JPS6321841B2 - - Google Patents

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JPS6321841B2
JPS6321841B2 JP55039134A JP3913480A JPS6321841B2 JP S6321841 B2 JPS6321841 B2 JP S6321841B2 JP 55039134 A JP55039134 A JP 55039134A JP 3913480 A JP3913480 A JP 3913480A JP S6321841 B2 JPS6321841 B2 JP S6321841B2
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JP
Japan
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probe
measuring
determining
workpiece
needle
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JP55039134A
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English (en)
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Robaatsu Makumaatorii Deibitsudo
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RENISHO PLC
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RENISHO PLC
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Publication date
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Publication of JPS55154408A publication Critical patent/JPS55154408A/ja
Publication of JPS6321841B2 publication Critical patent/JPS6321841B2/ja
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
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    • G01B21/045—Correction of measurements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、プローブを支持し、測定すべき加工
片および基準に対するプローブの位置を連続的に
測定する測定手段に対してプローブを移動させる
装置を備え、プローブは、加工片のプロクシメイ
ト表面（proximate surface）に対して予じめ定
めた関係をもつときに、測定信号を発生する手段
を有し、加工片の寸法を測定する座標測定装置お
よび該測定装置上の加工片の寸法測定方法に関す
るものである。作動にあたつては、プローブを上
述した表面に向けて移動させ、上述の測定信号を
用いて、プローブが予じめ定めた関係に到達した
瞬時に測定手段の出力を決定するようにし、それ
により上述した表面の基準に対する位置を決定す
る。
測定動作の速度を向上させるためには、測定す
べき一の表面から次の表面へプローブを迅速に移
動させることが行われている。しかし、この方法
はプローブ支持装置の動的たわみによつて制約さ
れる。換言すると、前述した測定信号が発生する
瞬時にプローブが加速され、あるいは減速される
と、そのときの測定値は、プローブが一定速度で
移動する場合の測定値とは異なるものとなる。こ
れら測定値の差が所定の許容範囲より大きくなる
と、その測定は役に立たない。
そこで、本発明の目的は、上述した欠点を除去
して、加工片の寸法を測定する座標測定装置を提
供することにある。
本発明の他の目的は、上述した欠点を除去し
て、座標測定装置上の加工片の寸法を測定する方
法を提案することにある。
本発明座標測定装置は、その第１の形態におい
て (a) 加工片に対し移動可能な支持部材と (b) 前記支持部材の移動中に、その位置を連続し
て測定する測定手段と、 (c) 加工片の表面を検知しその検知に応じて検知
信号を発生する手段を有するプローブと、 (d) 該プローブを前記支持部材に連結し、前記移
動によつてたわみ得る連結部材と、 (e) 前記検知信号が生起されたときに前記測定手
段の出力を検出し、前記プローブの測定位置を
