JP2008155350A - 精密加工装置 - Google Patents
精密加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008155350A JP2008155350A JP2006350022A JP2006350022A JP2008155350A JP 2008155350 A JP2008155350 A JP 2008155350A JP 2006350022 A JP2006350022 A JP 2006350022A JP 2006350022 A JP2006350022 A JP 2006350022A JP 2008155350 A JP2008155350 A JP 2008155350A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric actuator
- moving body
- tool
- acceleration
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Turning (AREA)
Abstract
【課題】移動装置が空気静圧軸受を介して設けられている場合、圧電アクチュエータによって工具を高速に微小に往復移動させたとき、機械に振動が発生する。
【解決手段】工具1は、第1の移動体3に設けられる。第1の圧電アクチュエータ4は、第1の加速度で加工深さ方向に変位して第1の移動体3を微小に往復移動させる。第2の圧電アクチュエータ5は、第1の圧電アクチュエータ4に直列に設けられる。第2の圧電アクチュエータ5に第2の移動体6が設けられる。第1の圧電アクチュエータ5は、工具1と第1の移動体3とを含む移動部位の質量と第1の加速度との積と前記第2の移動体の質量と第2の加速度との積が等しくなるように第2の加速度で第1の圧電アクチュエータ4と反対方向に変位する。
【選択図】図1
【解決手段】工具1は、第1の移動体3に設けられる。第1の圧電アクチュエータ4は、第1の加速度で加工深さ方向に変位して第1の移動体3を微小に往復移動させる。第2の圧電アクチュエータ5は、第1の圧電アクチュエータ4に直列に設けられる。第2の圧電アクチュエータ5に第2の移動体6が設けられる。第1の圧電アクチュエータ5は、工具1と第1の移動体3とを含む移動部位の質量と第1の加速度との積と前記第2の移動体の質量と第2の加速度との積が等しくなるように第2の加速度で第1の圧電アクチュエータ4と反対方向に変位する。
【選択図】図1
Description
本発明は、微小な形状を加工する精密加工装置に関する。特に、駆動装置として圧電アクチュエータを用いた精密加工装置に関する。
被加工物に微小な形状を切削加工する精密加工装置が知られている。このような精密加工装置では、サブマイクロメートルオーダ以下の加工精度で微小な形状を加工することができる。このような精密加工装置では、工具として主にダイヤモンドバイトが用いられている。
工具は、被加工物に対して少なくとも3軸方向に相対移動できるように構成されている。工具と被加工物とを相対移動させる具体的な構成は種々考えられるが、例えば、工具を工具の取り付けられた軸方向(加工深さ方向)に移動させるとともに、加工深さ方向に対して垂直な2軸方向に移動させる構成が知られている。精密加工装置では、精密な位置決め精度を得るために、各軸方向の移動装置は、それぞれ空気静圧軸受を介して設けられている。
工具を往復移動させる駆動装置としてリニアモータが用いられている。例えば、工具を加工深さ方向に微小に往復移動させると同時に、加工深さ方向に対して垂直な2軸方向に移動させて工具を加工プログラムに従い描かれる軌跡に沿って相対移動させる。工具を工具の取り付けられた軸方向に高速に微小に往復移動させることによって、被加工物に微小な凹凸を形成させることができる。
しかしながら、リニアモータで与えられる微小な往復移動の周波数は、十数Hz程度である。そのため、同期させる工具の取り付けられた軸方向に垂直な2軸方向の相対移動速度に限界があり、それ以上は相対移動速度を上げることができない。
より速く加工するために、工具を微小移動させる駆動装置として圧電素子からなる圧電アクチュエータを用いることが考えられる。圧電アクチュエータで与えられる往復移動の周波数は数百Hzであるから、同期させる2軸方向の相対移動速度をリニアモータを用いた場合に比べて上げることができる。圧電アクチュエータの移動できる距離は数十μm程度であるが、精密加工装置における微小な形状を加工する場合は十分な距離である。
