JPH07324928A - 加工物表面の座標測定方法 - Google Patents

加工物表面の座標測定方法

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JPH07324928A
JPH07324928A JP7122856A JP12285695A JPH07324928A JP H07324928 A JPH07324928 A JP H07324928A JP 7122856 A JP7122856 A JP 7122856A JP 12285695 A JP12285695 A JP 12285695A JP H07324928 A JPH07324928 A JP H07324928A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 質量慣性により発生される力の作用がCMM
の測定誤差の中で補正されることを可能にする補正処理
方法を提供する。 【構成】 測定スライダの位置と少なくとも測定スライ
ダ加速度との関数としてCMMたわみ特性を表す補正値
の形で記憶し、補正値により、次いで加工物を座標測定
する際にCMMにより測定されたデータを補正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、測定された値を、記憶
されている補正値により数学的に補正し、補正値が、座
標測定機(以下CMMと称する)の弾性的たわみ特性を
表す、CMMを用いる加工物表面の座標測定方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】CMMの測定精度を高めるために、測定
データ、すなわち、機械軸線での測定スケールにより供
給される座標値は、従来は数学的に補正される。通常、
補正は、直線直交座標からのCMM測定スライダの静的
ガイド偏差の結果として行われ、これらの偏差は、いわ
ゆる”剛性モデル”に従って導出される。このような処
理方法は、例えばK.Busch及びH.Kunzma
nn及びF.Waeldele著の論文”CMMの数値
的誤差補正”(Proceedings ofthe
International Sympsium on
Metorology for Quality C
ontrol in Production,Toky
o 1984,284〜288頁)及び米国特許第48
19195号明細書に記載されている。
【0003】探触形CMMでは、測定される加工物に接
触している間のプローブのたわみの量を求め、この量を
後続のデータ評価において考慮する処理方法も公知であ
る。このような処理方法は、例えばA.Weckerm
ann及びG.Goch及びH.D.Springbo
rn著の”CMMによる測定の際のプローブのたわみの
補正)(Feinwerktechnik und M
esstechnik誌87(1979)1,5〜9
頁)及びW.Lotze著の論文”数度の自由度を有す
る測定プローブ”(Technische Runds
chau誌,第50巻(1992),20〜25頁)に
説明されている。
【0004】この処理方法では、それぞれのプローブの
たわみテンソルが、異なる測定力を用いて数度にわたり
校正球を探測することにより求められる。これから、加
工物を測定するために用いられた異なるプローブのため
の補正値が、計算されて記憶され、未知の加工物の測定
値をデータ評価する際に考慮される。
【0005】更に、CMMの測定スライダの動的偏差を
補正する処理方法、すなわち、水平アームの端部に取付
けられているCMMプローブヘッドが静止しておらず、
例えば駆動加速度等の誤差原因の結果としてその静止位
置の回りを振動することに起因して発生する誤差を補正
する処理方法も公知である。このような補正処理方法
は、例えば米国特許第4333238号明細書に開示さ
れている。このような動的補正方法は、振動するプロー
ブヘッドの近辺に取付けられ、プローブ接触が行われる
瞬間にスプリアス振動の変化を表す信号を発生するセン
サを用いる。
【0006】しかし、前述の処理方法はすべて、CMM
により測定する際に発生することがある誤差のうちの一
部しか補正しない。CMMの測定の不確実性は、これら
の処理方法により減少できるが、しかし、多大の残留誤
差が存在し、これによりCMMの測定精度が制限され
る。
【0007】ドイツ特許出願第P4418550.2号
