JPH06134666A - 研磨方法および研磨装置 - Google Patents
研磨方法および研磨装置Info
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- JPH06134666A JPH06134666A JP28635892A JP28635892A JPH06134666A JP H06134666 A JPH06134666 A JP H06134666A JP 28635892 A JP28635892 A JP 28635892A JP 28635892 A JP28635892 A JP 28635892A JP H06134666 A JPH06134666 A JP H06134666A
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- JP
- Japan
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- polishing
- axis
- polishing tool
- moving
- movement
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- Pending
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- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 研磨工具の揺動により発生する不要な振動を
防止できる研磨装置を提供する。 【構成】 リニアモータテーブル１０ｂには定圧機構
２、工具保持機構３および工具４の質量の総和と総和と
等価のカウンターマス１１がネジにより固定されてい
る。リニアモータテーブル１０ｂはリニアモータテーブ
ル１０ａに対して、反対方向に移動するように駆動さ
れ、揺動による振動の発生を防止する。
防止できる研磨装置を提供する。 【構成】 リニアモータテーブル１０ｂには定圧機構
２、工具保持機構３および工具４の質量の総和と総和と
等価のカウンターマス１１がネジにより固定されてい
る。リニアモータテーブル１０ｂはリニアモータテーブ
ル１０ａに対して、反対方向に移動するように駆動さ
れ、揺動による振動の発生を防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ミラーやレンズ等の光
学素子や金型等の被加工物（ワーク）を研磨加工する研
磨方法および研磨装置に関する。
学素子や金型等の被加工物（ワーク）を研磨加工する研
磨方法および研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の研磨装置は、研磨工具を
往復移動（揺動）させることにより研磨加工を行ってい
る。しかしながら、従来の研磨装置では、加工中の研磨
工具の揺動により不要な振動が発生し、精密な加工が困
難である。そこで、上記不要な振動の発生を防止するた
めの研究が行われている。
往復移動（揺動）させることにより研磨加工を行ってい
る。しかしながら、従来の研磨装置では、加工中の研磨
工具の揺動により不要な振動が発生し、精密な加工が困
難である。そこで、上記不要な振動の発生を防止するた
めの研究が行われている。
【０００３】図９は上記振動の発生を防止できる研磨ヘ
ッドの一例を示す図である。
ッドの一例を示す図である。
【０００４】研磨ヘッド５０は、被加工物６３を研磨加
工する研磨工具６２を保持する研磨工具保持装置６１、
研磨荷重を発生する加圧装置６０、およびこれらを矢印
Ｄ方向に揺動させる揺動装置５１からなっている。
工する研磨工具６２を保持する研磨工具保持装置６１、
研磨荷重を発生する加圧装置６０、およびこれらを矢印
Ｄ方向に揺動させる揺動装置５１からなっている。
【０００５】揺動装置５１の本体５２の上部に固定され
た駆動モータ５３の出力軸５３ａは、本体５２に複数個
の軸受を介して支持されたクランク５４の一端部の穴に
嵌入されて、不図示のネジによりクランク５４に固定さ
れている。クランク５４の図示右側には、加圧装置６０
がネジなどの固着手段により取り付けられた揺動スライ
ダ５７が、第２スライド軸５８に矢印Ｄ方向およびその
逆方向に揺動自在に取り付けられており、クランク５４
と揺動スライダ５７とは第２コンロッド５５により連結
されている。
た駆動モータ５３の出力軸５３ａは、本体５２に複数個
の軸受を介して支持されたクランク５４の一端部の穴に
嵌入されて、不図示のネジによりクランク５４に固定さ
れている。クランク５４の図示右側には、加圧装置６０
がネジなどの固着手段により取り付けられた揺動スライ
ダ５７が、第２スライド軸５８に矢印Ｄ方向およびその
逆方向に揺動自在に取り付けられており、クランク５４
と揺動スライダ５７とは第２コンロッド５５により連結
されている。
【０００６】前記駆動モータ５３の駆動によりクランク
５４が回転し、この回転運動が第２コンロッド５５を介
して揺動スライダ５７に伝わり、揺動スライダ５７が矢
印Ｄ方向およびその逆方向に揺動（往復移動）する。そ
のときの揺動幅（往復移動量）はクランク５４の偏心量
によって唯一決まる。このようにして揺動装置５１は、
揺動スライダ５７に取り付けられた加圧装置６０を矢印
Ｄ方向およびその逆方向に揺動させることにより、研磨
工具保持装置６１に保持された研磨工具６２を矢印Ｄ方
向およびその逆方向に揺動させる構成である。
５４が回転し、この回転運動が第２コンロッド５５を介
して揺動スライダ５７に伝わり、揺動スライダ５７が矢
印Ｄ方向およびその逆方向に揺動（往復移動）する。そ
のときの揺動幅（往復移動量）はクランク５４の偏心量
によって唯一決まる。このようにして揺動装置５１は、
揺動スライダ５７に取り付けられた加圧装置６０を矢印
Ｄ方向およびその逆方向に揺動させることにより、研磨
工具保持装置６１に保持された研磨工具６２を矢印Ｄ方
向およびその逆方向に揺動させる構成である。
【０００７】被加工物６３の研磨加工に際しては、一種
類の径の研磨工具６２を用い、一種類の揺動幅、一種類
の速度パターンで加工が行われる。
類の径の研磨工具６２を用い、一種類の揺動幅、一種類
の速度パターンで加工が行われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述した図９に示す研
磨ヘッドを用いた研磨装置では、所定の研磨工具を用い
るときには不要な振動を十分防止できる。しかしなが
ら、揺動幅が固定されているため、１個の研磨ヘッドで
