JPH06109907A - 高精度光学反射鏡 - Google Patents
高精度光学反射鏡Info
- Publication number
- JPH06109907A JPH06109907A JP28075192A JP28075192A JPH06109907A JP H06109907 A JPH06109907 A JP H06109907A JP 28075192 A JP28075192 A JP 28075192A JP 28075192 A JP28075192 A JP 28075192A JP H06109907 A JPH06109907 A JP H06109907A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- reflecting mirror
- sintered body
- nitride sintered
- glass layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】熱変形を少なくするとともに生産性の向上を図
る。 【構成】窒化アルミニウム焼結体の表面に光反射膜とし
て金属膜を形成してなる高精度光学反射鏡の場合と、窒
化アルミニウム焼結体の表面に硝子層を形成し、更に硝
子層の上に光反射膜として金属膜を形成してなる高精度
光学反射鏡の場合の２つの構成がある。
る。 【構成】窒化アルミニウム焼結体の表面に光反射膜とし
て金属膜を形成してなる高精度光学反射鏡の場合と、窒
化アルミニウム焼結体の表面に硝子層を形成し、更に硝
子層の上に光反射膜として金属膜を形成してなる高精度
光学反射鏡の場合の２つの構成がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高精度光学反射鏡に関す
るものである。
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、高精度光学反射鏡は、光学硝子や
金属アルミニウム等の基材表面を高精度に研磨、研削等
の加工を行った後、この上に各種金属及び誘電体材料等
の光学膜を真空蒸着法やスパッタ法等により形成して作
られていた。しかし、かかる基材が光学硝子の場合は熱
伝導率が低いため、表面加工中の発熱や使用中の熱環境
により、基材内に温度むらが生じ易く、このために熱膨
張による変形を生じ反射精度が劣化する問題があった。
金属アルミニウム等の基材表面を高精度に研磨、研削等
の加工を行った後、この上に各種金属及び誘電体材料等
の光学膜を真空蒸着法やスパッタ法等により形成して作
られていた。しかし、かかる基材が光学硝子の場合は熱
伝導率が低いため、表面加工中の発熱や使用中の熱環境
により、基材内に温度むらが生じ易く、このために熱膨
張による変形を生じ反射精度が劣化する問題があった。
【０００３】この問題を解決すべく熱膨張係数がゼロに
近い硝子材料等も開発されてはいるが、生産性が悪く、
量産に適しなかった。また、基材が金属材料の場合は、
光学硝子に比べ熱伝導率ははるかに良好であるが、熱膨
張が大きいためやはり変形の問題があった。
近い硝子材料等も開発されてはいるが、生産性が悪く、
量産に適しなかった。また、基材が金属材料の場合は、
光学硝子に比べ熱伝導率ははるかに良好であるが、熱膨
張が大きいためやはり変形の問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は高精度光学反
射鏡の製造加工及び使用時の熱変形による反射精度の低
下の問題を解決することを目的としている。
射鏡の製造加工及び使用時の熱変形による反射精度の低
下の問題を解決することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前述の課題を解
決すべくなされたものであり、窒化アルミニウム焼結体
の表面に光反射膜として金属膜を形成したことを特徴と
する高精度光学反射鏡を提供するものである。また、窒
化アルミニウム焼結体の表面に硝子層を形成し、更に硝
子層の上に光反射膜として金属膜を形成したことを特徴
とする高精度光学反射鏡を提供するものである。
決すべくなされたものであり、窒化アルミニウム焼結体
の表面に光反射膜として金属膜を形成したことを特徴と
する高精度光学反射鏡を提供するものである。また、窒
化アルミニウム焼結体の表面に硝子層を形成し、更に硝
子層の上に光反射膜として金属膜を形成したことを特徴
とする高精度光学反射鏡を提供するものである。
【０００６】
［実施例１］光学反射鏡用の基材として光学硝子、高純
度の金属アルミニウム及び焼結率がほぼ１００％に近い
空孔の少ない窒化アルミニウム焼結体からなる大きさ５
０×５０ｍｍ、厚さ２ｍｍの平板を準備し、平面研磨盤
により、ダイヤモンド砥粒を用いた方法により平面精度
１／（１０λ）（λ＝０．６３２μｍ）、面粗さＲa＝
０．００３μｍ程度の鏡面加工を行った。金属アルミニ
ウムの平板は加工なしに必要な表面反射率を得ることが
できるが、光学硝子及び窒化アルミニウム焼結体につい
ては、加工なしでは必要な表面反射率を得ることができ
ないため、光学硝子及び窒化アルミニウムの研磨面に金
属アルミニウム膜を真空蒸着法により形成した。
度の金属アルミニウム及び焼結率がほぼ１００％に近い
