JPS5847823B2 - スリツトソウサシキゾウヘンカンカン - Google Patents
スリツトソウサシキゾウヘンカンカンInfo
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- JPS5847823B2 JPS5847823B2 JP50110113A JP11011375A JPS5847823B2 JP S5847823 B2 JPS5847823 B2 JP S5847823B2 JP 50110113 A JP50110113 A JP 50110113A JP 11011375 A JP11011375 A JP 11011375A JP S5847823 B2 JPS5847823 B2 JP S5847823B2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 16
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 9
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000005513 bias potential Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 238000009432 framing Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000009916 joint effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/50—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
- H01J31/501—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output with an electrostatic electron optic system
- H01J31/502—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output with an electrostatic electron optic system with means to interrupt the beam, e.g. shutter for high speed photography
Landscapes
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はスリット走査式像変換管に関するものである。
極めて短い露出時間で像を記録すると非常に短時間の光
現象の時間的変化の形をプロットすることができる。
現象の時間的変化の形をプロットすることができる。
従って、超高速度電子映画写真は、弾道学、爆発工学、
生きた細胞の研究、レーザー実験など各種の広い分野や
技術領域に応用される。
生きた細胞の研究、レーザー実験など各種の広い分野や
技術領域に応用される。
2つのタイプの電子カメラが用いられていることが知ら
れている。
れている。
即ち、調べるべき現象の2次元像を写真的に記録するた
めの全体像カメラと、調べるべき現象の1次元像の光レ
ベルの時間的変化を写真的に記録するためのスリット型
カメラである。
めの全体像カメラと、調べるべき現象の1次元像の光レ
ベルの時間的変化を写真的に記録するためのスリット型
カメラである。
上記両タイプの走査ビーム式像変換カメラでは、光電陰
極、制御電極、加速電極、集束電極、1対の偏向器およ
び電子増倍装置に連接させてよいエレクトロルミネセン
トスクリーンよりなる通常の像変換管の光電陰極上に調
べるべき現象の像が形成される。
極、制御電極、加速電極、集束電極、1対の偏向器およ
び電子増倍装置に連接させてよいエレクトロルミネセン
トスクリーンよりなる通常の像変換管の光電陰極上に調
べるべき現象の像が形成される。
光電陰極の光電属の各点で放射される電子の数は部分的
照射光のレベルに比例する。
照射光のレベルに比例する。
電子は加速されスクリーンの例えば螢光面に集束されて
この上に可視像が形或される。
この上に可視像が形或される。
管の休止時には電子は制御電極に印加された負電位によ
って光電陰極のレベルに捕捉させる。
って光電陰極のレベルに捕捉させる。
正の矩形波形を有する電気信号を該負バイアス電位に重
量して管の開放を開始させる。
量して管の開放を開始させる。
開放時間は該正の矩形信号の接続時間で定まる。
全体像カメラでは、光電陰極の入射窓を隠すことによっ
て小寸法の像を作ることができる。
て小寸法の像を作ることができる。
光学的偏向系の偏向器に適当波形のフレーミング信号を
印加することIこよって1つのスクリーン上に並行して
一連の像を記録することができる。
