JPS63240772A - 硝子電極等のマニピュレ−タ - Google Patents

硝子電極等のマニピュレ−タ

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JPS63240772A
JPS63240772A JP7571287A JP7571287A JPS63240772A JP S63240772 A JPS63240772 A JP S63240772A JP 7571287 A JP7571287 A JP 7571287A JP 7571287 A JP7571287 A JP 7571287A JP S63240772 A JPS63240772 A JP S63240772A
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slider
manipulator
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Eiichi Narishige
栄一 成茂
Shinji Yoneyama
新二 米山
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NARISHIGE KK
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NARISHIGE KK
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野コ 本発明は、基礎医学などバイオニクスの分野において、
細胞に対して処理を施すべく硝子電極等を遠隔操作によ
り移動させるための硝子電極等のマニピュレータに関す
る。
「従来の技術」 従来のこの種のマニピュレータとしては、既に特開昭6
1−14559号公報記載の油圧形式のものが知られる
ところである。該マニピュレータは、第7図に示す如く
、遠隔操作部1と、硝子電極等2が装置される移動部3
とから成っている。
遠隔操作部1は、それぞれ摘み4.5を回すと、ピスト
ン6.7により押圧されるダイアフラム8゜9付きの油
圧シリンダ10.11を備えたX軸直線駆動機構12及
びY軸直線駆動機構13と、レバー14を傾倒させると
、その傾倒方向と傾倒量とに対応してダイアフラムを備
えた油圧シリンダ15.16がピストン17a、17b
で加圧されるX−Y軸駆動機構17と、上記レバー14
に内装されて、摘み1Bを回すとピストン19で押圧さ
れるダイアフラム20付きの油圧シリンダ21を備えた
Z軸駆動機構22とから成っている。上記X−Y軸駆動
機構17は、固定基台17cに縦方向(Y軸方向)に往
復摺動するY軸スライダー17dを装着し、該Y軸スラ
イダー17dに横方向(X軸方向)に往復摺動し、かつ
レバー14と結合するピン球17fが固設されたX軸ス
ライダー17eを装着し、基台17cとY軸スライダー
17dとの間にピストン17b及び油圧シリンダ16を
、又Y軸スライダー17dとX軸スライダー17eとの
間にピストン17a及び油圧シリンダ15をそれぞれ介
在させたものである。一方、移動部3は、それぞれ同一
構成のX軸柱動台23とY軸径動台24とZ軸柱動台2
5とを互いに縦設したものである。各移動台23〜25
は、本体26〜28にスライダー29〜31を往復摺動
自在に装着すると共に、本体26〜28にピストン32
〜34を設け、一方該ピストン32〜34にリターンス
プリング35〜37で常時当接するダイアフラム付きの
油圧シリンダ38〜40を、各スライダー29〜31に
設けたものである。リターンスプリング35〜37は、
各本体26〜28とスライダー29〜31との間に介入
させたもので、上記油圧シリンダ38〜40のダイアフ
ラムにピストン32〜34を常時当接させるといった機
能の他、本体26〜28に対するスライダー29〜31
の復動のための機能をも有する。上記X軸直線駆動機構
12の油圧シリンダ10は、耐圧チューブ41.42を
介してX軸柱動台23の油圧、シリンダ38に接続し、