明細書に記載の処理方法で、CMMの構造及び測定スラ
イダの可撓性特性及び弾性特性が、初めて考慮された、
すなわち、CMMプローブヘッドへ加工物により探測プ
ロセスの際に加わる力に起因する構造及び測定スライダ
の可撓性特性及び弾性特性が考慮された。このような可
撓性特性及び弾性特性は小さいにもかかわらず、そし
て、このような可撓性特性及び弾性特性により発生され
る機械の構造の歪は小さいにもかかわらず、このような
可撓性特性及び弾性特性は、CMMの特定の測定不確実
性がサブミクロン領域内にある場合には測定誤差として
依然として現れる。この歪は、CMM測定スライダの到
達範囲に依存し、従ってこの歪は、CMM測定領域内の
プローブヘッドの位置の関数としての異なる振幅の座標
測定値の偏差を発生する。
【0008】しかし、探測力は、探測プロセスの際にC
MMに作用するいくつかの力のうちの1つにすぎない。
その他の力とは、測定スライダの加速度と運動部分の中
の質量慣性とに起因する支え応力(反力)により発生さ
れる力であり、このような力により、CMM構造の歪が
発生し、ひいては測定誤差が発生する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ドイ
ツ特許出願第P4418550.2号明細書に開示され
ている補正処理方法を、質量慣性により発生される力の
作用がCMMの測定誤差の中で補正されるように改善す
ることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題は、たわみ特性
を表すパラメータを、機械の測定領域の中のいくつかの
プローブ位置において求め、パラメータの加速度に依存
する成分を求め、測定スライダの位置と少なくとも測定
スライダ加速度との関数としてCMMたわみ特性を表す
補正値(c11,c22)の形で記憶し、補正値によ
り、次いで加工物を座標測定する際にCMMにより測定
されたデータを補正することにより解決される。
【0011】本発明の補正処理方法を用いて、加速され
た質量の支え応力(反力)により発生されるCMMの弾
性たわみ特性が、CMMの測定領域内のプローブのいく
つかの位置に対して求められる。たわみ特性として測定
されたデータから、補正値が計算され、記憶され、未知
の加工物を後に測定する際に、例えばCMMの測定スケ
ールにより供給されるプローブ点の座標データの中に考
慮されて入れられる。このようにして、従来のCMMの
測定の不確実性を低減することが可能であるだけでな
く、この新規の形式の補正方法によりCMMを軽量の構
造で形成することが可能となる、何故ならばこの新規の
形式の補正方法により、軽量構造に起因して発生する機
械の前述の弾性歪をより大幅に数学的に補償できるから
である。
【0012】たわみ特性を表す補正データを多次元補正
テーブルの形に形成して記憶し、加工物データを実際に
補正する際に記憶補正データの間を補間できるようにす
ると有利である。この補間により、テーブルの補正値の
数を最小に保持することが可能となる。
【0013】しかし、例えば多項式等の数学的関数を用
いて、たわみ特性を表す補正データの位置への依存を近
似することも可能である。この場合、これらの近似関数
の係数を記憶するだけでよい。
【0014】本発明では、記憶されているテーブル又は
関数は、”加速度”パラメータの関数であり、実際の補
正は、駆動装置による機械スライダの加速が、測定プロ
セスの際に恒久的に測定されるか又は求められ、次い
で、加速度の測定値に、たわみ特性を表す記憶されてい
る補正値を乗算することにより補正計算の中に入れられ
る。
【0015】例えば加速度等の非常に大きい支え応力
は、加工物の表面の例えば円又は環状の部材等の曲面
が、高速でスキャンされる場合に発生する。このような
測定タスクを解決するために用いることができる高速の
スキャン処理方法は、例えばドイツ特許出願公開第42
12455号公報に開示されている。この公知の方法を
用いて、記憶すべき補正値を前もって求めることができ
る、すなわち、このためには、リングゲージの形のテス
ト試料を順次にCMM測定領域の異なる場所に取付け、
このテスト試料を異なる速度でスキャンする。これによ
り、機械加速度の関数としてのプローブ先端位置の変分
の形で機械構造の可撓性を位置に依存して求めることが
可能となる。
【0016】しかし、機械スライダのみが、質量慣性力
