JPS60247939A - 集積回路製造工程の自動化方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、集積回路製造工程の自動化方法に係り、特に
集積回路の識別情報を電気的に判定してその製造工程の
一部（テスト工程、捺印工程など）を自動化する方法に
関する。

〔発明の技術的背景〕

従来、集積回路（ＩＣ）ペレットの識別を行なうために
は、ＩＣ製造用マスクにたとえば製作番号等を記入し、
ＩＣペレット製造中に同時に上記識別番号等を書き込ん
でおくことによシ、目視による識別を行なっていた。同
様に、ＩＣ装置の識別を行なうだめには、その内部機能
に応じて分類された部品番号等をパッケージ外面に捺印
しておくことにより、目視による識別を行なっていた。

しだがって、ＩＣＬｖ製造に際して、ダイソートチスト
、最終テスト、・クツケージへの捺印、ノ臂ツキング等
を行なうときには、作業者が目視によシ識別番号等を読
み取シ、この識別番号等に応じてテスト装置に対するテ
ストプログラムのセット、捺印装置に対する捺印内容の
セット、ノクツキング装置に対するノ等ッキング作業内
容のセット等を行なう必要があった。

〔背景技術の問題点〕

しかし、上述したような目視による識別は、手間がかか
るだけでなく誤シが生じ易く、テストプログラムのセツ
ティングミス、捺印装置の捺印ミス、バッキング中に異
品種が混入するなどのミスを起す原因になるので、ＩＣ
の製造工程の合理化の妨げとなったシ歩留シの低下をま
ねくなどの欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、ＩＣの識
別情報を正確かつ迅速に判定可能であシ、判定結果に基
いて次工程のセツティングを正確かつ迅速に行なうこと
ができ、合理化および歩留シの向上を図シ得る集積回路
製造工程の自動化方法を提供するものである。

〔発明の概要〕

即ち、本発明の集積回路製造工程の自動化方法は、集積
回路の種類に対応して与えられる識別情報として固有の
抵抗値あるいは抵抗比を有する抵抗あるいは固有の識別
データを格納したメモリなどを集積回路に設けておき、
上記識別情報を電気的に判定し、この判定結果に応じて
ダイソートテスト、最終テスト、捺印、ノやッキング等
の工程のセツティングを自動的に行なうようにしたこと
を特徴とするものである。

これによって、製造工程の合理化が可能になシ、正確か
つ迅速な製造が可能になシ、テストの信頼性の向上、歩
留シの向上、異品種の混採などを容易に実現できる。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。第１図は、本発明方法が適用されるＩＣペレット１０
の一例の概要を示しておシ、通常の内部論理回路１１の
他にペレット識別情報（製作番号等）に応じて定められ
た抵抗値を有する抵抗Ｒを内蔵しており、それらはそれ
ぞれポンディングパッド１２ｈ〜１２ｅおよび１３ｍ、
１３ｂに接続されている。

上記構成のＩＣペレット１ｏによれば、その識別番号に
応じた抵抗Ｒを有しているので、がンディングノぐラド
１３ｇ、１３ｂを通じて外部から上記抵抗Ｒの抵抗値を
電気的に検出可能であシ、この検出結果に基づいて識別
番号を電気的に正確かつ迅速に自動判定可能である。し
たがって、この判定に引き続いてテスト等を行なう場合
に、抵抗値検出→識別番号判定→テスト等の一連の作業
を合理的に自動化することが可能になシ、その方法の一
実施例を次に詳述する。

即ち、第２図はＩＣペレットのダインート時におけるＩ
Ｃペレットの供試サンプル２１とＩＣ被レットテスタ２
２との接続例を示しておシ、２３はサンプル２１内の前
記抵抗（第１図Ｒ）に接続される抵抗値測定系ケーブル
、２４は通常のペレットテストに使用されるペレットテ
スト用ケーブルである。第３図は上記第２図のテスタ２
２による自動テスト手順を示している。

先ず、テスト開始によシナンプル２１内の前記抵抗Ｒの
抵抗値を測定し、予め記憶している抵抗値対識別番号テ
ーブルを参照して上記測定結果に対応する識別番号（た
とえば部品番号）を自動的に判定し、予め用意して込る
各種のテストプログラムの中から上記サンプル２１に対
応するテストプログラムを自動的に選択してテストを実
行するものである。

第４図は、本発明の第２実施例として、第１図に示した
ＩＣペレット１０をノ４　、ｙケージングしたＩＣデバ
イス４０に対して最終テスト→部品番号捺印→バッキン
グの一連の作業を自動的に行なう方法を実施するための
システム構成を示している。即ち、４１はＩＣテスタ、
４２はテストヘッド、４３は抵抗値測定系ケーブル、４
４はＩＣテスト用ケーブル、４５は良品選別機、４６は
良否判定報告用ケーブル、４７は捺釦装置、４８および
４ｇは部品番号報告用ケーブル、５０はバッキング装置
である。

