JP4478248B2 - 測定エラー低減方法および該方法を用いる測定機械 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、機械の可動アームに移送されるプローブを用いる機械(例えば座標測定機械(CMM)など)によって行われる測定の精度に及ぼす機械の振動の影響を、測定プロセスの過程で低減する方法に関するものである。そして本発明は、接触トリガ方式や走査方式を用いて測定が行われる測定プロセスに適用可能であり、アナログ、ディジタルまたは非接触プローブの使用を含み得るものである。
【0002】
【従来の技術】
3次元(3D)表面走査の一方法としては、CMMのクイル(quill)に取り付けられた走査プローブを測定すべき物品(article)の表面上で移動させ、走査プローブのワークピース接触スタイラスの位置の座標を物品表面上の多数の点で記録(noting)することを含むものがある。機械のモータにはコントローラから速度指示信号(speed demand signals)が供給されるが、モータ速度を制御するために、コントローラは通常、機械の各軸からの位置および速度フィードバックを行うサーボループを内部に有している。速度フィードバック量はモータに取り付けたタコジェネレータによって得られ、位置フィードバック量はCMMの各軸に対応したリニアエンコーダシステムによって得られる。
【0003】
しかし現在の方法ではCMMのダイナミクスは考慮されていない。CMMのすべての軸は剛であると仮定したものであり、従ってタコジェネレータおよびリニアエンコーダからのフィードバックを行えば走査プローブのサーボ制御を十分正確に行うことができるとの仮定に基づくものである。
【0004】
しかしながら、CMMは完全な剛構造ではない。殆どのものはプローブが取り付けられる柔構造部材を有しおり、これらは駆動モータや、エアベアリングの不安定性および機械的リンク構造などに起因した外乱によって生じる振動に影響されるのである。これらの振動は、それら自身によるものであれ、あるいは機械構造の共振周波数によって励起されるものであれ、走査対象である表面に対する走査プローブの接触を失わせたり、得るべき測定値が不正確となる要因ともなり、測定精度の低下および走査時間の増大を引き起こすものとなる。
【0005】
上述した走査プロセスでは、座標測定機械を高速に駆動することが可能であり、また表面から走査プローブを離して繰り返し移動させるという表面走査のリカバリに要する時間を短縮できるのであれば、走査時間を低減することができる。
【0006】
プローブがワークピースに接触する毎に機械を停止させる過程で行う接触トリガ測定プロセスでは、周囲でのより速やかな移動と、より速やかな発停とを振動少なく行うことが可能な機械であれば、測定速度を向上できる。
【0007】
従来、上述のような振動の影響を排除し、あるいは少なくともそれを低減する試みとして様々な方法が用いられてきた。
【0008】
例えば、振動は、指示信号入力によって駆動モータに生じる振動に対する機械の種々構造の周波数応答によって生じうるものであり、特に指示電圧がステップ関数的に変化する形態であるようなときに生じうる。
【0009】
一般的に用いられてきた一つの方法は、位置および速度サーボループの全体的なフィードバックゲインを低減させることである。サーボループのゲインを低減すれば、制御系の周波数の帯域幅すなわち制御を維持できる周波数のレンジは狭くなり、また位置のオーバーシュートを大きくしたり、位置許容差を劣化させるなど、サーボ系の性能を損なう結果となる。一般的に用いられてきた他の方法として、駆動モータによって引き起こされる構造的な共振に打ち勝つようにするべく、速度ループの一部や速度サーボコントローラへの入力にノッチフィルタを導入するものがある。このノッチフィルタは機械の代表的な共振周波数に応動する。この方法はしかし特定の周波数での移動しか除去できないとういう点で限界があり、軸についてのサーボ帯域幅を狭くしうるものでもある。一方で、座標測定機械の軸は2以上の共振周波数を持ちうるものである。
【0010】
米国特許第5,594,668号に開示された方法も知られている。これは測定レンジ内におけるプローブのいくつかの位置に対してCMMの弾性的な曲げの挙動(elastic bending behaviour)を特徴づけるパラメータを確定しておくものである。これは機械のスライダ上のプローブ位置とスライダに作用する加速度力とに従うパラメータの成分を決定し、これら成分の詳細を補正値として格納しておき、ワークピースに対して行う測定の補正に用いるようにすることで行われる。
【0011】
これらの格納値は、測定プロセスの過程で機械のスライダの加速度を測定すること、あるいは、機械の測定システムが発生する位置データを得てその位置データを時間について2回微分することで得ることができる。この方法はしかし、補正値がキャリブレーションプロセスを通じて生成され、多次元補正テーブルに格納されるものであり、その限りにおいてダイナミックなものとはなり得ないという欠点がある。また、キャリブレートに要する点の数を極力少なくしてこのテーブルを構成するためには、テーブルに格納された点間の補間を行う能力がシステムに対し本質的に要求されるのである。
【0012】
英国特許第2,045,437号に開示された方法も知られている。これはCMMのクイルに取り付けられるプローブに加速度メータを設け、測定されたクイルの加速度からクイルの合成たわみ(resultant deflections)を決定し、そのたわみからプローブの読み取り値を補正するものである。
【0013】