印加することIこよって1つのスクリーン上に並行して
一連の像を記録することができる。
これらの像は開放信号の周波数6こ応じた時間々隔だけ
隔っている。
隔っている。
スリット型カメラでは、光電陰極上に形威された像は狭
い孔又はスリット(その像がスクリーン上に形威される
)によって限界づけられている。
い孔又はスリット(その像がスクリーン上に形威される
)によって限界づけられている。
光学偏向系の偏向器に走査信号を印加することによって
、スリット像は連続的に移動する。
、スリット像は連続的に移動する。
調べるべき光現象の持続時間の函数としての輝度の漸進
的変化が走査軸に沿って管の出射窓内に観察される。
的変化が走査軸に沿って管の出射窓内に観察される。
同じ現象の空間的変化は走査軸と直角な軸に沿って、即
ち、スリットの長手力向に沿って記録される。
ち、スリットの長手力向に沿って記録される。
通常の型の像変換管は光学的回転系を具えている。
2次元像を形戊するように設計されたこの光学系は電極
に印加された電位の所与の分布に対して最適の動作を与
える。
に印加された電位の所与の分布に対して最適の動作を与
える。
光学的回転系の主な欠点は、空間的分解能が求める時間
的分解能に関係するということである。
的分解能に関係するということである。
時間的分解能を増すには光電子の加速電界を増さねばな
らないことは知られている。
らないことは知られている。
電極上の電位のホモセテイツク(homothetic
)な変化は冷陰極放射および管中の電圧維持による問題
の故に考えることができない。
)な変化は冷陰極放射および管中の電圧維持による問題
の故に考えることができない。
従って、光学的回転系では、空間的分解能は時間的分解
能が高まるにつれて減少する。
能が高まるにつれて減少する。
光学的回転系を有する従来のスリットカメラにおける空
間的分解能の低下のもう1つの原因は、光電陰極像の偏
向方向における走査の結果として該像がスクリーン上に
集束外れ(defocus )となることから起る。
間的分解能の低下のもう1つの原因は、光電陰極像の偏
向方向における走査の結果として該像がスクリーン上に
集束外れ(defocus )となることから起る。
従来の光学系では、回転対称性がないこと、および従来
型のカメラでは光学系は電子の伝播軸の周りに回転する
ものであることによって、上記集束外れを動的に補償す
ることができない。
型のカメラでは光学系は電子の伝播軸の周りに回転する
ものであることによって、上記集束外れを動的に補償す
ることができない。
本発明は光学系が回転対称性を有する従来のスリット型
走査管に比して、2軸に沿って異る調節ができ従って空
間的分解能および時間的分解能と無関係に最適化ができ
るスリット型走査カメラを設備せんとする像変換管に関
するものである。
走査管に比して、2軸に沿って異る調節ができ従って空
間的分解能および時間的分解能と無関係に最適化ができ
るスリット型走査カメラを設備せんとする像変換管に関
するものである。
本発明によるスリット管ではスリットの2軸は区別され
る(空間軸はスリットの長さに並行、時間軸は空間軸に
垂直)。
る(空間軸はスリットの長さに並行、時間軸は空間軸に
垂直)。
よって本発明による変換管は各軸において独立に最適化
される電子光学系を具え、時間軸に沿った最適化は電子
ビーム偏向系を含んでいる。
される電子光学系を具え、時間軸に沿った最適化は電子
ビーム偏向系を含んでいる。
更に本発明によればこの構戒において特に平らな光電陰
極を用いる。
極を用いる。
この光学系の時間的分解能および空間的分解能は同時に
最適となる。
最適となる。
該分解能によってスリットカメラの性能を従来の像変換
管で現時得られている値よりも高めることができる。
管で現時得られている値よりも高めることができる。
更に精密に云うと、本発明によるスリット走査式像変換
管は、調べるべき光現象の発する(又は反射する)光を
集める光電陰極中のスリットの像をスクリーン上で走査
することにより、速い変化をする光現象を観察すること
を意図するものである。
管は、調べるべき光現象の発する(又は反射する)光を
集める光電陰極中のスリットの像をスクリーン上で走査
することにより、速い変化をする光現象を観察すること
を意図するものである。
従来型の像変換管の場合と同様に、該管は光電陰極、プ
ランキング電極、少くとも1つの加速電極、およびスク
リーンよりなる。
ランキング電極、少くとも1つの加速電極、およびスク
リーンよりなる。
加速電極とスクリーンとの間に在ってビームを偏向し集
束するための光学系は、スクリーン上に該スリットの最
大寸法の像を形或するための第1の電子手段と、上記方
向と直角な方向即ち該スリットと直角な方向においてビ
ームをスクリーン上に集束し偏向させるための該第1と
は独立な第2の手段とにより構或される。
束するための光学系は、スクリーン上に該スリットの最
大寸法の像を形或するための第1の電子手段と、上記方
