JPH06118645A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

感光性樹脂組成物

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Publication number
JPH06118645A
JPH06118645A JP28716492A JP28716492A JPH06118645A JP H06118645 A JPH06118645 A JP H06118645A JP 28716492 A JP28716492 A JP 28716492A JP 28716492 A JP28716492 A JP 28716492A JP H06118645 A JPH06118645 A JP H06118645A
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JP
Japan
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meth
thiourea
photosensitive resin
resin composition
acrylate
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Pending
Application number
JP28716492A
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English (en)
Inventor
Takashi Tanabe
隆 田辺
Hozumi Sato
穂積 佐藤
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JSR Corp
Original Assignee
Japan Synthetic Rubber Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 長期保存後においても水現像性に優れるとと
もに、良好な解像度、光硬化後の樹脂強度、耐水性等を
有する水現像性感光性樹脂組成物を提供する。 【構成】 第1の感光性樹脂組成物は、(1)カルボキ
シル基含有ジエン系重合体、(2)光重合性不飽和単量
体、(3)光重合開始剤、並びに(4)チオ尿素および
/または特定のチオ尿素誘導を含有し、また第2の感光
性樹脂組成物は、前記(1)〜(4)および(5)アミ
ノ基含有化合物を含有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、水現像性を有する新規
な感光性樹脂組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、種々の感光性樹脂組成物がフォト
レジスト、印刷インキ、製版等の分野において広く利用
されている。前記感光性樹脂組成物としては、環化ゴム
およびビスアジド化合物を含有する組成物、熱可塑性エ
ラストマー、アクリル系モノマーおよび光重合開始剤を
含有する組成物、ポリエステルアクリレート、エポキシ
アクリレート、ポリケイ皮酸ビニル、クロロメチル化ポ
リスチレン、芳香族アジド基含有樹脂等の感光性樹脂を
主体とする組成物などが知られているが、これらの感光
性樹脂組成物はいずれも非水溶性であり、現像時に有機
溶剤を使用している。しかしながら、近年、作業時の安
全性、健康上の問題に加え、環境に及ぼす有機溶剤の影
響が問題となっている。このような問題を解決するもの
としては、ノボラック樹脂やポリ(ビニルフェノール)
とキノンジアジド化合物とからなるアルカリ現像性感光
性樹脂組成物も知られているが、より安全な中性水によ
る現像が可能な感光性樹脂組成物が望まれている。前記
水現像性感光性樹脂組成物としては、ポリビニルアルコ
ール、ゼラチン、カゼイン等の水溶性樹脂と重クロム酸
塩、ジアゾニウム塩またはビスアジド化合物とを含有す
る組成物、水溶性樹脂、水溶性アクリル系モノマーおよ
び光重合開始剤を含有する組成物など、水溶性樹脂をベ
ースにしたものが提案されている。しかしながら、従来
の水現像性感光性樹脂組成物は、ベースとなる樹脂の水
に対する親和性が高過ぎるため、現像時に膨潤して強度
低下や寸法変化を来し、その結果、例えばレジストの寸
法精度の低下や印刷版の耐刷性、印刷品質等の低下を招
くなどの問題がある。このような水現像性感光性樹脂組
成物の問題点を解決するため、本出願人は既に、共役
ジエン系化合物やアクリル系エステル化合物と、α,β
−エチレン系不飽和カルボン酸および多官能性ビニル化
合物との共重合体が、耐水性を有するがアルカリ水溶液
に可溶性であり、該共重合体に対して、光重合性不
飽和単量体、光重合開始剤およびアミノ基含有化合
物を配合することにより、中性水による現像が可能な感
光性樹脂組成物が得られることを明らかにした(例えば
特開昭60−179411号公報、特開昭60−219
208号公報、特開昭61−181811号公報参
照)。しかしながら、これらの水現像性感光性樹脂組成
物は、各成分の配合直後は良好な水現像性を発現するも
のの、組成物の保存中徐々に水現像性が低下する欠点が
あることが明らかとなった。このような水現像性の低下
は、感光性樹脂組成物の取扱い、感光性樹脂版の生産管
理、輸送等を行う上で大きな弊害となる。そこで、フェ
ノール系、アミン系等の老化防止剤を添加することが試
みられているが、フェノール系老化防止剤の場合、保存
後の所要の水現像性を確保するためには、かなり多量添
加する必要があり、その結果、光硬化速度の減少、樹脂
組成物の光硬化後の強度の低下、あるいは露光部の解像
度の低下等を伴うという欠点があり、十分な光硬化速
度、強度および解像度を保持しながら、保存後において
も所要の水現像性を確保することができず、また一般に
アミン系老化防止剤と呼ばれる老化防止剤の場合は、樹
脂組成物が着色するため、感光性樹脂組成物として使用
するには不適当である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、長期
保存後においても水現像性に優れるとともに、良好な解
像度、光硬化後の樹脂強度、耐水性等を有する水現像性
感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決すべき鋭意検討した結果、特定のチオ尿素構造を
有する化合物を配合することにより、長期保存後の水現
像性が著しく改善されるとともに、解像度、光硬化後の
樹脂版強度等も高いレベルに維持できる優れた水現像性
感光性樹脂組成物が得られることを見いだし、本発明を
完成するに至った。
【0005】即ち、本発明の第1の感光性樹脂組成物
は、(1)カルボキシル基含有ジエン系重合体、(2)
光重合性不飽和単量体、(3)光重合開始剤、並びに