しかしながら、このプロセスもダイナミックなものではない。すなわち、機械の測定ボリューム内における異なる位置での異なる加速度に対する変位テーブルをメモリ格納部に確立するキャリブレーションプロセスを必要とし、さらに測定プロセスを通じて得られる実際の測定値は、メモリ格納部から得た補正値を参照して補正されることになるからである。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、加速度に起因する機械の測定エラーをダイナミックに低減する方法を提供することにある。
【0015】
本発明の他の目的は、かかる方法を実行する装置を提供し、周波数レンジを狭めることなく、機械における移動を良好に制御するサーボ系が維持できるようにすることにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
そのために、本発明は、プローブ(20)を用いる機械により行われる測定のエラーを低減する方法であって、
前記機械の移動部の加速度を示す加速度信号(45)を得る工程と、
該加速度信号から、前記加速度によって引き起こされる前記移動部の速度の変化を示す速度信号(49)を得る工程と、
速度フィードバックループ(34,36,37,49,50)において前記速度信号を用い、機械に対する補正信号を提供することにより、加速度により生じる機械部品の変位(deflection)が、前記プローブを用いて前記機械が行う測定に及ぼす影響を低減する工程と、
具える。
【0017】
ここで、前記機械は前記プローブ(20)を移送するために移動可能なスピンドル(10)を有し、当該移動は前記機械にワークピースの測定を行うことを可能とするコントローラ(30)によって制御され、該コントローラは速度フィードバック制御ループ(34,36,37)を含み、該ループに前記加速度信号から得た速度信号(49)を供給することにより、前記加速度に起因した前記プローブの速度変化を低減することができる。
【0018】
機械上のいくつかの軸についての加速度信号は、前記機械の各移動部の変位を測定し、当該変位を時間について2回微分することにより得ることができる。
【0019】
しかし好適には、各部に組み合わせた加速度メータを使用することにより、移動部の加速度を直接的に測定する。
【0020】
加速度メータは機械軸上の移動を測定する読み取りヘッド(readhead)に配置することができるが、加速度メータをプローブまたはその近傍に配置した場合、すなわち例えばプローブ本体や、プローブが取り付けられるヘッド、ヘッドが取り付けられる機械のクイル、あるいはプローブスタイラスなどに配置する場合であっても、最良の結果を得ることができる。
【0021】
すなわち、前記加速度信号(45)を、前記機械の移動部の実際の加速度を測定することにより得ること、また、前記プローブの実際の加速度を測定することにより得ることができる。
【0022】
また、前記速度信号(49)は、前記加速度信号(45)を時間について積分することによって得ることができる。
【0023】
さらに、本発明は、相対移動可能な移動部であってその一つ(10)がプローブを移送する当該移動部と、該相対移動可能な移動部の移動を制御してワークピースに対する所定の関係に前記プローブを導くことにより、機械による前記プローブを用いた前記ワークピースの測定を可能とするコントローラであって、前記機械の前記移動部の速度を制御する速度フィードバック制御ループ(34,35,36,37)を含む当該コントローラと、を有する測定機械において、
前記移動部の少なくとも一つに少なくとも一つの加速度メータ(44)を取り付けることにより、当該加速度メータが取り付けられた前記移動部の前記機械上の一つの移動軸に沿った方向における加速度を示す信号(45)が生成されるようにするとともに、
該加速度信号から、前記加速度によって引き起こされる前記移動部の速度変化を示す速度信号(49)を得て、該速度信号を前記コントローラの速度フィードバック制御ループに供給することにより、前記加速度により生じる変位が、前記機械が行う測定に及ぼす影響を低減する手段(46,48)を具備する。
【0024】
ここで、プローブ(20)が取り付けられる可動スピンドル(10)を有し、前記少なくとも一つの加速度メータ(44)は、前記機械上の少なくとも一つの移動軸に沿った方向における前記プローブの加速度を測定するために取り付けられているものとすることができる。
【0025】
また、前記機械の3つの主たる移動軸における前記プローブの加速度を測定するために、3つの加速度メータ(44)を用いることができる。
【0026】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して本発明に係るプローブの好適な実施形態の諸例を説明する。
【0027】
図1を参照するに、軸Z方向に直線状移動を行うためにクロスヘッド12に取り付けられたクイル10と、軸X方向に直線状移動を行うためにフレーム14に支持された当該クロスヘッド12と、軸Y方向に直線状移動を行うためにベース16に支持された当該フレーム14とを有するCMMが示されている。軸X、YおよびZは互いに直交している。
【0028】
使用にあたり、クイル10は関節型(articulating)プローブヘッド18を支持し、この実施形態におけるプローブヘッドはワークピース26と接触するための球状端24をもつスタイラス22を有した走査プローブ20を移送する。アナログ型走査プローブ、接触型トリガプローブまたは非接触型プローブを含めた様々なタイプのプローブを移送する数多くのタイプの機械において振動を制御するために、本発明を適用できることは理解すべきである。
【0029】
各部10,12,14は、それぞれモータMX、MYおよびMZによってX、YおよびZ軸方向にそれぞれ駆動されるものであり、各方向X,Y,Zにおけるそれら各部10,12,14の瞬間位置は各軸上の公知の測定デバイス(不図示)、例えばスケールおよび光電子的な(opto-electronic)読み取りヘッドによって検出される。