向と直角な方向即ち該スリットと直角な方向においてビ
ームをスクリーン上に集束し偏向させるための該第1と
は独立な第2の手段とにより構或される。
集束は従って、両方の面即ち偏向面と空間面において独
立である。
立である。
空間面はスリットの最大寸法に対し並行であり、管中の
電子の平均伝播軸を含む。
電子の平均伝播軸を含む。
偏向面はスリットと直角であり同じ電子伝播軸02を含
む。
む。
本発明によれば、該電子光学手段は、光電陰極スリット
の像をスクリーン上に生ずるために空間面において収斂
するレンズと、偏向面において収斂するレンズとであり
、以て光電陰極の又は加速電極により作られるクロスオ
ーバ一点の順次の像をスクリーン上に偏向軸に沿って形
或するようビームを偏向させる。
の像をスクリーン上に生ずるために空間面において収斂
するレンズと、偏向面において収斂するレンズとであり
、以て光電陰極の又は加速電極により作られるクロスオ
ーバ一点の順次の像をスクリーン上に偏向軸に沿って形
或するようビームを偏向させる。
本発明の実施例では、光電陰極の像をスクリーン上に空
間面において生せしめるために空間面において収斂し偏
向面において発散する四重極レンズと、偏向面において
収斂し且つ時間軸Cこ沿ってビームを集束し偏向させる
よう上記四重極レンズの発散の函数として計算された平
レンズと、を用いる。
間面において生せしめるために空間面において収斂し偏
向面において発散する四重極レンズと、偏向面において
収斂し且つ時間軸Cこ沿ってビームを集束し偏向させる
よう上記四重極レンズの発散の函数として計算された平
レンズと、を用いる。
スリットの高さに沿った集束を行うには、発散レンズ(
四重極レンズの発散面)と単方向作用を有する収斂レン
ズとの2つの組合レンズを用いる。
四重極レンズの発散面)と単方向作用を有する収斂レン
ズとの2つの組合レンズを用いる。
本発明の実施例では後者のレンズは偏向器と結合されて
いて偏向集束の外れの動的補正をするようにしてある。
いて偏向集束の外れの動的補正をするようにしてある。
スリット像の集束調節は該調節が各軸につき独立である
ため容易に行なえる。
ため容易に行なえる。
単方向レンズに印加される電位の調節によってスリット
の高さの像又はこのスリットのクロスオーバ一点の像を
形成することができる。
の高さの像又はこのスリットのクロスオーバ一点の像を
形成することができる。
本発明の1実施例では、管の出射段階は電子増倍装置、
例えばマイクロチャンネル・ウエーファ一、近接集束加
速空間、例えばグラスファイバー出射窓に付着させた螢
光スクリーンからなる。
例えばマイクロチャンネル・ウエーファ一、近接集束加
速空間、例えばグラスファイバー出射窓に付着させた螢
光スクリーンからなる。
この出射段階はRTC像変換管P500F型として知ら
れているものに設けたものと同じ設計である。
れているものに設けたものと同じ設計である。
写真記録はフイルムとグラスファイバーの出射面とを直
接連接することによって行われる。
接連接することによって行われる。
偏向および集束レンズはなるべく静電レンズがよいが磁
気レンズでもよいことは明らかである。
気レンズでもよいことは明らかである。
本発明の他の性質、利点は下記実施例の説明から容易に
理解されるが、これら実施例は説明のためであって限定
する意のものではない。
理解されるが、これら実施例は説明のためであって限定
する意のものではない。
以下図面によって説明する。
第1図は本発明の変換管の一実施例を示す。
光ビーム4は光学系(図示せず)により、電子放射スリ
ットをなす矩形6内で光電陰極2上6こ集束される。
ットをなす矩形6内で光電陰極2上6こ集束される。
変換管は更に制御電極8、加速電極10、四重極レンズ
12、収斂および偏向平レンズ14およびスクリーン1
6を有する。
12、収斂および偏向平レンズ14およびスクリーン1
6を有する。
この実施例では、フレームと光電陰極は接地され、プラ
ンキング又は制御電極8は電源18Iこ接続される。
ンキング又は制御電極8は電源18Iこ接続される。
この電源18は管を始動させたいとき、矩形波電圧信号
を供給する。
を供給する。
加速電極10は正電圧源20に接続される。
四重極レンズ12の2つの部分22と24は共通の正電
圧源26に接続され、他の2つの対向部分28と30は
負電圧源32に接続される。
圧源26に接続され、他の2つの対向部分28と30は
負電圧源32に接続される。
収斂および偏向レンズ14の3つのプレートは高電圧源
36に接続される。
36に接続される。
空間面、即ち平筒XOZにおいて、スl− ’Jット6
の像が、四重極レンズの部分28と30とで形威される
収斂レンズによって形成される。
の像が、四重極レンズの部分28と30とで形威される
収斂レンズによって形成される。
この像はスクリーン16上に(又は電子増倍器をなす出
力系中のマイクロチャンネル・ウエーファ−40上に)