の作用により撓むのではない。質量慣性力は、プローブ
ヘッドの中に可撓的に支承され、スキャンプロセスの際
に加工物表面と接触したままであるプローブにも作用す
る。プローブの質量慣性力は、凹状の加工物表面をスキ
ャンする場合には測定力を増加し、凸状の加工物表面を
スキャンする場合には測定力を減少する。このプロセス
でプローブに加わる動的歪も、測定座標データの補正の
中に考慮されて入れられると好適である。
【0017】歪を発生するCMM測定スライダの加速度
を別個のセンサにより測定できることは確かであるが、
しかし、測定スライダに対応している測定システムすな
わちスケールの位置データを2度時間微分することによ
りスライダ加速度を求めると有利である。これにより、
付加的センサは不要となり、加速度信号は、非常に小さ
い電子装置コストをかけるだけで、スライダ位置のため
の従来のトランスデューサから得ることができる。
【0018】新規の補正処理方法は、”剛性モデル”に
よる測定スライダの静的ガイド偏差を補正する公知の補
正処理方法に関連して用いられると有利である。これに
より、これをしない場合にはCMMを形成する際にガイ
ドの品質にかかるコストを更に低減できる。
【0019】
【実施例】次ぎに本発明を実施例に基づき図を用いて詳
細に説明する。
【0020】以下において、図1〜図8は、測定スライ
ダが加速される際に慣性力に起因して発生する本質的な
弾性歪すなわち機械のたわみが、ブリッジ形CMM(C
MM)で補正される方法を説明するために用いられる。
図1のブリッジ形CMMは、テーブル21と、テーブル
21の上で水平にY方向に動くブリッジ22とから成
り、このブリッジ22は、クロスバー22aの上でX方
向に案内されるいわゆるクロススライダ23を担持し、
図1のブリッジ形CMMは、スピンドル24から更に成
り、スピンドル24は、クロススライダ23の中でZ方
向に垂直に案内され、このスピンドル24の上には、プ
ローブ26を有するプローブヘッド25が取付けられて
いる。
【0021】CMM制御装置は、27により示され、コ
ンピュータは28により示されている。
【0022】加工物29が探測される際、主に次の弾性
歪が発生する。
【0023】1. X方向及びY方向で加速されると、
比較的細く軽量に形成されているスピンドル24が、加
速方向に抗してZ方向におけるスピンドル24の投影の
関数としてたわむ。これにより、2つの誤差成分xTx
(z,ax)及びyTy(z,ay)が発生する。
【0024】2. クロスバー(22a)も、ブリッジ
脚22において横方向ガイドの支承部の回りを傾動す
る。この運動は、レバーアームにも依存する、すなわち
X方向でのクロススライダ23の位置にも依存する。こ
れにより誤差yty(x,ay)が発生する。
【0025】これらの誤差に比較して、ブリッジ形CM
Mの他方の弾性偏差は、無視できる。3つの前述の歪成
分すなわち誤差成分は、図7及び図8のAに説明されて
いる。付加的な誤差ΔTkが、例えば図8のAのプロー
ブ26a等の長いプローブ又は横方向に直角に配置され
ているプローブが使用される場合に発生する。この誤差
は、プローブ座標Tkと、間接的にクロスバー22aの
上に支障されているスピンドル24が、機械の加速の作
用により力の加わらない位置からひねられて回転される
際の回転角度である角度αの関数である。
【0026】通常、加速度の関数としての機械の歪は、
次式により表すことができる。
【0027】
【数1】
【0028】
【外3】
【0029】このテンソルCは、測定スライダの投影長
の関数である、すなわち、機械の測定体積の中のプロー
ブヘッド25の位置の関数である。
【0030】前述のただ3つの誤差成分のみが、図1の
CMMの中で作用するとの前述の仮定を基礎として、式
2の成分から、次式3及び4が得られる。
【0031】 Ky=Py+c22(x,z)・ay (3) Kx=Px+c11(z)・ax (4) これにより、実際の座標Kx及びKyは、CMMの測定
システムにより供給される位置データPy及びPxか
ら、測定体積の中のプローブヘッド位置の関数であるテ
ンソル要素c22(x,z)とC11(z)に測定加速
成分ay及びaxを乗算することにより得られる。
【0032】たわみテンソルの要素c22及びc11を
求めるために、機械の加速度の関数としてのプローブ位
置の変分を求めなければならない。このために、次のよ
うにする。リングゲージ39は、異なる速度でスキャン
