JP4638732B2 - 走査システムの較正方法 - Google Patents
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Description
望ましくない偏位によって生じる。プローブスタイラスのたわみによるエラーは、多くの機械全般に渡って同じであり、プローブ校正によって補正されるであろう。機械構造物の偏位によるエラーは、例えば、機械クイルのたわみ(machine quill bending)や機械ブリッジのねじれ(machine bridge twisting)によって生じ、きわめて多くの機械全般に渡る。これらのエラーは、例えば、カンチレバーの増加に伴って増大する。測定対象物におけるエラーは、プローブによる力の結果として、測定中における対象物の偏位により生じる。
各機械測定装置およびプローブの各測定変換器の各出力を同時に記録する間に、反転される。この処理は、対象物の表面周りの各基準点の選択のために繰り返される。プローブの偏位が零のときに得られることになる測定値を決定するために、それぞれの測定点の測定値が推定される。この推定値は、プローブが丁度、表面に接触したときに関連する。
三次元位置決め装置上に第1の対象物を置く工程と、
ワークピース接触プローブで前記第1の対象物を測定して、前記第1の対象物の測定データを作成し、前記測定データは多数のスタイラス偏位またはプローブ力で補正される工程と、
前記第1の対象物の表面上の複数のポイントに関して、前記測定データを基に、零のスタイラス偏位または零のプローブ力を推定する工程と、
前記測定データおよび推定データから、エラー関数またはマップを作成する工程と、
その後の対象物を既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力で測定する工程と、
その後の前記対象物の測定値に対するエラー補正をするために、前記エラー関数またはマップを用いる工程と、
を任意の適した順序で含む。
第1の対象物は低速で測定され、さらに
プローブが既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力を有していて、第1の対象物の測定データを作成するために、ワークピース接触プローブにより第1の対象物を高速で測定する工程と、
前記低速での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する推定測定データと、前記高速での測定データと、を比較する工程と、
を含み、
前記エラー関数またはマップは、前記高速での測定データに関する測定データから作成され、
その後の前記対象物は、既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力をもって高速で測定される。
第1の対象物は高速で測定され、さらに、
所定のスタイラス偏位またはプローブ力による前記高速での測定データと、高速での推定された零データと、の差から、第1のエラー関数またはマップを作成する工程と、
第1の対象物の測定データを作成するために、ワークピース接触プローブにより第1の対象物を低速で測定する工程と、
前記所定のスタイラス偏位または既知のプローブ力を用いての低速測定の実行中に作成される測定データに、第1のエラー関数またはマップを適用する工程と、
を含み、
前記エラー関数またはマップは、所定の既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力での高速測定中に得られる測定データと、前記低速での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する測定データと、の間の差に関する第2のエラー関数またはマップを含み、
その後の対象物は、既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力をもって高速で測定される。
三次元位置決め装置上に第1の対象物を置く工程と、
ワークピース接触プローブにより前記第1の対象物を低速で測定して、前記第1の対象物の測定データを作成し、前記測定データは多数のスタイラス偏位またはプローブ力で補正される工程と、
前記第1の対象物の表面上の複数のポイントに関して、前記測定データを基に、前記低速での零のスタイラス偏位または零のプローブ力を推定する工程と、
プローブが既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力を有していて、第1の対象物の測定データを作成するために、ワークピース接触プローブにより前記第1の対象物を高速で測定する工程と、
前記での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する推定測定データと、前記高速での測定データと、を比較する工程と、
測定データの比較からエラー関数またはマップを作成する工程と、
その後の対象物を既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力により高速で測定する工程と、
その後の前記対象物の測定値にエラー補正を加えるために、エラー関数またはマップを用いる工程と、
を含む。
(a)三次元位置決め装置上に第1の対象物を置く工程と、
(b)測定実行のための第1の対象物をワークピース接触プローブにより高速で測定して、第1の対象物の測定データを作成し、前記測定データは多数のスタイラス偏位またはプローブ力で補正される工程と、
(c)前記第1の対象物の表面上の複数のポイントに関して、工程(b)からの前記測定データを基に、高速での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応するものを推定する工程と、
(d)工程(b)において得られた測定データと、工程(c)における前記高速での推定された零データと、に基づいて、測定力エラーと、スタイラス偏位またはプローブ力と、の関係に関する第1のエラー関数またはマップを作成する工程と、
(e)プローブが既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力を有していて、第1の対象物の測定データを作成するために、ワークピース接触プローブにより前記第1の対象物を定速で測定する工程と、