形威される。
力系中のマイクロチャンネル・ウエーファ−40上に)
形威される。
偏向面、即ち平面YOZにおいて、レンズ14は光電陰
極の像をOY方向(時間軸)にスクリーン16上に偏向
する。
極の像をOY方向(時間軸)にスクリーン16上に偏向
する。
第2a図は、光電陰極2およびスクリーン16間での空
間面における電子ビームの形を示す。
間面における電子ビームの形を示す。
この実施例では周知の配置により、電子ビームはスクリ
ーン16に至る前にマイクロチャンネル・ウエーファ−
40を通過する。
ーン16に至る前にマイクロチャンネル・ウエーファ−
40を通過する。
第1回の電源32により電極28と30に印加される電
位は、光電陰極スリットの空間面XOZにおける像が実
質的にスクリーン16上に作られるような電位である。
位は、光電陰極スリットの空間面XOZにおける像が実
質的にスクリーン16上に作られるような電位である。
41は電子ビームを示す。
第2b図には、偏向面YOZにおける電子ビームの形を
示す。
示す。
この面6こおいて四重極レンズは発散レンズであるから
、電子ビーム48は始めは発散的である。
、電子ビーム48は始めは発散的である。
この例では、該ビームは収斂および偏向レンズ14に貫
入する前にスリット50により止められ、スクリーン1
6の前にあるマイクロ・ウエーファ−40上6こ集束さ
れる。
入する前にスリット50により止められ、スクリーン1
6の前にあるマイクロ・ウエーファ−40上6こ集束さ
れる。
この実施例では、偏向レンズ14は3対のプレー1−4
2,44および46からなり、対44は偏向電極対であ
る。
2,44および46からなり、対44は偏向電極対であ
る。
第3a図は、光電陰極2および加速電極10並に光電陰
極から出るビーム52 ,54の如きビームの図を示す
。
極から出るビーム52 ,54の如きビームの図を示す
。
クロスオーバ一点は56に在り、電極10で作られる光
電陰極の像は破線58で示される。
電陰極の像は破線58で示される。
クロスオーバ一点56、光電陰極像58の位置およびク
ロスオーバ一点の中央高さは比e / dの函数として
変化する。
ロスオーバ一点の中央高さは比e / dの函数として
変化する。
ここにeは加速電極10のスリットの巾の半分、dは光
電陰極と加速電極との間の距離である。
電陰極と加速電極との間の距離である。
第3b図は空間面Oこおいて光電陰極を示しており、こ
れは60,62,64の如き電子ビームを放射する。
れは60,62,64の如き電子ビームを放射する。
この面内において電極10で作られた光電陰極像66は
F流側にある。
F流側にある。
第4 a ,4 b図は四重極レンズ12を示す。
この実施例では、該レンズは直角双曲線の4つの弧で形
作られており、相対する弧22,24は電位+Vに、ま
た弧28 ,30は電位−■とする。
作られており、相対する弧22,24は電位+Vに、ま
た弧28 ,30は電位−■とする。
第4b図は長さtを有する四重電極の平面YOZに沿っ
てとった側断面図である。
てとった側断面図である。
このタイプのレンズ内の電位は■=A(y2一X2)の
形である。
形である。
このレンズは平面XOZにおいて収斂で2V/2x二−
2AX、そしてYOZ平面において発散で2 v /
2 y =+2 A y o光電陰@2のスリット6の
像をスクリーン上に又は第1図のマイクロチャンネル・
ウエーファ一40の入口上Oこ形成させるために四重極
レンズ14の収斂性を利用する。
2AX、そしてYOZ平面において発散で2 v /
2 y =+2 A y o光電陰@2のスリット6の
像をスクリーン上に又は第1図のマイクロチャンネル・
ウエーファ一40の入口上Oこ形成させるために四重極
レンズ14の収斂性を利用する。
空間面において、九電陰極2からの発散ビームは電極間
距離2aに比し無視し得ない大きさを有する。
距離2aに比し無視し得ない大きさを有する。
それ故に、四重極レンズの収差が像の質を害するのは空
間面においてである。
間面においてである。
偏向面においては、スリットの高さは例えばl myn
であるので、ビームの高さは2aに比して小、即ち1c
rrLのオーダーであり従って収差は無視できる。
であるので、ビームの高さは2aに比して小、即ち1c
rrLのオーダーであり従って収差は無視できる。
単なる収斂レンズに比して四重レンズの利点は、それが
第1次の収差を受けないので空間面において殆んど歪が
生じないこと6こある。
第1次の収差を受けないので空間面において殆んど歪が
生じないこと6こある。
前述した如く、四重極電界を作る電極の形状は直角双曲
線の1部である。
線の1部である。
この形状は加工しにくいので、本発明の他の実施例では
、これを同じ平均曲率半径を有する円弧で置き替えてあ
る。
、これを同じ平均曲率半径を有する円弧で置き替えてあ
る。
第5図は、偏向面YOZにおいて収斂し且つ偏向プレー