空孔の少ない窒化アルミニウム焼結体からなる大きさ５
０×５０ｍｍ、厚さ２ｍｍの平板を準備し、平面研磨盤
により、ダイヤモンド砥粒を用いた方法により平面精度
１／（１０λ）（λ＝０．６３２μｍ）、面粗さＲa＝
０．００３μｍ程度の鏡面加工を行った。金属アルミニ
ウムの平板は加工なしに必要な表面反射率を得ることが
できるが、光学硝子及び窒化アルミニウム焼結体につい
ては、加工なしでは必要な表面反射率を得ることができ
ないため、光学硝子及び窒化アルミニウムの研磨面に金
属アルミニウム膜を真空蒸着法により形成した。
【０００７】上記方法によって作られた３種の反射鏡の
熱変形特性を比較するため、各反射鏡の裏面中央部直径
約１０ｍｍの大きさに５Ｗの発熱源を設け加熱し、強制
的に中央部と周辺との間に温度勾配を生じさせた。この
時の３種の反射鏡の平面精度は以下表１に示す通りであ
った。
熱変形特性を比較するため、各反射鏡の裏面中央部直径
約１０ｍｍの大きさに５Ｗの発熱源を設け加熱し、強制
的に中央部と周辺との間に温度勾配を生じさせた。この
時の３種の反射鏡の平面精度は以下表１に示す通りであ
った。
【０００８】
【表１】
【０００９】以上のように窒化アルミニウムを基材とし
て用いた光学反射鏡は熱変形がほとんど無く高精度に反
射面精度を維持できることが確認された。
て用いた光学反射鏡は熱変形がほとんど無く高精度に反
射面精度を維持できることが確認された。
【００１０】［実施例２］実施例１と同様に５０×５０
ｍｍ、厚さ２ｍｍであり、焼結率９９．５％の比較的空
孔の多い窒化アルミニウム焼結体からなる平板を準備
し、実施例１と同様の方法により研磨した。この上に熱
膨張係数の一致した硝子粉末等からなる硝子ペーストを
スクリーン印刷等の方法により印刷し、約９００℃で焼
成することによって窒化アルミニウム焼結体からなる平
板上に厚さ約２０μｍの硝子層を形成した。この硝子層
を研磨することによって表面粗さ１／（１０λ）の平滑
面を得た。さらにスパッタ法によりこの研磨面に金属ア
ルミニウム膜を形成した。
ｍｍ、厚さ２ｍｍであり、焼結率９９．５％の比較的空
孔の多い窒化アルミニウム焼結体からなる平板を準備
し、実施例１と同様の方法により研磨した。この上に熱
膨張係数の一致した硝子粉末等からなる硝子ペーストを
スクリーン印刷等の方法により印刷し、約９００℃で焼
成することによって窒化アルミニウム焼結体からなる平
板上に厚さ約２０μｍの硝子層を形成した。この硝子層
を研磨することによって表面粗さ１／（１０λ）の平滑
面を得た。さらにスパッタ法によりこの研磨面に金属ア
ルミニウム膜を形成した。
【００１１】このようにして作られた反射鏡を実施例１
と同様な熱変形特性試験を行ったところ、実施例１とほ
ぼ同様の結果となり、加熱後も良好な平面精度を維持し
ていることが確認された。実施例２では、比較的容易に
生産できる焼結率９９．５％以下の比較的空孔の多い窒
化アルミニウム焼結体を使用でき、実施例１に比較して
窒化アルミニウム焼結体の研磨の程度を少なくできるた
め、生産性に優れている。
と同様な熱変形特性試験を行ったところ、実施例１とほ
ぼ同様の結果となり、加熱後も良好な平面精度を維持し
ていることが確認された。実施例２では、比較的容易に
生産できる焼結率９９．５％以下の比較的空孔の多い窒
化アルミニウム焼結体を使用でき、実施例１に比較して
窒化アルミニウム焼結体の研磨の程度を少なくできるた
め、生産性に優れている。
【００１２】
【発明の効果】本発明の実施により、高精度光学反射鏡
の基材として従来用いられてきた光学硝子や金属アルミ
ニウムで問題であった表面加工中の発熱や使用中の周囲
温度変化による熱変形を防ぐことが可能になった。ま
た、窒化アルミニウム焼結体の表面に硝子層を形成後、
硝子層上に金属膜を形成する場合には、比較的容易に生
産できる焼結率９９．５％以下の窒化アルミニウム焼結
体を使用でき、かつ、窒化アルミニウムの表面の研磨の
程度を少なくすることができるために、生産性のよく、
かつ、熱変形の少ない高精度光学反射鏡が得られる。
の基材として従来用いられてきた光学硝子や金属アルミ
ニウムで問題であった表面加工中の発熱や使用中の周囲
温度変化による熱変形を防ぐことが可能になった。ま
た、窒化アルミニウム焼結体の表面に硝子層を形成後、
硝子層上に金属膜を形成する場合には、比較的容易に生
産できる焼結率９９．５％以下の窒化アルミニウム焼結
体を使用でき、かつ、窒化アルミニウムの表面の研磨の
程度を少なくすることができるために、生産性のよく、
かつ、熱変形の少ない高精度光学反射鏡が得られる。
Claims (2)
- 【請求項１】窒化アルミニウム焼結体の表面に光反射膜
として金属膜を形成したことを特徴とする高精度光学反
射鏡。 - 【請求項２】窒化アルミニウム焼結体の表面に硝子層を
形成し、更に硝子層の上に光反射膜として金属膜を形成