該油圧シリンダ10゜38間にオイルを充填したもので
ある。Y軸直線駆動機構13の油圧シリンダ11は、耐
圧チューブ43.44を介してY軸径動台24の油圧シ
リンダ39に接続し、該油圧シリンダ11.39間にオ
イルを充填する。又X−Y軸駆動機構17も、油圧シリ
ンダ15に耐圧チューブ42を介してX軸柱動台23の
油圧シリンダ38を接続し、該油圧シリンダ15.38
間にオイルを充填し、又油圧シリンダ16に耐圧チュー
ブ44介してY軸径動台24の油圧シリンダ39を接続
し、該油圧シリンダ16.39間にオイルを充填する。
Z軸駆動機構22の油圧シリンダ21は、耐圧チューブ
45を介してZ軸柱動台25の油圧シリンダ4゜に接続
し、該油圧シリンダ21.40間にオイルを充填する。
Z軸柱動台25のスライダー31にはスタンド等に装着
するためのロッド25aを有し、又X軸移動台23の本
体26には硝子電極等2を取付けるための取付は金具2
3aを有している。そして、X軸直線駆動機構12、Y
軸直線駆動機構13、及びZ軸駆動機構22の各摘み4
゜5.18を回せば、油圧シリンダ10,11.21に
対するピストン6.7.19の押圧量の変化に応じて油
圧シリンダ10,11.21内の油圧が変化し、これに
伴いそれぞれ耐圧チューブ41〜45を介して移動部3
の対応する油圧シリンダ38〜40内の油圧も変化をし
て、油圧シリンダ38〜40に対するピストン32〜3
4の押圧量が変化し、これにより本体26〜28に対し
てスライダー29〜31が摺動して硝子電極等2が横(
X軸)、縦(Y軸)、及び高さくZ軸)の方向に移動す
る。又、x−yt*駆動機構17のレバー14を傾倒さ
せれば、レバー14の傾倒方向と傾倒量に応じて油圧シ
リンダ15.16に対するピストン17a、17bの押
圧量が変化し、これより耐圧チューブ42.44を介し
てX軸柱動台23及びY軸径動台24の各油圧シリンダ
38.39もピストン32.33による押圧量が変化し
、この結果上記と同様にX軸柱動台23及びY軸径動台
24の本体26.27に対してスライダー29.30が
摺動して、硝子電極等2がX軸方向及びY軸方向に移動
するものである。
その他、第1図及び第6図に示す如き電動式のマニピュ
レータも知られるところである。該マニピュレータは、
第1図に示す如く同一構成のX軸駆動機構46.Z軸駆
動機構48及びY軸駆動機構47を縦設し、X軸駆動機
構46をスタンドや顕微鏡に固定されたステー49に取
付け、一方Y軸電動機構47には硝子電極等2を取付け
るための取付は金具50を設けたものである。各電動機
構46〜48は、第6図に示す如く、本体51の収納孔
52にモータ53を収納し、モータ53の回転軸にギア
54.55を介してネジ軸56を回転可能に連結し、該
ネジ軸56にはスライダー57に垂設した雌ネジ筒58
を螺合させたものである。ネジ軸56は、その基端側を
一方の第1の端板59の保持筒59a内に挿通させ、他
端側を本体51の収納凹部60内に回転可能に臨ませる
ようになっている。ネジ軸56の保持筒59aから突出
した基端には、ギア55を螺着し、更にこの螺着側の反
対位置からギア55に対してビス63aを螺合させて、
ダブルネジ形式でネジ軸56の基端にギア55を固定す
る。又スライダー57を本体51の収納凹部60の上方
にリニアモーションベアリング61を介在させて摺動自
在に装着させである。一方の第1の端板59及びモータ
53が固設された第2の端板62は、本体51の一端に
ビス63で固設する。本体51の他端には、他方の端板
64を同様にビス63で固設する。上記ギア54.55
は本体51の一端にビス66で固設されるギアケース6
5で囲繞するようになっている。そして、モータ53を
駆動させれば、ギア54.55を介してネジ軸56が回
転するので、該ネジ軸56に雌ネジ筒58が螺合されて
いることからスライダー57が往復摺動できるようにな
っている。スライダー57の摺動の限点はスライダー5
7と一体な保合子67がマイクロスイッチ68.69の
各アクチュエータと当接することにより検出してモータ
53を停止させるようになっている。従って、上記X軸