【0030】
コントローラ30は、図2により詳細に示されているが、モータMX、MYおよびMZを適切に作動させてワークピース26上でプローブスタイラス22を移動させるようプログラムされており、これによりワークピース表面上の座標点を決定することができる。
【0031】
関節型プローブヘッド18は相対的回転が可能な2つの部品18Aおよび18Bを有し、部品18Aは機械のZ軸に関して回転可能、部品18Bは機械のXないしY軸に関して回転可能であり、これによって機械の作業ボリューム内においていかなる所望の角度にもスタイラスを方向付けできる。しかしかかる関節型プローブヘッドが機械系にとって必須の要件でないことは理解すべきである。
【0032】
図2を参照するに、CMMのコントローラ30はモータMX、MYおよびMZに対する指示信号を発生するコンピュータ32を含んでいる。なお、図2では1つのモータMZに対するサーボ制御系(その動作については後述する)を例示しているが、モータMXおよびMYに対しても同様の制御ループを設け得ることは勿論である。
【0033】
測定動作に際して機械をワークピースに対する様々な位置に移動させることができるようコンピュータがプログラムされている。コンピュータは移動を初期化するためにモータ駆動コントローラ34に速度指示信号を送出する。モータ駆動コントローラは駆動モータMZを通る信号35を発生し、これによってモータMZは所要の位置に向けZ軸に沿って部材10を駆動する。
【0034】
機械の移動速度はタコジェネレータ36を含むサーボループによって制御される。すなわち、このタコジェネレータがモータ速度をモニタリングしてモータ速度信号37を駆動コントローラ34に戻すことで、コンピュータ32からの速度指示信号に一致してモータが駆動されるようになっている。
【0035】
これに加えて、機械のZ軸上にリニアエンコーダ38を具備した位置サーボループが設けられ、Z軸に沿った部材10の位置をモニタリングしている。エンコーダ38は位置信号39を検出してコンピュータ32に戻し、これによって部材10がZ軸上の所望位置に到達するまで速度指示信号が維持される。
【0036】
かかるサーボループは現在のCMMコントローラにおいて慣用的なものである。測定プロセスに必要な情報を完全なものとするために、関節型プローブヘッドおよびプローブ内の測定デバイスから信号41が提供され、これによりコンピュータ32は、プローブヘッドに対するプローブの向きに関する情報とともに、ワークピースとのスタイラスの接触によるプローブ本体に対するプローブスタイラスの変位ないしたわみ(deflection)を知ることができる。コンピュータは、各軸のリニアエンコーダ38からの情報に加え、その情報によって、スタイラスボールが接触したワークピース表面上のポイントの座標を演算することができる。
【0037】
図3を参照するに、ラインL1はモータ駆動要求に対するZ軸におけるプローブヘッドの典型的な周波数応答を示している。この図において、縦軸は振動に起因した機械のクイル10の読み取りヘッドに対する変位の大きさを示し、周波数は横軸に対してプロットされている。図から明らかなように、ポイントAまでの低周波領域ではシステムはあたかも機械構造が剛であるかのようにふるまい、振動に起因した読み取りヘッドに対する機械のクイル10の変位、すなわちプローブの変位はないものとみなすことができる。しかしポイントAを超えて周波数が増大するにつれ、プローブの変位と読み取りヘッドによる変位とが一致しなくなり(uncoupled)、振動によって生起される相対変位(relative deflection)の大きさが増して、機械構造の共振周波数を通過する際にピークに達する。共振周波数を超えればプローブおよび読み取りヘッドによる変位は急速に低下して行く。
【0038】
本発明は、機械振動によって生じるこれら変位ないしたわみが、測定プロセスを通じてプローブにより行われる測定に及ぼす影響を最小化する方法を提供するものである。これはコントローラにさらなるフィードバックループを包含させ、後述する動作を行わせることによって達成される。当該付加されるフィードバックループとして、Z軸に関したもののみを例示するが、XおよびY軸方向の移動制御系に対しても同様のフィードバックループを付加できることは勿論である。
【0039】
再び図2を参照するに、新規に付加された特徴をなす更なるフィードバックループは、参照符号42で示す破線で囲んである。
【0040】
プローブまたはプローブヘッドに位置づけた加速度メータ(accelerometer)44は、モータ速度指示信号に応答して機械が動作したときに、プローブヘッドまたはプローブの加速度を測定し、加速度信号45を発生する。
【0041】
当該信号45は積分・係数回路(integrating and scaling circuit)46において積分され、スケールファクタが乗算されることにより、加速度に起因した各軸方向におけるプローブの速度が求められる。
【0042】
積分および係数乗算を行うプロセス(46)は、アナログ電子回路によって構成することもできるし、またディジタルのソフトウェアによって実現することもできる。加速度メータが発生した信号は通常、温度や加速度メータの取り付け方向に起因してオフセットドリフト(offset drift)を生じる傾向がある。積分器は低周波信号およびオフセット信号を除去すべく周波数帯域幅が制限されており、従って積分器は積分器周波数(integrator frequency:wi)より大きい周波数でのみ作動する。積分器周波数(wi)はかなり低く、概して対応軸の共振周波数よりオーダがほぼ1つ低い大きさである。これにより得られた帯域幅が制限されたクイル速度信号は、2次のハイパスフィルタ48を通り、機械の最低共振周波数より低い周波数が除去されることにより、所要の速度信号49が生成される。このフィルタ48についても、アナログ電子回路によって構成することもできるし、またディジタルのソフトウェアによって実現することもできる。