(4)チオ尿素、N−アミノアルキル基を含有するチオ
尿素誘導体およびチオ尿素単位を含む複素環基を含有す
るチオ尿素誘導体からなる群から選ばれた少なくとも1
種の化合物を含有することを特徴とし、本発明の第2の
感光性樹脂組成物は、(1)カルボキシル基含有ジエン
系重合体、(2)光重合性不飽和単量体、(3)光重合
開始剤、(4)チオ尿素、N−アミノアルキル基を含有
するチオ尿素誘導体およびチオ尿素単位を含む複素環基
を含有するチオ尿素誘導体からなる群から選ばれた少な
くとも1種の化合物、並びに(5)アミノ基含有化合物
を含有することを特徴とするものである。
【0006】以下、本発明を詳細に説明するが、これに
より、本発明の目的、構成および効果が明確になるであ
ろう。成分(1) まず、(1)カルボキシル基含有ジエン系重合体(以
下、「成分(1)」という。)は、脂肪族共役ジエン結
合を有する繰返し単位を必須成分とするカルボキシル基
含有ジエン系重合体の少なくとも1種からなる。該重合
体中のカルボキシル基は、例えば脂肪族共役ジエンおよ
びカルボキシル基含有不飽和化合物を含む単量体混合物
を共重合する方法のほか、脂肪族共役ジエンからなる繰
返し単位を有する重合体をマレイン酸付加反応等のカル
ボキシル化処理する方法によって、導入することができ
る。成分(1)は、形態的には、直鎖状あるいは分岐状
であることができる。
【0007】成分(1)としては、脂肪族共役ジエン
とα,β−エチレン系不飽和カルボン酸とを共重合成
分とするカルボキシル基含有共重合体(以下、「カルボ
キシル基含有ジエン系共重合体」という。)が好まし
い。
【0008】前記カルボキシル基含有ジエン系共重合体
において、脂肪族共役ジエンおよびα,β−エチレ
ン系不飽和カルボン酸の含有率は、これらの単量体成分
の合計量に基づいて、脂肪族共役ジエンが通常30〜
99重量%、好ましくは60〜97重量%であり、
α,β−エチレン系不飽和カルボン酸が通常70〜1重
量%、好ましくは40〜3重量%である(但し、+
=100重量%)。
【0009】この場合、脂肪族共役ジエンの含有率
が、30重量%未満では、感光性樹脂組成物の光硬化後
の強度が低くなる傾向があり、一方99重量%を超える
と、感光性樹脂組成物の水現像性が不十分となるおそれ
がある。また、α,β−エチレン系不飽和カルボン酸
の含有率が、1重量%未満では、感光性樹脂組成物の水
現像性が不十分となる場合があり、一方70重量%を超
えると、感光性樹脂組成物の光硬化後の耐水性が低下す
るおそれがある。
【0010】前記脂肪族共役ジエンとしては、例えば
ブタジエン、イソプレン、1,3−ペンタジエン、1,
3−ヘキサジエン、2,3−ジメチルブタジエン、4,
5−ジエチル−1,3−オクタジエン、3−ブチル−
1,3−オクタジエン、クロロプレン、2,3−ジクロ
ロブタジエン、1,3−シクロペンタジエン等を挙げる
ことができる。これらの脂肪族共役ジエンは、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
【0011】前記α,β−エチレン系不飽和カルボン
酸としては、例えば(メタ)アクリル酸、イタコン酸、
無水イタコン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル
酸、クロトン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイヒ酸
等のほか、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサ
コン酸等のα,β−エチレン系不飽和多価カルボン酸の
モノメチルエステル、モノエチルエステル、モノプロピ
ルエステル、モノブチルエステル等の遊離カルボキシル
基含有エステルなどを挙げることができる。これらの
α,β−エチレン系不飽和カルボン酸は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。
【0012】本発明においては、カルボキシル基含有ジ
エン系共重合体等の成分(1)を粒子状とすることによ
り、感光性樹脂組成物の水現像性をさらに向上させるこ
とができる。この粒子状の成分(1)は、例えばラジカ
ル重合開始剤を用いる乳化重合、懸濁重合、沈澱重合等
により直接製造することができ、また、例えば予め製造
した塊状重合体を粒状化し、あるいは重合体溶液から重
合体を粒子状で取得することによっても得ることができ
る。粒子状の成分(1)は、乳化重合または懸濁重合に
よって製造することが好ましく、粒子の大きさ、粒子径
の均一性等の観点から、特に乳化重合により製造するこ
とが好ましい。
【0013】粒子状の成分(1)を製造する際の乳化重
合、懸濁重合等の重合に使用されるラジカル重合開始剤
としては、例えばベンゾイルペルオキシド、ラウロイル
ペルオキシド、クメンハイドロペルオキシド、パラメン
タンハイドロペルオキシド、ジ−t−ブチルペルオキシ
ド等の有機過酸化物、アゾビスイソブチロニトリル、ア
ゾビスイソバレロニトリル、アゾビスイソカプロニトリ
ル等のアゾ化合物、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウ
ム、過酸化水素等の無機過酸化物、前記有機過酸化物あ
るいは無機過酸化物と有機アミン、硫酸第一鉄、亜硫酸
ナトリウム、チオ硫酸ナトリウム、ナトリウムホルムア
ルデヒドスルホキシレート、L−アスコルビン酸、スル
フィン酸等の還元剤とからなるレドックス系触媒などを
挙げることができる。
【0014】前記乳化重合において使用される乳化剤と
しては、アニオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性
剤、カチオン系界面活性剤、両性界面活性剤等を使用す
ることができるが、特にアニオン系界面活性剤およびノ
ニオン系界面活性剤が好ましい。これらの界面活性剤
は、フッ素系界面活性剤であることもできる。また、乳
化重合においては、反応系の粘度、粒子径等を調節する
ため、下記するような懸濁安定剤あるいは増粘剤を乳化
剤とともに使用することもできる。
【0015】このような乳化重合により製造される粒子
状の成分(1)の平均粒径は、通常300〜10,00
0オングストロームであり、好ましくは500〜3,0
00オングストロームである。
【0016】また、前記懸濁重合において使用される懸
濁安定剤としては、ポリビニルアルコール、ポリアクリ
ル酸ナトリウム、メチルビニルエーテル−無水マレイン
酸共重合体、水溶性ポリエーテル、ヒドロキシエチルセ
ルロース、カルボキシメチルセルロース、澱粉、ゼラチ
ン、カゼイン、アルギン酸塩等を挙げることができる。
【0017】前記乳化重合、懸濁重合等の重合において
は、単量体、ラジカル重合開始剤等の反応成分は、反応
開始前に全量を添加してもよく、あるいはそれらの一部