される(ひいては、機械スライダ22及び23が異なる
加速度で加速されてスキャンされる)。加速度正弦曲線
が、当該の機械軸線x及びyで得られる。加速度成分a
x及びayの最大振幅は、それぞれの軸線方向x,yで
のリングゲージ39の高位置で表わされる。高位置点の
みが、このようにして得られた測定データの円形最良適
合のために用いられる場合、動的な機械たわみに起因す
る測定誤差に相応し機械加速度に比例する見掛けの直径
変分が測定される。図5は、この測定誤差を示す、すな
わち、それぞれ加速度ax及びayの関数としての2つ
の測定方向x及びyでの”動的な機械たわみ”を示す。
曲線53及び54の上昇から、それぞれの測定場所での
たわみテンソルのテンソル要素c11(z)及びc22
(x,y)が得られる。
【0033】図2に示されているように、これらの測定
は、CMMの測定体積30のx/z平面の中の異なる位
置で繰返される。x/y平面に制限しても、この場合に
は支障ない、何故ならばブリッジ形CMMの剛性は、実
際の上でy座標から無関係であるからである。しかし、
式1及び2の内容は、別の設計のCMMにも適用でき、
その場合、図2に示されているように、y軸の方向での
たわみへの依存性も求める必要がある。
【0034】引続いての数学的補正のために、位置に依
存するテンソル要素c11及びc22が、多次元データ
メモリのように記憶され、中間値が補間される。しか
し、測定された動的剛性は、機械位置(Px,Py,P
z)の上の2次関数により近似することも容易に可能で
ある。多項式c11=F(z),c22=F(z)+F
(x)の関数係数A0,A1及びA2は、最良適合プロ
セスにより求められ、補正のために、図1のCMMの制
御装置27の非揮発性メモリに記憶される。関数c11
=F(z)には例えば次式を適用できる。
【0035】 c11(z)=A0+A1*z+A2*z2 (5) 図4は、出願人のPRISMO形のCMMのための関数
c22=F(x)及びc11=F(x)の典型的な特性
を示す。図4は、線形関数50と52、それぞれの関数
c22=F(x)又はc11=F(x)のための2次関
数52又は53の最良適合も示す。
【0036】
【外4】
【0037】図3の線図の点41で、機械の動的歪を表
す補正値DBが、トランスデューサにより供給された位
置測定値Pyに加算され、この補正値は、次のようにし
て得られる。加速度ayは、機能ブロック34及び37
で位置測定値Pyを2次微分することにより得られ、低
域フィルタ38で平滑化される。平滑化された加速度値
ayは、記憶されている関数係数A0,A1又はA2を
基礎にして計算されたc22に位置測定値P(x)及び
P(z)を適用することにより得られるテンソル値c2
2(x,z)と乗算される。
【0038】その上、図1のCMMの誤差を完全に補正
するためにいくつかの別の補正が必要である。これらの
補正のうちの1つは、ドイツ特許出願第P441855
0.2号明細書に説明されているように、プローブによ
り加工物に加わる測定力により発生される静的たわみS
Bから成る。相応する補正ブロック42は、測定位置
(Px,Py,Pz)の連続入力を必要とし、更に、プ
ローブヘッド25の中の適切な測定力発生器44により
加わる測定力MFの連続入力を必要とする。しかし、プ
ローブを介して点に加わる測定力の結果としてのCMM
の静的たわみを表し位置に依存するたわみテンソルが、
加速の際に測定スライダの中の質量分配により発生され
る支え応力の結果としてのCMMの動的たわみを表すた
わみテンソルではない値を表すことを言っておかなけれ
ばならない。
【0039】更に、ガイド誤差は、冒頭に記載の従来技
術で引用した文献に説明されているいわゆる剛性モデル
に従ってブロック45により補正される。このブロック
は、位置座標の連続入力しか必要としない、何故ならば
力の作用が、このモデルでは考慮されないからである。
【0040】その上、プローブヘッド25に取付けられ
ているプローブ26の静的たわみは、補正ブロック43
により計算され、位置測定値Pyの補正値に加算され
る。この補正における処理方法は、冒頭で述べたLot
zeの論文に記載の処理方法と一致する。この補正は、
プローブヘッド25の中の測定力発生器44により加わ
った測定力MFの入力を必要とするが、しかしそれは位
置に依存する、何故ならばプローブたわみを表すテンソ
ルと、ひいては、このテンソルから導出される補正パラ