【0043】
速度信号49はジャンクション50に供給され、コンピュータ32からの速度指示信号に加算されて、モータ駆動コントローラ34を含むサーボループに接続される。付加したサーボループについても、ソフトウェアやハードウェアによって実現することができる。そして、これはCMMコントローラの一部をなす形態とすることもできるし、CMMコントローラに外的に付加されるものであってもよい。
【0044】
上述のサーボループを付加したことによって、速度制御を可能とする周波数の帯域幅が広がる。ハイパスフィルタの作動により、プローブヘッドからの低周波数の速度成分がこのサーボループから供給されることはない。これらの低周波数域では、すなわちプローブヘッドが取り付けられる機械構造の共振周波数より低い周波数域では、プローブヘッドはCMMの構造を介してモータに剛に接続され、いかなる低周波数の速度変動も慣用的な速度制御サーボループによって取り扱うことができる。しかし機械構造の共振周波数以上では、プローブヘッドはモータから切り離され(uncoupled)始める。プローブヘッドがモータと固定的に接続(rigidly coupled)されない状態の周波数域となればハイパスフィルタが介入し、上記付加されたサーボループが直接プローブヘッドの速度制御を行い、従って当該高周波数域ではプローブヘッドと駆動モータとの間のスティフネスを電子的に増大することができる。
【0045】
図3におけるラインL2は、上記付加された制御ループを用いることによって、制御系が動作可能な周波数レンジを狭めることなく、Z軸におけるクイル変位の大きさが低減されたことを示している。
【0046】
図4は3つの直交軸において加速度の測定値を提供するための加速度メータ44を有した本発明に係るプローブヘッドの概略を示す。本発明では3つの加速度メータを配列した構成を採用し、3つの直交軸のそれぞれにおける最大の応答に備えることができる。あるいは、3方向についての加速度の測定を行う表面取り付け型集積回路(surface mounted integrated circuit)を設けてもよい。
【0047】
図2に示した基本的な回路に対しさらに改良を施すことで、サーボループの周波数帯域幅をさらに改善することができる。
【0048】
例えば、速度指示信号33とジャンクション50との間にプレフィルタを付加し、周波数整形(frequency shaping)を行うことで、閉ループ周波数応答を可能な限りフラットなものに維持するようにすることができる。加えて、加算ジャンクションの後段に補償器を付加し、周波数整形を行うことで、サーボループの安定性を改善し、サーボ系の帯域幅を拡大するようにすることもできる。
【0049】
好適な実施形態においては加速度メータをプローブヘッドに取り付けて用いるものとして説明したが、これは本発明の実施形態のすべての動作にとって本質的なものではない。ある種のCMMでは、いくつかの軸(特にZ軸)に設けうる機械スケールから位置を光電子的に読み取る読み取りヘッドを、プローブに剛に接続しうるのである。かかる場合、それらの軸について、プローブの速度を読み取りヘッド上の加速度メータから獲得してもよいし、読み取りヘッド位置信号を時間について微分することで得てもよい。
【0050】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、加速度に起因する機械の測定エラーをダイナミックに低減することができるとともに、周波数レンジを狭めることなく、測定機械における移動を良好に制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】関節型プローブヘッドに取り付けられた測定プローブを含むCMMの説明図である。
【図2】本発明の速度フィードバックループが付加されたCMMの制御系を示すブロック図である。
【図3】駆動指令に対するプローブヘッドの周波数応答を示す線図である。
【図4】本発明の加速度メータを含むプローブヘッドおよびプローブを示す線図である。
【符号の説明】
10 スピンドル
18 プローブヘッド
20 プローブ
22 スタイラス
30 コントローラ
32 コンピュータ
33 速度指示信号
34 モータ駆動コントローラ
36 タコジェネレータ
38 リニアエンコーダ
44 加速度メータ
45 加速度信号
46 積分・係数回路
48 ハイパスフィルタ
49 速度信号
Claims (6)
- 機械によって移送されるプローブ(20)を用いて当該機械により行われる測定のエラーを低減する方法であって、
前記機械の移動部の加速度を示す加速度信号(45)を得る工程と、
該加速度信号から、前記加速度によって引き起こされる前記移動部の速度の変化を示す速度信号(49)を得る工程と、
速度フィードバックループ(34,36,37,49,50)において前記速度信号を用い、機械に対する補正信号を提供することにより、加速度により生じる機械部品の変位が、前記プローブを用いて前記機械が行う測定に及ぼす影響を低減する工程と、