決定する手段と、 (f) 前記検知信号が生起されたときに、前記連結
部材のたわみを検出し前記プローブの測定位置
と真実位置との差異を決定する手段と、 (g) 前記プローブの測定位置に該差異を加算し、
該プローブの真実位置の測定値を求める手段と を具備したことを特徴とする。
また、その第２の形態において (a) 延伸部材と、 (b) 該延伸部材の一端を自由端とし、他端を支持
しつつ該延伸部材の長手方向と直交する方向の
移動を案内する案内部材と、 (c) 該延伸部材の自由端に設けられ、加工片と係
合し得る針と、 (d) 前記移動中の加速によつて定常位置からたわ
み得る前記延伸部材の支持端に設けられ前記移
動を連続的に測定し、前記針の位置の測定値を
連続的に決定する測定手段と (e) 前記加速度を測定する手段と、 (f) 前記加速度の測定値に応じて前記たわみ量を
決定する手段と、 (g) 前記たわみ量を前記針の位置の測定値に加算
する手段と を備え、前記針の真実の位置と移動測定手段によ
つて決定された針の位置の測定値との間に生ずる
誤差を補正するようにしたことを特徴とするもの
である。
本発明方法は、加工片に対し移動可能な支持装
置と、該移動を連続的に測定する手段と、加工片
の表面を検知し、その検知に応じて検知信号を発
生する手段を有するプローブと、該プローブを前
記支持装置に連結し前記移動によつてたわみ得る
連結部材とを有する座標測定装置上に前記加工片
を載置し、その寸法を測定するにあたり、 (a) 前記プローブを前記表面に向けて移動すべく
前記支持装置と加工片とを相対的に移動させ、 (b) 前記検知信号が生起された時に、前記測定手
段の出力を検出し前記プローブの測定位置を決
定し、 (c) 前記検知信号が生起されたときに、前記連結
部材のたわみを検出し、前記プローブの測定位
置と真実位置との差異を決定し、更に、 (e) 前記測定手段の前記出力に前記差異を加算し
前記プローブの真実位置の座標を求めることを
特徴とするものである。
動的たわみは、プローブの速度の変化により影
響される測定装置上のいかなるパラメータを検知
することによつても決定することができる。かか
るパラメータの測定値は、プローブが静止してい
るときの位置からの、あるいは一定速度で移動す
るときの対応する変位の値に変換され、その変位
値は、測定手段により記録された実際の測定値に
対して、場合に応じて加算あるいは減算される。
上述したパラメータとしては、例えば、測定装
置の可動部上に設けた加速度計、測定装置の可動
部あるいは静止部上に取付けたひずみ計、軸上に
取付けたトルク計、あるいは測定装置を駆動する
のに用いられるモータに組込んだ電流計により測
定されるような加速度を用いることができる。
以下に図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。
第１図は本発明座標測定装置の構成の１例を示
す。本発明装置は、直交座標系のＸ，ＹおよびＺ
方向に移動可能に支持されたプローブ１０を有す
る。このように移動可能に支持するために、プロ
ーブ１０を垂直に延在する細長い部材のクイル１
１の底端に固着する。このクイル１１を軸受１２
によりＺ方向に移動可能に支持する。軸受１２を
キヤリツジ１３と一体に構成する。キヤリツジ１
３をはり１４によりＸ方向に移動可能に支持す
る。はり１４を、テーブル１６上に取付けたトラ
ツク１５によりＹ方向に移動可能に支持する。プ
ローブ１０は球面状検知端２７をもつ針１７を有
し、それにより測定すべき加工片１８に係合させ
る。ここで、Ｘ方向に測定を行うことが要求さ
れ、基準ブロツク２２の面２１と加工片１８の面
２３との間の距離Ｘ１を測定するものとする。こ
の動作にあたつては、はり１４の一端に固着した
モータ２０によりねじ１９を回転させることによ
つて、キヤリツジ１３をトラツク１５に沿つてＸ
方向に移動させる。実際の測定は光電式読取りヘ
ツド２４により行われる。このヘツド２４はキヤ
リツジ１３に固着され、はり１４に固着されたス
ケール２５に沿つて、キヤリツジ１３と共に移動
可能である。読取りヘツド２４の出力をカウンタ
２６Ｘ（第２図参照）によつて読み取る。
なお、上述したところと同様のねじおよびモー
タ装置（図示せず）を設けてクイル１１を軸受１
２を通して移動させるようにし、しかもはり１４
をトラツク１５に沿つて移動させるようにする。
プローブ１０を、最初に、かかるねじおよびモー
タ装置によつてＹおよびＺ方向に移動させて、所
望のYZ位置からＸ位置の測定を行うものとする。
更にまた、モータ２０を最初に動作させて検知端
２７を再び基準表面２１に位置させ、検知端２７
と表面２１との間の係合の瞬時にプローブ１０か
ら取り出される信号３７に応動してカウンタ２６
を零にセツトする。ここで、プローブ１０を表面
２１に対して低速の一様な基準速度で移動させ
て、慣性によつて零セツテイングが誤つてなされ