数種の口径、曲率の被加工物を加工する際には、使用で
きる研磨工具径が唯一つであり、研磨工具径により決定
される最適な揺動幅を実現できない。また、大口径被加
工物の加工においては、加工能率を上げることができな
い。例えば平面、球面被加工物では、研磨工具径が大き
いほうが能率的である。
磨ヘッドを用いた研磨装置では、所定の研磨工具を用い
るときには不要な振動を十分防止できる。しかしなが
ら、揺動幅が固定されているため、１個の研磨ヘッドで
数種の口径、曲率の被加工物を加工する際には、使用で
きる研磨工具径が唯一つであり、研磨工具径により決定
される最適な揺動幅を実現できない。また、大口径被加
工物の加工においては、加工能率を上げることができな
い。例えば平面、球面被加工物では、研磨工具径が大き
いほうが能率的である。
【０００９】本発明の目的は、研磨工具の揺動により発
生する不要な振動を防止できる研磨方法および研磨装置
を提供することにある。本発明の他の目的は、上記研磨
工具の揺動により発生する不要な振動を防止でき、かつ
揺動幅を変えることができる研磨装置を提供することに
ある。
生する不要な振動を防止できる研磨方法および研磨装置
を提供することにある。本発明の他の目的は、上記研磨
工具の揺動により発生する不要な振動を防止でき、かつ
揺動幅を変えることができる研磨装置を提供することに
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨方法は、被
加工物の被研磨面の加工すべき情報に基づいて研磨工具
の移動操作を行って前記被研磨面の研磨加工を行う研磨
方法であって、前記研磨工具は前記被研磨面上をＸ軸、
Ｙ軸、および、Ｚ軸上を移動制御を受けるとともに、前
記Ｘ軸、Ｙ軸上の移動に伴う移動方向の慣性力を打ち消
す作用を伴って移動操作が行われるようにしたことを特
徴とする。
加工物の被研磨面の加工すべき情報に基づいて研磨工具
の移動操作を行って前記被研磨面の研磨加工を行う研磨
方法であって、前記研磨工具は前記被研磨面上をＸ軸、
Ｙ軸、および、Ｚ軸上を移動制御を受けるとともに、前
記Ｘ軸、Ｙ軸上の移動に伴う移動方向の慣性力を打ち消
す作用を伴って移動操作が行われるようにしたことを特
徴とする。
【００１１】また、本発明の研磨方法は、被加工物の被
研磨面の加工すべき情報に基づいて研磨工具の移動操作
を行って前記被研磨面の研磨加工を行う研磨方法であっ
て、前記研磨面上のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸上を移動するよう
に前記研磨工具を移動制御するとともに、前記研磨工具
の前記Ｘ軸、Ｙ軸上の移動に伴う移動方向の慣性力を打
ち消す作用をする方向に、前記研磨工具に対応する物体
を動かし、加工移動動作を行うことを特徴とする。
研磨面の加工すべき情報に基づいて研磨工具の移動操作
を行って前記被研磨面の研磨加工を行う研磨方法であっ
て、前記研磨面上のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸上を移動するよう
に前記研磨工具を移動制御するとともに、前記研磨工具
の前記Ｘ軸、Ｙ軸上の移動に伴う移動方向の慣性力を打
ち消す作用をする方向に、前記研磨工具に対応する物体
を動かし、加工移動動作を行うことを特徴とする。
【００１２】さらに、本発明の研磨方法は、被加工物の
被研磨面の加工すべき情報に基づいて研磨工具の移動操
作を行って前記被研磨面の研磨加工を行う研磨方法であ
って、前記研磨工具を弾性部材により弾性支持して被研
磨面に圧接し、前記研磨工具は前記被研磨面上をＸ軸、
Ｙ軸、および、Ｚ軸上を移動制御を受けるとともに、前
記Ｚ軸上の加工量を定めたメモリからの情報と、或る
Ｘ、Ｙ軸座標地点のＺ軸における前記研磨工具のＺ軸方
向の移動量の情報を補正して前記メモリからの情報に基
づいて加工することを特徴とする。この場合、前記研磨
工具をＺ軸上に支持して該軸を電磁駆動手段にてＺ軸方
向に移動制御するとともに、前記研磨工具のＺ軸方向の
移動位置をセンサによって検出して、その検出信号およ
び、前記メモリの情報に基づいて前記研磨工具のＺ軸方
向の補正を行うことができる。
被研磨面の加工すべき情報に基づいて研磨工具の移動操
作を行って前記被研磨面の研磨加工を行う研磨方法であ
って、前記研磨工具を弾性部材により弾性支持して被研
磨面に圧接し、前記研磨工具は前記被研磨面上をＸ軸、
Ｙ軸、および、Ｚ軸上を移動制御を受けるとともに、前
記Ｚ軸上の加工量を定めたメモリからの情報と、或る
Ｘ、Ｙ軸座標地点のＺ軸における前記研磨工具のＺ軸方
向の移動量の情報を補正して前記メモリからの情報に基
づいて加工することを特徴とする。この場合、前記研磨
工具をＺ軸上に支持して該軸を電磁駆動手段にてＺ軸方
向に移動制御するとともに、前記研磨工具のＺ軸方向の
移動位置をセンサによって検出して、その検出信号およ
び、前記メモリの情報に基づいて前記研磨工具のＺ軸方
向の補正を行うことができる。
【００１３】本発明の研磨装置は、被加工物の被研磨面
の加工すべき情報に基づいて研磨工具の移動操作を行っ
て前記被研磨面の研磨加工を行う研磨装置であって、前
記研磨工具を前記被研磨面上のＸ軸、Ｙ軸、および、Ｚ
軸上を移動制御する手段と、前記Ｘ軸、および、Ｙ軸上
を移動する際に、前記研磨工具の移動方向の慣性力を打
ち消す手段とを備えたことを特徴とする。この研磨装置
においては、前記慣性力を打ち消す手段はモータである
ことが可能である。また、前記研磨工具は電磁制御手段
によって移動されることができる。この電磁制御手段に
よって移動される研磨装置においては、前記慣性力を打
ち消す手段は前記電磁制御される研磨工具の制御信号に
同期して制御されるモータであることが可能である。
の加工すべき情報に基づいて研磨工具の移動操作を行っ
て前記被研磨面の研磨加工を行う研磨装置であって、前
記研磨工具を前記被研磨面上のＸ軸、Ｙ軸、および、Ｚ
軸上を移動制御する手段と、前記Ｘ軸、および、Ｙ軸上
を移動する際に、前記研磨工具の移動方向の慣性力を打
ち消す手段とを備えたことを特徴とする。この研磨装置
においては、前記慣性力を打ち消す手段はモータである
ことが可能である。また、前記研磨工具は電磁制御手段
によって移動されることができる。この電磁制御手段に
よって移動される研磨装置においては、前記慣性力を打
ち消す手段は前記電磁制御される研磨工具の制御信号に
同期して制御されるモータであることが可能である。
【００１４】さらに、本発明の研磨装置においては、前
記研磨工具と前記慣性力を打ち消す手段の移動を規定す