第５図は上記第４図のシステムにおける各作業の手順を
示している。先ず、ＩＣテスタ４１はＩＣデバイス４０
内のペレット上の識別用抵抗（第１図Ｒ）の抵抗値をテ
ストヘッド４２およびＩＣデバイスピンを介して測定し
、その測定値に対応する部品番号を抵抗値対部品番号テ
ーブルを参照して判定する。引き続き、ＩＣテスタ４１
は上記部品番号に対応したテストプログラムを呼び出し
、そのテストプログラムでＩＣデバイス４０のテストを
行なう゛。このテスト後に、ＩＣデバイス４０を良品選
別機４５に自動的に送シ、これと並行してＩＣテスタ４
１から上記ＩＣデバイス４０のテスト結果（良否判定結
果）を良品選別機４５に報告する。良品選別機４５は、
送られてきたＩＣデバイス４０が良品ならば選別して捺
印装置４７に送９、不良品は捨てる。捺印装置４７は、
送られてきたＩＣデバイス４０にＩＣテスタ４１から報
告される部品番号を捺印してノ４ッキング装置５０に送
る。バッキング装置５０は、送られてきたＩＣデバイス
４０に対してＩＣテスタ４１から報告される部品番号に
応じてバッキングを行なう。この場合、同じ部品番号の
ＩＣデバイスは同シパッケージにバッキングを行なう。

上述したような第４図の自動化システムを採用すれば、
部品番号が異なる異品種のＩＣデバイスを同じ製造ライ
ンに流して混採することも可能になシ、また人手を用い
ないので各作業の誤まりも少なくなシ、歩留りも向上す
る。

なお、上記各実施例では、製造工程自動化の対象となる
ＩＣ（ＩＣペレット、ＩＣデバイス）にその識別情報に
応じて固有の抵抗値を有する抵抗を設けておき、その抵
抗値を測定したが、これに限らず、識別情報に応じて固
有の抵抗比を有する２個以上の抵抗成分をＩＣに設けて
おき、その抵抗比を測定するようにしてもよく、ＲＯＭ
　（読出専用メモリ）用ｒｃの場合には識別情報に応じ
て固有の識別データを特定の識別データ用アドレス領域
に格納しておき、その識別データを読み出すようにする
など種々の変形実施が可能である。

〔発明の効果〕

上述したように本発明の集積回路製造工程の自動化方法
によれば、ＩＣペレットテスト工程に適用した場合には
テストプログラムを自動的にかつ正確に設定でき、テス
ト効率を向上させることができる。また、ＩＣデバイス
の最終テスト、部品番号捺印、バッキングの一連の工程
に適用した場合には、一連の作業を自動的に正確かつ迅
速に実施でき、作業時間の大幅な短縮、ＩＣデバイスの
製造コストの低減、歩留シの向上が可能になる。まだ、
上記一連の作業に際して、その作業ラインに異品種デバ
イスを同時に流して混採することか可能であシ、製造ラ
インの構成上の柔軟性が大幅に増す利点もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法が適用されるＩＣペレットの一例を
概略的に示す構成説明図、第２図は本発明に係るＩＣ製
造工程の自動化方法の一実施例を説明するために示すシ
ステム構成図、第３図は第２図のシステムの動作説明の
ために示すフローチャート、第４図は本発明の他の実施
例を説明するために示すシステム構成図、第５図は第４
図のシステムの動作説明のために示すフローチャートで
ある。 １０・・・ＩＣペレット、４０・・・ＩＣデバイス、２
２・・・ＩＣ−！！レットテスタ、４ノ・・・ＩＣテス
タ、４７・・・捺印装置、５０・・・ノ４　ｙキング装
置、Ｒ・・・抵抗。 出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦第１図 第４図　ｍ５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）集積回路デバイスにその種類に応じて与えられる
   識別情報を外部から電気的検出が可能な手段によシ持た
   せておき、上記集積回路ペレットのペレットテスト工程
   あるいは上記集積回路ベレットをパッケージングした集
   積回路デバイスの最終テスト、ハラケージ捺印工程、パ
   ッキング工程の少なくとも一工程に際して前記識別情報
   を自動的に判定し、この判定結果に基づいて集積回路ベ
   レットあるいは集積回路デバイスに対する所要の作業を
   自動的に行なうようにしたことを特徴とする集積回路製
   造工程の自動化方法。 （２ン　前記電気的検出が可能な手段は、識別情報に応
   じた抵抗値を有する抵抗あるいは識別情報に応じた抵抗
   比を有する２個の抵抗成分ちるいは識別情報に応じた識
   別データを特定のアドレス領域に格納したメモリである
   ことを特徴とする特許 製造工程の自動化方法。