電動機構46.Y軸電動機構47.Z軸電動機構48は
、それぞれ本体51とスライダー57との間を連結する
ことにより相互間を縦設するようになっている。
「発明が解決しようとする問題点」 しかし、前者の油圧式マニピュレータは、油圧を利用し
て硝子電極等2を移動させるものであるから、雰囲気温
度が変化すると、オイルが熱膨張する状態も変化して、
互いに耐圧チューブ41〜45で接続された各油圧シリ
ンダ10,11,15.16,21.38〜40の相互
間の油圧が変化して、硝子電極等2の位置が不用意に変
動する所謂熱ドリフトが生ずることがあり、その都度硝
子電極等2の位置を調整し直す必要があるなどの問題が
あった。
又、後者の電動式マニピュレータは、モータ53の回転
数をギア54.55で減速すると雌も、限界があって、
ミクロン単位で硝子電極等2を移動させることは容易で
なく、通常は取付は金具50に上記油圧式マニピュレー
タを組合わせる形式で使用しているのが現状であり、上
記油圧式マニピュレータを組合わせるものであるから、
上述の熱ドリフトが発生するといった問題が依然として
存在するものであった。
そこで、本発明は、上記事情に鑑み、雰囲気の温度変化
によって不用意に硝子電極等が移動する所謂熱ドリフト
の発生がなく、しかも、ミクロン単位で硝子電極等を移
動でき、又遠隔操作で容易にかつ正確な位置決めができ
るばかりか、小型軽量で顕微鏡のステージ上方に臨ませ
て取付けることができて使用上類る便利な硝子電極等の
マニピュレータを提供すことを目的とする。
本発明は、上記目的を達成すべく、横方向用のX軸電動
機構と縦方向用のY軸電動機構と高さ方向用のZ軸電動
機構とを互いに縦設し、かつ各電動機構のうち最先端の
ものには取付は金具を有し、上記各電動機構が本体に対
して内装モータ及びギア機構で往復摺動するスライダー
を備えた硝子電極等のマニピュレータにおいて、上記取
付は金具に、横方向用のX軸微動機構と縦方向用のY軸
微動機構と高さ方向用の24iTo微動機構とを縦設し
、各微動機構のうち最先端のものに硝子電極等を固定す
るための第2の取付は金具を設け、かつ各微動機構が揺
動板と、該揺動板の揺動基端に近接する位置を押圧自在
な圧電素子と、揺動板の先端の移動距離に応じて往復移
動が自在な微動板とから成る硝子電極等のマニピュレー
タを特徴とするものである。
「作用」 本発明は、上記手段において、まず、X軸電動機構、Y
軸電動機構、及びZ軸電動機構によって硝子電極等を所
望する位置付近に移動させて大まかな位置決めをし、次
に顕微鏡で観察しながら硝子電極等で細胞などを処理す
る時に、X軸微動機構、Y軸徽動機構、及びZ軸微動機
構のうち何れかの圧電素子に電圧を印加して、該圧電素
子の伸長により揺動板を押圧し、該揺動板を揺動させて
微動板を移動せしめ、これにより硝子電極等を縦横高さ
方向の所望する位置まで自在に微動させるものである。
「実施例」 以下に、本発明に係る硝子電極等のマニピュレータの一
実施例を図面に基づき説明する。まず、第1図において
、Aは上述の従来より使用されている電動式マ冊ビュレ
ー夕である。該電動式マニピュレータAの取付は金具5
0に継ぎロンドア0の基端を装着し、継ぎロンドア0の
先端にはZ軸微動機構71を固設する。該Z軸微動機構
71には、X軸微動機構72とY軸微動機構73とを縦
設する。Y軸微動機構73には周知構成の第2の取付は
金具74.ボールジヨイント機構75.第3の取付は金
具76、及びホルダー77を介して硝子電極等2を取付
けるようになっている。
上記Z軸微動機構71.X軸微動機構72.及びY軸微
動機構73は、それぞれ同一構成のもので、相互間を縦
設する際に、互いに90度だけずらして組付けるもので
ある。つまり、第2図及び第3図に示す如く、ブロック
状の本体78の上部に収納孔79を有し、下端及び前端
に凹陥部80゜81を有し、該収納孔79にはセラミッ
クスより成る角棒状の圧電素子84を収嵌する。圧電素
子84の基端及び押圧端には、収納穴82.83を形成
し、該収納穴82.83内にボール85,91を一部が
