JPH06101511B2 - ウエハーテストカテゴリー集計装置 - Google Patents
ウエハーテストカテゴリー集計装置Info
- Publication number
- JPH06101511B2 JPH06101511B2 JP20320989A JP20320989A JPH06101511B2 JP H06101511 B2 JPH06101511 B2 JP H06101511B2 JP 20320989 A JP20320989 A JP 20320989A JP 20320989 A JP20320989 A JP 20320989A JP H06101511 B2 JPH06101511 B2 JP H06101511B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- category
- wafer test
- test
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はウエハーテスト工程の各種データのカテゴリ
ー集計装置に関するものである。
ー集計装置に関するものである。
第２図は従来のウエハーテスト工程のカテゴリー集計装
置の位置付けを示した説明図である。図において、ウエ
ハーテストカテゴリー集計装置（11）はウエハープロー
ビング装置（14）内のデータ集計ブロツク（15）からデ
ーターを集め、それを処理してCRT（18）上又はプリン
ター（19）に出力するものである。
置の位置付けを示した説明図である。図において、ウエ
ハーテストカテゴリー集計装置（11）はウエハープロー
ビング装置（14）内のデータ集計ブロツク（15）からデ
ーターを集め、それを処理してCRT（18）上又はプリン
ター（19）に出力するものである。
次に動作について説明する。ウエハーテストカテゴリー
集計装置（11）はテスター（12）でウエハープロービン
グ装置（14）上のウエハー（13）をウエハーテストし、
そのテスト結果（以下カテゴリーと呼ぶ）及びウエハー
（３）上のチツプ位置を、ウエハープロービング装置
（14）内のデータ集計ブロツク（15）よりデーターを受
け、CRT（18）又はプリンター（19）にカテゴリー内容
又はウエハー（13）上の不良チツプ位置（以下ウエハー
マツプと呼ぶ）を出力する。
集計装置（11）はテスター（12）でウエハープロービン
グ装置（14）上のウエハー（13）をウエハーテストし、
そのテスト結果（以下カテゴリーと呼ぶ）及びウエハー
（３）上のチツプ位置を、ウエハープロービング装置
（14）内のデータ集計ブロツク（15）よりデーターを受
け、CRT（18）又はプリンター（19）にカテゴリー内容
又はウエハー（13）上の不良チツプ位置（以下ウエハー
マツプと呼ぶ）を出力する。
従来のウエハーテストカテゴリー集計装置のデータ出力
結果を第３図に示す。
結果を第３図に示す。
１工程目ウエハーテスト後のウエハ（１）の様に不良箇
所にインク等でマーク（２）を付ける。このデーターを
ウエハーテストカテゴリー集計装置が集計し、ウエハー
マツプ（３）と、カテゴリーシート（４）をプリンター
（９）又はCRT（８）に表示する。ウエハーマツプ
（３）にはウエハー上のどのチツプがどの様な不良であ
るか認識できる様に不良カテゴリーを数字で表示し、カ
テゴリーシート（４）には対象ウエハー中にカテゴリー
別に何個不良があつたかを表示している。
所にインク等でマーク（２）を付ける。このデーターを
ウエハーテストカテゴリー集計装置が集計し、ウエハー
マツプ（３）と、カテゴリーシート（４）をプリンター
（９）又はCRT（８）に表示する。ウエハーマツプ
（３）にはウエハー上のどのチツプがどの様な不良であ
るか認識できる様に不良カテゴリーを数字で表示し、カ
テゴリーシート（４）には対象ウエハー中にカテゴリー
別に何個不良があつたかを表示している。
従来のウエハーテストカテゴリー集計装置は以上のよう
に構成されていたので、ウエハーテスト工程が２工程以
上ある場合、その集計には個々のコードで出力されたウ
エハーマツプとカテゴリーシートを見比べる必要が有
り、最終ウエハー歩留りは実際のウエハーの不良マーク
を数えて、不良数，良品数の確認が必要であり、全体の
不良数を把握しにくいという問題があつた。
に構成されていたので、ウエハーテスト工程が２工程以
上ある場合、その集計には個々のコードで出力されたウ
エハーマツプとカテゴリーシートを見比べる必要が有
り、最終ウエハー歩留りは実際のウエハーの不良マーク
を数えて、不良数，良品数の確認が必要であり、全体の
不良数を把握しにくいという問題があつた。
この発明は上記のような問題を解消するためになされた
もので、個々のウエハーテストコードの集計結果を出力
できるとともに、全コードテスト後のトータル的な結果
をまとめてウエハーマツプ，カテゴリーシートを出力で
きるウエハーテストカテゴリー集計装置を得ることを目
的とする。
もので、個々のウエハーテストコードの集計結果を出力