トの機能も兼ねる平レンズ14の例を示す。
トの機能も兼ねる平レンズ14の例を示す。
このレンズ14は3対のプレート42,44,46から
なる。
なる。
上述の四重極レンズ12と異り、平レンズ14は偏向面
においてだけ作用し、スリットの像又はクロスオーバ一
点の像をマイクロチャンネル・ウエーファーの入口(又
はスクリーン)上に形威する。
においてだけ作用し、スリットの像又はクロスオーバ一
点の像をマイクロチャンネル・ウエーファーの入口(又
はスクリーン)上に形威する。
電子ビームをターゲットの中心つまり軸OZに向けたい
ときは2対の端プレート42,46は同電位Voに、ま
たは2つの中間プレート44’,44“は平均電位■に
する。
ときは2対の端プレート42,46は同電位Voに、ま
たは2つの中間プレート44’,44“は平均電位■に
する。
ビームを偏向させたいときは、プレート44′を電位■
−+−JVに、またプレート44“を電位V−JVにす
ると、第5図に示すように、ビームは上に偏向する。
−+−JVに、またプレート44“を電位V−JVにす
ると、第5図に示すように、ビームは上に偏向する。
ビームは符号51で示してある。電子ビームの偏向から
起きる主な問題の1つは集束外れ(defocuss
ing)である。
起きる主な問題の1つは集束外れ(defocuss
ing)である。
平均電位Gこ対して正又は負の電位6こプレートを持ち
来たすことによって電子ビームを偏向させると、そのト
レースは中心位置の各側で太さが増したように見える。
来たすことによって電子ビームを偏向させると、そのト
レースは中心位置の各側で太さが増したように見える。
この太くなる事は偏向電圧をプレートGこ印加すること
による収斂レンズの作用によって起る。
による収斂レンズの作用によって起る。
つまり正のプレートに近い電子は加速され、軸方向の電
子より速い速度をもつため偏向しにくSなる。
子より速い速度をもつため偏向しにくSなる。
逆に負のプレーHこ近い電子は減速され、従って偏向す
る程度がより大きいので、その結果、偏向プレートの出
口に不所望に近い点で径路の交叉がおきる。
る程度がより大きいので、その結果、偏向プレートの出
口に不所望に近い点で径路の交叉がおきる。
集束外れは比ε/Wで測られる。こSにεはスクリーン
16上のスポットの大きさであり、Wは偏向プレートの
入口におけるビームの太さである。
16上のスポットの大きさであり、Wは偏向プレートの
入口におけるビームの太さである。
第5図に用いた3レンズ系は集束兼偏向系である。
該平レンズの内側電極44’,44“はビームを偏向さ
せるためのものである。
せるためのものである。
この解決手段は2つの利点をもたらす。
即ち、偏向プレートとスクリーン間の距離が増大し従っ
て歪が減ると共に動的補償によって収斂効果を補償する
ことができる。
て歪が減ると共に動的補償によって収斂効果を補償する
ことができる。
このためには、レンズの収斂性をビームが偏向するに従
って漸進的に減らすのである。
って漸進的に減らすのである。
本発明による管{こおけるこの補償は空間面においては
伺ら効果を有せず、偏向面においてのみ作用するのであ
る。
伺ら効果を有せず、偏向面においてのみ作用するのであ
る。
第6図には、第5図示の装置の偏向集束外れを低減させ
るところの、例えば平プレート44′の電位変化を示す
。
るところの、例えば平プレート44′の電位変化を示す
。
縦軸には例えばプレート44′の1つに印加された電位
Vの商v / v oをプロットし、また横軸にはOY
に平行な時間軸に沿って測った偏向距離Dをプロットし
てある。
Vの商v / v oをプロットし、また横軸にはOY
に平行な時間軸に沿って測った偏向距離Dをプロットし
てある。
符号52は偏向集束外れを全く除去する理論カーブを示
す。
す。
符号54は、偏向集束外れを完全に補償するのに必要な
カーブ52で示される電位の変化になるべく一致ししか
も技術的に作り易い線を示す。
カーブ52で示される電位の変化になるべく一致ししか
も技術的に作り易い線を示す。
本発明6こよれは、偏向面と空間面がはっきり区別され
ているのでこの動的補償が可能である。
ているのでこの動的補償が可能である。
従来のものでは回転対称性を有する光学系を用いたので
このような動的補償はできなかった。
このような動的補償はできなかった。
この偏向補償の利点は像の空間的分解能を相当程度増大
させることである。
させることである。
更Oこ、第5図のように偏向電゜極を設けるときには、
即ち、該電極を2つの集束プレーh42 ,46間0こ
置いたときには、偏向電極を収斂レンズ14の下流だけ
に付設したときに比して、偏向集束外れの測度である比
ε/Wが低い値となることが示される。
即ち、該電極を2つの集束プレーh42 ,46間0こ
置いたときには、偏向電極を収斂レンズ14の下流だけ
に付設したときに比して、偏向集束外れの測度である比