工具を工具の取り付けられた軸方向に移動させる圧電アクチュエータを用いた加工装置として、例えば、特許文献1や特許文献2に開示された加工装置が参照される。なお、本発明の参考として、例えば、特許文献3に示されるように、リニアモータで移動体を往復移動させる方式でカウンタマスを移動させて振動をキャンセルする、いわゆるキャンセル型の移動装置が知られている。
工具と工具ホルダ等を含めた移動部位の重量が数百gあるので、圧電アクチュエータによって駆動するには比較的重量が大きい。そのため、圧電アクチュエータによって工具を高速に微小に往復移動させた場合、移動部位が振動源となって振動が発生する。精密加工装置では、摺動抵抗を減らすために軸受に静圧軸受を採用しているので剛性が低く振動の影響を受けやすく、機械全体が振動する。この振動によって加工精度が低下する問題がある。
本発明は、上記課題に鑑みて、工具を工具の取り付けられた軸方向に微小に往復移動させる駆動装置として圧電アクチュエータを用いた精密加工装置において、発生する振動を抑制することができる精密加工装置を提供することを目的とする。
本発明の精密加工装置は、加工深さ方向に第1の加速度で変位して第1の移動体を移動させ工具に微小な往復移動を与える第1の圧電アクチュエータを備えた精密加工装置において、第2の移動体が設けられ前記工具と前記第1の移動体とを含む移動部位の質量と前記第1の加速度との積と前記第2の移動体の質量と第2の加速度との積が等しくなるように前記第2の加速度で前記第1の圧電アクチュエータと反対方向に変位する第2の圧電アクチュエータを前記第1の圧電アクチュエータに直列に設けたことを特徴とする。
より具体的には、工具が設けられた第1の移動体と、加工深さ方向に変位するとともにその変位する方向に沿って平行に前記第1の移動体を設け前記第1の移動体を加工深さ方向に微小に往復移動させる第1の圧電アクチュエータと、前記第1の圧電アクチュエータと直列に設けられ前記加工深さ方向に変位するとともにその変位する方向に沿って平行に第2の移動体を設け前記第2の移動体を前記加工深さ方向に微小に往復移動させる第2の圧電アクチュエータと、ベースに空気静圧軸受を介して設けられ前記第1の圧電アクチュエータと前記第2の圧電アクチュエータを含む加工ヘッド部分を水平1軸方向に移動させる移動装置と、前記第1の圧電アクチュエータを所望の変位量変位させるとともに前記第2の圧電アクチュエータを前記工具と前記工具ホルダと前記移動体を含む移動部位の質量と前記第1の移動体の第1の加速度との積と前記第2の移動体の質量と前記第2の移動体の質量の加速度との積が等しくなるように前記第2の圧電アクチュエータを前記第1の圧電アクチュエータと反対方向に変位させるように制御する位置決め制御装置と、を有する。
本発明は、工具に微小な往復移動を与える第1の圧電アクチュエータに対して移動部位の質量と第1の加速度との積と第2の移動体の質量と第2の加速度との積が等しくなるように第2の加速度で反対方向に変位する第2の圧電アクチュエータを備えているので、第1の圧電アクチュエータによる微小な往復移動の際に発生する振動が相殺されて抑制される。その結果、加工精度が低下しないという効果を奏する。
図1は、精密加工装置の全体構成を示す斜視図である。図2は、精密加工装置の全体構成を示す正面図である。図3は、工具を取り付けた部分の詳細を示す斜視図である。図4は、位置決め制御装置を示すブロック図である。以下、図1ないし図4を参照して、本発明の精密加工装置を説明する。
図2および図3に示される工具1は、ダイヤモンドバイトである。工具1は、工具ホルダ2に取り付けられて保持される。工具1は、加工深さ方向(Z軸方向)に取り付けられる。工具ホルダ2は、第1の移動体3に固定されており、工具1は、工具ホルダ2を介して第1の移動体3に設けられる。第1の移動体3は、第1の圧電アクチュエータ4が変位する方向に沿って平行に第1の圧電アクチュエータ4に設けられる。したがって、工具1と、工具ホルダ2と、第1の移動体3とを含む移動部位は、第1の圧電アクチュエータ4によって移動される。
第1の圧電アクチュエータ4は、第1の加速度で工具1が取り付けられた方向である上下方向(加工深さ方向、Z軸方向)に変位して第1の移動体3に微小な往復移動を与えることによって工具1を上下方向に微小に往復移動させる。第1の圧電アクチュエータ4は、数百Hzで変位することが可能である。
第2の圧電アクチュエータ5は、第1の圧電アクチュエータ4に直列に設けられる。第2の圧電アクチュエータ5に第2の移動体6が設けられる。第2の移動体6は、第2の圧電アクチュエータ5が変位する方向に沿って平行に第2の圧電アクチュエータ5に設けられる。第2の圧電アクチュエータ5は、第1の圧電アクチュエータ4と反対方向に変位するように制御される。
