JPH0373432B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0373432B2
JPH0373432B2 JP60105319A JP10531985A JPH0373432B2 JP H0373432 B2 JPH0373432 B2 JP H0373432B2 JP 60105319 A JP60105319 A JP 60105319A JP 10531985 A JP10531985 A JP 10531985A JP H0373432 B2 JPH0373432 B2 JP H0373432B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
drive mechanism
axis moving
moving section
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60105319A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61265283A (ja
Inventor
Eiichi Narishige
Shinji Yoneyama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NARISHIGE KK
NARUMO KAGAKU KIKAI KENKYUSHO KK
Original Assignee
NARISHIGE KK
NARUMO KAGAKU KIKAI KENKYUSHO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NARISHIGE KK, NARUMO KAGAKU KIKAI KENKYUSHO KK filed Critical NARISHIGE KK
Priority to JP60105319A priority Critical patent/JPS61265283A/ja
Priority to GB08519206A priority patent/GB2175049B/en
Priority to US06/761,802 priority patent/US4679976A/en
Priority to DE19853541082 priority patent/DE3541082A1/de
Publication of JPS61265283A publication Critical patent/JPS61265283A/ja
Publication of JPH0373432B2 publication Critical patent/JPH0373432B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B7/00Systems in which the movement produced is definitely related to the output of a volumetric pump; Telemotors
    • F15B7/005With rotary or crank input
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B7/00Systems in which the movement produced is definitely related to the output of a volumetric pump; Telemotors
    • F15B7/001With multiple inputs, e.g. for dual control
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B7/00Systems in which the movement produced is definitely related to the output of a volumetric pump; Telemotors
    • F15B7/003Systems in which the movement produced is definitely related to the output of a volumetric pump; Telemotors with multiple outputs
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00Machine element or mechanism
    • Y10T74/20Control lever and linkage systems
    • Y10T74/20012Multiple controlled elements
    • Y10T74/20201Control moves in two planes