を具え、前記加速度信号(45)は前記機械の移動部の実際の加速度を測定することにより得られ、前記実際の加速度は前記プローブ(20)またはその近傍に配置された加速度メータを用いて測定されることを特徴とする測定エラー低減方法。 - 前記機械は前記プローブ(20)を移送するために移動可能なスピンドル(10)を有し、当該移動は前記機械にワークピースの測定を行うことを可能とするコントローラ(30)によって制御され、該コントローラは速度フィードバック制御ループ(34,36,37)を含み、該ループに前記加速度信号から得た速度信号を供給することにより、前記加速度に起因した前記プローブの速度変化を低減することを特徴とする請求項1に記載の測定エラー低減方法。
- 前記加速度信号(45)を、前記プローブの実際の加速度を測定することにより得ることを特徴とする請求項1に記載の測定エラー低減方法。
- 前記速度信号(49)を、前記加速度信号(45)を時間について積分することによって得ることを特徴とする請求項1に記載の測定エラー低減方法。
- 相対移動可能な移動部であってその一つがプローブ(20)を移送する可動スピンドル(10)である当該移動部と、該相対移動可能な移動部の移動を制御してワークピースに対する所定の関係に前記プローブを導くことにより、機械による前記プローブを用いた前記ワークピースの測定を可能とするコントローラであって、前記機械の前記移動部の速度を制御する速度フィードバック制御ループ(34,36,37,49,50)を含む当該コントローラ(30)と、を有する機械において、
前記機械上の少なくとも一つの移動軸に沿った方向における前記プローブの加速度を測定するよう少なくとも一つの加速度メータ(44)が取り付けられ、当該加速度メータが取り付けられた前記移動部の前記機械上の一つの移動軸に沿った方向における加速度を示す信号(45)が生成されるようにするとともに、
該加速度信号から、前記加速度によって引き起こされる前記移動部の速度変化を示す速度信号(49)を得て、該速度信号を前記コントローラの速度フィードバック制御ループに供給することにより、前記加速度により生じる変位が、前記機械が行う測定に及ぼす影響を低減する手段(46,48)を具備したことを特徴とする測定機械。 - 前記機械の3つの主たる移動軸における前記プローブの加速度を測定するために、3つの加速度メータ(44)が用いられていることを特徴とする請求項5に記載の測定機械。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6810597B2 (en) * | 1999-04-08 | 2004-11-02 | Renishaw Plc | Use of surface measuring probes |
GB0016533D0 (en) | 2000-07-06 | 2000-08-23 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for correction of coordinate measurement errors due to vibrations in coordinate measuring machines (cmms) |
DE10257856A1 (de) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Leitz Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Schwingungsdämpfung eines Koordinatenmessgerätes sowie Koordinatenmessgerät |
GB0326532D0 (en) * | 2003-11-13 | 2003-12-17 | Renishaw Plc | Method of error compensation |
DE102004038416B4 (de) * | 2004-07-30 | 2014-02-06 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Bestimmen von Raumkoordinaten eines Messpunktes an einem Messobjekt sowie entsprechendes Koordinatenmessgerät |
JP4335123B2 (ja) * | 2004-11-26 | 2009-09-30 | ファナック株式会社 | 制御装置 |
JP2006159345A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Fanuc Ltd | 制御装置 |
JP4478584B2 (ja) * | 2005-01-17 | 2010-06-09 | 株式会社ミツトヨ | 位置制御装置、測定装置および加工装置 |
GB2425840A (en) * | 2005-04-13 | 2006-11-08 | Renishaw Plc | Error correction of workpiece measurements |
JP5658863B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2015-01-28 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | プローブの較正 |
DE102005032749A1 (de) * | 2005-07-13 | 2007-01-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Antasten eines Werkstücks mit einem Koordinatenmessgerät und Koordinatenmessgeräte |
US20070168085A1 (en) * | 2005-11-18 | 2007-07-19 | Guilford John H | Systems and method for adaptively adjusting a control loop |
