JPH0585562B2 - - Google Patents

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JPH0585562B2
JPH0585562B2 JP61166590A JP16659086A JPH0585562B2 JP H0585562 B2 JPH0585562 B2 JP H0585562B2 JP 61166590 A JP61166590 A JP 61166590A JP 16659086 A JP16659086 A JP 16659086A JP H0585562 B2 JPH0585562 B2 JP H0585562B2
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JP
Japan
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group
formula
photosensitive resin
resin composition
parts
Prior art date
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JP61166590A
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JPS6323901A (ja
Inventor
Tsugio Yamaoka
Kenichi Koseki
Tsutomu Shirosaki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Kayaku Co Ltd
Original Assignee
Nippon Kayaku Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/031Organic compounds not covered by group G03F7/029

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野 本発明は光重合性樹脂組成物に関する。更に詳
しくは光重合開始剤に特徴を有する感光性樹脂組
成物に関する。 従来の技術 近年、情報記録の分野において従来から広く使
用されている紫外線に代えて可視レーザー光の利
用が盛に検討されている。例えばアルゴンの可視
レーザー光を使用して、PS版あるいはドライフ
イルム等に画像を直接描画する方法が検討されて
いる。 従来、紫外部に比較的、高密度に感応する光重
合開始剤系は多くあるが、可視光に高感度に感応
ししかもその感光層が長期間安定なものは少な
い。 例えばベンゾインアルキルエーテル、ベンジル
ジメチルケタール等の従来の光重合開始剤は紫外
部領域に於いては比較的高感度に感応するが可視
部領域に於いては殆んど開始剤能を有しない。
又、ピリリニウム塩又はチアピリリニウム塩類は
500nm近傍の光に対して比較的高感度に感応する
が、その感光層の経時安定性がよくない。 発明が解決しようとする問題点 紫外線のみならず可視光線に対しても高感度に
感応しかつ感光層の保存安定性にすぐれた感光性
樹脂組成物の開発が望まれている。 問題点を解決するための手段 本発明者らは前記したような問題点を解決すべ
く鋭意研究を重ねた結果本発明に至つた。即ち本
発明はエチレン性不飽和二重結合を分子中に少な
くとも1個有する光重合又は光架橋可能な化合物
および光重合開始剤を必須の構成成分とする感光
性樹脂組成物において、該光重合開始剤が式
()で表されるクマリン化合物と、有機過酸化
物との組合せであることを特徴とする感光性樹脂
組成物
【化】 〔式()中、R1,R2,R3はそれぞれ独立し
て水素原子;クロル原子;低級アルコキシ基;低
級ジアルキルアミノ基;低級ジアルケニルアミノ
基又は脂環式アミノ基を表す。 又は炭素及びヘテロ原子の総数が5〜9個の複
素環基を表し、Zは水素原子又はシアノ基を表
す。 を提供する。 本発明において光重合開始剤の一成分として使
用されるクマリン化合物は前記式()で表され
るものであるが、式()においてR1,R2,R3
の具体例としては水素原子;クロル原子;メトキ
シ、エトキシ、ブトキシなどの低級アルコキシ
基;ジメチルアミノ、ジエチルアミノ、N−メチ
ル−Nプロピルアミノなどの低級ジアルキルアミ
ノ基;N−モルホリノ、N−ピペリジノなどの脂
環式アモノ基;ジプロペニルアミノ、ジ(α−メ
