JPS6323901A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

感光性樹脂組成物

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JPS6323901A
JPS6323901A JP16659086A JP16659086A JPS6323901A JP S6323901 A JPS6323901 A JP S6323901A JP 16659086 A JP16659086 A JP 16659086A JP 16659086 A JP16659086 A JP 16659086A JP S6323901 A JPS6323901 A JP S6323901A
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亜夫 山岡
Kenichi Koseki
小関 健一
Tsutomu Shirosaki
城崎 勉
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Nippon Kayaku Co Ltd
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/031Organic compounds not covered by group G03F7/029

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  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光重合性両脂組成物に関する。更に詳しくは光
重合開始剤に特徴を有する感光性樹脂組成物に関する。
従来の技術 近年、情報記録の分野において従来から広く使用されて
いる紫外線に代えて可視レーザー光の利用が盛に検討さ
れている。例えばアルゴンの可視レーザー光を使用して
、PS版あるいはドライフィルム等に画像を直接描画す
る方法が検討されている。
従来、紫外部に比較的、高感度に感応する光重合開始剤
系は多くあるが、可視光に高感度に感応ししかもその感
光層が長期間安定なものは少ない。
例、t ハベンゾインアルキルエーチル、ベンジルジメ
チルケタール等の従来の光重合開始剤は紫外部領域に於
いては比較的高感度に感応するが可視部領域に於いては
殆んど開始剤能を有しない。
又、ビリリニクム塩又はチアビリリニウム塩類はs o
 o nm近傍の光に対して比較的高感度に感応するが
、その感光^時安定性がよくない。
発明が解決しようとする問題点 紫外線のみならず可視光線に対しても高感度に感応しか
つ感光層の保存安定性にすぐれた感光性樹脂組成物の開
発が望まれている。
問題点を解決するための手段 本発明者らは前記したような問題点を解決すべく鋭意研
究を重ねた結果本発明に至った。即ち本発明はエチレン
性不飽和二重結合を分子中に少なくとも1個有する光重
合又は光架橋可能な化合物および光重合開始剤を必須の
構成成分とする感光性樹脂組成物において、該光重合開
始剤が式CI)で表されるクマリン化合物と、有機過酸
化物との組合せであることを特徴とする感光性樹脂組成
物〔式(I)中、R1,R2,R3はそれぞれ独立して
水素原子;クロル原子;低級アルコキシ基;低級ジアル
キルアミノ基;低級ジアルケニルアミノ基又は脂環式ア
ミン基を表す。
又は炭素及びペテロ原子の総数が5〜9個の複コキシ基
;置換又は非置換のフェニル基;置換を提供する。
本発明において光重合開始剤の一成分として使用される
クマリン化合物は前記式CI)で表される。
ものであるが1式(1)においてR,、R2,R3の具
体例としては水素原子;クロル原子;メトキン。
エトキシ、ブトキシなどの低級アルコキシ基;ジメチル
アミノ、ジエチルアミノ、N−メチル−N−グロビルア
ミノなどの低級ジアルキルアミノ基;N−モルホリノ、
N−ピペリジノなどの脂環式アミノ基;ジプロベニルア
ミノ、ジ(α−メチルプロペニル)アミン基などの低級
ジアルケニルアミノ基などが挙げられる。
口 Xは炭素及びヘテさ原子の総数が5〜9個の複素2−ペ
ンスイミタソール、2−(4−フェニル)−イミダゾー
ル、2−オキサゾール、2−ベンズオキサゾール、2−
(4−フェニル)オキサゾール、2−チアゾール、2−
ベンズチアゾール。
2−(4−フェニル)チアゾール、2−(5−フェニル
)チアジアゾール、2−(5−ト!Iル)チアジアゾー
ル、2−(5−ビフェニル)チアジアゾール、2−(5
−フェニル)オキサシアソール°。
2−(5−p−メトキンフェニル)オキサジアゾール、
2−(5−p−クロルフェニル)オキサジアゾール等の
残基が挙げられる。
メチル、エチル、フロビル、ヘキシル、β−シアノエチ
ル、エトキシカルボニルメチル、ブトキシカルボニルメ
チルなどの置換又は非置換の01〜C6ノアルキル基;
フェニル、p−7アノフエニル。
p−メチルフェニルsp−メトキンフェニル、m−ヒド
ロキシカルボニルフェニルなどの置換又は非置換のフェ
ニル基;ステ リル、p−メトキシステリル、p−7アノスチリル、p
−シアノスチリル、m−クロルステリルなどのステリル