突出するように収嵌させ、接着剤により脱落不能に固定
する。本体78の基端には、端板88をビス86aで固
着する。この時、上記圧電素子84の基端は、ボール8
5を介して端板88の内面に当接させる。端板88の内
面には、ボール85を受ける受人87が形成させである
。上記本体78の前端の凹陥部81内には、ピン90を
支点として揺動自在に揺動板89を収嵌させる。
ピン90は、本体78のビン孔93a及び揺動板89の
ビン孔93bに挿通させるようになっている。上記圧電
素子84は、ボール91を介して常時揺動板89のピン
90に近接する位置に、っまり揺動基端の近接する位置
に当接させておく。ボール91の一部は揺動板89の内
面に形成した受人92に嵌入するようになっている。上
記本体78の下部の凹陥部80にはリニアモーションベ
アリング94を介在させて、本体78に対し往復摺動自
在に上記微動板としてのスライダー95を装着する。ス
ライダー95の端面には端板96.97をビス86で固
設させである。又スライダー95と端板88との間及び
スライダー95と揺動板89の先端との間にはスプリン
グ98.99を介在させる。スプリング98.99は、
スライダー95を貫通して両端板96.97間に至る貫
通孔100内に収納し、第3図に示す如くスライダー9
5の下面から貫通孔100内に達するネジ孔に螺合させ
たビス101にスプリング913.99の一端を掛止め
する。スプリング98の他端は、端板88の下部に透孔
102を穿設し、かつ端板88の下端から透孔102内
に達するネジ孔に螺合させたビス103に掛止めする。
又スプリング99の他端は、揺動板89の下部に透孔1
04を穿設しておき、該揺動板89の側端から透孔10
4内に達するネジ孔に螺合させたビス105に掛止めす
る。揺動板89の先部内面に収納穴117を形成し、該
収納穴117にボール118の一部を揺動板89の内面
から突出させた状態で収嵌し、ボール118の突出部を
端板97に当接させておく。上記スプリング99は、そ
の弾発力で揺動板89の先端とスライダー95の端板9
7とをボール118を介在させて常時当接させるための
ものである。一方、スプリング98は、圧電素子84の
縮小により揺動板89が元に復帰する際のリターンスプ
リングとしての機能を持たせである。上記圧電素子84
からは、リード線107を端板88に穿設した透孔10
6を挿通させて外部に引出す。更に本体78の収納孔7
9の孔壁には、リード線107が嵌入する逃げ凹部10
8を形成しておく。
上記Z@微動機構71.X@微動機構72及びY軸微動
機構73を組付ける時、各微動機構71〜73の隣合う
スライダー95と本体78若しくは本体78に対して一
体的な端板88との相互間をそれぞれビス等で固設する
ことにより縦設するが、この場合Z軸微動機構71のス
ライダー95は本体78に対しZ軸方向(高さ方向)に
、X軸漱動機構72のスライダー95は本体78に対し
X軸方向(横方向)に、又Y軸徽動機構73のスライダ
ー95は本体78に対してY軸方向く縦方向)に摺動可
能に位置決めして縦設する。Y軸微動機構73のスライ
ダー95には第2の取付は金具74の山形状の収納溝1
09を備えた基台110を固設する。基台110の収納
溝109にはボールジヨイント機構75の基部ロンドア
5aを収嵌させ、該基部ロッド75aを締付はネジ11
2により基台110と押え座111とで挾持する。
第1図において、Z軸微動機構71から引出したリード
線を1072とし、X軸微動機構72から引出したリー
ド線を107Xとし、更にY!lbm動機構73から引
出したリード線を107Yとし、各リード綿107Z、
107X、107Yには制御装置113から直流電力が
供給されるようになっている。又上記X軸電動機構46
.Y軸電動機構47及びZ軸電動機構48の各モータ5
3にも制御装置114から直流電力が供給されるように
なっている。各制御装置113,114には操作器11
5,116を付設する。
上記構成において、まず操作器116を操作して制御装
置114から、X軸電動機構46.Y軸電動機構47.
