JPH06112274A - バンプを備えた回路基板及びその製造法 - Google Patents
バンプを備えた回路基板及びその製造法Info
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- H05K3/4007—Surface contacts, e.g. bumps
Abstract
ンプを有する回路基板を提供する。 【構成】 絶縁べ−ス材1の少なくとも一方面に所要の
回路配線パタ−ン2を有し、この回路配線パタ−ン2の
表面には、絶縁性表面保護層3が配装され、絶縁性表面
保護層3には、回路配線パタ−ン2に達する導通用孔4
が形成され、この導通用孔4には、一端が回路配線パタ
−ン2に電気的に導通すると共に、他端が外部に向かっ
て突出する回路部品搭載の為のバンプ5を備え、このバ
ンプ5は導通用孔4の底部中央に中心核6を有し、中央
部を凸状に構成したもの。
Description
の回路配線パタ−ンを形成し、一端が該回路配線パタ−
ンに電気的に導通すると共に、他端が外部に突出するバ
ンプを備えるように構成した回路配線基板及びその製造
法に関する。
用孔の底部中央位置に中心核となるバンプが形成され
て、直径に対するバンプ高さを好適に高めて接続信頼性
を確保したバンプ構造を提供するものである。
為のこの種の回路基板としては、図5に示す構造のもの
がある。これは、絶縁べ−ス材21の一方面に於ける所
要の位置に必要な回路配線パタ−ン22が形成されてお
り、また、絶縁べ−ス材21にはその上面側から回路配
線パタ−ン22に達する導通用孔29を形成してある。
この導通用孔29には一端が回路配線パタ−ン22に電
気的に接合すると共に、他端が絶縁べ−ス材21の外部
に突出するIC等の回路部品の為の半田による接続用バ
ンプ30を形成してある。一方、回路配線パタ−ン22
の表面側には接着剤26によりポリイミドフィルム等か
らなる保護フィルム27を貼着して表面保護層28を構
成している。
するには、図6(1)の如く、先ず絶縁べ−ス材21の
一方面に所要の回路配線パタ−ン22を形成すると共
に、その絶縁べ−ス材21の他方面にエキシマレーザー
遮光の為のメタルマスク23を形成する。このメタルマ
スク23には回路配線パタ−ン22の位置する該当箇所
に孔24を形成するように処理される。そして、回路配
線パタ−ン22の表面には接着剤26を用いてポリイミ
ド等の保護フィルム27を貼着することにより表面保護
層28を形成している。
ク23の側からエキシマレ−ザ−光Aを照射して回路配
線パタ−ン22に達する導通用孔29を形成する。
マスク23の層をエッチング等の手段で除去した後、同
図(4)の如く上記工程で形成した導通用孔29に対し
て一端が回路配線パタ−ン22に電気的に接合すると共
に他端が絶縁べ−ス材21から外部に突出するような形
状のIC等の回路部品の為の接続用パッド、即ち、バン
プ30を半田などの導電性部材の充填処理で形成するこ
とにより製品を得ることが出来る。
に、導通用孔29が表面保護層28に形成されている構
造のものもある。
上記構造のバンプを備えた回路基板に於ける導通用孔2
9は、図8に示すように、所要の形状に成形されたエキ
シマレ−ザ−光Aを照射する方法等によって形成するこ
とが出来る。
プは、回路部品を半田付けする際には有効な手段である
が、回路配線基板と回路部品との間に接着剤を介して圧
接することで導通させて回路部品を搭載したり、又は、
テスト用プローブとして使用する際には半田によって構
成されたバンプが変形してしまい安定した接続が得られ
ない。
たバンプが有効となるが、銅によるバンプは、図9に示
す如くバンプ30Aの直径が大きくなるにしたがって中
央部が凹状になってしまい、少ない荷重では電極表面の
汚れ、酸化などによって形成されている絶縁皮膜が破壊
されずに、安定した接触が得られないという問題があ
る。
部を凸状に構成して上記問題を好適に解消可能な形状の
バンプを有する回路基板を提供するものである。
路配線基板では、絶縁べ−ス材の少なくとも一方面に所
要の回路配線パタ−ンを有し、この回路配線パタ−ン表
面には、絶縁性表面保護層が配装され、上記絶縁性表面
保護層には、回路配線パタ−ンに達する導通用孔が形成
され、この導通用孔には、一端が回路配線パタ−ンに電
気的に導通すると共に、他端が外部に向かって突出する
回路部品搭載の為のバンプを備えた回路基板であって、
上記バンプは導通用孔の底部中央に中心核を有し、中央
部を凸状に構成した回路配線基板が提供される。
得る方法としては、絶縁べ−ス材の少なくとも一方面に