または全部を、反応開始後分割あるいは連続して添加し
てもよい。重合反応は、通常、0〜60℃で、酸素を除
去した雰囲気(例えば窒素)中で行われるが、反応途中
で温度、攪拌速度等の操作条件を適宜に変更することも
できる。重合反応は、連続式、回分式のいずれでも実施
可能である。
【0018】前記粒子状の成分(1)を製造する際に
は、さらに少なくとも2個の不飽和基を有する化合物
を共単量体として使用し、成分(1)に部分架橋構造を
導入することが好ましい。
【0019】前記少なくとも2個の不飽和基を有する
化合物としては、例えばエチレングリコール、プロピレ
ングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペン
タンジオール、1,6−ヘキサンジオール等のアルキレ
ングリコールのジ(メタ)アクリレート類;
【0020】ポリエチレングリコール、ポリプロピレン
グリコール等のポリアルキレングリコール(アルキレン
グリコール単位数=2〜23)のジ(メタ)アクリレー
ト類;
【0021】両末端ヒドロキシポリブタジエン、両末端
ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシブタジエ
ン−アクリロニトリル共重合体、両末端ヒドロキシポリ
カプロラクトン等の両末端に水酸基を有する重合体のジ
(メタ)アクリレート類;
【0022】グリセリン、1,2,4−ブタントリオー
ル、トリメチロールアルカン(アルカンの炭素数は例え
ば1〜3)、テトラメチロールアルカン(アルカンの炭
素数は例えば1〜3)等の3価以上の多価アルコールの
ポリ(メタ)アクリレート類(例えばジ(メタ)アクリ
レート、トリ(メタ)アクリレート、テトラ(メタ)ア
クリレート等);
【0023】3価以上の多価アルコールのポリアルキレ
ングリコール付加物のポリ(メタ)アクリレート類;
【0024】1,4−シクロヘキサンジオール、1,4
−ベンゼンジオール等の環式ポリオールのジ(メタ)ア
クリレート類;
【0025】ポリエステル(メタ)アクリレート、エポ
キシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレ
ート、、アルキド樹脂(メタ)アクリレート、シリコー
ン樹脂(メタ)アクリレート、スピラン樹脂(メタ)ア
クリレート等のオリゴ(メタ)アクリレート類;
【0026】N,N’−メチレンビス(メタ)アクリル
アミド、N,N’−エチレンビス(メタ)アクリルアミ
ド、N,N’−ヘキサメチレンビス(メタ)アクリルア
ミド等のビス(メタ)アクリルアミド類;
【0027】ジビニルベンゼン、ジイソプロペニルベン
ゼン、トリビニルベンゼン等のポリビニル芳香族化合
物;
【0028】ジビニルフタレート、ジアリルフタレート
等の多価カルボン酸の不飽和アルコールエステル類;
【0029】ジビニルエーテル、ジアリルエーテル等の
多官能性不飽和エーテル類などを挙げることができる。
これらの少なくとも2個の不飽和基を有する化合物
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。
【0030】成分(1)中における少なくとも2個の
不飽和基を有する化合物の含有率は、〜の単量体成
分の合計量当たり、通常0.1〜20重量%であり、好
ましくは0.5〜10重量%である。少なくとも2個
の不飽和基を有する化合物の含有率が、0.1重量%未
満では粒子状の成分(1)を含有する感光性樹脂組成物
の水現像性が不十分となる場合があり、また20重量%
を超えると粒子状の成分(1)と(2)光重合性不飽和
単量体との相溶性が低下して加工性が悪化し、また樹脂
組成物の光硬化後の強度低下が大きくなるおそれがあ
る。
【0031】さらに、成分(1)には、前記〜以外
の他の単量体成分を少なくとも1種含有させることも
できる。前記他の単量体としては、スチレン、α−メチ
ルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレ
ン、p−メチルスチレン、p−t−ブチルスチレン、ジ
ビニルベンゼン、ジイソプロペニルベンゼン、o−クロ
ロスチレン、m−クロロスチレン、p−クロロスチレ
ン、1,1−ジフェニルエチレン、N,N−ジメチル−
p−アミノスチレン、N,N−ジエチル−p−アミノス
チレン、ビニルピリジン、ビニルピペリジン、ビニルピ
ロリドン、(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアク
リロニトリル、α−クロロメチルアクリロニトリル、α
−メトキシアクリロニトリル、α−エトキシアクリロニ
トリル、クロトン酸ニトリル、ケイ皮酸ニトリル、イタ
コン酸ジニトリル、マレイン酸ジニトリル、フマル酸ジ
ニトリル、(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメ
チル(メタ)アクリルアミド、N−(2−ヒドロキシエ
チル)(メタ)アクリルアミド、N,N−ビス(2−ヒ
ドロキシエチル)(メタ)アクリルアミド、クロトン酸
アミド、ケイ皮酸アミド、メチル(メタ)アクリレー
ト、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メ
タ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレー
ト、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メ
タ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレー
ト、t−ブチル(メタ)アクリレート、n−アミル(メ
タ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレー
ト、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリ
ル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレ
ート、クロトン酸メチル、クロトン酸エチル、クロトン
酸プロピル、クロトン酸ブチル、ケイ皮酸メチル、ケイ
皮酸エチル、ケイ皮酸プロピル、ケイ皮酸ブチル、イタ
コン酸ジメチル、イタコン酸ジエチル、マレイン酸ジメ
チル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジメチル、フマル
酸ジエチル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、酢酸ビニ
ル、酢酸アリル等が挙げられる。
【0032】成分(2) 次に、(2)光重合性不飽和単量体(以下、「成分
(2)」という。)は、後述する(3)光重合開始剤の
存在下、光照射により重合しうる不飽和結合を有する化
合物である。