ることがないようにするものとする。
同様の零セツテイングはＹおよびＺ方向につい
ても勿論行う。かかる零セツテイングにあたつて
は、それぞれの測定を行つた直後にプローブ１０
を停止させ、プローブ１０を次の測定点に加速す
る。このような零セツテイングを行つた後に、装
置はその零に関連するすべての測定動作に対する
準備を完了する。なお、以下に述べるひとつの測
定は、複雑な加工片について行われる多数の、し
ばしば数100回に及ぶかかる動作のうちの最初の
ひとつである。かかる処理を経済的に行うために
は、動作を迅速な順序で行うことが必要である
が、可動部材をより迅速に移動させると、慣性に
よつて測定に誤差を生じるおそれが一層増大す
る。この点について以下に詳述する。
モータ２０を駆動してキヤリツジ１３を零位置
あるいはいずれかの休止位置からＸ方向に加速す
るにつれて、定常状態では中心線１１Ａ上にある
部材１１が、部材１１の慣性によつて曲げられて
中心線１１Ｂ上に位置する。なお、クイル部材１
１は片持ちばりとなし、この片持ちばりを軸受１
２において支持し、その軸受１２およびキヤリツ
ジ１３に対してたわむようにすることもできる。
検知端２７は、定常状態では位置２７Ａに位置し
ており、従つて、位置２７ＡからたわみDXだけ
離間した位置２７Ｂに位置する。このたわみDX
は、第１図では説明の都合上から誇張して示して
ある。たわみDXの実際の大きさは数ミクロンメ
ートル程度である。従つて、検知端２７は、部材
１１にたわみがないと仮定した場合に比べて遅れ
て加工片１８と係合する。ここで、加速が一定の
割合で行われて、プローブ１０の速度は移動した
距離の二乗で増加し、たわみDXは加工片１８と
の係合の瞬時に至るまで、不変のまま保たれるも
のとする。かかる係合の瞬時に、検知ヘツド２４
は、定常状態の下でとりうる位置２４Ａより進ん
だ位置２４Ｂにきている。従つて、読取りヘツド
２４により測定された距離Ｘ２は距離Ｘ１よりも
量DXだけ大きい。
プローブ１０自体は、プローブ、更に具体的に
云えばプローブの検知素子が加工片１８に対して
予じめ定めた関係をもつようになつたときに、信
号３７を出力する手段を有するものであればいか
なる種類のものであつてもよい。本例では、検知
素子を針１７およびその検知端２７で構成し、電
気的接点５３（第３図参照）により信号３７を発
生させる。針１７は外匣３６上に支持される。針
１７に作用する力により接点３８の状態が変化す
るときに、接点３８により電気回路の状態を変化
させる。信号３７を用いてモータ２０を停止さ
せ、および次の測定動作を開始させる。プローブ
１０がわずかな量だけ測定点を通り過ぎる限りに
おいては、針１７を傾けて接点５３に接触するよ
うにすることによつて、かかる通り過ぎを許容す
ることができる。信号３７は、カウンタ２６Ｘの
瞬時読取り出力をコンピユータ２９の主ストア２
８に転送するのにも用いられる。コンピユータ２
９は本装置により得られた測定結果を処理するた
めのものである。
以上に述べてきた装置は既知の構成であつて、
本発明の一部をなすものではない。かかる装置が
動作することのできる加速度は、上述のたわみに
よつて制約されてしまうことは明らかである。
上述した慣性の悪影響を解決するために、本発
明では、距離DXが許容し得る最小値を越えてい
ることを示す信号を発生する手段を設ける。本例
では、この手段を、プローブ１０の内部あるいは
近傍に設けた加速度計３０により実現する。第３
図に示すように、加速度計３０は、基板３２と自
由質量３３との間に圧電性結晶３１を接続した既
知の配置よりなるものである。３つの出力端子３
４Ｘ，３４Ｙ，３４Ｚ（ひとまとめにして出力端
子３４とも総称する）を結晶３１から導出して、
自由質量３３にＸ，ＹおよびＺ方向のそれぞれに
おいて作用する慣性力に対して発生する電流を取
り出すようにする。加速度計３０は、部材１１と
プローブ１０の外匣３６との間に直接に接続され
た外匣３５に取り付けるものとする。
出力端子３４をしきい値増幅器３８の各々（第
２図では１個のみ示す）に接続する。この増幅器
３８の出力３９は、信号３４が部材１１のたわみ
の許容し得る最大値に対応するある予じめ定めた
しきい値を越えたときのかかる信号３４の大きさ
に比例する。
出力３９を用いてスイツチ４０を制御し、カウ
ンタ２６Ｘの出力がバツフアストア５２からスイ
ツチ４０を経て更に減算器４８を介して主ストア
２８に転送されないようにし、そして測定動作を
より低い速度で繰返すべきである旨を指示する信
号４１を出力する。加速度計３０の出力をこのよ
うに用いることは、特に、操作者が人為的力を部
材１１にかけてモータ２０を操作するときに用い
られる。しかし、本装置をコンピユータプログラ
ムにより動作させる場合には、次の方式が好適で
ある。
信号３４を増幅器３８を経てデイジタイザ４２
に供給し、このデイジタイザ４２により信号３４