所要の回路配線パタ−ンを形成し、回路配線パタ−ン上
の所要の位置に、最終的に必要とするバンプの直径より
も小さな寸法の孔を有するレジスト層を形成し、メッキ
により小さな寸法のバンプを形成し、上記レジスト層を
剥離した後、回路配線パタ−ン上に、バンプ形成箇所に
孔を有する表面保護層を形成し、上記小径のバンプに対
し所要厚みのバンプ形成金属をメッキにより形成して最
終的に必要とするバンプを形成する工程を採用すること
が出来る。
一方面に所要の回路配線パタ−ンを有し、該回路配線パ
タ−ン表面には、絶縁性表面保護層が配装され、上記絶
縁べ−ス材には回路配線パタ−ンに達する導通用孔が形
成され、この導通用孔には一端が回路配線パタ−ンに電
気的に導通すると共に、他端が外部に向かって突出する
バンプを備えた回路基板であって、上記バンプは導通用
孔の底部中央に中心核を有し、中央部が凸状に構成され
ていることを特徴とするバンプを備えた回路基板が提供
される。
る方法としては、絶縁べ−ス材の一方面に所要の回路配
線パタ−ンを形成すると共に、この絶縁べ−ス材の他方
面に上記回路配線パタ−ンが位置する該当箇所に、最終
的に必要となる回路部品搭載用端子直径よりも小さい径
の孔を有するメタルマスクを形成し、上記回路配線パタ
−ン上には表面保護層を被着形成し、次に上記メタルマ
スク側からエクシマレ−ザ−光を照射して上記孔の部位
から上記回路配線パタ−ンに達する孔を形成した後、上
記メタルマスクをエッチング除去し、上記孔に対して、
メッキにより最終的に必要となるバンプ直径よりも小径
のバンプを形成し、バンプ形成箇所に対して最終的に必
要とするバンプ孔寸法に成形されたエキシマレ−ザ−光
を照射して、上記絶縁べ−ス材にバンプ形成用孔を形成
した後、所要厚みのバンプ形成金属をメッキにより被着
形成して最終的に必要とするバンプを形成する工程を含
む製造法を採用することができる。
更に詳述する。図1は本発明の一実施例に従ったバンプ
を備えた回路基板の要部を概念的に示す断面構成図であ
って、図1には、絶縁べ−ス材1の一方面に所要の回路
配線パタ−ン2を有し、該回路配線パタ−ン2の表面に
は、絶縁性表面保護層3が配装され、上記絶縁性表面保
護層3には、回路配線パタ−ン2に達する導通用孔4が
形成され、この導通用孔4には、一端が回路配線パタ−
ン2に電気的に導通すると共に、他端が外部に向かって
突出するバンプ5を備え、このバンプは導通用孔4の底
部中央に中心核6を有し、中央部が凸状に構成されてい
る。
示すものであって、先ず同図(1)の如く、例えば接着
層のあるもの若しくは無接着剤型の銅張積層板等の材料
を用意し、これにフォトエッチング処理を施して絶縁べ
−ス材1上に回路配線パタ−ン2を形成する。
パタ−ン上2の所要の位置に最終的に必要とするバンプ
の直径よりも小さな寸法の孔7を備えたレジスト層8を
形成する。
よってバンプを形成したのちレジスト層8を除去し、バ
ンプ中心核6を形成する。
タ−ン2上に、バンプ形成箇所に導通用孔4を有する表
面保護層3を被着形成する。
ワニスを全面に塗布するか、ポリイミドフィルム等の絶
縁性フィルムを接着剤を用いて全面に貼着した後、所要
の形状に成形されたエキシマレ−ザ−光を照射して導通
用孔4を形成する工程を採用することも可能である。
ンプ形成金属をメッキにより形成して、最終的に必要と
するバンプ5を形成してある。
通用孔4が絶縁べ−ス材1の側に形成されているバンプ
を備えた回路基板が示されている。
板を得る方法としては、図4(1)〜(5)に示す方法
がある。
るもの又は無接着剤型の銅張積層板等の材料を用意し、
これにフォトエッチング処理を施して絶縁べ−ス材1の
一方面に所要の回路配線パタ−ン2を形成すると共に、
この絶縁べ−ス材の他方面に上記回路配線パタ−ン2が
位置する該当箇所に、最終的に必要となるバンプ直径よ
りも小さい径の孔9を有するメタルマスク10を形成
し、上記回路配線パタ−ン2上には表面保護層3を被着
形成する。
ルマスク10側からエキシマレ−ザ−光Aを照射して上
記孔9の部位から上記回路配線パタ−ン2に達する孔1
1を形成する。
マスク10をエッチング除去し、上記孔11に対して、
メッキにより最終的に必要となるバンプ直径よりも小径
のバンプ中心核6を形成する。
所に対して最終的に必要とするバンプ孔寸法に成形され
たエキシマレ−ザ−光Aを照射して、上記絶縁べ−ス材
1にバンプ形成用導通用孔4を形成する。
プ形成金属をメッキにより被着形成して最終的に必要と
するバンプ5を形成する工程により製造される。
及びその製造法によれば、バンプは導通孔底部中央に中
心核を有し、中央部が凸状に構成されているので、少な