チルプロペニル)アミノ基などの低級ジアルケニ
ルアミノ基などが挙げられる。 Xは炭素及びヘテロ原子の総数が5〜9個の複
素環の具体例としては2−イミダゾール、2−N
−メチルイミダゾール、2−ベンズイミダゾー
ル、2−(4−フエニル)−イミダゾール、2−オ
キサゾール、2−ベンズオキサゾール、2−(4
−フエニル)オキサゾール、2−チアゾール、2
−ベンズチアゾール、2−(4−フエニル)チア
ゾール、2−(5−フエニル)チアジアゾール、
2−(5−トリル)チアジアゾール、2−(5−ビ
フエニル)チアジアゾール、2−(5−フエニル)
オキサジアゾール、2−(5−p−メトキシフエ
ニル)オキサジアゾール、2−(5−p−クロル
フエニル)オキサジアゾール等の残基が挙げられ
る。 前記式()のクマリン化合物の好ましい具体
例としては以下のものが挙げられる。 7−ジエチルアミノ−5,7′−ジメトキシ−
3,3′−ビスクマリン、3−(2′−ベンズイミダ
ゾイル)−7−ジエチルアミノクマリン、3−
(2′−ベンズオキサゾイル)−7−ジエチルアミノ
クマリン、3−(5′−フエニルチアジアゾイル−
2′)−7−ジエチルアミノクマリン、3−(2′−ベ
ンズチアゾイル)−7−ジエチルアミノクマリン。 又本発明において式()のクマリン化合物と
組合わせて使用される有機過酸化物の好ましいも
のとしては以下のものが挙げられる。 メチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサノ
ン−パーオキサイド、アセチルアセトンパーオキ
サイド、t−ブチルパーオキサイド、クメンハイ
ドロパーオキサイド,ジイソプロピルベンゼン−
パーオキサイド、t−ブチルクミルパーオキサイ
ド、ジクミルパーオキサイド、α,α′−ビス(t
−ブチルーパーオキシイソプロピル)ベンゼン、
t−ブチル、パーオキシイソプロピルカーボネー
ト、ベンゾイルパーオキサイド、ジ(t−ブチル
パーオキシ)イソフタレート、t−ブチルパーオ
キシベンゾエート、3,3′,4,4′−テトラ−
(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフエ
ノン、2,5−ジメチル、2,5−(ジベンゾイ
ルパーオキシ)ヘキサンなど、これらの中で特に
好ましいものとしてはジ(t−ブチルパ−オキ
シ)イソフタレート、ジ(t−ブチルパーオキ
シ)テレフタレート、ジ(t−ブチルパ−オキ
シ)フタレート、3,3′,4,4′−テトラ(t−
ブチルパ−オキシカルボニル)ベンゾフエノンが
挙げられる。 式()のクマリン化合物に添加される有機過
酸化物の割合は前者1部に対して0.1〜10部より
好ましくは0.5〜2.0部であり、これらの混合系か
ら成る光重合開始剤は後述する感光性樹脂100部
に対して0.5〜30部、好ましくは1〜25部の割合
で使用される。 本発明の感光性樹脂組成物は前記の光重合開始
剤および感光性樹脂から構成されるが、ここで感
光性樹脂は1分子中に少なくともエチレン性不飽
和二重結合を1個有する光重合、光架橋可能なモ
ノマー、オリゴマー、プレポリマー及びそれらの
混合物から構成され、必要に応じて、バインダー
ポリマー、熱重合禁止剤、可塑剤等を添加して調
製される。 光架橋又は光重合可能なモノマー、オリゴマ
ー、プレポリマーとしては、エチルアクリレー
ト、ブチルアクリレート、ヒドロキシエチルアク
リレート、ヒドロキシエチルメタアクリレート、
エチレングリコールジメタアクリレート、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリメタアクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレートのような1価又は多
価アルコールのアクリル酸又はメタアクリル酸の
エステル類;多価アルコールと一塩基酸又は多塩
基酸を縮合して得られるポリエステルプレポリマ
ーに(メタ)アクリル酸を、反応して得られるポ
リエステル(メタ)アクリレート;ポリオール基
と2個のイソシアネート基をもつ化合物を反応さ
せた後(メタ)アクリル酸を反応させて得られる
ポリウレタン(メタ)アクリレート;エポキシ樹
脂と(メタ)アクリル酸を反応させて得られるエ
ポキシ(メタ)アクリレート;
【化】 を主鎖に有するポリエステル;シンナミリデン基
を、側鎖又は末端に有するポリマーなど通常の光
重合性樹脂が用いられる。 又バインダーを用いる場合にはポリメタアクリ