基及び下記の一般式(II)で表される3−クマリノ基
、 同じ。〕 などが挙げられる。
前記式CI)のクマリン化合物の 好ましい具体例としては以下のものが挙げられる。
3−アセチル−7−ジエチルアミノクマリン。
3−ベンゾイル−7−ジエチルアミノクマリン。
3−ベンゾイル−5,7,−ジメトキシクマリン。
メチル、7−ジエチルアミン−3−クマリノイルアセテ
ート。
3−シンナモイル−7−ジエチルアミノクマリン。
3.3′−カルボニルビス(7−ジエチルアミノ)クマ
リン。
3.3′−カルボニルビス(7−ジアリルアミノ)クマ
リン。
3.3′−カルボニルビス(5,7−ジメトキシ)クマ
リン。
7−ジエテルアミノー5.7′−ジメトキシ−3,3′
−ビスクマリン。
3−(2’−ベンズイミダゾイル)−7−ジエチルアミ
ノクマリン。
5−(2’−ベンズオキ丈ゾイル)−7−ジエチルアミ
ノクマリン、又本発明において式CI)のり゛マリン化
合物と組合せて使用される有機過酸化物の好ましいもの
としては以下のものが挙げられる。
メチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサノン−パー
オキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、t−ブ
チルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、
ジインプロピルベンゼン−パーオキサイド、t−ブチル
クミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、α、
α′−ビス(シープチルーパーオキシイングロビル)ベ
ンゼン。
t−ブチル、パーオキシインプロピルカーボネート、ベ
ンゾイルパーオキサイド、ジ(t−ブチルパーオキシ)
インフタレート、ジ−ブチルパーオキ7ベンゾエートs
3,3’、4.4’−テトラ−(t−ブチルパーオキシ
カルボニル)ベンゾフェノン。
2.5−ジメチル、2.5−(ジベンゾイルパーオキシ
)ヘキサンなど、これらの中で特に好ましいものとして
はジ(む−ブチルパーオキシ)インフタレート、ジ(t
−ブチルパーオキシ)テレフタレート、ジ(t−ブチル
パーオキシ)フタレート。
3.314,4′−テトラ(t−)゛チルパーオキシカ
ルボニル)ベンゾフェノンが挙げられる。
す、これらの混合系から成る光重合開始剤は後述する感
光性樹脂100部に対して065〜30部、好ましくは
1〜25部の割合で使用される。
不発明の感光性樹脂組双物は前記の光重合開始剤および
感光性樹脂から構成されるが、ここで感光性樹脂は1分
子中に少なくともエチレン性不飽和二重結合を1個有す
る光重合、光架橋可能な七ツマ−、オリゴマー、プレポ
リマー及びそれらの混合物から構成され、必要に応じて
、バインダーポリマー、熱重合禁止剤、可塑剤等を添加
して調製される。
光架橋又は光重合可能なモノマー、オリゴマー。
プレポリマーとしては、エチルアクリレート、ブチルア
クリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキ
シエチルメタアクリレート、エチレングリコールジメタ
アクリレ−)、べ7り!IJスリトールトリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリメタアクリレート、ジベ
ンタエリスリトー類;多価アルコールと一塩基酸又は多
塩基酸を縮合して得られるポリエステルプレポリマーに
(メタ)アクリル酸を1反応して得られるポリエステル
(メタ)アクリレート;ポリオール基と2個のイソシア
ネート基をもつ化合物を反応させた後(メタ)アクリル
酸を反応させて得られるポリウレタン(メタ)アクリレ
ート;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させて
得られるエポキシ(メタ)アクリレート; リエスチル;ンンナミリデン基を、@鎖又は末端に有す
るポリマーなど通常の光重合性樹脂が用いられる。
又バインダーを用いる場合にはポリメタアクリル酸エス
テル又はその部分加水分解物;ポリ酢酸ビニル又はその
加水分解物;ポリスチレン;ポリビニルブチラール;ポ
リクロロプレン;ポリ塩化ビニル;塩素化ポリエチレン
;塩素化ポリプロピレン;ポリビニルピロリドン;ステ
レント無水マレイン酸の共重合体又はそのハーフェステ
ル;アクリル酸、アクリル酸エステル、メタアクリル酸
メタアクリル酸エステル、アクリルアミド、アクリルニ
トリルなどの共重合可能なモノマー群から締 選ばれた。ガラス転首点が35℃以上である共重合体な
どが用いられる。そしてこれらのバインダ。
が好都合である。
上記の感光性樹脂組成物を塗布して得られる感光被膜は
感度およびその経時安定性に秀れており以下実施例によ
って本発明を更に具体的に説明する。
参考例 クマリン化合物の合成例 クマリン化合物の合成は Chemical Reviews、 36.1+ (
1945)  およびHe仁erocyclic  C
onpounag (KlderfieLa  )  
Vol、2゜記載の方法による。