第2の圧電アクチュエータ5は、工具1と第1の移動体3とを含む移動部位の質量と第1の圧電アクチュエータ4が変位する第1の加速度との積と第2の移動体6の質量と第2の加速度との積が等しくなるように第2の加速度で反対方向に変位するように制御される。その結果、第1の圧電アクチュエータ4の微小な往復移動によって発生する振動を相殺する。したがって、第2の移動体6は、カウンタマスとして作用する。
図1に示されるように、工具1、工具ホルダ2、第1の移動体3との移動部位と、第1の圧電アクチュエータ4、第2の圧電アクチュエータ5、移動体6とを含む加工ヘッド部分全体は、サーボモータ7によってZ軸に直交する軸線廻り(A軸方向)に回転移動することができる。また、加工ヘッド部分全体は、リニアモータで移動する移動装置8によってZ軸方向に直交する水平1軸方向(Y軸方向)に移動することができる。移動装置8は、空気静圧軸受を介してベース上に設置される。
被加工物9は、被加工物ホルダ10に取り付けられる。被加工物9は、工具1の取り付けられた軸方向であるZ軸方向廻り(C軸R軸)に回転移動および回転角度割出しができる。また、被加工物9は、C軸R軸の回転移動機構全体をリニアモータで移動する移動装置11によってZ軸方向に移動させることができる。また、Z軸とY軸に直交する水平1軸方向(X軸方向)にリニアモータで移動する移動装置11によってZ軸移動機構全体をX軸方向に移動させ被加工物9をX軸方向に移動させることができる。移動装置11および移動装置12の軸受は、空気静圧軸受が採用されている。
したがって、第1の圧電アクチュエータ4で工具1を数百Hzの周波数でZ軸方向に微小に往復移動させるとともに、移動装置8によってY軸方向に相対移動させ、一方、被加工物9を移動装置11によってX軸方向に移動させることによって、工具1と被加工物2を少なくとも同時3軸方向に相対移動させて任意の微小な形状を加工することができる。また、工具1をA軸方向に、被加工物9をC軸R軸、Z軸方向に相対的に移動させることでより複雑な形状を加工することができる。
第1の圧電アクチュエータ4は、高周波で変位して第1の移動体3を第1の加速度で移動させる。第1の圧電アクチュエータ4には、第1の圧電アクチュエータ4が移動する方向にそって平行に第1の移動体3が設けられており、第1の移動体3は、Z軸方向に微小に往復移動する。第1の移動体3に工具ホルダ2が固定されており、第1の移動体3が移動することによって、工具1にZ軸方向に微小な往復移動が与えられる。
第1の圧電アクチュエータ4は、圧電セラミックスと内部電極とが交互に積層された積層型圧電アクチュエータである。第1の圧電アクチュエータ4には、ナノメートルオーダで位置を検出する変位センサ21が設けられている。第1の圧電アクチュエータ3の変位量は、変位センサ21で検出され一定の変位量になるように制御される。
第2の圧電アクチュエータ5は、第1の圧電アクチュエータと同じ出力を有する同型の圧電アクチュエータである。第2の圧電アクチュエータ5は、第1の圧電アクチュエータ4に直列に対向配置される。実施の形態の第2の圧電アクチュエータ4には、ナノメートルオーダで位置を検出する変位センサ22が設けられている。第2の圧電アクチュエータ4の変位量は、変位センサ22で検出され一定の変位量になるように制御される。ただし、第2の移動体6は、正確に位置決めされる必要がないので、変位センサ22を設けずに、オープンループで制御されるように構成されていてよい。
位置決め制御装置は、PID制御部23,24、ピエゾドライバ部25,26を含んでなる。第1の圧電アクチュエータ4の位置決め制御装置のPID制御部23には、図示しない指令装置から第1の加速度で変位するように変位量の指令値が入力される。PID制御部23は、ピエゾドライバ部25を経て第1の圧電アクチュエータ4を所定の周波数で第1の加速度で指令された変位量変位するように制御する。
第2の圧電アクチュエータ5の位置決め装置のPID制御部24には、図示しない指令装置から第2の加速度で変位するように指令値が入力される。指令装置は、第1の圧電アクチュエータ4の変位する方向が反転するとき、第2の圧電アクチュエータ5も第2の圧電アクチュエータと反対方向に変位する方向が反転するように指令する。