メータも、完全に使用プローブの関数であり、従って、
これらのテンソル及び補正パラメータは、機械構造のそ
の他の部分とは別個に求めることができ、処理すること
ができる。
【0041】最後に、プローブヘッド25の上に取付け
られているプローブ26の動的たわみは、別の補正ブロ
ック46で補正される。この状態は、図7の線図に示さ
れ、図中、プローブ26を有するプローブヘッド25
は、リングゲージをスキャンするプロセスでのX座標を
含む平面の中の断面図として拡大尺度で示されている。
質量慣性力が加速方向xとは反対の方向でスピンドル2
4を歪曲する仕方と同様の仕方でプローブ26は、質量
慣性を有するが、しかしこれによりプローブ26は自由
に歪曲されない、何故ならばプローブ26は、リングゲ
ージ39と接触しており、従ってプローブ26は、あた
かも付加力が加わったのと同様の仕方で反対の方向にた
わむ。しかしこの付加力は、プローブヘッド25の中の
測定力発生器により加わってはおらず、従ってこの付加
力は、計測学的には記録されない。プローブの懸架点で
も力は発生せず、力は、実際のプローブの中の質量分布
に依存する。プローブが短く細く小さい質量を有する場
合、可撓的に懸架されているプローブの質量は本質的
に、比較的コンパクトなプローブ取付け部材26aの中
に集中していると仮定できる。この場合、加速度axに
より発生される付加的なプローブたわみΔsは、測定力
が加わることにより発生されるプローブたわみの場合と
同様の仕方で計算できる、すなわち、加速度から付加的
な測定力成分Mk′を計算するだけで計算できる。この
ようにして、乗算すべき記憶されているたわみテンソル
は、静的なプローブたわみ補正のために用いられたテン
ソルと同一のままである。
【0042】これらの要求が、例えば長く重く多重分岐
形のプローブが取付け部材26aの上に取付けられてい
ることに起因して満足されない場合、別々の動的たわみ
テンソルをこのプローブのために求めて、補正のために
記憶しなければならない。この場合、1つの可能な処理
方法は、異なる速度又は加速度でリングゲージをスキャ
ンするか又は校正球の円周全体をスキャンすることによ
り比較的剛性のプローブを測定体積の中の任意の1つの
個所で校正し、これにより、前述のように機械構造の動
的たわみを求めることにある。次いで、同一のリングゲ
ージ又は同一の校正球が、交換による新しい”動的”な
第2のプローブにより同一の個所で同一の仕方でスキャ
ンされ、これにより校正が行われる。測定値の間の差か
ら、加速の際に発生する質量支え応力に起因して発生す
る交換による新しいプローブの動的剛性またはこわさ
が、得られる。
【0043】図6は、前述の補正手段が、出願人のブリ
ッジ形CMMに用いられて収めた成果を示す。直径50
mmのリングゲージが、5mm/sと80mm/sとの
間の異なるスキャン速度でこの機械で測定された。スキ
ャン速度を横軸にとって縦軸に、機械構造の弾性変形の
結果としての直径の変化が示されており、この直径の変
化は明瞭である。曲線55は、たわみ補正が作動されな
い状態で、測定個所”左側下方”ですなわちテーブルの
上かつ脚部22から最も離れた点で得られた。曲線56
は、測定個所”右側下方”ですなわちテーブルの上かつ
脚部22の隣で得られた。これは、前述の測定個所直径
誤差が、80mm/sの高いスキャン速度では約30μ
mまで到達することを示す。
【0044】曲線57及び58は、同一の測定個所で測
定されたが、しかし補正が作動されている状態で測定さ
れた。その場所での直径の相対的変化は、1マイクロメ
ートルの広がりより小さく、左側下方の測定個所(曲線
58)では0.2マイクロメートルよりさえ小さい。
【0045】前述の実施例では、たわみパラメータは、
リングゲージをスキャン速度で及びひいてはスキャン加
速度でスキャンすることにより求められる。勿論、リン
グゲージの代りに別の曲線校正試料の内側輪郭又は外側
輪郭例えば校正球の赤道をスキャンすることも可能であ
る。たわみパラメータは、プローブヘッド25の中のプ
ローブ26の偏向を測定するために用いられる測定シス
テムを用いても求めることができ、このような測定シス
テムとして、例えば通常コイルを用いて、このコイルを
動かすことによりたわみパラメータを求める。この場
合、校正処理方法は、適切な加工物の表面を探測するこ
とにより行われ、これにより、異なる加速度での運動コ
イルの測定領域がカバーされる。