ε/Wが低い値となることが示される。
本発明の1実施例の幾何学的および電気的特徴を下記に
示す。
示す。
一光電陰極とマイクロチャンネル・ウエーファーの入口
間の距離:2907nm, 一光電陰極スリットの寸法:IX207Xq一加速スリ
ットdの大きさ=2×207nTL,一四重極レンズ:
t=96.5朋,a=14,4朋,1−/ a = 6
. 7 , 一収斂兼偏向レンズ:長さ29朋,最小電極間距離20
mrn, 一偏向空間の長さ二88朋, 一スクリーンの有用寸法: 40X40間,一加速電位
:5000V, 一四重極レンズの電位:±219V, 一制御電極のプロツキング電位:−500V,一収斂兼
偏向平レンズの平均電位:2163V,一偏向感度:4
00v一流, 一スリットの方向における空間的分解能:10p7/朋
, 一歪:3%以下, 一偏向面におけるトレースの太さ: 100μm,スリ
ットに沿った時間的分解能:10ピコ秒より良。
間の距離:2907nm, 一光電陰極スリットの寸法:IX207Xq一加速スリ
ットdの大きさ=2×207nTL,一四重極レンズ:
t=96.5朋,a=14,4朋,1−/ a = 6
. 7 , 一収斂兼偏向レンズ:長さ29朋,最小電極間距離20
mrn, 一偏向空間の長さ二88朋, 一スクリーンの有用寸法: 40X40間,一加速電位
:5000V, 一四重極レンズの電位:±219V, 一制御電極のプロツキング電位:−500V,一収斂兼
偏向平レンズの平均電位:2163V,一偏向感度:4
00v一流, 一スリットの方向における空間的分解能:10p7/朋
, 一歪:3%以下, 一偏向面におけるトレースの太さ: 100μm,スリ
ットに沿った時間的分解能:10ピコ秒より良。
結論として、このタイプの光学系のもたらす効果は下記
のように要約できる。
のように要約できる。
一平らな光電陰極および制御および加速電極で構威され
る入射空間において、本発明による管の構戒によって光
電陰極上の電界が一様になり、従って空間的分解能が高
まり、以て光電陰極上の電界を高め、時間的分解能を改
善し技術的構戊を容易にすることができる。
る入射空間において、本発明による管の構戒によって光
電陰極上の電界が一様になり、従って空間的分解能が高
まり、以て光電陰極上の電界を高め、時間的分解能を改
善し技術的構戊を容易にすることができる。
一像を形戊するための光学系において、光電陰極の長さ
の像が収差の少い且つ電界曲率の非常に小さい四重極レ
ンズによって生ぜしめられるので平らな光電陰極の像を
形戊することができる。
の像が収差の少い且つ電界曲率の非常に小さい四重極レ
ンズによって生ぜしめられるので平らな光電陰極の像を
形戊することができる。
四重極レンズおよび平らな単方向収斂兼偏向レンズの共
同作用により生じたスリットの高さのクロスオーバ一点
の像の結果、光電陰極の有効表面積はより大きくなる。
同作用により生じたスリットの高さのクロスオーバ一点
の像の結果、光電陰極の有効表面積はより大きくなる。
また、像移転対物レンズ(imagetansfer
objectiues)を調節する要求を充すため光電
陰極の2次元像を形或することもできる。
objectiues)を調節する要求を充すため光電
陰極の2次元像を形或することもできる。
平収斂レンズによって偏向を行うから管の長さを減らし
ながら同じ偏向角を保ち偏向集束外れを部分的に補償す
ることができるのであり、これは、該レンズの中間電極
に適当な電位を与えることOこよってなされる。
ながら同じ偏向角を保ち偏向集束外れを部分的に補償す
ることができるのであり、これは、該レンズの中間電極
に適当な電位を与えることOこよってなされる。
また、出射段階をなすマイクロチャンネル・ウエーファ
ーおよび近接集束によって、 光学系の固有の特性を変えることなく高い可調節の光子
利得が得られ、 106以上のプランキング・ファクターが得られる。
ーおよび近接集束によって、 光学系の固有の特性を変えることなく高い可調節の光子
利得が得られ、 106以上のプランキング・ファクターが得られる。
第1図は本発明による変換官の1実施例を示す透視図。
第2a図および第2b図は空間面および偏向面における
電子ビームの形を示す。 第3a図および第3b図は加速電極により生じた空間面
および偏向面における電子ビームの変形例を示す。 第4a図および第4b図は、四重極レンズのそれぞれ断
面図および側面図である。 第5図は収斂兼偏向平レンズの1実施例を示す。 第6図は動的偏向補償を行うための平レンズの偏向プレ
ートに印加される電圧を示す図である。 図中、符号2・・・・・・光電陰極、8・・・・・・制
御電極、10・・・・・・加速電極、12・・・・・・
四重極レンズ、収斂および偏向平レンズ、16・・・・
・・スクリーン、18・・・・・・電源、20,26・
・・・・・正電圧源、32・・・・・・負電圧源、36
・・・・・・高電圧源、28,30・・・・・・電極、