【0033】成分(2)としては、例えばスチレン、α
−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルス
チレン、p−メチルスチレン、p−t−ブチルスチレ
ン、ジビニルベンゼン、ジイソプロペニルベンゼン、o
−クロロスチレン、m−クロロスチレン、p−クロロス
チレン、1,1−ジフェニルエチレン、p−メトキシス
チレン、N,N−ジメチル−p−アミノスチレン、N,
N−ジエチル−p−アミノスチレン、ビニルピリジン等
のビニル芳香族化合物;
【0034】(メタ)アクリロニトリル、α−クロロア
クリロニトリル、α−クロロメチルアクリロニトリル、
α−メトキシアクリロニトリル、α−エトキシアクリロ
ニトリル、クロトン酸ニトリル、ケイ皮酸ニトリル、イ
タコン酸ジニトリル、マレイン酸ジニトリル、フマル酸
ジニトリル等の不飽和ニトリル類;
【0035】メチル(メタ)アクリレート、エチル(メ
タ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレー
ト、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル
(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレー
ト、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル
(メタ)アクリレート、n−アミル(メタ)アクリレー
ト、n−オクチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘ
キシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリ
レート、ステアリル(メタ)アクリレート等のアルキル
(メタ)アクリレート類や、クロトン酸メチル、クロト
ン酸エチル、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸エチル、イタコ
ン酸ジメチル、イタコン酸ジエチル、マレイン酸ジメチ
ル、マレイン酸ジエチル、フマル酸ジメチル、フマル酸
ジエチル等の不飽和カルボン酸エステル類;
【0036】トリフルオロエチル(メタ)アクリレー
ト、ペンタフルオロプロピル(メタ)アクリレート、ヘ
プタフルオロブチル(メタ)アクリレート等のフルオロ
アルキル(メタ)アクリレート類;
【0037】2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3
−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等のヒドロ
キシアルキル(メタ)アクリレート類;
【0038】ポリエチレングリコール、ポリプロピレン
グリコール等のポリアルキレングリコールのモノ(メ
タ)アクリレート類;
【0039】2−メトキシエチル(メタ)アクリレー
ト、2−エトキシエチル(メタ)アクリレート、2−メ
トキシプロピル(メタ)アクリレート、2−エトキシプ
ロピル(メタ)アクリレート、3−メトキシプロピル
(メタ)アクリレート、3−エトキシプロピル(メタ)
アクリレート等のアルコキシアルキル(メタ)アクリレ
ート類;
【0040】2−フェノキシエチル(メタ)アクリレー
ト、2−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、3
−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート等のアリー
ロキシアルキル(メタ)アクリレート類;
【0041】メトキシポリエチレングリコール、エトキ
シポリエチレングリコール、メトキシポリプロピレング
リコール、エトキシポリプロピレングリコール等のアル
コキシポリアルキレングリコールのモノ(メタ)アクリ
レート類;
【0042】フェノキシポリエチレングリコール、フェ
ノキシポリプロピレングリコール等のアリーロキシポリ
アルキレングリコールのモノ(メタ)アクリレート類;
【0043】エチレングリコール、プロピレングリコー
ル、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオー
ル、1,6−ヘキサンジオール等のアルキレングリコー
ルのジ(メタ)アクリレート類;
【0044】ポリエチレングリコール、ポリプロピレン
グリコール等のポリアルキレングリコール(アルキレン
グリコール単位数=2〜23)のジ(メタ)アクリレー
ト類;両末端ヒドロキシポリブタジエン、両末端ヒドロ
キシポリイソプレン、両末端ヒドロキシブタジエン−ア
クリロニトリル共重合体、両末端ヒドロキシポリカプロ
ラクトン等の両末端に水酸基を有する重合体のジ(メ
タ)アクリレート類;
【0045】グリセリン、1,2,4−ブタントリオー
ル、トリメチロールアルカン(アルカンの炭素数=1〜
3)、テトラメチロールアルカン(アルカンの炭素数=
1〜3)、ペンタエリスリトール等の3価以上の多価ア
ルコールのポリ(メタ)アクリレート類;
【0046】3価以上の多価アルコールのポリアルキレ
ングリコール付加物のポリ(メタ)アクリレート類;
【0047】1,4−シクロヘキサンジオール、1,4
−ベンゼンジオール、1,4−ジヒドロキシエチルベン
ゼン等の環式ポリオールのジ(メタ)アクリレート類;
【0048】ポリエステル(メタ)アクリレート、エポ
キシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレ
ート、アルキド樹脂(メタ)アクリレート、シリコーン
樹脂(メタ)アクリレート、スピラン樹脂(メタ)アク
リレート等のオリゴ(メタ)アクリレート類;
【0049】(メタ)アクリル酸、クロトン酸、ケイ皮
酸、イタコン酸、無水イタコン酸、マレイン酸、無水マ
レイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸等の不
飽和カルボン酸類;
【0050】イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、シト
ラコン酸、メサコン酸等の不飽和多価カルボン酸のモノ
メチルエステル、モノエチルエステル、モノプロピルエ
ステル、モノブチルエステル、モノヘキシルエステル、
モノオクチルエステル等の遊離カルボキシル基含有エス
テル類;
【0051】イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、シト
ラコン酸、メサコン酸等の不飽和多価カルボン酸のジメ
チルエステル、ジエチルエステル、ジプロピルエステ
ル、ジブチルエステル、ジヘキシルエステル、ジオクチ
ルエステル等のポリエステル類;
【0052】(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシ
メチル(メタ)アクリルアミド、N−(2−ヒドロキシ
エチル)(メタ)アクリルアミド、N,N−ビス(2−
ヒドロキシエチル)(メタ)アクリルアミド、N,N’
−メチレンビス(メタ)アクリルアミド、N,N’−エ
チレンビス(メタ)アクリルアミド、N,N’−ヘキサ
メチレンビス(メタ)アクリルアミド、クロトン酸アミ
ド、ケイ皮酸アミド等の不飽和アミド類;
【0053】シアノエチル(メタ)アクリレート、シア
ノプロピル(メタ)アクリレート等のシアノアルキル
(メタ)アクリレート類;
【0054】塩化ビニル、塩化ビニリデン等のハロゲン
化ビニル系化合物;酢酸ビニル、酢酸アリル、ジビニル
フタレート、ジアリルフタレート等の不飽和アルコール
エステル類;シクロペンテン、ジシクロペンタジエン、
エチリデンノルボルネン、ノルボルナジエン等のシクロ
オレフィン類などを挙げることができる。
【0055】これらの成分(2)は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。本発明において
は、成分(2)またはそれらの組合せを適切に選定する
ことにより、光硬化後の感光性樹脂組成物に所望の特性
を付与することができる。
【0056】本発明の感光性樹脂組成物の流動性は、成
分(2)の配合量に応じて、ワックス状ないしゴム状か
ら低粘度液体状までを自由にとることができ、したがっ
て、成分(2)の配合量は、感光性樹脂組成物の使用目
的に応じて適宜選定することができるが、成分(1)1
00重量部に対して、好ましくは5〜10,000重量
部、さらに好ましくは10〜500重量部である。成分
(2)の配合量が、5重量部未満では感光性樹脂組成物
の光硬化後の強度が低下する傾向があり、また10,0
00重量部を超えると、光硬化後の組成物の収縮が大き
くなり、組成物の水現像性と光硬化後の耐水性との両立
が困難となり、また組成物の粘度設計上の自由度も小さ
くなりがちである。
【0057】次に、(3)光重合開始剤(以下、「成分
3」という。)は、光照射により、前記成分(2)の重
合を、本発明の好ましい態様においては、後述する
(5)アミノ基含有化合物のうちα,β−エチレン系不
飽和基を有する化合物の重合も、開始ないし増感する成
分である。
【0058】成分(3)としては、例えばジアセチル、
メチルベンゾイルホルメート、ベンジル等のα−ジケト
ン化合物、ベンゾイン、ピバロイン等のアシロイン類;
ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテ
ル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソ
ブチルエーテル等のアシロインエーテル類;アントラキ
ノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアン
トラキノン、1,4−ナフトキノン等の多核キノン類;
アセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−プロピ
オフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、2,2−ジメトキシフェニルアセトフェノン、
2,2−ジエトキシアセトフェノン、トリクロロアセト
フェノン等のアセトフェノン類;ベンゾフェノン、メチ
ル−o−ベンゾイルベンゾエート、ミヒラーズケトン等
のベンゾフェノン類;キサントン、チオキサントン、2
−クロロチオキサントン等のキサントン類などを挙げる
ことができる。
【0059】成分(3)の配合量は、成分(1)100
重量部に対して、好ましくは0.1〜20重量部、さら
に好ましくは1〜10重量部である。成分(3)の配合
量が、0.1重量部未満では感光性樹脂組成物の光硬化
が不十分となるおそれがあり、また20重量部を超えて
も、配合された成分(3)の全てが光硬化に関与するわ
けではないので不経済であるばかりか、ときには成分
(2)や(5)アミノ基含有化合物との相溶性が悪いた
め均一に分散できない場合があり、好ましくない。
【0060】次に、(4)チオ尿素、N−アミノアルキ
ル基を含有するチオ尿素誘導体およびチオ尿素単位を含
む複素環基を含有するチオ尿素誘導体からなる群から選
ばれる化合物(以下、「成分(4)という。)におい
て、N−アミノアルキル基を含有するチオ尿素誘導体と
は、チオ尿素中の少なくとも1つの窒素原子に結合した
1個以上のアミノアルキル基、または該アミノアルキル
基中のアミノ基がモノ−あるいはジ−置換された基を含
有するチオ尿素誘導体を意味する。
【0061】前記N−アミノアルキル基を含有するチオ
尿素誘導体としては、例えばN−アミノメチルチオ尿
素、N−アミノエチルチオ尿素、N−アミノプロピルチ
オ尿素等のN−アミノアルキルチオ尿素類;N−モノメ
チルアミノエチルチオ尿素、N−モノエチルアミノエチ
ルチオ尿素、N−モノメチルアミノプロピルチオ尿素、
N−モノエチルアミノプロピルチオ尿素等のN−モノア
ルキルアミノアルキルチオ尿素類;N−ジメチルアミノ
エチルチオ尿素、N−ジエチルアミノエチルチオ尿素、
N−ジメチルアミノプロピルチオ尿素、N−ジエチルア
ミノプロピルチオ尿素等のN−ジアルキルアミノアルキ
ルチオ尿素類;N,N’−ジ(アミノメチル)チオ尿
素、N,N’−ジ(アミノエチル)チオ尿素、N,N’
−ジ(アミノプロピル)チオ尿素等のN,N’−ジ(ア
ミノアルキル)チオ尿素類;N,N’−ジ(モノメチル
アミノエチル)チオ尿素、N,N’−ジ(モノエチルア
ミノエチル)チオ尿素、N,N’−ジ(モノメチルアミ
ノプロピル)チオ尿素、N,N’−ジ(モノエチルアミ
ノプロピル)チオ尿素等のN,N’−ジ(モノアルキル
アミノアルキル)チオ尿素類;N,N’−ジ(ジメチル
アミノエチル)チオ尿素、N,N’−ジ(ジエチルアミ
ノエチル)チオ尿素、N,N’−ジ(ジメチルアミノプ
ロピル)チオ尿素、N,N’−ジ(ジエチルアミノプロ
ピル)チオ尿素等のN,N’−ジ(ジアルキルアミノア
ルキル)チオ尿素類;N,N’−テトラ(アミノメチ
ル)チオ尿素、N,N’−テトラ(アミノエチル)チオ
尿素、N,N’−テトラ(アミノプロピル)チオ尿素等
のN,N’−テトラ(アミノアルキル)チオ尿素類;
N,N’−テトラ(モノメチルアミノエチル)チオ尿
素、N,N’−テトラ(モノエチルアミノエチル)チオ
尿素、N,N’−テトラ(モノメチルアミノプロピル)
チオ尿素、N,N’−テトラ(モノエチルアミノプロピ
ル)チオ尿素等のN,N’−テトラ(モノアルキルアミ
ノアルキル)チオ尿素類;N,N’−テトラ(ジメチル
アミノエチル)チオ尿素、N,N’−テトラ(ジエチル
アミノエチル)チオ尿素、N,N’−テトラ(ジメチル
アミノプロピル)チオ尿素、N,N’−テトラ(ジエチ
ルアミノプロピル)チオ尿素等のN,N’−テトラ(ジ
アルキルアミノアルキル)チオ尿素類などを挙げること