及びZ軸電動機構48のうちの何れかのモータ53に通
電して駆動させ、これにより硝子電極等2を処理すべき
細胞等の予め定めた近接位置まで移動させて、大まかな
位置決めをする。次に細胞等を顕微鏡で観察しながら、
操作器115を操作して制御装置113から、Z軸微動
機構71.X軸微動機構72及びY軸微動機構73のう
ちの何れかの圧電素子84に直流電力を供与して、斯る
圧電素子84が伸長することで揺動板89の揺動に伴い
スライダー95が摺動し、これにより硝子電極等2を縦
横高さ方向の何れかに自由に微動させて、細胞等を処理
する。
つまり、上記圧電素子84は、多数のエレメントを積層
した形式で、電界が印加されると、電界方向に伸びる圧
電縦効果を利用するものであり、上記の如く圧電素子8
4の基端がボール85を介して端板88の内面に当接さ
せてあり、従って電圧が印加されて、その印加電圧の値
に比例した長さだけ伸長すると、第5図に示す如くボー
ル91を介して揺動板89を押圧する。ところで、ボー
ル91によって揺動板89が押圧される点は、第4図に
示す如く、揺動の支点となるピン90からβ1の距離を
おいた該ピン90と極めて近接した位置に設定しである
。一方、スライダー95が端板97及びボール118を
介して揺動板89と当接する位置は、ピン90から12
だけ離れている。
このため、第5図に示す如く圧電素子84が揺動板89
を押圧するための伸長する長さを7!3とし、又揺動板
89の揺動によりスライダー95が移動する距離を14
とすれば、l、:1.=6 =14なる関係式が成立す
る。従って、圧電素子84が伸長する長さ!、に対して
、スライダー95が移動する距離14は、p 2 / 
l+倍に拡大される。
通常圧電素子84が伸長する最大の長さ!、は15μm
程度である。一方スライダー95は、10倍程度拡大さ
れて略150μm移動できるように設定しである。
「発明の効果」 以上の如く、本発明に係る硝子電極等のマニピュレータ
によれば、雰囲気の温度変化によって不用意に硝子電極
等が移動する所謂熱ドリフトの発生がなく、しかもミク
ロン単位で硝子電極等を移動させることができ、又遠隔
操作で容易にがっ正確な位置決めができるばかるか、小
型軽量で顕微鏡のステージ上方に臨ませて取付けること
ができて使用上類る便利である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る硝子電極等のマニピュレータを従
来の電動式マニピュレータに組付けた状態の斜視図、第
2図は本発明のマニピュレータにおいてX軸微動機構、
 YIIII微動機構、及びZ軸微動機構をそれぞれ構
成する一つの微動機構の分解斜視図、第3図は第2図に
おける微動機構の組立縦断面図、第4図及び第5図は第
2図における微動機構の動作を説明するための説明図、
第6図は従来の電動式マニピュレータにおいてX軸電動
機構、Y軸電動機構、及びZ軸電動機構をそれぞれ構成
する一つの電動機構の分解斜視図、第7図は従来の油圧
式マニピュレータの構成図である。 A・・・tfiJ+式マニピュレータ 2・・・硝子電極等    50・・・取付は金具71
・・・ZIliIll微動機構  72・・・X軸微動
機構73・・・Y軸微動機構 74・・・第2の取付は金具 78・・・本体      84・・・圧電素子89・
・・揺動手圧     95・・・スライダー第3図 !:17807υ19495

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 横方向用のX軸電動機構と縦方向用のY軸電動機構と高
    さ方向用のZ軸電動機構とを互いに縦設し、かつ各電動
    機構のうち最先端のものには取付け金具を有し、上記各
    電動機構が本体に対して内装モータ及びギア機構で往復
    摺動するスライダーを備えた硝子電極等のマニピュレー
    タにおいて、上記取付け金具に、横方向用のX軸微動機
    構と縦方向用のY軸微動機構と高さ方向用のZ軸微動機
    構とを縦設し、各微動機構のうち最先端のものに硝子電
    極等を固定するための第2の取付け金具を設け、かつ各
    微動機構が揺動板と、該揺動板の揺動基端に近接する位
    置を押圧自在な圧電素子と、揺動板の先端の移動距離に
    応じて往復移動が自在な微動板とから成ることを特徴と
    する硝子電極等のマニピュレータ。
JP7571287A 1987-03-27 1987-03-27 硝子電極等のマニピュレ−タ Granted JPS63240772A (ja)

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JPH0481427B2 JPH0481427B2 (ja) 1992-12-24

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06167657A (ja) * 1992-12-01 1994-06-14 Sanyuu Denshi Kk マイクロマニピュレータ
JPH06192853A (ja) * 1991-08-01 1994-07-12 Kagawa Pref Gov 電気めっき法で形成した皮膜と物理的気相成長法で形成した皮膜からなる表面硬化方法
JP2021013991A (ja) * 2019-07-12 2021-02-12 日本精工株式会社 ニードルグリッパーおよびアクチュエータ

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