PID制御部24は、ピエゾドライバ部26を経て第2の圧電アクチュエータ5を工具1と、工具ホルダ2と、第1の移動体3を含む移動部位の質量をm、第1の圧電アクチュエータ4の第1の加速度をa、第2の移動体6の質量をM、第2の圧電アクチュエータ5の第2の加速度をAとしたときに、F=ma=MAとなるような第2の加速度Aで第1の圧電アクチュエータ4と反対方向に変位するように制御する。
変位センサ21は、第1の圧電アクチュエータ3の変位量をナノメートルオーダで検出する。変位センサ21の検出値は、センサアンプ部27に入力され、PID制御部23にフィードバックされる。なお、図3では、変位センサ22とセンサアンプ部28が設けられ、PID制御部24にフィードバックされるようにされているが、変位センサ22とセンサアンプ部28を設ける必要はない。
以上に説明されるように、実施の形態に示される精密加工装置は、第1の圧電アクチュエータ4によって移動される移動部位の質量mと第1の圧電アクチュエータの変位する第1の加速度aとの積と、第2の圧電アクチュエータ5によって移動される第2の移動体6の質量Mと第2の圧電アクチュエータ5の変位する第2の加速度Aとの積が等しくなるように第2の圧電アクチュエータ5を第1の圧電アクチュエータ4と反対方向に変位するように制御するので、移動部位の移動によって発生する振動を相殺して抑制することができる。
本発明は、被加工物に微小な形状を加工をすることができる精密加工装置に利用できる。特に、工具を圧電アクチュエータによって微小に往復移動させる精密加工装置に適する。
1 工具
2 工具ホルダ
3 第1の移動体
4 第1の圧電アクチュエータ
5 第2の圧電アクチュエータ
6 第2の移動体
7 サーボモータ
8 移動装置
9 被加工物
10 被加工物ホルダ
11 移動装置
12 移動装置
21,22 変位センサ
23,24 PID制御部
25,26 ピエゾドライバ部
27,28 センサアンプ部
2 工具ホルダ
3 第1の移動体
4 第1の圧電アクチュエータ
5 第2の圧電アクチュエータ
6 第2の移動体
7 サーボモータ
8 移動装置
9 被加工物
10 被加工物ホルダ
11 移動装置
12 移動装置
21,22 変位センサ
23,24 PID制御部
25,26 ピエゾドライバ部
27,28 センサアンプ部
Claims (2)
- 加工深さ方向に第1の加速度で変位して第1の移動体を移動させ工具に微小な往復移動を与える第1の圧電アクチュエータを備えた精密加工装置において、第2の移動体が設けられ前記工具と前記第1の移動体とを含む移動部位の質量と前記第1の加速度との積と前記第2の移動体の質量と第2の加速度との積が等しくなるように前記第2の加速度で前記第1の圧電アクチュエータと反対方向に変位する第2の圧電アクチュエータを前記第1の圧電アクチュエータに直列に設けたことを特徴とする精密加工装置。
- 工具が設けられた第1の移動体と、加工深さ方向に変位するとともにその変位する方向に沿って平行に前記第1の移動体を設け前記第1の移動体を加工深さ方向に微小に往復移動させる第1の圧電アクチュエータと、前記第1の圧電アクチュエータと直列に設けられ前記加工深さ方向に変位するとともにその変位する方向に沿って平行に第2の移動体を設け前記第2の移動体を前記加工深さ方向に微小に往復移動させる第2の圧電アクチュエータと、ベースに空気静圧軸受を介して設けられ前記第1の圧電アクチュエータと前記第2の圧電アクチュエータを含む加工ヘッド部分を水平1軸方向に移動させる移動装置と、前記第1の圧電アクチュエータを所望の変位量変位させるとともに前記第2の圧電アクチュエータを前記工具と前記工具ホルダと前記移動体を含む移動部位の質量と前記第1の移動体の第1の加速度との積と前記第2の移動体の質量と前記第2の移動体の質量の加速度との積が等しくなるように前記第2の圧電アクチュエータを前記第1の圧電アクチュエータと反対方向に変位させるように制御する位置決め制御装置と、を有する精密加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006350022A JP2008155350A (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 精密加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006350022A JP2008155350A (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 精密加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008155350A true JP2008155350A (ja) | 2008-07-10 |
