JPS6041894U - 密閉室中の機器取付台作動装置 - Google Patents

密閉室中の機器取付台作動装置

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JPS6041894U
JPS6041894U JP13500783U JP13500783U JPS6041894U JP S6041894 U JPS6041894 U JP S6041894U JP 13500783 U JP13500783 U JP 13500783U JP 13500783 U JP13500783 U JP 13500783U JP S6041894 U JPS6041894 U JP S6041894U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
frame
room
operating
equipment mount
Prior art date
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Granted
Application number
JP13500783U
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English (en)
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JPH0333037Y2 (ja
Inventor
鹿野　良孝
渋谷　正夫
花見　英徳
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す一部切欠正面図、第２
，３図は各々そのｎ−ｎ、ｍ−ｍ視測面図、第４図は第
３図のＩＶ−ｒＶ視側面図である。 １・・・真空室、１ａ・・・円筒本体、１ｂ・・・第１
接続筒、１ｃ・・・第２接続筒、２・・・支持筒、１１
・・・第１フレーム、１２・・・第２フレーム、１３・
・・第３フレーム、２１・・・第ルバー、２２・・・第
２レバー、２３．２６・・・シール筒部、３０・・・Ｘ
軸杵　動部、４０・・・Ｙ軸杵動部、５０・・・Ｚ軸杵
動部。 補正　昭５＆　１０．４ 実用新案登録請求の範囲を次のように補正する。 Ｏ実用新案登録請求の範囲 （１）密閉室１内の機器取付台１３を、該室の壁を貫通
して室外部から変位させるようにした密閉室中の機器取
付台作動装置において、前記室壁に設けられた第１接続
筒口１ｂに固定されてその内側を通って前記室の略中央
部まで張出した支持筒２と、該支持筒に回転自在に装架
された第１フレーム１１と、該第１フレームに、その回
転軸線Ｚに対し直交する軸Ｘまわりに回転自在に装架さ
れた第２フレーム１２と、前記第１、第２フレーム１１
．１２の回転軸線の各々に対し一点で直交する軸Ｙまわ
りに回転自在に装架されて機器が取付けられる第３フレ
ーム１３と、該第３フレームの背面から前記第２、第３
フレーム１２．１３の回転軸線が作る平面に対し大略直
角となるように張出して、前記支持筒の室出口付近まで
延びた第２レバー２２と、該第ルバーの先端を覆って回
転自在に支持する有底筒体２３ａとの先端と前記支持筒
２の内側との間に接続された可撓シール筒２３ｃとを持
つシール筒部２３と１、前記第１フレーム１１の側面か
ら張り出してミ前記第２接続筒口１ｃを通って容器外側
にまで延びた第２レバー２２と、該第２レバーと前記第
２接続筒口１ｃとの間をシールするように少なくとも一
部に可撓シール筒２６ｂを持つシール筒部２６と、前記
第３フレーム１３をＸ軸回りに回動させるように、前記
第ルバー２１に連結されたＸ軸杵動部３０と、前記第２
フレーム１２を第３フレーム１３と共にＹ軸回りに回動
させるように、前記第ルバー２１に連結されたＹ軸杵動
部４０と、前記第１フレーム１１を２軸回りに回動させ
るように、前記第２レバー２２に連結された２軸作動部
５０とを含むことを特徴とする密閉室中の機器取付台作
動装置。 （２）前記Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各作動部は、前記第
１および第２レバーの先端に対して球面軸受を介して直
線往復運動する作動棒が直接的又は間接的に結合されて
なることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
載の密閉室中の機器取付台作動装置。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）密閉室１内の機器取付台１３を、該室の壁を貫通
    して室外部から変位させるようにした密閉室中の機器取
    付台作動装置において、前記室壁に設けられた第１接続
    筒口１ｂに固定されてその内側を通って前記室の略中央
    部まで張出した支持筒２と、該支持筒に回転自在に装架
    された第１フレーム１１と、該第１フレームに、その回
    転軸線２に対し直交する軸Ｘまわりに回転自在に装架さ
    れた第２フレーム１２′と、前記第１、第２フレームの
    １１．１２回転軸線の各々に対し一点で直交する軸Ｙま
    わりに回転自在に装架されて機器が取付けられる第３フ
    レーム１３と、該第３フレームの背面から前記第２、第
    ３フレーム１１．１２の回転軸線から作る平面に対し大
    略直角となるように張出して、前記支持筒の室出口付近
    まで延びた第ルバー２１と、該第２レバーと前記第２接
    続筒口ＩＣとの間をレールするように少なくとも一部に
    可撓シール筒２６ｂを持つシール筒部２６と、前記第３
    フレーム１３をＸ軸回りに回動させるように、前記第ル
    バー２１に連結されたＸ軸杵動部３０と、前記第２フレ
    ーム１２を第３フレーム１３と共にＹ軸回りに回動させ
    るように、前記第ルバー２１に連結されたＹ軸杵動部４
    ０と、前記第１フレーム１１を２軸回りに回動さ、せる
    ように、前記第２レバー２２に連結されたＺ軸杵動部５
    ０とを含むことを特徴とする密閉室中の機器取付台作動
    装置。
  2. （２）前記Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各作動部は、前記第
    １および第２レバーの先端に対して球面軸受を介して直
    線往復運動する作動棒が直接的又は間接的に結合されて
    なることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
    載の密閉室中の機器取付台作動装置。
JP13500783U 1983-08-30 1983-08-30 密閉室中の機器取付台作動装置 Granted JPS6041894U (ja)

Priority Applications (1)

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JP13500783U JPS6041894U (ja) 1983-08-30 1983-08-30 密閉室中の機器取付台作動装置

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JP13500783U JPS6041894U (ja) 1983-08-30 1983-08-30 密閉室中の機器取付台作動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6041894U true JPS6041894U (ja) 1985-03-25
JPH0333037Y2 JPH0333037Y2 (ja) 1991-07-12

Family

ID=30304017

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JP13500783U Granted JPS6041894U (ja) 1983-08-30 1983-08-30 密閉室中の機器取付台作動装置

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JP (1) JPS6041894U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02105094A (ja) * 1988-10-14 1990-04-17 Seiko Electronic Components Ltd 真空チャンバー用移動テーブル

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02105094A (ja) * 1988-10-14 1990-04-17 Seiko Electronic Components Ltd 真空チャンバー用移動テーブル

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Publication number Publication date
JPH0333037Y2 (ja) 1991-07-12

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