【0046】勿論、測定スライダの中の質量分配から有
限要素法により得られるデータを用いて機械スライダの
剛性またはこわさを計算することも可能である。
【0047】更に、別個のセンサを用いて、測定スライ
ダの加速度を求めることも可能である。
【0048】最後に、剛性またはこわさデータを、それ
ぞれのCMMに対して個別に求める必要はないことを指
摘する。すなわち、剛性またはこわさデータは、製作に
関連するばらつきを考慮して1つの特定の機械タイプに
対して1度求められ、補正パラメータの形で記憶され、
次いで、測定プロセスの際に記録された測定スライダの
現在の加速度と乗算されるだけでよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】ブリッジ形CMMの基本設計原理を示す概念的
である。
【図2】補正パラメータを求めるために用いられるリン
グゲージが異なる位置に取付けられている図1の座標測
定の測定体積を概念的に示す斜視図である。
【図3】いくつかの補正処理方法を図1のCMMのY値
に適用する方法を概念的に示すブロック回路図である。
【図4】測定体積の中の異なる位置の関数としての図1
のCMMの剛性を示す線図である。
【図5】当該の機械軸線での加速度の関数としての図1
のタイプのCMMのY方向及びY方向での動的たわみを
示す線図である。
【図6】異なる速度でリングゲージをスキャンする際の
本発明の補正処理方法の効率を示す線図である。
【図7】X方向での加速度が作用する状態での図1のC
MMの測定アーム及びプローブへの質量慣性の動的力の
作用を簡単化して示す概念図である。
【図8】Y方向での加速度が作用する状態での図1のC
MMの測定アーム及びプローブ位置への質量慣性の動的
力の作用を簡単化して示す概念図である。
【符号の説明】
21 テーブル 22 ブリッジ 22a クロスバー 23 クロススライダ 24 スピンドル 25 プローブヘッド 26 プローブ 26a 取付け部材 27 CMM制御装置 28 コンピュータ 29 加工物 29 リングゲージ 30 測定体積 34 機能ブロック 37 機能ブロック 38 低域フィルタ 39 リングゲージ 41 点 42 補正ブロック 43 補正ブロック 44 測定力発生器 46 補正ブロック 45 ブロック 50 線形関数 52 2次関数 53 2次関数 57 曲線 58 曲線 ay 加速度 DB 補正値 Py 測定位置値 SB 静的たわみ

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定された値(Px,Py,Pz)を、
    記憶されている補正値により数学的に処理し、補正値
    (DB)が、座標測定機の弾性的たわみ特性を表す、座
    標測定機を用いる加工物表面の座標測定方法においてた
    わみ特性を表すパラメータを、機械の測定領域(30)
    の中のいくつかのプローブ位置において求め、 前記パラメータの加速度に依存する成分を求め、測定ス
    ライダ(22,23,24)の位置(Px,Py,P
    z)と少なくとも測定スライダ加速度(ax,ay,a
    z)との関数として座標測定機のたわみ特性を表す補正
    値(c11,c22)の形で記憶し、 補正値により、次いで加工物を座標測定する際に座標測
    定機により測定されたデータ(Px,Py,Pz)を補
    正することを特徴とする加工物表面の座標測定方法。
  2. 【請求項2】 たわみ特性を表す補正値(c)を形成
    し、多次元補正テーブルとして記憶することを特徴とす
    る請求項1に記載の加工物表面の座標測定方法。
  3. 【請求項3】 補正計算を、テーブルに記憶されている
    補正値(c)の間で補間して得られた中間値により行う
    ことを特徴とする請求項2に記載の加工物表面の座標測
    定方法。
  4. 【請求項4】 たわみ特性を表す補正値の位置依存を、
    数学的関数(c11=F(z))により近似することを
    特徴とする請求項1に記載の加工物表面の座標測定方
    法。
  5. 【請求項5】 近似関数が、測定データの数学的補正の
    ために記憶されている係数(A0,A1,A2)を有す
    る多項式であることを特徴とする請求項3に記載の加工
    物表面の座標測定方法。
  6. 【請求項6】 【外1】 ことを特徴とする請求項1から請求項5のうちのいずれ