ができる。
【0062】また、前記チオ尿素単位を含む複素環基を
含有するチオ尿素誘導体とは、式= NC(S)N
で表されるチオ尿素単位を環構成単位として含む複素環
基を含有するチオ尿素誘導体を意味する。前記チオ尿素
単位を環構成単位として含む複素環基を含有するチオ尿
素誘導体としては、例えばエチレンチオ尿素、1−メチ
ルエチレンチオ尿素、4−メチルエチレンチオ尿素、4
−エチルエチレンチオ尿素等のエチレンチオ尿素類;2
−メルカプトイミダゾール、2−メルカプト−1−メチ
ルイミダゾール、2−メルカプト−4−メチルイミダゾ
ール、2−メルカプト−4−エチルイミダゾール等の2
−メルカプトイミダゾール類;2−メルカプトピリミジ
ン、2−メルカプト−1−メチルピリミジン、2−メル
カプト−4−メチルピリミジン、2−メルカプト−5−
エチルピリミジン等の2−メルカプトピリミジン類;2
−メルカプトベンズイミダゾール、2−メルカプト−1
−メチルベンズイミダゾール、2−メルカプト−5−メ
チルベンズイミダゾール、2−メルカプト−4−エチル
ベンズイミダゾール等の2−メルカプトベンズイミダゾ
ール類;2−メルカプト−キナゾリン、2−メルカプト
−1−メチルキナゾリン、2−メルカプト−5−メチル
キナゾリン、2−メルカプト−4−メチルキナゾリン、
2−メルカプト−6−エチルキナゾリン等の2−メルカ
プト−キナゾリン類などを挙げることができる。
【0063】成分(4)の配合量は、感光性樹脂組成物
が所期の水現像性を保持されるよう適宜選定されるが、
成分(1)100重量部に対して、好ましくは0.01
〜2重量部、さらに好ましくは0.05〜0.5重量部
である。成分(4)の配合量が、0.01重量部未満で
は保存後の水現像性の改善効果が十分でない場合があ
り、また2重量部を超えても水現像性が特に改善される
わけではなく、却って組成物の光硬化性を低下させた
り、組成物の光硬化後の強度や解像度を低下させるおそ
れがある。
【0064】本発明の感光性樹脂組成物は、長期保存後
においても水現像性に優れ、しかも解像度、光硬化後の
樹脂強度、耐水性等は何ら損われることがない。かかる
本発明の作用効果は、特定のチオ尿素構造を有する成分
(4)に特異的なものであって、全く予期できないもの
である。これに対して、本発明の成分(4)と類似の構
造を有する尿素化合物、メルカプトチアゾール化合物、
メルカプトオキサゾール化合物等、さらにはN,N’−
ジアルキルチオ尿素、N,N’−テトラアルキルチオ尿
素、N,N’−ジアリールチオ尿素等では、全く効果が
ないばかりか、却って水現像性を低下させる場合があ
る。
【0065】さらに、前記成分(1)〜(4)からなる
感光性樹脂組成物に(5)アミノ基含有化合物(以下、
「成分(5)」という。)を配合することにより、組成
物の水現像性をさらに向上させることができる。このよ
うな成分(5)は、第一級〜第三級のアミノ基の少なく
とも1つを含有する化合物の1種以上からなる。但し、
成分(5)には、成分(4)と同一の化合物は含まれな
い。
【0066】成分(5)としては、例えばメチルアミ
ン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン等の
第一級アミン;ジメチルアミン、メチルエチルアミン、
ジエチルアミン、メチルプロピルアミン、エチルプロピ
ルアミン、ジプロピルアミン、メチルブチルアミン、エ
チルブチルアミン、プロピルブチルアミン、ジブチルア
ミン等の第二級アミン;並びに第三級アミンとして、ト
リメチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエチ
ルアミン、トリエチルアミン、ジメチルプロピルアミ
ン、メチルエチルプロピルアミン、ジエチルプロピルア
ミン、メチルジプロピルアミン、エチルジプロピルアミ
ン、トリプロピルアミン、ジメチルブチルアミン、メチ
ルジブチルアミン、メチルエチルブチルアミン、ジエチ
ルブチルアミン、エチルジブチルアミン、メチルプロピ
ルブチルアミン、エチルプロピルブチルアミン、ジプロ
ピルブチルアミン、プロピルジブチルアミン、トリブチ
ルアミン等のトリアルキルアミン類、ジメチルエタノー
ルアミン、メチルジエタノールアミン、ジエチルエタノ
ールアミン、エチルジエタノールアミン等のアルキルア
ルカノール第三級アミン類、トリエタノールアミン、ジ
エタノールプロパノールアミン、エタノールジプロパノ
ールアミン、トリプロパノールアミン等のトリアルカノ
ールアミン類、N,N−ジメチルアミノエトキシエタノ
ール、N,N−ジエチルアミノエトキシエタノール、
N,N−ジメチルアミノエトキシプロパノール、N,N
−ジエチルアミノエトキシプロパノール等のN,N−ジ
アルキルアミノアルコキシアルカノール類、N,N−ジ
メチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジ
エチルアミノエチル(メタ)アクリレート、ジプロピル
アミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチル
アミノプロピル(メタ)アクリレート、N,N−ジエチ
ルアミノプロピル(メタ)アクリレート、N,N−ジプ
ロピルアミノプロピル(メタ)アクリレート等のN,N
−ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート類、
N,N−ジメチルアミノエトキシエチル(メタ)アクリ
レート、N,N−ジエチルアミノエトキシエチル(メ
タ)アクリレート等のN,N−ジアルキルアミノアルコ
キシアルキル(メタ)アクリレート類、N−(N’,
N’−ジメチルアミノエチル)(メタ)アクリルアミ
ド、N−(N’,N’−ジエチルアミノエチル)(メ
タ)アクリルアミド、N−(N’,N’−ジメチルアミ
ノプロピル)(メタ)アクリルアミド、N−(N’,
N’−ジエチルアミノプロピル)(メタ)アクリルアミ
ド等の第三級アミノ基含有(メタ)アクリルアミド類、
N,N−ジメチルアミノエチル−N’−(メタ)アクリ
ロイルカーバメート、N,N−ジエチルアミノエチル−
N’−(メタ)アクリロイルカーバメート等の第三級ア
ミノ基含有カーバメート類などを挙げることができる。
これらの成分(5)は、単独でまたは2種以上を混合し
て使用することができる。
【0067】成分(5)としては、水現像性が良好な第
三級アミンが好ましく、特に光硬化後の感光性樹脂組成
物の強度の観点から、第三級アミノ基含有(メタ)アク
リレート類、第三級アミノ基含有(メタ)アクリルアミ
ド類等のα,β−エチレン系不飽和基を有する化合物が
好ましい。
【0068】成分(5)の配合量は、感光性樹脂組成物
の使用目的に応じて適宜選定することができるが、アミ
ノ基の含量が、成分(1)中のカルボキシル基1モル当
り、好ましくは0.5モル以上、さらに好ましくは0.