る情報を記憶するメモリと、前記研磨工具および慣性力
を打ち消す手段の移動量を制御する駆動制御手段とを有
し、前記駆動制御手段は前記メモリの情報に基づいて移
動制御が行われることができる。
記研磨工具と前記慣性力を打ち消す手段の移動を規定す
る情報を記憶するメモリと、前記研磨工具および慣性力
を打ち消す手段の移動量を制御する駆動制御手段とを有
し、前記駆動制御手段は前記メモリの情報に基づいて移
動制御が行われることができる。
【００１５】また、本発明の研磨装置は、被加工物を研
磨剤あるいは研磨液中に設置し、前記被加工物の外径よ
りも小さい径を持つ研磨工具を前記被加工物に任意の荷
重で押し付け、かつ前記被加工物と研磨工具とを相対運
動させて前記被加工物を除去する研磨加工に使用し、前
記研磨工具、該研磨工具の保持手段および前記荷重を発
生する手段が固定された、アクチュエータを駆動源とす
る第１の移動軸と、前記研磨工具、該研磨工具の保持手
段および前記荷重を発生する手段の質量の総和と等価な
カウンターマスが固定された、アクチュエータを駆動源
とする第２の移動軸とを有し、第１の移動軸の現在位置
を検出する第１の位置検出手段と、目標位置のインデッ
クスと、第１の移動軸を駆動する第１の制御手段とを有
し、第１の位置検出手段からの位置信号と前記インデッ
クスの値とを比較し、この比較結果に基づいて第１の移
動軸の目標位置を演算し、この演算結果により第１の制
御手段へ制御信号を送る第１の演算器を有し、第２の移
動軸の現在位置を検出する第２の位置検出手段と、目標
位置のインデックスと、第２の移動軸を駆動する第２の
制御手段とを有し、第２の位置検出手段からの位置信号
と前記インデックスの値とを比較し、この比較結果に基
づいて第２の移動軸の目標位置を演算し、この演算結果
により第２の制御手段へ制御信号を送る第２の演算器を
有し、第１の移動軸および第２の移動軸が同期して駆動
されることを特徴とする。この研磨装置では、前記第１
の移動軸、第２の移動軸は反対方向に同期駆動され、慣
性力を相殺することができる。そしてこの研磨装置で
は、前記インデックスには複数種の波形の、単位時間毎
の位置を記憶してあり、使用するインデックスを変更す
ることで、前記第１の移動軸および第２の移動軸の運動
パターンを変更することができる。
磨剤あるいは研磨液中に設置し、前記被加工物の外径よ
りも小さい径を持つ研磨工具を前記被加工物に任意の荷
重で押し付け、かつ前記被加工物と研磨工具とを相対運
動させて前記被加工物を除去する研磨加工に使用し、前
記研磨工具、該研磨工具の保持手段および前記荷重を発
生する手段が固定された、アクチュエータを駆動源とす
る第１の移動軸と、前記研磨工具、該研磨工具の保持手
段および前記荷重を発生する手段の質量の総和と等価な
カウンターマスが固定された、アクチュエータを駆動源
とする第２の移動軸とを有し、第１の移動軸の現在位置
を検出する第１の位置検出手段と、目標位置のインデッ
クスと、第１の移動軸を駆動する第１の制御手段とを有
し、第１の位置検出手段からの位置信号と前記インデッ
クスの値とを比較し、この比較結果に基づいて第１の移
動軸の目標位置を演算し、この演算結果により第１の制
御手段へ制御信号を送る第１の演算器を有し、第２の移
動軸の現在位置を検出する第２の位置検出手段と、目標
位置のインデックスと、第２の移動軸を駆動する第２の
制御手段とを有し、第２の位置検出手段からの位置信号
と前記インデックスの値とを比較し、この比較結果に基
づいて第２の移動軸の目標位置を演算し、この演算結果
により第２の制御手段へ制御信号を送る第２の演算器を
有し、第１の移動軸および第２の移動軸が同期して駆動
されることを特徴とする。この研磨装置では、前記第１
の移動軸、第２の移動軸は反対方向に同期駆動され、慣
性力を相殺することができる。そしてこの研磨装置で
は、前記インデックスには複数種の波形の、単位時間毎
の位置を記憶してあり、使用するインデックスを変更す
ることで、前記第１の移動軸および第２の移動軸の運動
パターンを変更することができる。
【００１６】さらに、本発明の研磨装置は、前記荷重を
発生する手段においてはアクチュエータを駆動源とする
移動機構を有し、該移動機構の位置を検出し、位置信号
を出力する検出器と、該アクチュエータを駆動する制御
手段とを有し、前記検出器からの位置信号をもとに前記
移動機構の出力を演算し、前記制御手段へ制御信号を送
る演算器を有することが可能である。
発生する手段においてはアクチュエータを駆動源とする
移動機構を有し、該移動機構の位置を検出し、位置信号
を出力する検出器と、該アクチュエータを駆動する制御
手段とを有し、前記検出器からの位置信号をもとに前記
移動機構の出力を演算し、前記制御手段へ制御信号を送
る演算器を有することが可能である。
【００１７】なお、本発明は、研削方法および研削装置
にも適用できる。
にも適用できる。
【００１８】
【作用】本発明は、研磨面上のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸上を移
動するように研磨工具を移動制御するとともに、研磨工
具のＸ軸、Ｙ軸上の移動に伴う移動方向の慣性力を打ち
消すように加工移動動作を行うことで、研磨工具の揺動
により発生する不要な振動を防止する。
動するように研磨工具を移動制御するとともに、研磨工
具のＸ軸、Ｙ軸上の移動に伴う移動方向の慣性力を打ち
消すように加工移動動作を行うことで、研磨工具の揺動
により発生する不要な振動を防止する。
【００１９】また、本発明は、アクチュエータを駆動源
とした移動軸を使用し、この移動軸の現在位置を検出し
た検出器から出力される位置信号と位置のインデックス
の値とを比較し、この比較結果に基づいて移動軸の移動
量を演算することで、移動軸の運動（揺動幅、周波数、
速度パターン）について、自由度を大きくする。すなわ
ち、目標位置のインデックスを変更することで、上記移
動軸の運動を変えることができる。
とした移動軸を使用し、この移動軸の現在位置を検出し
た検出器から出力される位置信号と位置のインデックス
の値とを比較し、この比較結果に基づいて移動軸の移動
量を演算することで、移動軸の運動（揺動幅、周波数、
速度パターン）について、自由度を大きくする。すなわ
ち、目標位置のインデックスを変更することで、上記移
動軸の運動を変えることができる。
【００２０】さらに、本発明は、アクチュエータを駆動
源とした加重のための移動機構を有し、この移動機構の
現在位置を検出した検出器から出力される位置信号をも
とに移動機構の移動量を演算することで、移動機構の移