したことを特徴とする高精度光学反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28075192A JPH06109907A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 高精度光学反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28075192A JPH06109907A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 高精度光学反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109907A true JPH06109907A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17629449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28075192A Pending JPH06109907A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 高精度光学反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06109907A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007156264A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 高精度耐熱性ミラー及びその製造方法 |
| JP2016531319A (ja) * | 2013-08-07 | 2016-10-06 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP28075192A patent/JPH06109907A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007156264A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 高精度耐熱性ミラー及びその製造方法 |
| JP2016531319A (ja) * | 2013-08-07 | 2016-10-06 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー |
| US10310382B2 (en) | 2013-08-07 | 2019-06-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Mirror, in particular for a microlithographic projection exposure apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4142006A (en) | Method of making a high power laser mirror | |
| US2585128A (en) | Aluminum optical mirror and method of making same | |
| US4533449A (en) | Rapid surface figuring by selective deposition | |
| US2464141A (en) | Mirror with low thermal expansion support | |
| JPH06109907A (ja) | 高精度光学反射鏡 | |
| JP2001237303A (ja) | ウェハ用真空チャックおよびその製造方法 | |
| JP2010537235A (ja) | 炭化ケイ素の走査および光学ミラーの製造および加工方法 | |
| JPH0483328A (ja) | ウエハチャック | |
| JP3389484B2 (ja) | 窒化アルミニウム接合構造体とその製造方法 | |
| JPH06300907A (ja) | 炭化珪素焼結体を用いた光学用及びｘ線用部品及びその製造方法 | |
| JP3128814B2 (ja) | レーザ光を利用した位置決め装置用反射鏡 | |
| JP2738629B2 (ja) | 複合部材 | |
| US3956092A (en) | Method of making measuring elements such as gauge blocks | |
| JPH04114971A (ja) | 複合材 | |
| JPH11194206A (ja) | ミラー | |
| JPH0563261A (ja) | レーザ反射鏡 | |
| JPH10231129A (ja) | プレス成形用金型及びこの金型によるガラス成形品 | |
| JPS63283858A (ja) | 硬質複合粉末研磨材 | |
| JPH0570267A (ja) | Ｘ線反射用ミラーおよびその製法 | |
| JPS6026130Y2 (ja) | 金属鏡 | |
| JPH04358068A (ja) | ＣＶＤ−ＳｉＣ被覆部材 | |
| JP2007118138A (ja) | セラミックス研磨基板の製造方法 | |
| JPH03279902A (ja) | 反射鏡及びその製造方法 | |
| JP2509342B2 (ja) | ガラス素子の成形型およびその製作方法 | |
| JPH0413103A (ja) | シンクロトロン放射光用反射ミラーの製造方法 |