41,4B・・・・・・電子ビーム、50・・・・・ス
リット、42,44,46・・・・・・プレート、52
,54・・・・・・ビーム、58・・・・・・光電陰極
の像、60 , 62 ,64・・・・・・電子ビーム
。
電子ビームの形を示す。 第3a図および第3b図は加速電極により生じた空間面
および偏向面における電子ビームの変形例を示す。 第4a図および第4b図は、四重極レンズのそれぞれ断
面図および側面図である。 第5図は収斂兼偏向平レンズの1実施例を示す。 第6図は動的偏向補償を行うための平レンズの偏向プレ
ートに印加される電圧を示す図である。 図中、符号2・・・・・・光電陰極、8・・・・・・制
御電極、10・・・・・・加速電極、12・・・・・・
四重極レンズ、収斂および偏向平レンズ、16・・・・
・・スクリーン、18・・・・・・電源、20,26・
・・・・・正電圧源、32・・・・・・負電圧源、36
・・・・・・高電圧源、28,30・・・・・・電極、
41,4B・・・・・・電子ビーム、50・・・・・ス
リット、42,44,46・・・・・・プレート、52
,54・・・・・・ビーム、58・・・・・・光電陰極
の像、60 , 62 ,64・・・・・・電子ビーム
。
Claims (1)
- 1 調べるべき光現象からの光を九電陰極上に集光して
電子ビームを発する光電陰極中のスリットの像をスクリ
ーン上で走査することにより変化の速い光現象を観察す
るためのスリット走査式像変換管であって、該管は該光
電陰極、制御電極、少くも1つの加速電極、該スクリー
ン、該加速電極と該スクリーン間6こ位置し電子ビーム
を偏向し集束するための電子光学系からなり、該光学系
は該スリットの最長寸法の像を該スクリーン上に形戊す
るための四重極レンズ手段と、該第1の手段とは独立で
あり、前述の方向とは直角な方向、即ち該スリットの最
長寸法と直角な方向、にスクリーンの面Oこおいてビー
ムを集束し偏向させるための収斂及び偏光レンズ手段と
からなる、スリット走査式像変換管。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7431136A FR2284978A1 (fr) | 1974-09-13 | 1974-09-13 | Tube convertisseur d'images a balayage de fente |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5154360A JPS5154360A (ja) | 1976-05-13 |
JPS5847823B2 true JPS5847823B2 (ja) | 1983-10-25 |
Family
ID=9143079
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50110113A Expired JPS5847823B2 (ja) | 1974-09-13 | 1975-09-12 | スリツトソウサシキゾウヘンカンカン |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4012657A (ja) |
JP (1) | JPS5847823B2 (ja) |
DE (1) | DE2540802C2 (ja) |
FR (1) | FR2284978A1 (ja) |
GB (1) | GB1514339A (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4243878A (en) * | 1977-07-07 | 1981-01-06 | Ralph Kalibjian | Ultra-fast framing camera tube |
US4350919A (en) * | 1977-09-19 | 1982-09-21 | International Telephone And Telegraph Corporation | Magnetically focused streak tube |
GB2021308B (en) * | 1978-01-09 | 1982-05-06 | Fiz Inst Im P N Lebedeva Akad | Image intensifier |
US4224511A (en) * | 1979-01-05 | 1980-09-23 | Brjukhnevich Gennady I | Image intensifier |
DE3042980A1 (de) * | 1979-12-13 | 1981-09-03 | Akademie Der Wissenschaften Der Ddr, Ddr 1199 Berlin | Temporal disperse sensorroehre |
JPS58145B2 (ja) * | 1980-08-22 | 1983-01-05 | 浜松テレビ株式会社 | 電子ビ−ムシヤツタ装置 |