8モル以上となるように使用される。アミノ基の含量
が、0.5モル以下では水現像性が不十分となる場合が
ある。但し、前記アミノ基の含量が2モルを超えても、
特に水現像性が向上するわけではないので経済的に不利
である。
【0069】また、本発明においては、成分(2)と成
分(5)とが同一の化合物となる場合もありうるが、そ
の場合は、該化合物の成分(1)に対する配合量は、成
分(2)および成分(5)としての前記好ましい範囲を
ともに満足するよう調節されるものである。
【0070】また、本発明の感光性樹脂組成物には、必
要に応じて、各種添加剤を配合することができる。前記
添加剤の例としては、例えば熱付加重合禁止剤が挙げら
れる。前記熱付加重合禁止剤としては、例えばヒドロキ
ノン、ヒドロキノンモノメチルエーテル、モノ−t−ブ
チルヒドロキノン、カテコール、p−t−ブチルカテコ
ール、p−メトキシフェノール、p−t−ブチルカテコ
ール、2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール、2,
6−ジ−t−ブチル−m−クレゾール、ピロガロール、
β−ナフトール等のヒドロキシ芳香族化合物;ベンゾキ
ノン、2,5−ジフェニル−p−ベンゾキノン、p−ト
ルキノン、p−キシロキノン等のキノン類;ニトロベン
ゼン、m−ジニトロベンゼン、2−メチル−2−ニトロ
ソプロパン、α−フェニル−t−ブチルニトロン、5,
5−ジメチル−1−ピロリン−1−オキシド等のニトロ
化合物またはニトロン化合物;ジチオベンゾイルスルフ
ィド、ジベンジルテトラスルフィド等のスルフィド類;
1,1−ジフェニルエチレン、α−メチルチオアクリロ
ニトリル等の不飽和化合物;チオニンブルー、トルイジ
ンブルー、メチレンブルー等のチアジン染料;1,1−
ジフェニル−2−ピクリルヒドラジル、1,3,5−ト
リフェニルフェルダジル、4−ヒドロキシ−2,2,
6,6−テトラメチルピペリジン−1−オキシル、2,
6−ジ−t−ブチル−α−(3,5−ジ−t−ブチル)
−4−オキソ−2,5−シクロヘキサジエン−1−イリ
デン−p−トリオキシル等の安定ラジカルなどを挙げる
ことができる。
【0071】これらの熱付加重合禁止剤の配合量は、全
感光性樹脂組成物100重量部当たり、例えば0.00
1〜5重量部程度である。
【0072】さらに、他の添加剤としては、酸化防止
剤、充填材、補強材、可塑剤、ハレーション防止剤、接
着助剤等が挙げられる。
【0073】本発明の感光性樹脂組成物は、成分
(1)、成分(2)、成分(3)および成分(4)を、
または前記成分(1)〜(4)と成分(5)とを、必要
により配合される各種添加剤とともに、通常、加温下
で、例えばニーダー、インターミキサー等を用いて十分
混合することにより得ることができる。得られる組成物
の性状は、流動性のないワックス状ないしゴム状から、
流動性が良好な低粘度液状までを自由に調節することが
でき、その流動性の程度は、組成物の使用目的に応じて
適宜選定される。特に低粘度の組成物が好ましい場合
は、該組成物に溶媒を適当量添加することもできる。
【0074】感光性樹脂組成物から感光性樹脂版を加工
する際には、該組成物の流動性の程度に応じて、各種の
方法を採用することができる。例えば流動性がないか流
動性が低い組成物の場合は、適度の間隔を有するスペー
サー間に通すか、ロールコーター等の塗布装置を用いて
適当な支持体上に塗布するか、圧縮成形、押出成形、カ
レンダー成形等により、所望の膜厚に加工することがで
きる。
【0075】また、流動性が良好な組成物は、ロールコ
ート、カレンダーコート、ドクターブレードコート、エ
アナイフコート等の適宜の塗布方法により支持体上に塗
布して感光性樹脂版に加工することができるほか、特に
スピンコートに適するレジストとして有用である。
【0076】これらの感光性樹脂版あるいはレジスト
は、所望のパターンのネガフィルム等を介して紫外線等
の化学活性線で露光し、未露光部を水で洗浄・除去した
のち、乾燥することにより、鮮明なレリーフ画像を形成
することができる。この場合、必要により、乾燥後再露
光することもできる。
【0077】
【実施例】以下、実施例および比較例を挙げてさらに具
体的に説明するが、本発明は、その要旨を越えない限
り、これらの実施例に何ら制約されるものではない。 実施例1成分(1)の製造 ブタジエン/メタクリル酸/ジビニルベンゼン/メチル
メタクリレート=69/9/2/20(重量%)の組成
の単量体混合物を、ラウリル硫酸ナトリウムを乳化剤と
し、アゾビスイソブチロニトリルを重合開始剤として用
いて、乳化重合した。重合後、生成エマルジョンを塩化
カルシウムにより塩析凝固し、水洗し、乾燥して、粒子
状のカルボキシル基含有ジエン系共重合体からなる成分
(1)を製造した。
【0078】感光性樹脂組成物の調製 前記成分(1)100重量部に対して、成分(2)とし
てノナエチレングリコールメタクリレート15重量部お
よびトリメチロールプロパントリメタクリレート15重
量部、成分(3)として2,2−ジメトキシフェニルア
セトフェノン3重量部、成分(4)として2−メルカプ
トベンズイミダゾール0.2重量部、成分(5)として
N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド10重
量部、並びに熱付加重合禁止剤としてp−t−ブチルカ
テコール0.5重量部を配合し、これを50℃に温調し
たニーダー中で30分間攪拌して、感光性樹脂組成物を
調製した。得られた組成物は、透明なワックス状であっ
た。
【0079】評価 前記のようにして得られた感光性樹脂組成物を用いてポ
リエステルシート上に厚さ0.5mmの樹脂層を形成し
て、感光性樹脂版を作製した。前記樹脂版の樹脂層を、
日本電子精機(株)製現像機(JOW−A−4P)を用
い、30℃の温水中でブラッシングすることにより、該
樹脂層が完全に溶出するまでに要する時間(以下、「水
現像時間」という。)を測定して、感光性樹脂組成物の
水現像性を評価した。また前記樹脂版を、40℃の恒温
槽内で保存し、20日後、40日後の水現像時間を同様
にして測定した。その結果、組成物の調製直後および保
存後とも短時間で水現像することができた。また、前記