動方向に発生する力を一定に保つ。
源とした加重のための移動機構を有し、この移動機構の
現在位置を検出した検出器から出力される位置信号をも
とに移動機構の移動量を演算することで、移動機構の移
動方向に発生する力を一定に保つ。
【００２１】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００２２】図１は本発明の研磨装置の一実施例を示す
斜視図、図２は図１中の研磨ヘッド１を示す図であり、
（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った
横断面図、図３は図２中のリニアモータ５ａを示す説明
図である。
斜視図、図２は図１中の研磨ヘッド１を示す図であり、
（ａ）は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った
横断面図、図３は図２中のリニアモータ５ａを示す説明
図である。
【００２３】図１に示すように、本実施例の研磨装置１
００のＸテーブル１０２およびＹテーブル１０３は、被
加工物１０１を矢印Ｘ方向、矢印Ｙ方向にそれぞれ移動
させる移動軸である。Ｚチルティング装置１０４は、後
述する工具（図２参照）が装着される研磨ヘッド１を自
由に傾斜させながら上下動させることができる移動軸で
ある。また、研磨装置１００は、ワークを時計回りまた
はその逆方向に回転させることもできるように構成され
ている。研磨装置１００は研削も可能である。
００のＸテーブル１０２およびＹテーブル１０３は、被
加工物１０１を矢印Ｘ方向、矢印Ｙ方向にそれぞれ移動
させる移動軸である。Ｚチルティング装置１０４は、後
述する工具（図２参照）が装着される研磨ヘッド１を自
由に傾斜させながら上下動させることができる移動軸で
ある。また、研磨装置１００は、ワークを時計回りまた
はその逆方向に回転させることもできるように構成され
ている。研磨装置１００は研削も可能である。
【００２４】図２（ａ），（ｂ）に示すように、研磨ヘ
ッド１の基準フレーム１８はアングル形状で上部は研磨
アーム取付部３３で、研磨装置１００（図１に示す）に
ネジなどの固着手段によって取り付けられる。研磨アー
ム取付部３３に垂直な面には、その内側にリニアモータ
５ａおよびリニアモータ５ｂがネジなどの固着手段によ
って取り付けられている。
ッド１の基準フレーム１８はアングル形状で上部は研磨
アーム取付部３３で、研磨装置１００（図１に示す）に
ネジなどの固着手段によって取り付けられる。研磨アー
ム取付部３３に垂直な面には、その内側にリニアモータ
５ａおよびリニアモータ５ｂがネジなどの固着手段によ
って取り付けられている。
【００２５】リニアモータ５ａについて説明する。
【００２６】図２に示すように、基準フレーム１８にテ
ーブルベース３４が固定されている。テーブルベース３
４には、図３に示すように、矩形の板のヨーク２３ａが
固定されている。ヨーク２３ａにはテーブルガイド１９
ａのレール部が固定され、テーブルガイド１９ａの可動
部とコイル２０ａがリニアモータテーブル１０ａに固定
されている。コイル２０ａは、通電時には、ヨーク２３
ａに固定されたマグネット２２ａと磁気回路を形成す
る。ヨークバー２１ａは、角柱形状の磁性体で、ヨーク
２３ａの内側に固定され、コイル２０ａを貫通してい
る。コイル２０ａに流す電流によって、リニアモータテ
ーブル１０ａは図中Ｂ方向およびその逆方向に移動可能
である。光学式のリニアスケールヘッド１２ａは、リニ
アモータテーブル１０ａに、ブラケット４６を介して装
着され、また、スケール１３ａはヨーク２３ａに固定さ
れ、リニアモータテーブル１０ａの位置を検出する。リ
ニアモータテーブル１０ａには原点リファレンス１４ａ
およびリミットリファレンス１６ａが装着されている。
原点検出器１５ａおよびリミット検出器１７ａは公知の
フォトスイッチで、テーブルベース３４の側面に装着さ
れたセンサプレート４５に固定されており、リニアモー
タテーブル１０ａの原点およびリミットを検出する。リ
ニアモータテーブル１０ａには、荷重を発生する定圧機
構２が固定されている。また、定圧機構２にはその下方
に、工具４を保持する工具保持機構３が装着されてい
る。
ーブルベース３４が固定されている。テーブルベース３
４には、図３に示すように、矩形の板のヨーク２３ａが
固定されている。ヨーク２３ａにはテーブルガイド１９
ａのレール部が固定され、テーブルガイド１９ａの可動
部とコイル２０ａがリニアモータテーブル１０ａに固定
されている。コイル２０ａは、通電時には、ヨーク２３
ａに固定されたマグネット２２ａと磁気回路を形成す
る。ヨークバー２１ａは、角柱形状の磁性体で、ヨーク
２３ａの内側に固定され、コイル２０ａを貫通してい
る。コイル２０ａに流す電流によって、リニアモータテ
ーブル１０ａは図中Ｂ方向およびその逆方向に移動可能
である。光学式のリニアスケールヘッド１２ａは、リニ
アモータテーブル１０ａに、ブラケット４６を介して装
着され、また、スケール１３ａはヨーク２３ａに固定さ
れ、リニアモータテーブル１０ａの位置を検出する。リ
ニアモータテーブル１０ａには原点リファレンス１４ａ
およびリミットリファレンス１６ａが装着されている。
原点検出器１５ａおよびリミット検出器１７ａは公知の
フォトスイッチで、テーブルベース３４の側面に装着さ
れたセンサプレート４５に固定されており、リニアモー
タテーブル１０ａの原点およびリミットを検出する。リ
ニアモータテーブル１０ａには、荷重を発生する定圧機
構２が固定されている。また、定圧機構２にはその下方
に、工具４を保持する工具保持機構３が装着されてい
る。
【００２７】定圧機構２において、定圧ベース３６はリ
ニアモータテーブル１０９にネジで固定され、さらに加
重軸ガイド（公知のリニアガイド）３２のレール、ブロ
ック３７が固定されている。加重軸２８は加重軸ガイド
３２の可動部が固定され、ブロック３７に設けられた穴
を貫通し、図中Ｃ方向およびその逆方向に移動可能であ
る。
ニアモータテーブル１０９にネジで固定され、さらに加
重軸ガイド（公知のリニアガイド）３２のレール、ブロ
ック３７が固定されている。加重軸２８は加重軸ガイド
３２の可動部が固定され、ブロック３７に設けられた穴
を貫通し、図中Ｃ方向およびその逆方向に移動可能であ
る。
【００２８】定圧ベース３６にはボイスコイルモータ
（ＶＣＭ）２７のマグネット２９、および変位計ブラケ
ット４７が固定されている。変位計リファレンス２６が
マグネット２９を貫通して加重軸２８に固定され、変位
計ブラケット４７に固定された変位計２５が、加工中に
