JPH0585039B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、極限環境（高真空、極低温等）のチ
ヤンバー内でワークを移動させる移動テーブルに
関する。

〔発明の概要〕

本発明は、極限環境のチヤンバー内でワークを
３次元方向に移動させる移動テーブルを、チヤン
バー外から駆動できるように構成したものであ
る。

〔従来の技術〕

従来、高真空、極低温等の極限環境のチヤンバ
ー内でワークを３次元方向に移動させる場合、ア
クチユエータ等を含む駆動のための機構部はチヤ
ンバー内部に設け、外部から電気信号による制御
で行うものが多い。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の技術では、上記環境のチヤンバー内に駆
動部をおくと駆動部を構成するモータ等が特別仕
様のものとなりコストが高くなるし高パワーのモ
ータ等からの発熱のため使用できず負荷の大きい
仕事は不得手であり、特に高真空や極低温の環境
に悪い影響を与えるものであつた。

〔課題を解決するための手段〕

従来の問題点を解決するために、本発明は高パ
ワーな駆動部をチヤンバー外に置き外部から内部
の３次元テーブルを駆動できるようにしたもので
ある。

〔作用〕

このチヤンバー内でワークを３次元方向に移動
させる移動テーブルをチヤンバー外から駆動でき
るように構成したため高パワーなモータでも低コ
ストで使用できるとともにチヤンバーの開・閉に
際し駆動機構の結合の離脱を容易にできるように
なつた。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を第１図ＡとＢに基づいて
説明する。

第１図Ａにおいて、チヤンバー１は下部の底板
２は下方に３次元移動テーブル全体を乗せたまま
上・下方向に移動できる構造になつている。その
継目は金属シール３等が入つている。三次元移動
テーブルは固定ベース４、Ｘ軸ベース５、Ｙ軸ベ
ース６、Ｚ軸ベース７からなつている。固定ベー
ス４は底板２とスタツド８でつながつておりその
中央部にはＺ軸駆動ラツク９がとおりXY動作が
可能な範囲で穴１０があいている。また固定ベー
ス４の上部にはＸ軸用のガイドバー１１が固定さ
れている。Ｘ軸ベース５は固定ベース４のガイド
バー１１を案内としてスライド部１２を介してＸ
軸方向に移動可能としている。Ｘ軸ベース５の上
部にはＹ軸ベース案内用のガイドバー１３が固定
されておりまた片面にはＸ軸駆動ラツク１４がは
まり込むためのＸ軸駆動用スライド溝１５があ
る。また固定ベース４と同じように中央部にはＺ
軸用ラツク９がとおりXY動作が可能な範囲で穴
１７があいている。Ｙ軸ベース６はＸ軸ベース５
のＹ軸案内ガイドバー１３を案内としてスライド
部１２を介してＹ軸方向に移動可能になつてい
る。Ｘ軸ベース５と同じように片面にはＹ軸駆動
用ラツク１８がはまりこむためのＹ軸駆動用スラ
イド溝１９がある。Ｙ軸ベース６の中央にはＺ軸
方向にスライドできるＺ軸ベース７が上下摺動可
能にはまりこんでおり、Ｚ軸駆動ラツク９がＺ軸
ベース７の下部のXYスライド溝２１を通してＺ
軸ベース７を上下動させることができる。またＺ
軸駆動ラツク９に貫通穴２２を明けておけば外部
からＺ軸ベース７へガス等を導入することも可能
である。

駆動モータ２３は外部に位置しモータによりピ
ニオン２４を回転させＸ，Ｙ，Ｚ軸駆動ラツク１
４，１８，９に動力を伝える機能を果たすことに
なるが、その気密のための手段は第１図Ａのよう
に金属ベロー２５をつかつてやるか、あるいは同
図Ｂのようにチヤンバー１内へモータ２３のシヤ
フト２０部分を磁性流体シール２６を通していれ
るか従来からの手段は任意である。