    か1つの請求項に記載の加工物表面の座標測定方法。
  7. 【請求項7】 補正値を、座標測定機の測定領域(3
    0)の中の異なる位置に順次に連続してテスト試料(3
    9)を固定して前記テスト試料(39)を異なる速度で
    スキャンすることにより事前に測定することを特徴とす
    る請求項1から請求項6のうちのいずれか1つの請求項
    に記載の加工物表面の座標測定方法。
  8. 【請求項8】 テスト試料がリングゲージ(39)であ
    り、前記リングゲージ(39)の内側輪郭を座標測定機
    械のプローブ(26)によりスキャンするか、又はテス
    ト試料が校正球であり、前記校正球の外周を前記プロー
    ブ(26)によりスキャンすることを特徴とする請求項
    7に記載の加工物表面の座標測定方法。
  9. 【請求項9】 座標測定機の測定スライダ(22,2
    3,24)のガイド(21,22a,23)の静的偏差
    を、直線直交座標系にて付加的に求め、これを基礎にし
    て、別の補正値を形成して記憶し、前記補正値により、
    加工物の後続の測定において座標値を補正する請求項1
    に記載の加工物表面の座標測定方法。
  10. 【請求項10】 座標測定機の弾性たわみを、座標測
    定機に印加された力の関数として初期校正プロセスで求
    め、測定されたデータから、補正値(DB)の第1の組
    を計算して記憶し、前記補正値(DB)の前記第1の組
    が、座標測定機の測定領域の中のプローブ位置と、 【外2】 測定スライダのガイド(21,22a,23)の静的偏
    差を、第2の校正プロセスで求め、これらのガイド偏差
    から、加速度に依存する補正値(SA)の第2の組を計
    算して記憶し、これらの値も、座標測定機の測定領域の
    中のプローブ位置の関数であるステップと、 加工物の測定において、補正値の双方の前記組により、
    座標測定機の測定システムにより供給された座標測定値
    (Px,Py,Pz)を補正するステップとを行い、こ
    れらのステップを必ずしも前述の順序で行う必要はない
    ことを特徴とする請求項9に記載の加工物表面の座標測
    定方法。
  11. 【請求項11】 プローブ(26)と加工物(29,3
    9)との間の測定力(MF)の結果としての座標測定機
    の弾性たわみを測定し、前記弾性たわみから補正値(T
    B)の第3の組を計算し、前記第3の組を、正しい座標
    測定値を計算するために用いることを特徴とする請求項
    1から請求項10のうちのいずれか1つの請求項に記載
    の加工物表面の座標測定方法。
  12. 【請求項12】 測定スライダの加速度(ax,ay,
    az)を、前記測定スライダに対応する測定システム
    (31,32,33)の位置測定値を2度時間微分する
    ことにより求めることを特徴とする請求項1から請求項
    11のうちのいずれか1つの請求項に記載の加工物表面
    の座標測定方法。
  13. 【請求項13】 測定スライダの加速度(ax,ay,
    az)を、付加的な加速度検出器により測定することを
    特徴とする請求項1から請求項11のうちのいずれか1
    つの請求項に記載の加工物表面の座標測定方法。
  14. 【請求項14】 プローブヘッドの中に可撓的に支承さ
    れているプローブのたわみ特性も、前記プローブヘッド
    の加速度の結果として発生してプローブを変形する質量
    支え応力の関数として求め、前記たわみ特性を、測定座
    標値を補正する際に考慮することを特徴とする請求項1
    から請求項13のうちのいずれか1つの請求項に記載の
    加工物表面の座標測定方法。
  15. 【請求項15】 加速度を駆動装置により導入すること
    を特徴とする請求項1から請求項14のうちのいずれか
    1つの請求項に記載の加工物表面の座標測定方法。
  16. 【請求項16】 加速度を、手動で作動される座標測定
    機の中に操作員が導入することを特徴とする請求項1か
    ら請求項14のうちのいずれか1つの請求項に記載の加
    工物表面の座標測定方法。
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