(f)工程(e)にける測定実行中に作成される測定データに、工程(d)の第1のエラー関数またはマップを加えることにより、低速での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する第1の対象物の測定データを決定する工程と、
(g)既知のスタイラス偏位またはプローブ力により高速で得られる測定データと、工程(f)において決定される前記低速での零のスタイラス偏位またはプローブ力に対応する測定データと、の関係に関する第2のエラー関数またはマップを作成する工程と、
(h)その後の対象物を既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力により高速で測定する工程と、
(i)工程(g)における第2のエラー関数またはマップを用いて、工程(h)において得られた測定値にエラー補正を加える工程と、
を任意の適した順序で含む。
三次元位置決め装置上に第1の対象物を置く工程と、
第1の対象物をワークピース接触プローブにより測定して、第1の対象物の測定データを作成し、前記測定データは多数のプローブ力で補正される工程と、
前記第1の対象物の表面上の複数のポイントに関して、測定データを基に、零のプローブ力に対応するデータを推定する工程と、
エラー関数またはマップを作成する工程と、
その後の対象物を既知のプローブ力で測定する工程と、
エラーマップを用いて、その後の対象物の測定値にエラー補正を加える工程と、
を含む。
Claims (8)
- 三次元位置決め装置上の対象物の測定方法であって、前記装置はワークピース接触スタイラス付きのワークピース接触プローブを有し、前記ワークピース接触スタイラスは、それが対象物に接触したときにプローブ力に抗して偏位可能であり、
前記測定方法は、
三次元位置決め装置上に第1の対象物を置く工程と、
前記ワークピース接触プローブで前記第1の対象物を測定して、前記第1の対象物の測定データを作成し、前記測定データは、スタイラス偏位またはプローブ力の多数の値で補正される工程と、
前記第1の対象物の表面上の複数のポイントに関して、前記測定データを基に、零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する推定測定データを推定する工程と、
前記測定データおよび前記推定測定データから、エラー関数またはマップを作成する工程と、
前記第1の対象物の測定後に測定対象となる後続の対象物を既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力で測定する工程と、
前記後続の対象物の測定値に対するエラー補正をするために、前記エラー関数またはマップを用いる工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記ワークピース接触プローブによる前記第1の対象物の測定、および前記スタイラス偏位またはプローブ力の多数の値での前記測定データの補正の工程は、前記第1の対象物の走査を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の対象物の測定は第1の速度で行い、さらに
前記第1の対象物の測定データを作成するために、前記ワークピース接触プローブにより前記第1の対象物を第2の速度で測定する工程であって、前記第2の速度は前記第1の速度よりも速く、また当該測定中に、前記ワークピース接触プローブは既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力で操作される工程と、
前記第1の速度での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する前記推定測定データと、前記第2の速度での測定データと、を比較する工程と、
を含み、
前記推定測定データから作成される前記エラー関数またはマップは、前記第2の速度で測定された前記測定データのエラーを補正し、
前記後続の対象物は、既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力をもって前記第2の速度で測定される
ことを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の方法。 - 前記第1の対象物の測定は第2の速度で行い、さらに、
所定のスタイラス偏位またはプローブ力による前記第2の速度での測定データと、前記第2の速度での推定測定データと、の差から、第1のエラー関数またはマップを作成する工程と、
前記第1の対象物の測定データを作成するために、前記ワークピース接触プローブにより前記第1の対象物を、前記第2の速度よりも遅い第1の速度で測定する工程と、
前記第1の速度での低速測定の実行中に作成される測定データに、前記第1のエラー関数またはマップを適用する工程と、
を含み、
前記エラー関数またはマップは、所定の既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力をもって前記第2の速度での測定中に得られる測定データと、前記第1の速度での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する推定測定データと、の間の差に関する第2のエラー関数またはマップを含み、
前記後続の対象物は、既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力をもって前記第2の速度で測定される
ことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の方法。 - 三次元位置決め装置上の対象物の測定方法であって、前記装置はワークピース接触スタイラス付きのワークピース接触プローブを有し、前記ワークピース接触スタイラスは、それが対象物に接触したときにプローブ力に抗して偏位可能であり、
前記測定方法は、
前記三次元位置決め装置上に第1の対象物を置く工程と、
前記ワークピース接触プローブにより前記第1の対象物を第1の速度で測定して、前記第1の対象物の測定データを作成し、前記測定データは、スタイラス偏位またはプローブ力の多数の値で補正される工程と、
前記第1の対象物の表面上の複数のポイントに関して、前記測定データを基に、前記第1の速度で零のスタイラス偏位または零のプローブ力をもって得られる測定値に対応する推定測定データを推定する工程と、
