B2 JPS5842934 B2 JP S5842934B2
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- JP
- Japan
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- electron
- emitted
- electron gun
- angular distribution
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査電子顕微鏡等に用いられる電子銃からの放
出電子流の角度分布を測定する方法に関する。
出電子流の角度分布を測定する方法に関する。
一般に熱電子放出型電子銃の陰極から放出される電子は
ウェーネルト電極と陽極とで形成される静電レンズによ
りウェーネルト電極近傍にクロスオーバーと呼ばれる像
を形成する。
ウェーネルト電極と陽極とで形成される静電レンズによ
りウェーネルト電極近傍にクロスオーバーと呼ばれる像
を形成する。
このクロスオーバー像の電流密度は一様ではなく、放出
される電子の方向を電子流の光軸としたとき、電子流光
軸に対して角度分布をもっている。
される電子の方向を電子流の光軸としたとき、電子流光
軸に対して角度分布をもっている。
そこで斯かる電子流角度分布を知ることにより陰極、ウ
ェーネルト電極、陽極によって構成される電子銃の特性
の評価を行うことができる。
ェーネルト電極、陽極によって構成される電子銃の特性
の評価を行うことができる。
本発明は斯様な点に鑑み、電子流角度分布を容易に測定
することのできる方法を提供するもので、以下図面に基
づき詳説する。
することのできる方法を提供するもので、以下図面に基
づき詳説する。
第１図は本発明方法を走査電子顕微鏡で実施する場合を
示す図であり、１はフィラメント２とウェーネルト電極
３と陽極４とからなる電子銃である。
示す図であり、１はフィラメント２とウェーネルト電極
３と陽極４とからなる電子銃である。
５及び６は電子銃１から発生した電子流を集束するため
の第１及び第２の集束レンズで、該各集束レンズは夫々
レンズ電源７及び８により制御される。
の第１及び第２の集束レンズで、該各集束レンズは夫々
レンズ電源７及び８により制御される。
又第２の集束レンズ（通常対物レンズと呼ばれている）
６とそのレンズ電源８との間にはスイッチ９が設けてあ
り、第２の集束レンズ６の励起を遮断できるように構成
されている。
６とそのレンズ電源８との間にはスイッチ９が設けてあ
り、第２の集束レンズ６の励起を遮断できるように構成
されている。
１０は前記第２の集束レンズ６の下方におかれたステー
ジで、該ステージ上には電子流を検出するためのファラ
デイーカップ１１が装着されている。
ジで、該ステージ上には電子流を検出するためのファラ
デイーカップ１１が装着されている。
該ファラデイーカップ１１からの出力信号は増巾器１２
を介してＸ−Ｙレコーダ１３のＹ入力端子に送られる。
を介してＸ−Ｙレコーダ１３のＹ入力端子に送られる。
１４及び１５は前記電子銃１と第１の集束レンズ５との
間におかれた２段の偏向系で、該各偏向系には夫々増巾
器１６及び１７を介して偏向電源１８から偏向信号Ｓ１
及びＳ２が一定の関係を保って供給される。
間におかれた２段の偏向系で、該各偏向系には夫々増巾
器１６及び１７を介して偏向電源１８から偏向信号Ｓ１
及びＳ２が一定の関係を保って供給される。
つまり電子銃１から立体角φの範囲内で放出した電子流
ＥＢの内光軸に対して角度θでしかも立体角ψ（集束レ
ンズ５の絞り１９を通過することができる電子ビームの
角度）放出した電子流ＥＢ１を１段目の偏向系１４にて
光軸方向に角度α偏向し、この偏向された電子線を２段
目の偏向系１５にて前述と逆方向に角度β偏向させるこ
とにより電子流ＥＢＩを光軸に沿って飛行させるように
構成されている。
ＥＢの内光軸に対して角度θでしかも立体角ψ（集束レ
ンズ５の絞り１９を通過することができる電子ビームの
角度）放出した電子流ＥＢ１を１段目の偏向系１４にて
光軸方向に角度α偏向し、この偏向された電子線を２段
目の偏向系１５にて前述と逆方向に角度β偏向させるこ
とにより電子流ＥＢＩを光軸に沿って飛行させるように
構成されている。
前記１段目の偏向系１４に送られる信号Ｓ１の一部（Ｓ
２でもよい）は前記Ｘ−Ｙレコーダ１３のＸ入力端子に
供給される。
２でもよい）は前記Ｘ−Ｙレコーダ１３のＸ入力端子に
供給される。
２０ａ及び２０ｂは走査コイルで、ステージ１０に保持
される試料（図示せず）上において電子線を２次元的に
走査させるためのものである。
される試料（図示せず）上において電子線を２次元的に
走査させるためのものである。
今、電子銃１から放出する電子流ＥＢの電子流角度分布
を測定するｔζは、先ずスイッチ９を開放することによ
り第２の集束レンズ６の励起を遮断し、レンズ電源７に
て第１の集束レンズ５の励起を調整することにより図中
実線で示すようにファラデーカップ１１上にクロスオー
バー偉を拡大結像させる。
を測定するｔζは、先ずスイッチ９を開放することによ
り第２の集束レンズ６の励起を遮断し、レンズ電源７に
て第１の集束レンズ５の励起を調整することにより図中
実線で示すようにファラデーカップ１１上にクロスオー
バー偉を拡大結像させる。
この状態において２段の偏向系１４及び１５に供給する
信号Ｓ１及びＳ２を前述した関係を保ちながら適宜掃引
すれば、ファラデイーカップには電子銃１から放出した
電子流の内界なった放出角をもった電子流が順次入射す
る。
信号Ｓ１及びＳ２を前述した関係を保ちながら適宜掃引
すれば、ファラデイーカップには電子銃１から放出した
電子流の内界なった放出角をもった電子流が順次入射す
る。
従ってＸ−Ｙレコーダ１３には第２図に示すような放出
電子流角度分布曲線が得られる。