生じる加重軸２８の上下方向変位を検出する。加重軸２
８には、一端をブロック３７に固定された加重スプリン
グ３１が圧縮装着されている。さらに加重軸２８上部に
はＶＣＭ２７のボビン３０が固定され、ＶＣＭ２７に通
電することにより、スプリング３１とともに研磨荷重を
発生する。
（ＶＣＭ）２７のマグネット２９、および変位計ブラケ
ット４７が固定されている。変位計リファレンス２６が
マグネット２９を貫通して加重軸２８に固定され、変位
計ブラケット４７に固定された変位計２５が、加工中に
生じる加重軸２８の上下方向変位を検出する。加重軸２
８には、一端をブロック３７に固定された加重スプリン
グ３１が圧縮装着されている。さらに加重軸２８上部に
はＶＣＭ２７のボビン３０が固定され、ＶＣＭ２７に通
電することにより、スプリング３１とともに研磨荷重を
発生する。
【００２９】工具４において保持部は磁性材で構成さ
れ、工具保持機構３に設けられたマグネットにより吸引
され固定される。
れ、工具保持機構３に設けられたマグネットにより吸引
され固定される。
【００３０】リニアモータテーブル１０ｂには前記定圧
機構２、工具保持機構３および工具４の質量の総和と総
和と等価のカウンターマス１１がネジにより固定されて
いる。リニアモータテーブル１０ｂはリニアモータテー
ブル１０ａに対して、反対方向に移動するように駆動さ
れ、揺動による振動の発生を防止している。
機構２、工具保持機構３および工具４の質量の総和と総
和と等価のカウンターマス１１がネジにより固定されて
いる。リニアモータテーブル１０ｂはリニアモータテー
ブル１０ａに対して、反対方向に移動するように駆動さ
れ、揺動による振動の発生を防止している。
【００３１】次に、揺動運動の制御について説明する。
【００３２】図４は本実施例中の研磨ヘッドの揺動を制
御する制御部を示すブロック図、図５は揺動の制御を説
明するための図であり、（ａ）は揺動幅を示す説明図、
（ｂ）は位置および時刻を示す説明図、（ｃ）はインデ
ックス４２の内容を示す説明図である。
御する制御部を示すブロック図、図５は揺動の制御を説
明するための図であり、（ａ）は揺動幅を示す説明図、
（ｂ）は位置および時刻を示す説明図、（ｃ）はインデ
ックス４２の内容を示す説明図である。
【００３３】図４に示すように、リニアモータ５ａ，５
ｂはコントロールボックス４０のアンプ４１ａ，４１ｂ
によりそれぞれ電流Ｉ１ａ，Ｉ１ｂが与えられて移動す
る。図５（ｂ）に示すように、リニアモータテーブル１
０ａの位置Ｐ1 ，Ｐ2 は、単位時間（２ｍｓ）毎に、す
なわち時刻ｔ1 ，ｔ2 ，・・・でリニアスケールヘッド
１２ａによって検出される。時刻ｔ1 ，ｔ2 ，・・・で
のリニアモーターテーブル１０ａの位置Ｐ1 ，Ｐ2 ・・
・は、それぞれ位置信号Ｐ１ａとしてコントローラ４０
ａに入力される。コントローラ４０ａは、駆動前に予め
算出した単位時間毎の目標位置のインデックス４２（メ
モリ）の値と、位置信号Ｐ１ａとを比較し、その差がゼ
ロになるように、アンプ４１ａに制御信号Ｃ１ａを入力
することにより、ＰＩＤ制御を行う。アンプ４１ａが制
御信号Ｃ１ａに基づき、リニアモータ５ａに電流Ｉ１ａ
を与えて、リニアモータ５ａの軌跡が制御される。これ
により、加重軸２８および工具４は、図５（ａ），
（ｂ）に示すように、揺動幅Ｗ、周期Ｔで揺動する。
ｂはコントロールボックス４０のアンプ４１ａ，４１ｂ
によりそれぞれ電流Ｉ１ａ，Ｉ１ｂが与えられて移動す
る。図５（ｂ）に示すように、リニアモータテーブル１
０ａの位置Ｐ1 ，Ｐ2 は、単位時間（２ｍｓ）毎に、す
なわち時刻ｔ1 ，ｔ2 ，・・・でリニアスケールヘッド
１２ａによって検出される。時刻ｔ1 ，ｔ2 ，・・・で
のリニアモーターテーブル１０ａの位置Ｐ1 ，Ｐ2 ・・
・は、それぞれ位置信号Ｐ１ａとしてコントローラ４０
ａに入力される。コントローラ４０ａは、駆動前に予め
算出した単位時間毎の目標位置のインデックス４２（メ
モリ）の値と、位置信号Ｐ１ａとを比較し、その差がゼ
ロになるように、アンプ４１ａに制御信号Ｃ１ａを入力
することにより、ＰＩＤ制御を行う。アンプ４１ａが制
御信号Ｃ１ａに基づき、リニアモータ５ａに電流Ｉ１ａ
を与えて、リニアモータ５ａの軌跡が制御される。これ
により、加重軸２８および工具４は、図５（ａ），
（ｂ）に示すように、揺動幅Ｗ、周期Ｔで揺動する。
【００３４】ただし、揺動動作前には、原点を検出する
よう、リニアモータテーブル１０ａを駆動する。原点を
検出する（原点検出器１５ａのスリットを原点リファレ
ンス１４ａが通過する）と同時に、スケールの現在値カ
ウンタ４３ａをリセットし、ゼロとする。
よう、リニアモータテーブル１０ａを駆動する。原点を
検出する（原点検出器１５ａのスリットを原点リファレ
ンス１４ａが通過する）と同時に、スケールの現在値カ
ウンタ４３ａをリセットし、ゼロとする。
【００３５】リニアモータ５ｂにおいては、インデック
ス４２の目標位置の値を正負逆に認識することで、リニ
アモータ５ａと反対方向に同期して同期して駆動され
る。インデックス４２には、揺動周波数（周期Ｔ）、揺
動幅Ｗ、一揺動中の速度（例えば、正弦波、矩形波、台
形波、三角波等）から算出された単位時間毎の、図５
（ｃ）に示す時刻ｔ1 ，ｔ2 ，・・・とその目標位置Ｐ
1 ，Ｐ2 ・・・が記憶されている。
ス４２の目標位置の値を正負逆に認識することで、リニ
アモータ５ａと反対方向に同期して同期して駆動され
る。インデックス４２には、揺動周波数（周期Ｔ）、揺
動幅Ｗ、一揺動中の速度（例えば、正弦波、矩形波、台
形波、三角波等）から算出された単位時間毎の、図５
（ｃ）に示す時刻ｔ1 ，ｔ2 ，・・・とその目標位置Ｐ
1 ，Ｐ2 ・・・が記憶されている。
【００３６】次に、荷重の制御について説明する。
【００３７】図６は本実施例中の研磨ヘッドの荷重を制
御する制御部を示すブロック図である。図６に示すよう
に、ＶＣＭ２７はコントロールボックス４０のアンプ４
１ｃにより電流Ｉ１ｃが与えられて、推力を発生する。
変位計２５で検出された加重軸２８の位置は、位置信号
Ｐ１ｃとしてバッファ４３ｃを介してコントローラ４０
ｃに入力される。コントローラ４０ｃでは位置信号Ｐ１
ｃから加重スプリング３１の反力の変化を演算し、予め
設定された荷重との差がゼロになるように、アンプ４１
ｃに制御信号Ｃ１ｃを入力することにより、ＰＩＤ制御
を行う。アンプ４１ｃが制御信号Ｃ１ｃに基づき、ＶＣ
Ｍ２７に電流Ｉ１ｃを与えて、ＶＣＭ２７により発生さ
れる推力が制御され、常に設定された荷重に保たれる。
なお、変位センサ２５に代えて、荷重センサを用いても