前記第1の対象物の測定データを作成するために、前記ワークピース接触プローブにより前記第1の対象物を第2の速度で測定する工程であって、前記第2の速度は前記第1の速度よりも速く、また当該測定中に、前記ワークピース接触プローブは既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力で操作される工程と、
前記第1の速度での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する前記推定測定データと、前記第2の速度での測定データと、を比較する工程と、
前記測定データの比較からエラー関数またはマップを作成する工程と、
前記第1の対象物の測定後に測定対象となる後続の対象物を既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力により前記第2の速度で測定する工程と、
前記後続の対象物の測定値にエラー補正を加えるために、前記エラー関数またはマップを用いる工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 三次元位置決め装置上の対象物の測定方法であって、前記装置はワークピース接触スタイラス付きのワークピース接触プローブを有し、前記ワークピース接触スタイラスは、それが対象物に接触したときにプローブ力に抗して偏位可能であり、
前記測定方法は、
(a)前記三次元位置決め装置上に第1の対象物を置く工程と、
(b)測定実行のための前記第1の対象物を前記ワークピース接触プローブにより第2の速度で測定して、前記第1の対象物の測定データを作成し、前記測定データは、スタイラス偏位またはプローブ力の多数の値で補正される工程と、
(c)前記第1の対象物の表面上の複数のポイントに関して、工程(b)からの前記測定データを基に、前記第2の速度で零のスタイラス偏位または零のプローブ力をもって得られる測定値に対応する推定測定データを推定する工程と、
(d)工程(b)において得られた測定データと、工程(c)における前記第2の速度での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する推定測定データと、に基づいて、測定エラーと、スタイラス偏位またはプローブ力と、の関係に関する第1のエラー関数またはマップを作成する工程と、
(e)前記第1の対象物の測定データを作成するために、前記ワークピース接触プローブにより前記第1の対象物を第1の速度で測定する工程であって、前記第の速度は前記第2の速度よりも遅く、また当該測定中に、前記ワークピース接触プローブは既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力で操作される工程と、
(f)工程(e)における測定実行中に作成される測定データに、工程(d)の第1のエラー関数またはマップを加えることにより、前記第1の速度での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する前記第1の対象物の測定データを決定する工程と、
(g)既知のスタイラス偏位またはプローブ力により前記第2の速度で得られる測定データと、工程(f)において決定される前記第1の速度での零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する測定データと、の関係に関する第2のエラー関数またはマップを作成する工程と、
(h)前記第1の対象物の測定後に測定対象となる後続の対象物を既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力により前記第2の速度で測定する工程と、
(i)工程(g)における第2のエラー関数またはマップを用いて、工程(h)において得られた測定値にエラー補正を加える工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 三次元位置決め装置上の対象物の測定方法であって、前記装置はワークピース接触スタイラス付きのワークピース接触プローブを有し、前記ワークピース接触スタイラスは、それが対象物に接触したときにプローブ力に抗して偏位可能であり、
前記測定方法は、
(a)前記三次元位置決め装置上に第1の対象物を置く工程と、
(b)前記第1の対象物を前記ワークピース接触プローブにより第1の速度で測定して、前記第1の対象物の測定データを作成し、前記測定データは、スタイラス偏位またはプローブ力の多数の値で補正される工程と、
(c)前記第1の対象物の表面上の複数のポイントに関して、前記測定データを基に、零のスタイラス偏位または零のプローブ力に対応する推定測定データを推定する工程と、
(d)前記ワークピース接触プローブにより、前記第1の速度よりも高速あるいは低速の第2の速度で前記第1の対象物を測定して、前記第1の対象物の測定データを作成する工程と、
(e)前記第1の速度で得られた前記第1の対象物の推定測定データと、前記第2の速度で得られた前記第1の対象物の測定データと、を用いて、零のプロービング力エラーと零の動的エラーに対応する前記第1の対象物の測定値を決定する工程と、
(f)零のプロービング力エラーと零の動的エラーに対応する前記第1の対象物の工程(e)の測定値と、前記第1の速度での規定のスタイラス偏位またはプローブ力による前記第1の対象物の測定データと、を関係付けるエラー関数またはエラーマップを作成する工程と、
(g)前記第1の対象物の測定後に測定対象となる後続の対象物を既知のスタイラス偏位または既知のプローブ力により前記第1の速度で測定する工程と、
(h)前記エラー関数またはマップを用いて、前記後続の前記対象物の測定値にエラー補正を加える工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - ワークピース接触スタイラス付きのワークピース接触プローブを有し、前記ワークピース接触スタイラスは、それが対象物に接触したときにプローブ力に抗して偏位可能な位置決め調整装置であって、
請求項1から7のいずれかに記載の方法を実行するように構成されることを特徴とする装置。
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