電子流角度分布曲線が得られる。
ここで第２図において厳密に言えば、横軸は放出角θで
ないので、予じめ偏向信号値と放出角との関係を測定し
ておけば容易に較正することができる。
ないので、予じめ偏向信号値と放出角との関係を測定し
ておけば容易に較正することができる。
尚該実施例では第１段及び第２段の偏向系１４゜１５に
より電子銃１から発生する電子流を第１図中紙面と平行
な面内において掃引した場合について述べたが、紙面と
直交する平面内においても掃引することは言うまでもな
い。
より電子銃１から発生する電子流を第１図中紙面と平行
な面内において掃引した場合について述べたが、紙面と
直交する平面内においても掃引することは言うまでもな
い。
一方走査電子顕微鏡等においては、電子銃の軸と第１の
集束レンズの軸とを一致させるために通常電子銃１と第
１の集束レンズとの間には２段の偏向系が設置されてい
る。
集束レンズの軸とを一致させるために通常電子銃１と第
１の集束レンズとの間には２段の偏向系が設置されてい
る。
従って斯かる軸合せ用偏向手段を本発明の放出電子流角
度分布測定に利用すれば新たな偏向系を設ける必要がな
い。
度分布測定に利用すれば新たな偏向系を設ける必要がな
い。
以上詳説したように、本発明の方法により走査電子顕微
鏡等に使用される電子銃の放出電子流角度分布を容易に
測定することができる。
鏡等に使用される電子銃の放出電子流角度分布を容易に
測定することができる。
第１図は本発明方法を走査電子顕微鏡で実施する場合を
示す図、第２図は放出電子流角度分布曲線を示す図であ
る。 第１図において、１は電子銃、２はフィラメント、３は
ウェーネルト電極、４は陽極、５及び６は第１及び第２
の集束レンズ、７及び８はレンズ電源、９はスイッチ、
１０はステージ、１１はファラデイーカップ、１２は増
巾器、１３はＸ−Ｙレコーダ、１４及び１５は第１及び
第２段の偏向系、１６及び１７は増巾器、１８は偏向電
源である。
示す図、第２図は放出電子流角度分布曲線を示す図であ
る。 第１図において、１は電子銃、２はフィラメント、３は
ウェーネルト電極、４は陽極、５及び６は第１及び第２
の集束レンズ、７及び８はレンズ電源、９はスイッチ、
１０はステージ、１１はファラデイーカップ、１２は増
巾器、１３はＸ−Ｙレコーダ、１４及び１５は第１及び
第２段の偏向系、１６及び１７は増巾器、１８は偏向電
源である。
Claims (1)
- １ 電子銃から放出する電子流を集束レンズによってビ
ーム電流検出手段上にフォーカスさせた状態で、前記電
子銃と集束レンズとの間におかれた２段の偏向系により
電子銃から放出する異なった放出角の電子流を順次前記
集束レンズに入射せしめてビーム電流を測定するように
構成することを特徴とする電子銃における放出電子流角
度分布測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15610878A JPS5842934B2 (ja) | 1978-12-15 | 1978-12-15 | 電子銃における放出電子流角度分布測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15610878A JPS5842934B2 (ja) | 1978-12-15 | 1978-12-15 | 電子銃における放出電子流角度分布測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5582072A JPS5582072A (en) | 1980-06-20 |
| JPS5842934B2 true JPS5842934B2 (ja) | 1983-09-22 |
Family
ID=15620476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15610878A Expired JPS5842934B2 (ja) | 1978-12-15 | 1978-12-15 | 電子銃における放出電子流角度分布測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5842934B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6091619A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-23 | 松下電器産業株式会社 | 電解コンデンサ |
| JPS6398624U (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-25 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109444947B (zh) * | 2019-01-08 | 2023-08-18 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种x射线辐射流诊断系统 |
-
1978
- 1978-12-15 JP JP15610878A patent/JPS5842934B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6091619A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-23 | 松下電器産業株式会社 | 電解コンデンサ |
| JPS6398624U (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5582072A (en) | 1980-06-20 |
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