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、基礎医学又は近年盛んに研究される
に至つている遺伝子組換えなどのバイオテクノロ
ジーの分野で細胞中の情報を取り出すなどに利用
される硝子電極等を液圧により遠隔操作ができる
ようにしたマニピユレータに関する。
〔従来の技術〕
近年、硝子電極は、径1〜3mmφで、長さが50
〜60mmの注射針状の硝子管で、その内部には塩化
カリウムKClや塩化ナトリウムNaCl等の電解液
が注入されており、先端径が0.1μオーダにしたも
のが開発されているのに至つて、これを細胞中に
挿し込むことによつて単一細胞の各種情報を取り
出し、記録が可能となつたことは既に知られると
ころである。
ところで、先端が0.1μの硝子電極を単一細胞内
に挿入する際は、細胞や電極を破壊しないように
電極を正しく位置決めすると共に、微細にかつ振
れや蛇行のないように移動させなければならな
い。
本出願人は、その要望を満足させるべく、特願
昭58−27478号(特開昭59−153162号)の如きマ
ニピユレータを提案した。該マニピユレータは、
第7図に示す如く油圧式で、X軸直線駆動機構8
1を操作すると、操作第82に取り付けられた硝
子電極A等が縦方向(以下X軸方向と称す)に移
動し、又Y軸直線駆動機構83を操作すれば、硝
子電極A等が横方向(以下Y軸方向と称す)に移
動し、更に傾倒レバー85を回してZ軸駆動機構
84を作動させれば、硝子電極A等が高さ方向
(以下Z軸方向と称す)に移動するようになつて
いる。しかも、前記傾倒レバー85を何れかの方
向に傾倒させれば、X−Y軸平面内駆動機構86
により、硝子電極等がレバーの傾倒方向と傾倒量
に対応して移動するようになつている。
しかし、このマニピユレータは、X軸直線駆動
機構81及びY軸直線駆動機構83が、X−Y軸
平面内駆動機構86と全く別に形成されて、それ
ぞれが操作台との間において配管され、この結果
極めて部品点数が多く、又大型になり、延いては
コスト高の原因にもなつていた。つまり、X軸直
線駆動機構81及びY軸直線駆動機構83には、
それぞれ油圧シリンダが内蔵されており、一方X
−Y軸平面内駆動機構86にも、X軸移動方向に
対応する油圧シリンダ87とY軸移動方向に対応
する油圧シリンダ88とが内蔵され、これに伴い
ブラケツト等の付属部品をも多く必要になつてい
た。しかも、上記油圧シリンダのみならずX軸直
線駆動機構81の油圧シリンダにも接続され、又
上記油圧シリンダ88も同様に操作台82の対応
する油圧シリンダの他、Y軸直線駆動機構83の
油圧シリンダにも接続するようになつていて、接
続箇所が非常に多く、組立手数が煩瑣であり、し
かも、油の注入時において気泡が接続箇所に残り
やすく、空気抜きが容易でないばかりか、注入さ
れる油量も多かつた。更に、X軸直線駆動機構8
1若しくはY軸直線駆動機構83を操作した際
に、操作台82のみならず、X−Y軸平面内駆動
機構86にも油圧が作用して、操作台82に加わ
る油圧が減少し、更には折角操作台82を操作し
たにも拘らず、油圧でもつてX−Y軸平面内駆動
機構が動きこれにより操作台の油圧が吸収されて
硝子電極等の位置がずれることもあつた。
更に、液媒として油を使用しており、温度変化
による熱膨脹で硝子電極等が位置ずれすることが
あつた。
又、操作台自体も、内蔵されたダイヤフラムの
形状が大きく、しかもリターンスプリングが側方
に設けてあつて、極めて大型になつていたため、
更に小型化が望まれていたものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
そこで、本発明は、上記事情に鑑み、部品点数
の削減と小型化とを計り得ることはもとより、硝
子電極等の位置決めに際し、位置ぶれを招くこと
なく高精度に行うことができる硝子電極等のマニ
ピユレータを提供することを目的とする。
〔発明が解決しようとする手段〕
本発明は、上記目的を達成するために、X軸移
動部、Y軸移動部、Z軸移動部により硝子電極等
を各軸方向に移動させる操作台と、X軸直線駆動
機構、Y軸直線駆動機構及びZ軸駆動機構と操作
台の各該当軸移動部とをチユーブで連通して液圧
により上記操作台を駆動する駆動部とからなる硝
子電極等のマニピユレータにおいて、X−Y軸平
面内駆動機構の固定基台にX軸スライド台若しく
はY軸スライド台を摺動自在に配し、固定基台に
配した一方のスライド台に他方のスライド台を上
下位置での直交状態において摺動自在に配し、X
軸直線駆動機構とY軸直線駆動機構を平面的にし
たことを特徴とする硝子電極等のマニピユレータ
である。
〔実施例〕
以下、本発明に係る硝子電極等のマニピユレー
タの一実施例を図面に基づき説明する。第1図に
おいて、1は駆動部、2は操作台である。駆動部
1はX−Y軸平面内駆動機構3、Z軸駆動機構
4、X軸直線駆動機構5、及びY軸直線駆動機構
6とからなつている。X−Y軸平面内駆動機構3
は、第1図及び第2図に示す如く、固定基台7が
基盤8にビス止めされ、かつ、固定基台7にY軸