DE102006009181A1 (de) | 2006-02-24 | 2007-09-06 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Sichere Überwachung der Geschwindigkeit bei Koordinatenmessgeräten |
JP4851819B2 (ja) * | 2006-03-16 | 2012-01-11 | 株式会社ミツトヨ | 測定制御回路の制御ゲイン調整方法および測定制御回路 |
GB0611109D0 (en) * | 2006-06-06 | 2006-07-19 | Renishaw Plc | A method for measuring workpieces |
DE102006055005A1 (de) | 2006-11-17 | 2008-05-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen von Raumkoordinaten an einer Vielzahl von Messpunkten |
DE602007005778D1 (de) * | 2007-04-18 | 2010-05-20 | Hexagon Metrology Ab | Tastkopf mit konstanter Rastergeschwindigkeit |
US9393362B2 (en) * | 2007-12-18 | 2016-07-19 | Hospira, Inc. | Infusion pump with configurable screen settings |
JP5424581B2 (ja) * | 2008-06-06 | 2014-02-26 | キヤノン株式会社 | 部分測定を合成する形状測定方法 |
US8197473B2 (en) | 2009-02-20 | 2012-06-12 | Vivant Medical, Inc. | Leaky-wave antennas for medical applications |
JP5438995B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2014-03-12 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機および倣いプローブ装置 |
CA2766906C (en) * | 2009-06-30 | 2019-03-05 | Hexagon Metrology Ab | Coordinate measurement machine with vibration detection |
DE102009049534A1 (de) * | 2009-10-06 | 2011-04-07 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Koordinatenmessgerät mit Lageänderungssensoren |
US8619361B2 (en) * | 2010-03-31 | 2013-12-31 | Nikon Corporation | Direct derivative feedforward vibration compensation system |
DE102010015780A1 (de) | 2010-04-20 | 2011-10-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Betrieb einer Koordinatenmessmaschine oder einer Werkzeugmaschine |
JP5409974B1 (ja) * | 2012-03-15 | 2014-02-05 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | マニピュレータ装置 |
WO2013159803A1 (de) | 2012-04-23 | 2013-10-31 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Steuerung des antriebsmotors von geräten, die ein von dem antriebsmotor angetriebenes bewegliches teil aufweisen |
DE102012207110A1 (de) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | Homag Holzbearbeitungssysteme Ag | Schwingungsdämpfungssystem |
US9568075B2 (en) * | 2013-10-28 | 2017-02-14 | Seiko Epson Corporation | Robot, robot control device, and robot system |
US9618331B2 (en) * | 2014-03-20 | 2017-04-11 | Harbin Institute Of Technology | Method and equipment based on detecting the polarization property of a polarization maintaining fiber probe for measuring structures of a micro part |