よい。
御する制御部を示すブロック図である。図６に示すよう
に、ＶＣＭ２７はコントロールボックス４０のアンプ４
１ｃにより電流Ｉ１ｃが与えられて、推力を発生する。
変位計２５で検出された加重軸２８の位置は、位置信号
Ｐ１ｃとしてバッファ４３ｃを介してコントローラ４０
ｃに入力される。コントローラ４０ｃでは位置信号Ｐ１
ｃから加重スプリング３１の反力の変化を演算し、予め
設定された荷重との差がゼロになるように、アンプ４１
ｃに制御信号Ｃ１ｃを入力することにより、ＰＩＤ制御
を行う。アンプ４１ｃが制御信号Ｃ１ｃに基づき、ＶＣ
Ｍ２７に電流Ｉ１ｃを与えて、ＶＣＭ２７により発生さ
れる推力が制御され、常に設定された荷重に保たれる。
なお、変位センサ２５に代えて、荷重センサを用いても
よい。
【００３８】次に、荷重の補正について説明する。
【００３９】図７（ａ），（ｂ）は荷重の補正の概要を
示す説明図、図８はこの補正のフローチャートである。
示す説明図、図８はこの補正のフローチャートである。
【００４０】例えば、図７（ａ）に示すように、初期設
定が加重スプリング３１のバネ圧が４００ｇ、ＶＣＭ２
７の作用力が１００ｇで、工具４側のトータルの加圧力
が５００ｇ、被加工物１０１側から反力が５００ｇとし
た場合、工具４をＸ，Ｙ軸平面の座標上をスキャンした
ときに、何らかの原因により図７（ｂ）に示すように、
工具４の位置が変化量δだけ変化すると、加重スプリン
グ３１のバネ圧が４５０ｇに変わる。このとき、コント
ロールボックス４０では、ＶＣＭ２７の位置を変位計２
５からの位置信号Ｐ１ｃに応じて補正して工具４側のト
ータルの加圧力を一定となるようにＶＣＭ２７の作用力
を５０ｇに補正する。
定が加重スプリング３１のバネ圧が４００ｇ、ＶＣＭ２
７の作用力が１００ｇで、工具４側のトータルの加圧力
が５００ｇ、被加工物１０１側から反力が５００ｇとし
た場合、工具４をＸ，Ｙ軸平面の座標上をスキャンした
ときに、何らかの原因により図７（ｂ）に示すように、
工具４の位置が変化量δだけ変化すると、加重スプリン
グ３１のバネ圧が４５０ｇに変わる。このとき、コント
ロールボックス４０では、ＶＣＭ２７の位置を変位計２
５からの位置信号Ｐ１ｃに応じて補正して工具４側のト
ータルの加圧力を一定となるようにＶＣＭ２７の作用力
を５０ｇに補正する。
【００４１】コントロールボックス４０での補正につい
て説明する。
て説明する。
【００４２】図８において、まず、加重軸２８の基準位
置での加重スプリング３１の反力Ｆ 0 およびバネ定数ｋ
とＶＣＭ２７の推力定数Ｃを入力する（ステップ１１
１）。次に、変位計２５で加重軸２８の現在位置（加重
スプリング３１の伸び量）を読み込む（ステップ１１
２）。読み込んだ現在位置と加重軸２８の基準位置との
位置差ΔＺとバネ定数ｋよりこの現在位置でのスプリン
グ反力ＦS を ＦS ＝Ｆ0 ＋ｋ・ΔＺ として計算する（ステップ１１３）。次に、目標押付力
Ｆとスプリング反力ＦSの差ＦV （Ｆ＝ＦS ＋ＦV ）を
ＶＣＭ２７が発生するよう指令する。すなわち、ＶＣＭ
２７の推力定数ＣよりＶＣＭ電流Ｉ（図６の電流Ｉ１ｃ
に相当する）を ＦV ＝ＣＩ としてＶＣＭ２７に与える（ステップ１１４）。ステッ
プ１１２〜１１４の計算および指令を研磨が終了するま
で行い（ステップ１１５）、研磨が終了したら、ＶＣＭ
２７に推力ゼロ指令を与える（ステップ１１６）。
置での加重スプリング３１の反力Ｆ 0 およびバネ定数ｋ
とＶＣＭ２７の推力定数Ｃを入力する（ステップ１１
１）。次に、変位計２５で加重軸２８の現在位置（加重
スプリング３１の伸び量）を読み込む（ステップ１１
２）。読み込んだ現在位置と加重軸２８の基準位置との
位置差ΔＺとバネ定数ｋよりこの現在位置でのスプリン
グ反力ＦS を ＦS ＝Ｆ0 ＋ｋ・ΔＺ として計算する（ステップ１１３）。次に、目標押付力
Ｆとスプリング反力ＦSの差ＦV （Ｆ＝ＦS ＋ＦV ）を
ＶＣＭ２７が発生するよう指令する。すなわち、ＶＣＭ
２７の推力定数ＣよりＶＣＭ電流Ｉ（図６の電流Ｉ１ｃ
に相当する）を ＦV ＝ＣＩ としてＶＣＭ２７に与える（ステップ１１４）。ステッ
プ１１２〜１１４の計算および指令を研磨が終了するま
で行い（ステップ１１５）、研磨が終了したら、ＶＣＭ
２７に推力ゼロ指令を与える（ステップ１１６）。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、研磨面上
のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸上を移動するように研磨工具を移動
制御するとともに、研磨工具のＸ軸、Ｙ軸上の移動に伴
う移動方向の慣性力を打ち消すように加工移動動作を行
うことで、研磨工具の揺動により発生する不要な振動を
防止でき、精密な加工が可能となる。
のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸上を移動するように研磨工具を移動
制御するとともに、研磨工具のＸ軸、Ｙ軸上の移動に伴
う移動方向の慣性力を打ち消すように加工移動動作を行
うことで、研磨工具の揺動により発生する不要な振動を
防止でき、精密な加工が可能となる。
【００４４】また、本発明は、アクチュエータを駆動源
とした移動軸を使用し、この移動軸の現在位置を検出し
た検出器から出力される位置信号と位置のインデックス
の値とを比較し、この比較結果に基づいて移動軸の移動
量を演算することで、移動軸の運動（揺動幅、周波数、
速度パターン）について、自由度を大きくする。すなわ
ち、目標位置のインデックスを変更することで、上記移
動軸の運動を変えることができる。したがって、研磨工
具の外径を変えた場合、その外径で決定される最適な揺
動幅に対応できる。揺動の速度パターンを例えば正弦
波、矩形波、三角波とすることができ、一揺動中で任意
の除去形状の創成が可能である。加えて、インデックス
を使用するので、目標位置を逐次算出する方式に比べ、
制御周波数を向上できる。１個の研磨ヘッドで対応でき
る被加工物の口径、曲率の許容範囲が広い。
とした移動軸を使用し、この移動軸の現在位置を検出し
た検出器から出力される位置信号と位置のインデックス
の値とを比較し、この比較結果に基づいて移動軸の移動
量を演算することで、移動軸の運動（揺動幅、周波数、
速度パターン）について、自由度を大きくする。すなわ
ち、目標位置のインデックスを変更することで、上記移
動軸の運動を変えることができる。したがって、研磨工
具の外径を変えた場合、その外径で決定される最適な揺
動幅に対応できる。揺動の速度パターンを例えば正弦