スライド台9が横方向つまりY軸方向に摺動自在
に装着されている。固定基台7の端面には、L字
形のブラケツト10がビス止めされ、更に該ブラ
ケツト10にはY軸直線駆動機構6の本体11が
ビスにより固定されている。本体11には、つま
み12のネジ軸13が螺合され、ネジ軸13内の
孔13aにはピストンロツド14の一端が挿入さ
れている。一方、Y軸スライド台9にはコ字形に
形成したブラケツト15がY軸直線駆動機構6と
対応させてビス止めされ、更に該ブラケツト15
に液圧シリンダ16がビス17により固定されて
いる。液圧シリンダ16は後述するように、内部
に液圧室を有するケーシング18と、ダイヤフラ
ムと、該ダイヤフラムをケーシング18に取り付
けると共にブラケツト15に固定するための筒状
体19とからなつている。上記Y軸スライド台9
にはX軸スライド台20がY軸スライド台9に対
し摺動自在に装着されている。Y軸スライド台2
0の摺動方向は縦方向つまりX軸方向で、固定基
台7に対するY軸スライド台9の摺動方向と直行
する方向である。X軸スライド台20の端面に、
前記と同様ブラケツト21がビス止めされ、該ブ
ラケツト21に液圧シリンダ22がビスにより固
定されている。上記Y軸スライド台9の端面に
は、液圧シリンダ22に対応させて、X軸直線駆
動機構5が取り付けられている。X軸直線駆動機
構5は、上記Y軸直線駆動機構6と同様に、本体
23と、該本体23に螺合されたつまみ24と、
該つまみ24のネジ軸の孔に一端が挿入されたピ
ストンロツド25とからなつていて、本体23が
ブラケツト26にネジ止めされるようになつてい
る。ブラケツト26はY軸スライド台9にネジ止
めされていることは勿論である。X軸スライド台
20の上面には支軸27を介して球体28が固設
されている。球体28には、第1図に示す如く傾
倒レバー29の大球30の受け孔31に嵌入され
ている。大球30は調節リング32と押えリング
33と回転自在に支承されている。調節リング3
2は、ケース34に螺合されており、該ケース3
4に対し調節リング32を回わせば、球体28の
中心と大球30の中心との距離が変化をし、この
変化に伴い傾倒レバー29の傾倒量に対する軸ス
ライド第9乃至X軸スライド第20の摺動量が変化
し、延いては操作台2に取りつけた硝子電極Aの
移動量が調節できるようになつている。傾倒レバ
ー29には、上記と同様な液圧シリンダ35が内
装されており、又該液圧シリンダ35のダイヤフ
ラムを押圧するピストンロツド36aと、本体に
螺合されたつまみ36とからなるZ軸駆動機構4
が設けられている。上記各液圧シリンダ16,2
2,35は、後述するように操作台2の対応する
液圧シリンダに配管されるようになつている。
操作台2は、X移動部37、Y軸移動部38、
Z軸移動部39とからなつている。X軸移動部3
7、Y軸移動部38、及びZ軸移動部39は、そ
れぞれ同一構成で、組付けにより移動方向が縦横
及び高さ方向になるようにしたものであり、以下
X軸移動部37についてのみ説明する。X軸移動
部37は第3図乃至第5図に示す如く、断面略コ
字形の基台40を有し、基台40の溝孔41内に
スライダ42がベアリング43により摺動自在に
装着されいる。ベアリング46は、第5図に示す
如く基台40及びスライダ42の各溝内にそれぞ
れ2本の線材よりなるレール44,45を有し、
各レール44,45間に複数のスチールボール4
6を介挿させたものである。スライダ42の端面
中央部に、ピストンロツド47が挿通されてお
り、スライダ42の他端からピストンロツド47
の先部に至る孔48が設けてあつて、該孔48内
にリターンスプリング49を挿入し、基台40の
端板50とピストンロツド47の先端との間にリ
ターンスプリング49を掛け止めしてある。即
ち、リターンスプリング49は伸長時乃至圧縮時
において引張係数を損なわないようにできるだけ
長さを長くしてある。基台40の他端にはブラケ
ツト51がビス止めされており、更に該ブラケツ
ト51に上記各液圧シリンダ16,22,35と
同一構成の液圧シリンダ52がビスにより固定さ
れている。液圧シリンダ52は、第4図に示す如
く、内部に液圧室53を有するケーシング54と
筒状体55の間でダイヤフラム56のフランジを
挟圧し、それぞれの相互間をネジリング57で固
定したものである。ケーシング54の周部には、
液媒の注入や空気抜きなどのための弁部58と駆
動部1の液圧シリンダ22に接続するための口部
材59とを有している。ダイヤフラム56は第6
図に示す如く、ゴム材に網材が混入されたもの
で、口径が5mm以下と極小に形成され、フランジ
にはシーリングのためのリング状の突条60が一体
に形成されている。そして、筒状体55は、ビス
61によりブラケツト51に固定されるようにな
つている。又、上記リターンスプリング49は、
不用意に撓まないように、端板50に植設された
ロツド62が挿入されている。
上記X軸移動部37のスライダ42に、Y軸移
動部38のスライダ63が、又該Y軸移動部38
の基台64にロツド65を介してZ軸移動部39