さらにクローズドループでＸ，Ｙ，Ｚベースの
位置を制御する場合は第１図Ｂに示すようにそれ
ぞれのベースにＸ反射鏡２７、Ｙ反射鏡２８、Ｚ
反射鏡２９をつけ外部からチヤンバー１の窓３０
を通してレーザー光線による光干渉法によつて位
置制御可能である。Ｚ反射鏡２９はＹ軸ベース６
にプリズムをおきＺ軸ベース７に反射鏡をおきプ
リブムを介して定位置の窓３０からレーザー光を
導入できる。

次に第２図ＡとＢに本発明の要部を拡大して示
す。

第２図Ａ，Ｂに示すものはＸ，Ｙ軸とも同じ構
造なので一つにして示してある。このようにＸ，
Ｙ軸スライド溝１５，１９とＸ，Ｙ軸駆動ラツク
１４，１８の先端の形はスライド方向に自由に移
動できるようにラツクに保持されたール３１があ
る。また底板２を下げチヤンバー１と離間すると
きには溝１５，１９からラツク１４，１８は簡単
にはずれるようになる。

第３図に示す断面図は真空チヤンバー内にワー
クを載置するＺベースを示すもので、このように
XYスライド溝２１はＸ，Ｙ方向にはＺ軸駆動ラ
ツク９に内蔵されたボール３１により自由に移動
でき、貫通穴２２を通して導かれたガス等は金属
ベロー２５をとおしてＺ軸ベースに導かれる。

以上のように構成することにより、本実施例で
は、ワークの取付けや移動テーブル等の清掃や保
守の時に、従来のように複雑な分解作業を行わな
くても、チヤンバー１をＸ軸やＹ軸用ベース等と
簡単に離間させることができ、操作性がよく、維
持コストも安い移動テーブルを実現することがで
きるという大きな効果を有する。

〔発明の効果〕

以上、本発明の真空チヤンバー内でワークを３
次元方向に移動させる移動テーブルをチヤンバー
外からクローズドループで位置制御して駆動でき
るように構成したため高パワーなモータでも低コ
ストで使用できるようになり高真空・極低温など
の環境を害することなく、移動テーブルの位置制
御ができるという効果を有する。

さらに、ワークの取付け、チヤンバー内部の清
掃、保守が簡単にでき、操作性がよく維持コスト
の安い真空チヤンバーを実現することができると
いう大きな効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ，Ｂは、本発明の断面図でＡは側面方
向から、Ｂは平面方向からの断面図である。第２
図Ａ，Ｂは、本発明のＸ，Ｙ軸駆動用スライド溝
とラツクの断面図でＡは側面方向から、Ｂは平面
方向からの断面図である。第３図は、本発明のワ
ークを載置する要部を示す断面図である。 １……チヤンバー、２……底板、５……Ｘ軸ベ
ース、６……Ｙ軸ベース、７……Ｚ軸ベース、９
……Ｚ軸用駆動ラツク、１０……穴、１４……Ｘ
軸駆動ラツク、１５……Ｘ軸駆動用スライド溝、
１７……穴、１８……Ｙ軸駆動用ラツク、１９…
…Ｙ軸駆動用スライド溝、２１……XYスライド
溝、２３……駆動モータ、２４……ピニオン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 真空チヤンバー内のワークを３次元方向に移
   動させる移動テーブルを、チヤンバー外からモー
   タで駆動するものにおいて、該モータとピニオン
   とラツクで構成し、Ｘ軸とＹ軸を駆動するラツク
   の先端はそれぞれＸ軸用とＹ軸用ベースの駆動用
   溝に係合し、Ｚ軸駆動ラツクの先端は、前記Ｘ軸
   用とＹ軸用のベースを貫いてＺ軸ベースに係合
   し、前記Ｘ軸用とＹ軸用ベース及び前記Ｚ軸ベー
   スとその駆動機構は底板と一体であり、前記Ｘ軸
   とＹ軸を駆動するラツクはチヤンバーと一体であ
   り、該チヤンバーと前記底板が離間するとき、前
   記Ｘ軸とＹ軸を駆動するラツクの先端と、前記駆
   動用溝との係合がはずれることを特徴とする真空
   チヤンバー用移動テーブル。