US10620003B2 (en) | 2015-04-28 | 2020-04-14 | Hexagon Technology Center Gmbh | Active damping of a measuring device |
DE102016112011A1 (de) * | 2016-04-14 | 2017-10-19 | Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh | Verfahren zum Betreiben einer Messvorrichtung |
DE102017103938A1 (de) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Vorrichtung zum Messen der Rauheit einer Werkstückoberfläche |
US9835433B1 (en) * | 2017-05-09 | 2017-12-05 | Tesa Sa | Touch trigger probe |
GB201721309D0 (en) | 2017-12-19 | 2018-01-31 | Renishaw Plc | Production and measurement of workpieces |
CN108015627B (zh) * | 2017-12-25 | 2023-11-10 | 东莞捷荣技术股份有限公司 | 一种用于cnc机台探头的检测控制装置及其控制方法 |
CN111294014B (zh) * | 2018-12-10 | 2023-10-27 | 广州汽车集团股份有限公司 | 一种信号积分去偏差方法及其系统、电子设备 |
DE102021212817B4 (de) | 2021-11-15 | 2023-12-21 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Wiederholte Positionsbestimmung eines beweglichen Teils eines Koordinatenmessgerätes |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2914763A (en) * | 1953-11-05 | 1959-11-24 | Gen Precision Lab Inc | Doppler-inertial navigation data system |
US3301508A (en) * | 1961-06-07 | 1967-01-31 | United Aircraft Corp | Guidance system with stellar correction |
US3288160A (en) * | 1964-04-01 | 1966-11-29 | Gen Electric | Acceleration limiting long range speed control |
US3405599A (en) * | 1964-12-02 | 1968-10-15 | Cadillac Gage Co | Weapon stabilization system |
US3568029A (en) * | 1969-01-24 | 1971-03-02 | Smith Corp A O | Constant velocity drive control for machine tools and the like |
US3836835A (en) * | 1971-04-19 | 1974-09-17 | B Sawyer | Multi axes linear movement positioning system |
US4143311A (en) * | 1976-09-30 | 1979-03-06 | Xerox Corporation | Hysteresis synchronous motor rate servo system |
US4345154A (en) | 1979-01-12 | 1982-08-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Bias-compensated, ionization sensor for gaseous media and method for attaining proper bias for same |
GB2045437B (en) * | 1979-03-30 | 1984-02-08 | Renishaw Electrical Ltd | Coordinate measuring machine |
US4345194A (en) * | 1980-12-01 | 1982-08-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Control system to reduce the effects of friction in drive trains of continuous-path-positioning systems |
JPS57208891A (en) * | 1981-06-17 | 1982-12-22 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | Control system of motor driven machine |
JPS6020214A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-01 | Hitachi Ltd | ロボツトのサ−ボ装置 |