波、矩形波、三角波とすることができ、一揺動中で任意
の除去形状の創成が可能である。加えて、インデックス
を使用するので、目標位置を逐次算出する方式に比べ、
制御周波数を向上できる。１個の研磨ヘッドで対応でき
る被加工物の口径、曲率の許容範囲が広い。
【００４５】さらに、本発明は、アクチュエータを駆動
源とした加重のための移動機構を有し、この移動機構の
現在位置を検出した検出器から出力される位置信号をも
とに移動機構の移動量を演算することで、移動機構の移
動方向に発生する力を一定に保つ。すなわち、加工中に
被研磨物の形状変化に追随して、加重軸の上下動が生じ
ても研磨荷重を設定値に保つことができる。
源とした加重のための移動機構を有し、この移動機構の
現在位置を検出した検出器から出力される位置信号をも
とに移動機構の移動量を演算することで、移動機構の移
動方向に発生する力を一定に保つ。すなわち、加工中に
被研磨物の形状変化に追随して、加重軸の上下動が生じ
ても研磨荷重を設定値に保つことができる。
【図１】本発明の研磨装置の一実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】図１中の研磨ヘッド１を示す図であり、（ａ）
は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った横断面
図である。
は縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った横断面
図である。
【図３】図２中のリニアモータ５ａを示す説明図であ
る。
る。
【図４】本実施例中の研磨ヘッドの揺動を制御する制御
部を示すブロック図である。
部を示すブロック図である。
【図５】揺動の制御を説明するための図であり、（ａ）
は揺動幅を示す説明図、（ｂ）は位置および時刻を示す
説明図、（ｃ）はインデックス４２の内容を示す説明図
である。
は揺動幅を示す説明図、（ｂ）は位置および時刻を示す
説明図、（ｃ）はインデックス４２の内容を示す説明図
である。
【図６】本実施例中の研磨ヘッドの荷重を制御する制御
部を示すブロック図である。
部を示すブロック図である。
【図７】（ａ），（ｂ）は荷重の補正の概要を示す説明
図である。
図である。
【図８】図７の補正のフローチャートである。
【図９】振動の発生を防止できる研磨ヘッドの一例を示
す図である。
す図である。
１ 研磨ヘッド ２ 定圧機構 ３ 工具保持機構 ４ 工具 ５ａ，５ｂ リニアモータ １０ａ リニアモータテーブル １１ バランスマス １２ａ リニアスケールヘッド １３ａ スケール １４ａ 原点リファレンス １５ａ 原点センサ １６ａ リミットリファレンス １７ａ リミットセンサ １８ 基準フレーム １９ａ テーブルガイド ２０ａ コイル ２１ａ ヨークバー ２２ａ マグネット ２３ａ ヨーク ２４ カバー ２５ 変位計 ２６ 変位計リファレンス ２７ ボイスコイルモータ（ＶＣＭ） ２８ 加重軸 ２９ マグネット ３０ ボビン ３１ 加重スプリング ３２ 加重軸ガイド ３３ 研磨アーム取付部 ３６ 定圧ベース ３７ ブロック ４０ コントロールボックス ４０ａ コントローラ ４０ｂ コントローラ ４１ａ アンプ ４１ｂ アンプ ４２ インデックス ４３ａ 現在値カウンタ ４３ｂ 現在値カウンタ ４５ センサプレート ４６ ブラケット ４７ 変位計ブラケット ５０ 研磨ヘッド ５１ 揺動装置 ５２ 本体 ５３ 駆動モータ ５３ａ 出力軸 ５４ クランク ５５ 第２コンロッド ５７ 揺動スライダ ５８ 第２スライド軸 ６０ 定圧装置 ７０ 工具保持装置 ８０ 工具 １００ 研磨装置 １０１ ワーク １０１ａ 被加工面 １０２ Ｘテーブル １０３ Ｙテーブル １０４ Ｚチルティング装置
Claims (13)
- 【請求項１】 被加工物の被研磨面の加工すべき情報に
基づいて研磨工具の移動操作を行って前記被研磨面の研
磨加工を行う研磨方法であって、 前記研磨工具は前記被研磨面上をＸ軸、Ｙ軸、および、
Ｚ軸上を移動制御を受けるとともに、前記Ｘ軸、Ｙ軸上
の移動に伴う移動方向の慣性力を打ち消す作用を伴って
移動操作が行われるようにしたことを特徴とする研磨方
法。 - 【請求項２】 被加工物の被研磨面の加工すべき情報に
基づいて研磨工具の移動操作を行って前記被研磨面の研
磨加工を行う研磨方法であって、 前記研磨面上のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸上を移動するように前
記研磨工具を移動制御するとともに、前記研磨工具の前
記Ｘ軸、Ｙ軸上の移動に伴う移動方向の慣性力を打ち消
す作用をする方向に、前記研磨工具に対応する物体を動
かし、加工移動動作を行うことを特徴とする研磨方法。 - 【請求項３】 被加工物の被研磨面の加工すべき情報に
基づいて研磨工具の移動操作を行って前記被研磨面の研
磨加工を行う研磨方法であって、 前記研磨工具を弾性部材により弾性支持して被研磨面に
圧接し、 前記研磨工具は前記被研磨面上をＸ軸、Ｙ軸、および、
Ｚ軸上を移動制御を受けるとともに、 前記Ｚ軸上の加工量を定めたメモリからの情報と、 或るＸ、Ｙ軸座標地点のＺ軸における前記研磨工具のＺ
軸方向の移動量の情報を補正して前記メモリからの情報
に基づいて加工することを特徴とする研磨方法。 - 【請求項４】 請求項３記載の研磨方法において、前記
研磨工具をＺ軸上に支持して該軸を電磁駆動手段にてＺ
軸方向に移動制御するとともに、前記研磨工具のＺ軸方
向の移動位置をセンサによって検出して、その検出信号
および、前記メモリの情報に基づいて前記研磨工具のＺ
軸方向の補正を行うことを特徴とする研磨方法。 - 【請求項５】 被加工物の被研磨面の加工すべき情報に
基づいて研磨工具の移動操作を行って前記被研磨面の研
磨加工を行う研磨装置であって、 前記研磨工具を前記被研磨面上のＸ軸、Ｙ軸、および、
Ｚ軸上を移動制御する手段と、 前記Ｘ軸、および、Ｙ軸上を移動する際に、前記研磨工
具の移動方向の慣性力を打ち消す手段とを備えたことを
特徴とする研磨装置。 - 【請求項６】 請求項５記載の研磨装置において、前記
慣性力を打ち消す手段はモータであることを特徴とする
研磨装置。 - 【請求項７】 請求項５記載の研磨装置において、前記
研磨工具は電磁制御手段によって移動されることを特徴
とする研磨装置。 - 【請求項８】 請求項７記載の研磨装置において、前記
慣性力を打ち消す手段は前記電磁制御される研磨工具の
制御信号に同期して制御されるモータであることを特徴