Family
ID=39656830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006350022A Pending JP2008155350A (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 精密加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008155350A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010058263A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Mori Seiki Co Ltd | 超精密工作機械 |
CN110202472A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-09-06 | 西安理工大学 | 闭式静压导轨运动精度的压电调控装置及压电调控方法 |
-
2006
- 2006-12-26 JP JP2006350022A patent/JP2008155350A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010058263A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Mori Seiki Co Ltd | 超精密工作機械 |
CN110202472A (zh) * | 2019-05-31 | 2019-09-06 | 西安理工大学 | 闭式静压导轨运动精度的压电调控装置及压电调控方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI558497B (zh) | Working machinery | |
Shinno et al. | A newly developed linear motor-driven aerostatic XY planar motion table system for nano-machining | |
JP5139591B1 (ja) | 工作機械 | |
JP5139592B1 (ja) | 工作機械 | |
JP4553967B2 (ja) | 切削加工装置、加工方法、およびその加工方法で加工した金型 | |
CN101972856A (zh) | 一种非共振三维椭圆金刚石飞切光学自由曲面方法及专用装置 | |
JP2006123087A (ja) | 表面加工機 | |
JP2010269408A (ja) | 超精密ロール旋盤 | |
TWI798421B (zh) | 加工裝置 | |
JP2018114613A (ja) | 工作機械の制御装置、工作機械 | |
JPH10118811A (ja) | 加工装置 | |
JP2009214243A (ja) | シャトルを備えた加工機 | |
JP2007075915A (ja) | 切削加工方法および切削加工装置 | |
JP2008155350A (ja) | 精密加工装置 | |
EP2687325A1 (en) | Lathe control system | |
JP2007075902A (ja) | 工作機械の軸送り装置 | |
JP2006263847A (ja) | 加工装置および加工方法 | |
JP4605135B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2013210926A (ja) | 溝形成方法 | |
JP2014237181A (ja) | 振動切削装置および振動切削方法 | |
US10437225B2 (en) | Feed shaft control method and numerically controlled machine tool | |
JP2015055923A (ja) | 工作機械 | |
Kiswanto et al. | Preliminary design of two dimensional vibration assisted machining system for multi-axis micro-milling application | |
JP2000237923A (ja) | 工作機械 | |
JPH10217053A (ja) | 静圧軸受を用いた位置決め装置 |