JPS6224991A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-02 | 松下電器産業株式会社 | 産業用ロボツト |
US4841184A (en) * | 1987-06-23 | 1989-06-20 | Mechanical Technology Incorporated | Velocity and imbalance observer control circuit for active magnetic bearing or damper |
US4925312A (en) * | 1988-03-21 | 1990-05-15 | Staubli International Ag | Robot control system having adaptive feedforward torque control for improved accuracy |
US4992716A (en) * | 1989-08-02 | 1991-02-12 | Kollmorgen Corp. | Motor control with digital feedback |
JP2707149B2 (ja) * | 1990-04-28 | 1998-01-28 | 日本電気株式会社 | 速度、位置のロバスト的制御装置 |
US5049797A (en) * | 1990-07-02 | 1991-09-17 | Utah State University Foundation | Device and method for control of flexible link robot manipulators |
US5459383A (en) * | 1991-02-07 | 1995-10-17 | Quantum Corporation | Robust active damping control system |
JPH05134758A (ja) * | 1991-05-17 | 1993-06-01 | Fanuc Ltd | サーボモータの制御方式 |
JP2833730B2 (ja) * | 1993-03-10 | 1998-12-09 | 三菱電機株式会社 | 位置制御装置 |
US5432423A (en) * | 1993-04-29 | 1995-07-11 | Universal Instruments Corporation | Electronic damping system |
DE4342312A1 (de) * | 1993-12-11 | 1995-06-14 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Korrektur von schwingungsbedingten Meßfehlern bei Koordinatenmeßgeräten |
GB9401692D0 (en) * | 1994-01-28 | 1994-03-23 | Renishaw Plc | Performing measurement or calibration on positioning machines |
DE4436507A1 (de) | 1994-10-13 | 1996-04-18 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
US5834623A (en) * | 1995-03-03 | 1998-11-10 | Ignagni; Mario B. | Apparatus and method to provide high accuracy calibration of machine tools |
DE19637554B4 (de) * | 1995-09-19 | 2004-01-08 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Vorrichtung zum Meßfehlerausgleich bei Meßrobotern |
US5714831A (en) * | 1995-11-13 | 1998-02-03 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method and apparatus for improved control of piezoelectric positioners |
DE19614883C2 (de) * | 1996-04-16 | 2003-08-21 | Leitz Brown & Sharpe Mestechni | Verfahren zur Antastung und zum Scannen bei Koordinatenmeßgeräten |
JP3526385B2 (ja) * | 1997-03-11 | 2004-05-10 | 株式会社東芝 | パターン形成装置 |
SG99277A1 (en) * | 1998-02-05 | 2003-10-27 | Texas Instr Singapore Pte Ltd | Partial semionductor wafer processing with multiple cuts of random sizes |
US6156625A (en) * | 1998-03-07 | 2000-12-05 | Texas Instruments Incorporated | Partial semiconductor wafer processing using wafermap display |
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