GB2109659B (en) * | 1981-10-15 | 1985-06-19 | Hadland John | Image converters and methods of operating them |
FR2561441B1 (fr) * | 1984-03-16 | 1986-11-14 | Commissariat Energie Atomique | Tube convertisseur d'image a balayage de fente |
JPH07114119B2 (ja) * | 1985-09-09 | 1995-12-06 | 松下電器産業株式会社 | 平板形陰極線管 |
FR2627294B1 (fr) * | 1988-02-17 | 1990-06-01 | Commissariat Energie Atomique | Camera electronique ultra rapide a commande numerique, pour l'etude de phenomenes lumineux tres brefs |
GB2226693B (en) * | 1988-12-28 | 1993-09-01 | Hamamatsu Photonics Kk | Optical waveform observing apparatus |
US5151594A (en) * | 1991-10-18 | 1992-09-29 | International Business Machines Corporation | Subpicosecond atomic and molecular motion detection and signal transmission by field emission |
US6822246B2 (en) * | 2002-03-27 | 2004-11-23 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Ribbon electron beam for inspection system |
CN109459779B (zh) * | 2019-01-08 | 2023-08-18 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种激光内爆诊断系统 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE343309B (sv) * | 1967-04-05 | 1972-03-06 | Basf Ag | Foerfarande foer framstaellning av skumformiga etensampolymerisat |
FR1564698A (ja) * | 1968-02-20 | 1969-04-25 | G Mayer | |
FR1599901A (ja) * | 1968-12-09 | 1970-07-20 | ||
US3864595A (en) * | 1973-04-19 | 1975-02-04 | Westinghouse Electric Corp | Automatic brightness control for gated micro-channel plate intensifier |
-
1974
- 1974-09-13 FR FR7431136A patent/FR2284978A1/fr active Granted
-
1975
- 1975-09-04 GB GB36506/75A patent/GB1514339A/en not_active Expired
- 1975-09-08 US US05/611,198 patent/US4012657A/en not_active Expired - Lifetime
- 1975-09-12 JP JP50110113A patent/JPS5847823B2/ja not_active Expired
- 1975-09-12 DE DE2540802A patent/DE2540802C2/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1514339A (en) | 1978-06-14 |
JPS5154360A (ja) | 1976-05-13 |
FR2284978A1 (fr) | 1976-04-09 |
DE2540802A1 (de) | 1976-04-01 |
FR2284978B1 (ja) | 1978-06-09 |
US4012657A (en) | 1977-03-15 |
DE2540802C2 (de) | 1985-05-09 |
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