できるとともに、全コードテスト後のトータル的な結果
をまとめてウエハーマツプ，カテゴリーシートを出力で
きるウエハーテストカテゴリー集計装置を得ることを目
的とする。
この発明に係るウエハーテストカテゴリー集計装置は、
個々のウエハーテスト工程の結果を保持し、そのデータ
ーを重ね合せて最終テストデーターを作成するととも
に、そのデーターにより最終ウエハーマツプ及びカテゴ
リーを出力できる様にしたものである。
個々のウエハーテスト工程の結果を保持し、そのデータ
ーを重ね合せて最終テストデーターを作成するととも
に、そのデーターにより最終ウエハーマツプ及びカテゴ
リーを出力できる様にしたものである。
この発明におけるウエハーテストカテゴリー集計装置は
出力された最終ウエハーマツプ及びカテゴリーシートに
より最終良品数の把握が容易になり、ウエハー上の不良
位置や不良内容による不良解析が容易に実現できる。
出力された最終ウエハーマツプ及びカテゴリーシートに
より最終良品数の把握が容易になり、ウエハー上の不良
位置や不良内容による不良解析が容易に実現できる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図において、（１）は１工程目のウエハーであり、
その結果を集計したものがウエハーマツプ（５）、及び
カテゴリーシート（７）である。また同ウエハー（１）
を２工程目でウエハーテストを実施したものが２工程目
終了ウエハー（２）である。その２工程目のみの結果を
集計したものが、ウエハーマツプ（６）及びカテゴリー
シート（８）である。最終ウエハーテスト工程（以下説
明は２工程までとする。）を終えた結果を集計したもの
がウエハーマツプ（９）、及びカテゴリーシート（10）
である。
その結果を集計したものがウエハーマツプ（５）、及び
カテゴリーシート（７）である。また同ウエハー（１）
を２工程目でウエハーテストを実施したものが２工程目
終了ウエハー（２）である。その２工程目のみの結果を
集計したものが、ウエハーマツプ（６）及びカテゴリー
シート（８）である。最終ウエハーテスト工程（以下説
明は２工程までとする。）を終えた結果を集計したもの
がウエハーマツプ（９）、及びカテゴリーシート（10）
である。
次に動作につてい説明する。
第１ウエハーテスト工程を終了したウエハー（１）には
不良箇所に不良マーク（３）が打込まれる。この結果は
ウエハーテストカテゴリー集計装置に第２図の様な構成
で伝達され集積される。又、このウエハーテストカテゴ
リー集計装置により、その結果を第１ウエハー工程目の
ウエハーマツプ（５）及びカテゴリーシート（７）とし
て出力される。
不良箇所に不良マーク（３）が打込まれる。この結果は
ウエハーテストカテゴリー集計装置に第２図の様な構成
で伝達され集積される。又、このウエハーテストカテゴ
リー集計装置により、その結果を第１ウエハー工程目の
ウエハーマツプ（５）及びカテゴリーシート（７）とし
て出力される。
次に同一ウエハーを第２ウエハーテスト工程に投入し、
終了後のウエハー（２）には第１ウエハーテスト工程と
第２ウエハーテスト工程の不良箇所に不良マークが付い
ている。（第１図中には第２工程目の不良マーク（４）
として区別されている。）その結果は第２ウエハー工程
のみのウエハーマツプ（６）及びカテゴリーシート
（８）として出力される。
終了後のウエハー（２）には第１ウエハーテスト工程と
第２ウエハーテスト工程の不良箇所に不良マークが付い
ている。（第１図中には第２工程目の不良マーク（４）
として区別されている。）その結果は第２ウエハー工程
のみのウエハーマツプ（６）及びカテゴリーシート
（８）として出力される。
しかし、第２工程目の不良中に第１工程目の不良が全て
含まれるとは限らない為、これら複数テスト工程のテス
ト結果をウエハーテストカテゴリー集計装置内に、一旦
保持し、個々のテスト工程の結果を重ね合せる機能を有
するようにしたが本発明のウエハーテストカテゴリー集
計装置である。このウエハーテストカテゴリー装置によ
り最終ウエハーテスト終了後のウエハーマツプ（９）と
カテゴリーシート（10）が出力される。
含まれるとは限らない為、これら複数テスト工程のテス
ト結果をウエハーテストカテゴリー集計装置内に、一旦
保持し、個々のテスト工程の結果を重ね合せる機能を有
するようにしたが本発明のウエハーテストカテゴリー集
計装置である。このウエハーテストカテゴリー装置によ
り最終ウエハーテスト終了後のウエハーマツプ（９）と
カテゴリーシート（10）が出力される。
なお、上記実施例では複数あるウエハーテスト工程の最
終結果をウエハーマツプ及びカテゴリーシートに出力す
る機能を設けたウエハーテストカテゴリー集計装置につ
いて示したが、仮に１〜10工程のウエハーテスト工程が
ある場合、最終結果のみでなく個々のウエハーテスト工
程の出力又は２工程目と５工程目を重ね合せたものを出
力するといつた機能を設けてもよい。
終結果をウエハーマツプ及びカテゴリーシートに出力す
る機能を設けたウエハーテストカテゴリー集計装置につ