樹脂版に50μm幅の光透過部を有するネガフィルムを
密着させ、低圧水銀灯で1分間紫外線を照射したのち、
前記現像機を用いて現像したところ、50μm幅の細線
が良好な形状で再現でき、解像度に優れたものであっ
た。以上の結果を表1に示す。
【0080】実施例2 実施例1で製造した粒子状の成分(1)100重量部に
対して、成分(4)としてエチレンチオ尿素0.2重量
部を使用した以外は、実施例1と同様にして、感光性樹
脂組成物の調製および評価を行った。その結果、組成物
の調製直後および保存後とも短時間で水現像することが
でき、また解像度も優れていた。以上の結果を表1に示
す。
【0081】実施例3〜6 実施例1で製造した粒子状の成分(1)100重量部に
対して、表1に示す成分(4)を使用した以外は、実施
例1と同様にして、感光性樹脂組成物の調製および評価
を行った。その結果、組成物の調製直後および保存後と
も短時間で水現像することができ、また解像度も優れて
いた。以上の結果を表1に示す。
【0082】比較例1 実施例1で製造した粒子状の成分(1)100重量部に
対して、成分(2)としてノナエチレングリコールメタ
クリレート15重量部およびトリメチロールプロパント
リメタクリレート15重量部、成分(3)として2,2
−ジメトキシフェニルアセトフェノン3重量部、成分
(5)としてN,N−ジメチルアミノプロピルアクリル
アミド10重量部、並びに熱付加重合禁止剤としてp−
t−ブチルカテコール0.5重量部を配合し、これを5
0℃に温調したニーダー中で30分間攪拌して、本発明
の成分(4)を含有しない感光性樹脂組成物を調製し、
実施例1と同様にして評価を行った。その結果、組成物
の調製直後の水現像性は良好であったが、保存により水
現像性が著しく低下した。以上の結果を表2に示す。
【0083】比較例2 実施例1の2−メルカプトベンズイミダゾールに代えて
エチレン尿素を用いた以外は、実施例1と同様にして、
感光性樹脂組成物の調製および評価を行った。その結
果、組成物の調製直後の水現像性は良好であったが、保
存により水現像性が著しく低下した。以上の結果を表2
に示す。
【0084】比較例3 実施例1の2−メルカプトベンズイミダゾールに代えて
ベンズイミダゾールを用いた以外は、実施例1と同様に
して、感光性樹脂組成物の調製および評価を行った。そ
の結果、組成物の調製直後の水現像性は良好であった
が、保存により水現像性が著しく低下した。以上の結果
を表2に示す。
【0085】比較例4 実施例1の2−メルカプトベンズイミダゾールに代えて
2−メルカプトベンズチアゾールを用いた以外は、実施
例1と同様にして、感光性樹脂組成物の調製および評価
を行った。その結果、組成物の調製直後の水現像性は良
好であったが、保存により水現像性が著しく低下し、2
−メルカプトベンズチアゾールを配合しない場合にくら
べて却って水現像性が悪化した。以上の結果を表2に示
す。
【0086】比較例5 熱付加重合禁止剤であるp−t−ブチルカテコールの配
合量を3倍とした以外は、比較例1と同様にして、感光
性樹脂組成物の調製および評価を行った。その結果、組
成物の調製直後の水現像性は良好であったが、保存によ
り水現像性が著しく低下した。また、50μmの細線は
再現されず、解像度も悪かった。以上の結果を表2に示
す。
【0087】
【表1】
【0088】
【表2】
【0089】
【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、長期保存
後においても優れた水現像性を保持することができとと
もに、解像度、光硬化後の樹脂強度、耐水性等も良好で
ある。しかも本組成物は、流動性のないワックス状ない
しゴム状から低粘度液状までの性状に自由に調節するこ
とができる。したがって、本組成物は、フォトレジス
ト、製版、印刷インキ等の分野において、水現像性感光
性材料として極めて好適に使用することができるほか、
感光性塗料、感光性接着剤、光成形材料等としても有用
である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C09J 113/00 JDW 8218−4J G03F 7/004 7/027 7/028

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (1)カルボキシル基含有ジエン系重合
    体、(2)光重合性不飽和単量体、(3)光重合開始
    剤、並びに(4)チオ尿素、N−アミノアルキル基を含
    有するチオ尿素誘導体およびチオ尿素単位を含む複素環
    基を含有するチオ尿素誘導体からなる群から選ばれた少
    なくとも1種の化合物を含有することを特徴とする感光
    性樹脂組成物。
  2. 【請求項2】 (1)カルボキシル基含有ジエン系重合
    体、(2)光重合性不飽和単量体、(3)光重合開始
    剤、(4)チオ尿素、N−アミノアルキル基を含有する
    チオ尿素誘導体およびチオ尿素単位を含む複素環基を含
    有するチオ尿素誘導体からなる群から選ばれた少なくと
    も1種の化合物、並びに(5)アミノ基含有化合物を含
    有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
JP28716492A 1992-10-02 1992-10-02 感光性樹脂組成物 Pending JPH06118645A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10274853A (ja) * 1997-03-27 1998-10-13 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd パターン形成方法およびこれに用いるネガ型ホトレジスト組成物
JP2001330962A (ja) * 2000-05-18 2001-11-30 Toray Ind Inc 感光性重合体組成物
CN105017855A (zh) * 2015-07-31 2015-11-04 蓝思旺科技(深圳)有限公司 一种镜片玻璃丝印用uv固化油墨

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