のスライダ66がそれぞれ固設されるようになつ
ている。この場合、硝子電極AがX軸移動部37
Y軸移動部38及びZ軸移動部39により縦横及
び高さ方向つまりX軸、Y軸、Z軸の方向に移動
可能な配置で組付けられることは勿論である。硝
子電極AはZ軸移動部39の基台67に取付け具
77を介して装着されるようになつている。又、
X軸移動部37、Y軸移動部38及びZ軸移動部
39の相互間を組付ける際に、板材などの取付け
具78,79を介在させて取付けることも可能で
ある。X軸移動部37の基台40は、操作つまみ
68〜70を備えて、X軸、Y軸及びZ軸方向に
手動で移動させるためのマニユアル移動機構76
を介して顕微鏡等の理化学器械に取付けるように
なつている。X軸移動部37の基台40をそのま
ま理化学器械に取り付けることができることはも
とより、X軸移動部37、Y軸移動部38及びZ
軸移動部39のそれぜぞれが極めて小型なため、
マニユアル移動機構76組付けるのが容易で、第
1図に示すものの他、各種の組付け形式を取るこ
とができる。上記X軸移動部37の液圧シリンダ
52は、駆動部1の液圧シリンダ22にチユーブ
71で、又Y軸移動部38の液圧シリンダ72が
駆動部1の液圧シリンダ16にチユーブ73で、
更にZ軸移動部39の液圧シリンダ75が駆動部
1の液圧シリンダ35にチユーブそれぞれ接続さ
れている。各液圧シリンダ16,22,35,5
2,72,74内に封入する液媒として、種々研
究、実験の結果、実施例では膨脹率の小さい水を
採用した。
尚、水を液媒としたので、水洩れ防止のために
シーリングに十分な配慮を施した。
上記硝子電極等のマニピユレータにおいて、先
ず上記硝子電極Aを細胞のある位置にまで移動さ
せるにはマニユアル移動機構76、更にX軸直線
移動機構5、Y軸直線移動機構6、Z軸駆動機構
4によつて行い、細胞を加工し、又は細胞から情
報を採る時には、X−Y軸平面駆動機構3によ
り、更にZ軸駆動機構4をも使用して、硝子電極
Aを移動させる。この時、X軸直線駆動機構5及
びY軸直線駆動機構6をも適時併用させて行うこ
ともできる。
そこで、X軸直線移動機構5のつまみ24を回
わしたとすると、この回転でピストンロツド25
が液圧シリンダ22のダイヤフラムを押圧し、若
しくは減圧すれば、液圧シリンダ22の押圧力の
変化が、操作台2のX軸移動部37における液圧
シリンダ52に伝達され、ピストンロツド47に
よる液圧シリンダ52のダイヤフラム56の押圧
力が変化し、この結果基台40に対してスライダ
42がつまみ24の回動量に対応した量だけ摺動
する。Y軸直線駆動機構6及びZ軸移動機構4を
操作した時においても同様に、操作台2のY軸移
動部38及びZ軸移動部39が操作量に応動して
動作する。傾倒レバー29を傾倒させた時は、そ
の傾倒方向及び傾倒量に応じてX−Y軸平面内駆
動機構3が動作する。つまり、傾倒レバー29の
傾倒方向及び傾倒量に応じY軸スライド台9が固
定基台7に対し摺動し、又X軸スライド台20が
Y軸スライド台9に対し摺動する。これらの摺動
により各ピストンロツド14,25による液圧シ
リンダ16,22の押圧力が変化をし、この変化
がY軸移動部38の液圧シリンダ72及びX軸移
動部37の液圧シリンダ52に伝達されて、上記
同様に動作して、硝子電極Aが移動する。操作台
2の各液圧シリンダ52,72,74の押圧力が
減少した時は、リターンスプリング49の弾性付
勢によつて早い応答速度で動作する。
上記本実施例は、液媒として油に比較して熱膨
脹率の小さい水を使用したので、温度変化に対す
る硝子電極Aの位置ずれ所謂熱によるドリフトを
極めて小さくすることができ、例えば液媒として
油を用いた時の6分の1に低減することができ、
かつ内部容積を従来の油を用いたマニピユレータ
に比較して小さくすると、上記ドリフトを1分の
1にまで減少させることができる。
又、操作台2は、口径を5mm以下とした極小の
ダイヤフラム56を用い、X軸移動部37、Y軸
移動部38及びZ軸移動部39の各リターンスプ
リング49を中央部に、つまりスライダ42,6
3,66の中央部ピストンロツド47の先端まで
達する孔48を設け、該孔48にリターンスプリ
ング49を収納することで、全体の形状を極めて
小型に形成できる。従つて、操作台2は、さほど
スペース的に余裕のない顕微鏡のステージ上方に
臨むように取付けることができ、この結果従来に
比較して取付け具77から硝子電極Aの先端まで
の距離を短縮でき、このため振動によるぶれなど
を低減できて、良好に作業ができるばかりか、多
くのマニピユレータを顕微鏡のステージ上方に臨
ませて取付けることができる。しかも操作台2が
極めて小型であることから、マニユアル移動機構
76や顕微鏡に装着するためのアダプターに一体
的に組込むことも容易になし得て便利である。
しかも、各液圧シリンダ16,22,35,5
2,72,74は、同一構成で、かつブラケツト
15,21,51にネジ17,61で固定する形
式としたので、交換に際し極めて簡単に行うこと
ができると共に、何れの箇所にも共用でき、この