いて示したが、仮に１〜10工程のウエハーテスト工程が
ある場合、最終結果のみでなく個々のウエハーテスト工
程の出力又は２工程目と５工程目を重ね合せたものを出
力するといつた機能を設けてもよい。
以上のようにこの発明によれば、最終ウエハーテスト工
程終了後の良品数，不良品数の把握が従来はウエハーを
目視によつて検数していたがそれが不要となり、又不良
解析データとしても容易に出力され、活用ができるとい
う効果がある。
程終了後の良品数，不良品数の把握が従来はウエハーを
目視によつて検数していたがそれが不要となり、又不良
解析データとしても容易に出力され、活用ができるとい
う効果がある。
第１図はこの発明の一実施例であるウエハーテストカテ
ゴリー集計装置の集計結果を示す説明図、第２図はウエ
ハーテスト工程におけるカテゴリー集計装置の位置付け
を示した説明図、第３図は従来のウエハーテストカテゴ
リー集計結果を示す説明図である。 図において、（１）は１工程終了ウエハー、（２）は２
工程終了ウエハー、（３）は１工程目不良マーク、
（４）は２工程目の不良マーク、（５）は１工程目ウエ
ハーマツプ、（６）は２工程目ウエハーマツプ、（７）
は１工程目カテゴリーシート、（８）は２工程目カテゴ
リーシート、（９）は最終ウエハーマツプ、（10）は最
終カテゴリーシートを示す。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
ゴリー集計装置の集計結果を示す説明図、第２図はウエ
ハーテスト工程におけるカテゴリー集計装置の位置付け
を示した説明図、第３図は従来のウエハーテストカテゴ
リー集計結果を示す説明図である。 図において、（１）は１工程終了ウエハー、（２）は２
工程終了ウエハー、（３）は１工程目不良マーク、
（４）は２工程目の不良マーク、（５）は１工程目ウエ
ハーマツプ、（６）は２工程目ウエハーマツプ、（７）
は１工程目カテゴリーシート、（８）は２工程目カテゴ
リーシート、（９）は最終ウエハーマツプ、（10）は最
終カテゴリーシートを示す。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】２工程以上の工程を有するウエハーテスト
工程において、そのウエハーテストのデータの集計を、
１工程づつのデータを保持し、最終的に全工程を重ね合
せた集計結果を出力できることを特徴とするウエハーテ
ストカテゴリー集計装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20320989A JPH06101511B2 (ja) | 1989-08-03 | 1989-08-03 | ウエハーテストカテゴリー集計装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20320989A JPH06101511B2 (ja) | 1989-08-03 | 1989-08-03 | ウエハーテストカテゴリー集計装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0366144A JPH0366144A (ja) | 1991-03-20 |
| JPH06101511B2 true JPH06101511B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=16470273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20320989A Expired - Lifetime JPH06101511B2 (ja) | 1989-08-03 | 1989-08-03 | ウエハーテストカテゴリー集計装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101511B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006128336A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | New Japan Radio Co Ltd | 半導体装置の検査方法 |
-
1989
- 1989-08-03 JP JP20320989A patent/JPH06101511B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006128336A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | New Japan Radio Co Ltd | 半導体装置の検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0366144A (ja) | 1991-03-20 |
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