の種々変化するレベルを、対応する２進信号４３
に変換する。この信号４３をバツフアストア４４
を経てデコーダ４５に供給する。その出力４６は
マルチプレクサ５１を経て補正ストア４７のアド
レスとなる。この補正ストア４７は、信号３４Ｘ
の対応する値に対するたわみDXの実際の値DX
（ｎ）のリストを収容している。他方、プローブ
１０からの信号３７をバツフアストア４４に供給
して、信号３７の生起瞬時にバツフアストア４４
に格納されている値を、デコーダ４５を介してス
トア４７に転送する。このストア４７はそれに応
動して、今ここで入力された信号３４に対応する
アドレスに存する値DX（ｎ）を減算器４８に出
力する。減算器４８をカウンタ２６Ｘと主ストア
２８との間に、バツフアストア５２とスイツチ４
０を介して接続して、差Ｘ２−DX（ｎ）を導出
するようにする。この差は当然のことながら距離
Ｘ１の真の値に相当する。なお、バツフアストア
５２は、プローブ１０からの信号３７によつて制
御され、その信号３７の生起瞬時にバツフアスト
ア５２に格納されている値を取り出してスイツチ
４０を経て減算器４８に転送する。
ストア４７に格納されているDX（ｎ）の種々
の値は、較正過程で求められる。そのためには、
キヤリツジ１３を移動させてプローブ１０が試験
片、例えば、加工片１８と係合するようにする。
まず、キヤリツジ１３を、基準ブロツク２２にお
いて、カウンタ２６Ｘの零セツテイングを行つた
ときに用いたのと同じ低い一様な速度で駆動す
る。これによつてカウンタ２６の基本読取り値Ｘ
２ａを定める。この値Ｘ２ａは距離Ｘ１に等しい
はずである。次いで、キヤリツジ１３を、加速度
を徐々に高めながら、何回も繰返し走行させる。
キヤリツジ１３の各走行の度毎に、信号３７の発
生瞬時におけるカウンタ２６の出力Ｘ２ｎをバツ
フアストア４４の内容と対応ずけてストア２８に
記録していく。次に、Ｘ２ｎの種々の値に対する
差Ｘ２ｎ−Ｘ２ａ＝DXnを形成して、ストア４
７のうち、バツフアストア４４およびデコーダ４
５の出力に対応するアドレスに書き込む。このよ
うな装置の較正はコンピユータ２９を用いて容易
に行うことができる。
以上では、本発明装置をＸ次元について述べて
きたが、同様の装置はＹ次元についても設けるも
のとする。部材１１のＺ次元での硬さを考慮する
と、通常は、Ｚ次元については同様の装置を設け
る必要はないが、Ｚ次元に対しても、Ｘ次元の場
合について上述したのと同様のスケール、読取り
ヘツドおよびカウンタを有する装置を設けること
ができることは勿論である。その場合のＺ次元用
のカウンタを第２図では符号２６Ｚを付して示し
てある。カウンタ２６Ｚの出力を分周器４９を経
てマルチプレクサ５１に供給する。
再び装置の較正について述べると、DX（ｎ）
の種々の値をテーブル１６上の座標系の種々の領
域において発生させる。その理由は、プローブ１
０が、軸受１２から離間すればする程、部材１１
の支持されていない長さが長くなり、従つて、た
わみDXが大きくなるからである。従つて、本発
明では、テーブル１６の表面の上の検知端２７の
種々の高さＺ１（第１図参照）に対して較正を施
すものとする。そのために、第２図につき上述し
たカウンタ２６Ｚを分周器４９に接続して、検知
端２７がテーブル１６上のその最下点から最上点
まで移動する間に、例えば、15cmの間隔で、補正
信号５０を発生させる。かかる較正はこのような
間隔のひとつひとつにおいて行われ、補正信号５
０を用いてマルチプレクサ５１を動作させ、それ
によりデコーダ出力４６をストア４７の適切な部
分に割当てる。
第４図を参照するに、ここには、点ＡとＢとの
間でのプローブ１０の加速状態の曲線が示されて
いる。点ＡとＢとの間では加速度は一定であり、
プローブ１０の速度は増大していき、速度増加に
対応して最大の高速度となる。点Ｂにおいて最高
速度になると（この速度はモータ２０を駆動し得
る最高速度である）、プローブ１０は、部材１１
が軸受１２から突出して振動することに起因し
て、はじめのうちは振動状態にある。この振動
は、例えば、Ｃ点において消滅し、プローブ速度
は一定値に落着く。加速度計３０は勿論かかる振
動に応動し、従つて、読取りを補正するように動
作する。あるいはまた、加速度計を用いて、振動
状態が許容し得る最小値を越えている限り、スイ
ツチ４０により読取りを禁止するようにしてもよ
い。
なお、加速度計３０はプローブ１０に取付ける
代わりにキヤリツジ１３に取付け、加速度計３０
のキヤリツジ１３上の位置に基いて、上述したと
ころと同様にして補正処理を行うこともできる。
更にまた、加速度計を用いる代わりに、プローブ
１０の加速に応動してひずみを受ける位置にひず
み計を取付けて用いることもできる。
上述した装置の較正にあたつては、種々の加速
に対するプローブの変位を測定しているが、かか
る変位は、加速度および既知のひずみの公式を基
礎としてコンピユータ２９によつて算出すること