結果予め2個の液圧シリンダをチユーブで接続
し、水を注入した後、所定の期間を必要とする耐
圧試験や洩れ試験を行つておけば、必要時に直ち
に取換えできて頗る便利である。
〔発明の効果〕
以上の如く、本発明に係る硝子電極等のマニピ
ユレータによれば、X−Y軸平面的駆動機構と、
X軸直線駆動機構及びY軸直線駆動機構とを共用
でき、この結果部品点数が削減できるばかりか、
従来の如くX軸直線駆動機構若しくはY軸直線駆
動機構を操作した時に、その時の液圧シリンダの
一部の圧力がX−Y軸平面内駆動機構の対応する
液圧シリンダで吸収されて操作台に十分に伝達さ
れないといつたことを解消でき、これに伴い硝子
電極等の移動精度を向上させることができて、作
業ミスを防止でき、又生産性を促進できると共に
コストの低減を測ることができ、かつ小型に形成
できるなど、各種の利点を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明に係る硝子電極等のマニピユレー
タの一実施例を示し、第1図は全体を示す構成
図、第2図はX−Y軸平面内駆動機構の一部を分
解した斜視図、第3図はX軸移動部の一部を分解
した斜視図、第4図はX軸移動部の縦断面図、第
5図は第4図の−線断面図、第6図はダイヤ
フラムの断面図、第7図は従来の硝子電極のマニ
ピユレータの構成図である。 1……駆動部、2……操作台、3……X−Y軸
平面内駆動機構、4……Z軸駆動機構、5……X
軸直線駆動機構、6……Y軸直線駆動機構、1
6,22,35,52,72,74……液圧シリ
ンダ、37……X軸移動部、38……Y軸移動
部、39……Z軸移動部、40……基台、42…
…スライダ、47……ピストンロツド、49……
リターンスプリング、56……ダイヤフラム。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 X軸移動部、Y軸移動部、Z軸移動部により
    硝子電極等を各軸方向に移動させる操作台と、X
    軸直線駆動機構、Y軸直線駆動機構及びZ軸駆動
    機構と操作台の各該当軸移動部とをチユーブで連
    通して液圧により上記操作台を駆動する駆動部と
    からなる硝子電極等のマニピユレータにおいて、
    X−Y軸平面内駆動機構の固定基台にX軸スライ
    ド台若しくはY軸スライド台を摺動自在に配し、
    固定基台に配した一方のスライド台に他方のスラ
    イド台を上下位置での直交状態において摺動自在
    に配し、X軸直線駆動機構とY軸直線駆動機構を
    平面的にしたことを特徴とする硝子電極等のマニ
    ピユレータ。 2 駆動部で操作台を駆動する液媒として、水を
    用いたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載の硝子電極のマニピユレータ。 3 上記操作台が縦方向に移動するX軸移動部と
    横方向に移動するY軸移動部と高さ方向に移動す
    るZ軸移動部とを有し、X軸移動部、Y軸移動部
    及びZ軸移動部が、極小のダイアフラムを備えた
    液圧シリンダと、該液圧シリンダが固定される基
    台と、該基台に対し摺動自在なスライダとから成
    り、該スライダの一側には液圧シリンダに対応さ
    せてピストンロツドを設けると共に、スライダの
    他端から中央部を経てピストンロツド内に至る孔
    を設け、該孔の孔端と基台との間にリターンスプ
    リングを介挿したことを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の硝子電極等のマニピユレータ。
JP60105319A 1985-05-17 1985-05-17 硝子電極等のマニピユレ−タ Granted JPS61265283A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60105319A JPS61265283A (ja) 1985-05-17 1985-05-17 硝子電極等のマニピユレ−タ
GB08519206A GB2175049B (en) 1985-05-17 1985-07-30 Manipulator usable for a glass electrode or the like
US06/761,802 US4679976A (en) 1985-05-17 1985-08-02 Manipulator usable for a glass electrode or the like
DE19853541082 DE3541082A1 (de) 1985-05-17 1985-11-19 Manipulator zur verwendung bei einer glaselektrode oder dergleichen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60105319A JPS61265283A (ja) 1985-05-17 1985-05-17 硝子電極等のマニピユレ−タ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61265283A JPS61265283A (ja) 1986-11-25