い荷重では電極表面の汚れ、酸化などによって形成され
ている絶縁皮膜が破壊され、安定した接触を得ることが
できる接続信頼性の高いバンプを備えた回路基板が好適
に構成される。
基板の要部を示す概念的な断面構成図。
プを備えた回路基板の製造工程図。
路基板の要部を示す概念的な断面構成図。
プを備えた回路基板の製造工程図。
面構成図。
を備えた回路基板の製造工程図。
面構成図。
の製造工程の一部を示す製造工程図。
な断面構成図。
Claims (4)
- 【請求項1】 絶縁べ−ス材の少なくとも一方面に所要
の回路配線パタ−ンを有し、該回路配線パタ−ン表面に
は、絶縁性表面保護層が配装され、該絶縁性表面保護層
には、回路配線パタ−ンに達する導通用孔が形成され、
この導通用孔には一端が回路配線パタ−ンに電気的に導
通すると共に、他端が外部に向かって突出するバンプを
備えた回路基板であって、上記バンプは導通用孔の底部
中央に中心核を有し、中央部が凸状に構成されているこ
とを特徴とするバンプを備えた回路基板。 - 【請求項2】 絶縁べ−ス材の少なくとも一方面に所要
の回路配線パタ−ンを形成し、回路配線パタ−ン上の所
要の位置に、最終的に必要とするバンプの直径よりも小
さな寸法の孔を有するレジスト層を形成し、メッキによ
り小さな寸法のバンプを形成し、上記レジスト層を剥離
した後、回路配線パタ−ン上に、バンプ形成箇所に孔を
有する表面保護層を形成し、上記小径のバンプに対し
て、所要厚みのバンプ形成金属をメッキにより形成して
最終的に必要とするバンプを形成する工程を含むバンプ
を備えた回路基板の製造法。 - 【請求項3】 絶縁べ−ス材の一方面に所要の回路配線
パタ−ンを有し、該回路配線パタ−ン表面には、絶縁性
表面保護層が配装され、上記絶縁べ−ス材には回路配線
パタ−ンに達する導通用孔が形成され、この導通用孔に
は一端が回路配線パタ−ンに電気的に導通すると共に、
他端が外部に向かって突出するバンプを備えた回路基板
であって、上記バンプは導通用孔の底部中央に中心核を
有し、中央部が凸状に構成されていることを特徴とする
バンプを備えた回路基板。 - 【請求項4】 絶縁べ−ス材の一方面に所要の回路配線
パタ−ンを形成すると共に、この絶縁べ−ス材の他方面
に上記回路配線パタ−ンが位置する該当箇所に、最終的
に必要となるバンプ直径よりも小さい径の孔を有するメ
タルマスクを形成し、上記回路配線パタ−ン上には表面
保護層を被着形成し、次に上記メタルマスク側からエキ
シマレーザー光を照射して上記孔の部位から上記回路配
線パタ−ンに達する孔を形成した後、上記メタルマスク
をエッチング除去し、上記孔に対して、メッキにより最
終的に必要となるバンプ直径よりも小径のバンプを形成
し、バンプ形成箇所に対して最終的に必要とするバンプ
孔寸法に成形されたエキシマレーザー光を照射して、上
記絶縁べ−ス材にバンプ形成用孔を形成した後、所要厚
みのバンプ形成金属をメッキにより被着形成して最終的
に必要とするバンプを形成する工程を含むバンプを備え
た回路基板の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28097192A JP3246959B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | バンプを備えた回路基板及びその製造法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06112274A true JPH06112274A (ja) | 1994-04-22 |
JP3246959B2 JP3246959B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28097192A Expired - Fee Related JP3246959B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | バンプを備えた回路基板及びその製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3246959B2 (ja) |
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-
1992
- 1992-09-25 JP JP28097192A patent/JP3246959B2/ja not_active Expired - Fee Related
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