もできる。
コンピユータ２９は電子式デイジタルコンピユ
ータで構成でき、減算器４８はハードの結線、あ
るいはソフトウエアの形態で構成することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明装置の１実施例を示す正面図、
第２図は本発明装置の１実施例のブロツク線図、
第３図は第１図示の装置のうち、プローブおよび
加速度計の部分を拡大して示す詳細図、および第
４図は変位に対する速度の関係を示すグラフであ
る。 １０……プローブ、１１……クイル、１２……
軸受、１３……キヤリツジ、１４……はり、１５
……トラツク、１６……テーブル、１７……針、
１８……加工片、１９……ねじ、２０……モー
タ、２１，２３……面、２２……基準ブロツク、
２４……読取りヘツド、２５……スケール、２６
……カウンタ、２７……検知端、２８……主スト
ア、２９……コンピユータ、３０……加速度計、
３１……圧電性結晶、３２……基板、３３……自
由質量、３４……出力端子、３５，３６……外
匣、３８……しきい値増幅器、４０……スイツ
チ、４２……デイジタイザ、４４……バツフアス
トア、４５……デコーダ、４７……補正ストア、
４８……減算器、４９……分周器、５１……マル
チプレクサ、５２……バツフアストア、５３……
接点。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 加工片の寸法を測定する座標測定装置におい
    て、 (a) 加工片８に対し移動可能な支持部材１３と、 (b) 前記支持部材１３の移動中に、その位置を連
    続して測定する測定手段２４，２５と、 (c) 加工片の表面を検知し、その検知に応じて検
    知信号３７を発生する手段５３を有するプロー
    ブ１０と、 (d) 該プローブ１０を前記支持部材１３に連結
    し、前記移動によつてたわみ得る連結部材１１
    と、 (e) 前記検知信号３７が生起されたときに前記測
    定手段２４，２５の出力２６を検出し、前記プ
    ローブの測定位置X2を決定する手段５２と、 (f) 前記検知信号３７が生起されたときに、前記
    連結部材のたわみを検出し前記プローブの測定
    位置X2と真実位置X1との差異DXを決定する手
    段３０，３９，４４，４７と、 (g) 前記プローブの測定位置X2に該差異DXを加
    算し、該プローブ１０の真実位置の測定値X1
    を求める手段と を具備したことを特徴とする座標測定装置。 ２ 加工片の寸法を測定する座標測定装置におい
    て、 (a) 延伸部材１１と、 (b) 該延伸部材１１の一端を自由端とし、他端を
    支持しつつ該延伸部材１１の長手方向と直交す
    る方向の移動を案内する案内部材１４と、 (c) 該延伸部材１１の自由端に設けられ、加工片
    ８と係合し得る針１７と、 (d) 前記移動中の加速によつて定常位置１１Ａか
    らたわみ得る前記延伸部材１１の支持端に設け
    られ前記移動を連続的に測定し、前記針１７の
    位置の測定値X2を連続的に決定する測定手段
    ２４，２５と (e) 前記加速度を測定する手段３０と、 (f) 前記加速度の測定値３４に応じて前記たわみ
    量DXを決定する手段４７と、 (g) 前記たわみ量DXを前記針の位置の測定値X2
    に加算する手段と を備え、前記針の真実の位置X1と前記測定手段
    ２４，２５によつて決定された針の位置の測定値
    X2との間に生ずる誤差を補正するようにしたこ
    とを特徴とする座標測定装置。 ３ 加工片８に対し移動可能な支持装置１３と、
    該移動を連続的に測定する手段２４，２５と、加
    工片８の表面を検知し、その検知に応じて検知信
    号３７を発生する手段５３を有するプローブ１０
    と、該プローブ１０を前記支持装置１３に連結し
    前記移動によつてたわみ得る連部部材１１とを有
    する座標測定装置上に前記加工片を載置し、その
    寸法を測定するにあたり、 (a) 前記プローブ１０を前記表面に向けて移動す
    べく前記支持装置１３と加工片８とを相対的に
    移動させ、 (b) 前記検知信号３７が生起された時に、前記測
    定手段２４，２５の出力を検出し前記プローブ
    １０の測定位置X2を決定し、 (c) 前記検知信号が生起されたときに、前記連結
    部材１１のたわみDXを検出し、前記プローブ
    の測定位置と真実位置との差異DXを決定し、
    更に、 (e) 前記測定手段２４，２５の前記出力に前記差
    異DXを加算し前記プローブ１０の真実位置X1
    の座標を求めることを特徴とする加工片寸法測
    定方法。
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