JPH0373432B2 true JPH0373432B2 (ja) 1991-11-21

Family

ID=14404388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60105319A Granted JPS61265283A (ja) 1985-05-17 1985-05-17 硝子電極等のマニピユレ−タ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4679976A (ja)
JP (1) JPS61265283A (ja)
DE (1) DE3541082A1 (ja)
GB (1) GB2175049B (ja)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0411169Y2 (ja) * 1986-02-15 1992-03-19
JPH074135Y2 (ja) * 1987-08-05 1995-02-01 株式会社ナリシゲ 硝子電極等のマニピュレ−タ
US4946329A (en) * 1988-04-01 1990-08-07 Albert Einstein College Of Medicine Of Yeshiva University Micromanipulator using hydraulic bellows
JPH0629734Y2 (ja) * 1988-04-20 1994-08-10 株式会社成茂科学器械研究所 硝子電極等の微動操作器
GB9204574D0 (en) * 1992-03-03 1992-04-15 Hollow Robert Remote control unit
JPH08257959A (ja) * 1995-03-29 1996-10-08 Nikon Corp マイクログリッパーシステム用のマスタ入力装置
JP3427366B2 (ja) * 1995-08-17 2003-07-14 株式会社ナリシゲ 微動操作用ジョイスティックにおける微動率の調整機構
JP3368490B2 (ja) * 1996-06-25 2003-01-20 株式会社ナリシゲ マイクロマニピュレータ微動操作装置
JP3232441B2 (ja) * 1996-07-02 2001-11-26 株式会社ナリシゲ マイクロマニピュレータ微動操作装置
EP1163983A3 (en) * 1997-09-03 2003-05-02 Narishige Co., Ltd. Hydraulically-operated micromanipulator apparatus
US6357719B1 (en) 2000-06-19 2002-03-19 Sergey A. Yakovenko Microtool mount
US6661575B1 (en) 2000-10-31 2003-12-09 Sergey A. Yakovenko Methods and apparata for micromanipulation of micro-and nanoparticles
JP4178741B2 (ja) * 2000-11-02 2008-11-12 株式会社日立製作所 荷電粒子線装置および試料作製装置
US20040003679A1 (en) * 2002-07-05 2004-01-08 David Ide Apparatus and method for in vitro recording and stimulation of cells
US20040090418A1 (en) * 2002-11-12 2004-05-13 Bio-Rad Laboratories, Inc., A Corporation Of The State Of Delaware Joystick with axial disengagement switch
DE102006040797B4 (de) * 2006-08-31 2008-06-12 Leica Microsystems (Schweiz) Ag Fokustrieb
US8091678B2 (en) * 2008-03-07 2012-01-10 Deere & Company Input control pattern

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59153162A (ja) * 1983-02-21 1984-09-01 Narumo Kagaku Kikai Kenkyusho:Kk 硝子電極等の微動操作器械

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE388179A (ja) * 1932-04-28