(イ) メチル−7−ジエチルアミノ−3−クマリノイ
ルアセテートエタノール100aj、4−ジエチルアミ
ノサリチルアルデヒド19.37、ジメチル−1,3−
アセトンジカルボキシレート19L?に触媒としてピペ
リジン1dを加え還流下に3時間反応させて、下記の構
造式(1)で表される黄色結晶262を得る。
(ロ) 7−ジエテルアミノー7′−メトキシ−3,3
′−カルボニルビスクマリン。
上記(1)のクマリン化合物347.4−メトキンサリ
チルアルデヒド202.ピペリジン10ILt。
エタノール500扉lを還流下、5時間反応させて下記
の構造式(2)の黄色結晶を得る。
(メタノール) (ハ) 3−(4−エトキシシンナモイル)−7−ジエ
チルアミノクマリン。
エタノール100d中に3−アセテルー7−ジエチルア
ミノクマリン2.6i7,4−エトキシベンズアルデヒ
ド+、87.ピペリジン5dを加え還流下に6時間反応
させて下記の構造式(3)の黄色結晶を得る。
○ に) 3−(2’−ベンズイミダゾイル)−7−ジエチ
ルアミノクマリン エタノール50m1中に2−メトキシカルボニルメチル
ベンズイミダゾール2.05F、4−ジエf /lzア
ミノサリチルアルデヒド2.0?、  ピペリジン1R
tを加え還流下に5時間反応させて下記の構造式(りの
黄色結晶を得る。
以下同様にして表1のクマリン化合物を得た。
なおMaxはメタノール中での測定値である。
表1  クマリン化合物 実施例 感光液組成: バインダーポリマー      100部多官能アクリ
レート(モノマー)   100部クマリン化合物  
      4〜6部有機過酸化物         
2〜8部メチルセルンルブ      1000部上記
の感光液を哨榎酸化したアルミ板上に乾燥膜厚さ1μm
 となるようにスピンナーを用いて塗布した。
これらの感光液組成の具体例を表2に記載した。
〔硬化試験〕
次いで可視光及び可視レーザー光を用いて、上記の感光
層について、感度試験を行った。
可視光は螢光ケミカルランプに7ヤープカントフイルタ
ー、Y−43(東芝製)を用い、レーザー光は5Wのア
ルゴンレーザーの488 nm  のソングルラインビ
ーム(ビーム径t、25 ml )を用いて行った。露
光後、エタノール又はケイ酸ノーダ溶液(0,1%)を
用いて未露光部を浴出し1画像部をメチルブルー/エタ
ノール溶液で染色することにより硬化の有無を判定した
塗膜が光硬化するに必要な最低照射エネルギーにより感
度を判定した。表2に於いて感度の数値の小さいもの程
感度が高いことを示す。
表2  感度評価 ※1 ※1.2 ※2 ※2 ※2 ※1 ()内の数値は感光液組成中のクマリン化合物、
有機過酸化物の部数を表す。
※2 略号は以下の通り。
有機過酸化物 B、B、P ; (3,s’、 4.4′−テトラ−(
t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノ/〕 B、H,P i (ジー(t−ブチルパーオキシ)−フ
タレート〕B工PH; (ジー(t−ブチルパーオキシ
)−インフタレート〕 B T P i (ジー(t−ブチルパーオキシ)−テ
レフタレート〕 バインダーポリマー PVP i  ポリビニルピロリドン 525; アルカリ可溶性ポリマー (Goodrich社製) 526 ;      同  上 XL−27i       同  上 XL−44;       同  上 条官能アクリレート(モノマー) PETA i  ペンタエリスリトールトリアクリレー
トpETT i  ペンタエリスリトールテトラアクリ
レートPEA  ; 現像液 E; エタノール S;O,1%ケイ酸ソーダ 表2の実施例および参考例の評価結果から有機過酸化物
を添加することにより、著しい感度の向上が認められる
経時安定性試験 ′カプリ′現象は認められなかった。
発明の効果

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、エチレン性不飽和二重結合を分子中に少なくとも1
    個有する光重合又は光架橋可能な化合物および光重合開
    始剤を必須の構成成分とする感光性樹脂組成物において
    、該光重合開始剤が式( I )で表されるクマリン化合
    物と、有機過酸化物との組合せであることを特徴とする
    感光性樹脂組成物。 式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) 〔式( I )中、R_1、R_2、R_3はそれぞれ独
    立して水素原子;クロル原子:低級アルコキシ基;低級
    ジアルキルアミノ基;低級ジアルケニルアミノ基又は脂
    環式アミノ基を表す。 Xは炭素及びヘテロ原子の総数が5〜9個の複素環基又
    は▲数式、化学式、表等があります▼を表す。ここにY
    は炭素数1〜6の置換又は非置換のアルキル基;低級ア
    ルコキシ基;置換又は非置換のフエニル基;置換又は非
    置換のスチリル基又は置換又は非置換の3′−クマリノ
    基を表す。又Zは水素原子又はシアノ基を表す。〕
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