ル酸エステル又はその部分加水分解物;ポリ酢酸
ビニル又はその加水分解物;ポリスチレン;ポリ
ビニルブチラール;ポリクロロプレン;ポリ塩化
ビニル;塩素化ポリエチレン;塩素化ポリプロピ
レン;ポリビニルピロリドン;スチレンと無水マ
レイン酸の共重合体又はそのハーフエステル;ア
クリル酸、アクリル酸エステル、メタアクリル
酸、メタアクリル酸エステル、アクリルアミド、
アクリルニトリルなどの共重合可能なモノマー群
から選ばれた、ガラス転移点が35℃以上である共
重合体などが用いられる。そしてこれらのバイン
ダーは光重合又は光架橋可能なモノマー、オリゴ
マー1部に対して0.1〜3部より好ましくは0.3〜
1.5部の範囲で使用するのが好都合である。 上記の感光性樹脂組成物を塗布して得られる感
光被膜は感度およびその経時安定性に秀れており
特に可視レーザー光を光源とするレーザー製版、
レーザードライフイルム用拡大投影露光用等に適
している。に最適である。 以下実施例によつて本発明を更に具体的に説明
する。 参考例 クマリン化合物の合成例 クマリン化合物の合成は Chemical Reviews.36,1,(1945)および
Heterocyclic Conpounds(Elderfield)Vol.2.記
載の方法による。 (イ) 3−(2′−ベンズイミダゾイル)−7−ジエチ
ルアミノクマリン エタノール50ml中に2−メトキシカルボニルメ
チルベンズイミダゾール2.0g、4−ジエチルア
ミノサリチルアルデヒド2.0g、ピペリジン1ml
を加え還流下に5時間反応させて下記の構造式(1)
の黄色結晶を得る。
【化】 以下同様にして表1のクマリン化合物を得た。
なおλmaxはメタノール中での測定値である。
【表】
【表】 実施例 感光液組成; バインダーポリマー 100部 多官能アクリレート(モノマー) 100部 タマリン化合物 4〜6部 有機過酸化物 2〜8部 メチルセルソルブ 1000部 上記の感光液を陽極酸化したアルミ板上に乾燥
膜厚さ1μmとなるようにスピンナーを用いて塗布
した。 これらの感光液組成の具体例を表2に記載し
た。 〔硬化試験〕 次いで可視光及び可視レーザー光を用いて、上
記の感光層について、感度試験を行つた。 可視光は螢光ケミカルランプにシヤープカツト
フイルター、Y−43(東芝製)を用い、レーザー
光は5Wのアルゴンレーザーの488nmのシングル
ラインビーム(ビーム径1.25mm)を用いて行つ
た。露光後、エタノール又はケイ酸ソーダ溶液
(0.1%)を用いて未露光部を溶出し、画像部をメ
チルブルー/エタノール溶液で染色することによ
り硬化の有無を判定した。 塗膜が光硬化するに必要な最低照射エネルギー
により感度を判定した。表2に於いて感度の数値
の小さいもの程感度が高いことを示す。
【表】
【表】 表2の実施例および参考例の評価結果から有機
過酸化物を添加することにより、著しい感度の向
上が認められる。 経時安定性試験 表2の実施例1,3,8,11,13の感光液をコ
ートしたアルミ板を70℃で5時間あるいは25℃で
3カ月間放置した後ケミカルランプ(Y−43フイ
ルター)、Arレーザー(488nm)を照射したとこ
ろいずれも感度の低下及び”カブリ”現象は認め
られなかつた。 発明の効果 可視光線に対して高感度に感応しかつ感光層の
存在安定性にすぐれた感光性樹脂組成物がえられ
た。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 エチレン性不飽和二重結合を分子中に少なく
    とも1個有する光重合又は光架橋可能な化合物お
    よび光重合開始剤を必須の構成成分とする感光性
    樹脂組成物において、該光重合開始剤が式()
    で表されるクマリン化合物と、有機過酸化物との
    組み合せであることを特徴とする感光性樹脂組成
    物。 式() 【化】 〔式()中、R1,R2,R3はそれぞれ独立し
    て水素原子;クロル原子;低級アルコキシ基;低
    級ジアルキルアミノ基;低級ジアルケニルアミノ
    基又は脂環式アミノ基を表す。 Xは炭素及びヘテロ原子の総数が5〜9個の複
    素環基を表し、Zは水素原子又はシアノ基を表
    す。〕
JP16659086A 1986-07-17 1986-07-17 感光性樹脂組成物 Granted JPS6323901A (ja)

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