US2545258A (en) * 1945-03-22 1951-03-13 Marcel L Cailloux Device for telecontrol of spatial movement
US4005782A (en) * 1974-03-04 1977-02-01 Engineered Metal Products Company, Inc. Picker
US4397336A (en) * 1980-01-24 1983-08-09 Godfrey Philip D Control device for hydraulic spool valves
FR2501563B1 (fr) * 1981-03-10 1986-07-18 Sormel Sa Manipulateur automatique
US4607998A (en) * 1983-02-15 1986-08-26 Deep Ocean Engineering Incorporated Electromechanical manipulator assembly
US4604016A (en) * 1983-08-03 1986-08-05 Joyce Stephen A Multi-dimensional force-torque hand controller having force feedback
DE3336519A1 (de) * 1983-10-07 1985-04-25 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Monipulator an operationsmikroskopen

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59153162A (ja) * 1983-02-21 1984-09-01 Narumo Kagaku Kikai Kenkyusho:Kk 硝子電極等の微動操作器械

Also Published As

Publication number Publication date
GB2175049A (en) 1986-11-19
DE3541082A1 (de) 1986-11-20
US4679976A (en) 1987-07-14
GB2175049B (en) 1988-10-19
GB8519206D0 (en) 1985-09-04
JPS61265283A (ja) 1986-11-25
DE3541082C2 (ja) 1993-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0373432B2 (ja)
JPH0411169Y2 (ja)
US5979070A (en) Method and apparatus for selectively locking a movement direction of a coordinate measurement probe
US20010008994A1 (en) Method and apparatus for measuring roundness
US6888920B2 (en) Low-cost, high precision goniometric stage for x-ray diffractography
US7141914B2 (en) Micromanipulator including piezoelectric benders
JPS62234858A (ja) ゴニオメ−タテ−ブル
JP2000221409A (ja) 微細作業用マイクロマニピュレーション装置及び微細作業用マイクロプローブ
JPH0373433B2 (ja)
JPH0629734Y2 (ja) 硝子電極等の微動操作器
JP2016151292A (ja) 軸継手、回転テーブルおよび真円度測定装置
CN110189791B (zh) 基于双向预紧的初始转角误差可调节的微纳平台
JP2012247805A (ja) ステージ及び顕微鏡システム
US4362355A (en) Operating microscope assembly
JP2009164252A (ja) 半導体ウエハ貼り合わせ装置
JPH0453917A (ja) 試料ステージ
JPH074135Y2 (ja) 硝子電極等のマニピュレ−タ
JP5009778B2 (ja) チルトステージ
JPH0429992Y2 (ja)
JPS63240772A (ja) 硝子電極等のマニピュレ−タ
JP2002172582A (ja) コンプライアンスユニット
JPH0445309B2 (ja)
JP3991000B2 (ja) リニアスケールの取付方法及び装置
JPS61121108A (ja) 微動駆動装置
CN116643397A (zh) 光轴同心式动态聚焦装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term