とする研磨装置。 - 【請求項９】 請求項５記載の研磨装置において、前記
研磨工具と前記慣性力を打ち消す手段の移動を規定する
情報を記憶するメモリと、 前記研磨工具および慣性力を打ち消す手段の移動量を制
御する駆動制御手段とを有し、 前記駆動制御手段は前記メモリの情報に基づいて移動制
御が行われることを特徴とする研磨装置。 - 【請求項１０】 被加工物を研磨剤あるいは研磨液中に
設置し、前記被加工物の外径よりも小さい径を持つ研磨
工具を前記被加工物に任意の荷重で押し付け、かつ前記
被加工物と研磨工具とを相対運動させて前記被加工物を
除去する研磨加工に使用し、 前記研磨工具、該研磨工具の保持手段および前記荷重を
発生する手段が固定された、アクチュエータを駆動源と
する第１の移動軸と、 前記研磨工具、該研磨工具の保持手段および前記荷重を
発生する手段の質量の総和と等価なカウンターマスが固
定された、アクチュエータを駆動源とする第２の移動軸
とを有し、 第１の移動軸の現在位置を検出する第１の位置検出手段
と、目標位置のインデックスと、第１の移動軸を駆動す
る第１の制御手段とを有し、 第１の位置検出手段からの位置信号と前記インデックス
の値とを比較し、この比較結果に基づいて第１の移動軸
の目標位置を演算し、この演算結果により第１の制御手
段へ制御信号を送る第１の演算器を有し、 第２の移動軸の現在位置を検出する第２の位置検出手段
と、目標位置のインデックスと、第２の移動軸を駆動す
る第２の制御手段とを有し、 第２の位置検出手段からの位置信号と前記インデックス
の値とを比較し、この比較結果に基づいて第２の移動軸
の目標位置を演算し、この演算結果により第２の制御手
段へ制御信号を送る第２の演算器を有し、 第１の移動軸および第２の移動軸が同期して駆動される
ことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項１１】 請求項１０記載の研磨装置において、
前記第１の移動軸、第２の移動軸は反対方向に同期駆動
され、慣性力を相殺することを特徴とする研磨装置。 - 【請求項１２】 請求項１０記載の研磨装置において、
前記インデックスには複数種の波形の、単位時間毎の位
置を記憶してあり、使用するインデックスを変更するこ
とで、前記第１の移動軸および第２の移動軸の運動パタ
ーンを変更することを特徴とする研磨装置。 - 【請求項１３】 請求項１０または１１記載の研磨装置
において、 前記荷重を発生する手段においてはアクチュエータを駆
動源とする移動機構を有し、該移動機構の位置を検出
し、位置信号を出力する検出器と、該アクチュエータを
駆動する制御手段とを有し、 前記検出器からの位置信号をもとに前記移動機構の出力
を演算し、前記制御手段へ制御信号を送る演算器を有す
ることを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28635892A JPH06134666A (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | 研磨方法および研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28635892A JPH06134666A (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | 研磨方法および研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06134666A true JPH06134666A (ja) | 1994-05-17 |
Family
ID=17703351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28635892A Pending JPH06134666A (ja) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | 研磨方法および研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06134666A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002120146A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-23 | Nagase Integrex Co Ltd | 研削盤 |
| JP2011041996A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Daishinku Corp | 研磨装置 |
| US9563134B2 (en) | 2013-12-03 | 2017-02-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical system illuminating surface to be illuminated, exposure apparatus, imprint apparatus, method for manufacturing article, optical element, and method for manufacturing optical system |
| CN109202177A (zh) * | 2017-07-04 | 2019-01-15 | 东莞市领邦机械科技有限公司 | 一种全自动合金锯片磨顶磨面机 |
-
1992
- 1992-10-23 JP JP28635892A patent/JPH06134666A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002120146A (ja) * | 2000-10-16 | 2002-04-23 | Nagase Integrex Co Ltd | 研削盤 |
| JP2011041996A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Daishinku Corp | 研磨装置 |
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| CN109202177A (zh) * | 2017-07-04 | 2019-01-15 | 东莞市领邦机械科技有限公司 | 一种全自动合金锯片磨顶磨面机 |
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