JPH02105094A - 真空チャンバー用移動テーブル - Google Patents
真空チャンバー用移動テーブルInfo
- Publication number
- JPH02105094A JPH02105094A JP25987088A JP25987088A JPH02105094A JP H02105094 A JPH02105094 A JP H02105094A JP 25987088 A JP25987088 A JP 25987088A JP 25987088 A JP25987088 A JP 25987088A JP H02105094 A JPH02105094 A JP H02105094A
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- JP
- Japan
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- axis
- chamber
- base
- axis base
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、極限環境（高真空、極低温等）のチャンバー
内でワークを移動させる移動テーブルに関する。
内でワークを移動させる移動テーブルに関する。
紡 〔発明の概要〕
夕 本発明は、掘限環境のチャンバー内でワーク
をと ３次元方向に移動させる移動テーブルを、チ
ャンの バー外から駆動できるように構成したもの
である。
をと ３次元方向に移動させる移動テーブルを、チ
ャンの バー外から駆動できるように構成したもの
である。
溝 〔従来の技術〕
■ 従来、高真空、極低温等の極限環境のチャン
バー内でワークを３次元方向に移動させる場合、アと
クチュエータ等を含む駆動のための機構部はチャＹ
ンバー内部に設け、外部から電気信号による制御
で行うものが多い。
バー内でワークを３次元方向に移動させる場合、アと
クチュエータ等を含む駆動のための機構部はチャＹ
ンバー内部に設け、外部から電気信号による制御
で行うものが多い。
Ｘ 〔発明が解決しようとする課題〕用 従
来の技術では、上記環境のチャンバー内に駆ヤ 動
部をおくと駆動部を構成するモータ等が特別仕様のもの
となりコストが高くなるし高パワーのモータ等からの発
熱のため使用できず負荷の大きい仕事は不得手であり、
特に高真空や極低温の環境に悪い影響を与えるものであ
った。
来の技術では、上記環境のチャンバー内に駆ヤ 動
部をおくと駆動部を構成するモータ等が特別仕様のもの
となりコストが高くなるし高パワーのモータ等からの発
熱のため使用できず負荷の大きい仕事は不得手であり、
特に高真空や極低温の環境に悪い影響を与えるものであ
った。
従来の問題点を解決するために、本発明は高パワーな駆
動部をチャンバー外に置き外部から内部の３次元テーブ
ルを駆動できるようにしたものである。
動部をチャンバー外に置き外部から内部の３次元テーブ
ルを駆動できるようにしたものである。
このチャンバー内でワークを３次元方向に移動させる移
動テーブルをチャンバー外から駆動できるように構成し
たため高パワーなモータでも低コストが使用できるとと
もにチャンバーの開・閉に際し駆動機構の結合の離脱を
容易にできるようになった。
動テーブルをチャンバー外から駆動できるように構成し
たため高パワーなモータでも低コストが使用できるとと
もにチャンバーの開・閉に際し駆動機構の結合の離脱を
容易にできるようになった。
以下本発明の実施例を第１図（Ａ）と（Ｒ）に基づいて
説明する。
説明する。
第１図（Ａ）において、チャンバー１は下部の底板２は
下方に３次元移動テーブル全体を乗せたまま上・下方向
に移動できる構造になっている。その継目は金属シール
３等が入っている。三次元移動テーブルは固定ベース４
、Ｘ軸ベース５、Ｙ軸ベース６、Ｚ軸ベース７からなっ
ている。固定ベース４は底板２とスタッド８でつながっ
ておりその中央部にはＺ軸駆動ラック９がとおりＸＹ動
作が可能な範囲で穴１０がおいている。また固定ベース
４の上部にはＸ軸用のガイドバー１１が固定されている
。Ｘ軸ベース５は固定ベース４のガイドバー１１を案内
としてスライド部１２を介してＸ軸方向に移動可能とし
ている。Ｘ軸ベース５の上部にはＹ軸ベース案内用のガ
イドバー１３が固定されておりまた片面にはＸ軸駆動ラ
ック１４がはまり込むためのＸ軸駆軸用スライド溝１５
がある。また固定ベース４と同しように中央部にはＺ軸
用ラック９がとおりＸＹ動作が可能な範囲で穴１７がお
いている。
下方に３次元移動テーブル全体を乗せたまま上・下方向
に移動できる構造になっている。その継目は金属シール
３等が入っている。三次元移動テーブルは固定ベース４
、Ｘ軸ベース５、Ｙ軸ベース６、Ｚ軸ベース７からなっ
ている。固定ベース４は底板２とスタッド８でつながっ
ておりその中央部にはＺ軸駆動ラック９がとおりＸＹ動
作が可能な範囲で穴１０がおいている。また固定ベース
４の上部にはＸ軸用のガイドバー１１が固定されている
。Ｘ軸ベース５は固定ベース４のガイドバー１１を案内
としてスライド部１２を介してＸ軸方向に移動可能とし
ている。Ｘ軸ベース５の上部にはＹ軸ベース案内用のガ
イドバー１３が固定されておりまた片面にはＸ軸駆動ラ
ック１４がはまり込むためのＸ軸駆軸用スライド溝１５
がある。また固定ベース４と同しように中央部にはＺ軸
用ラック９がとおりＸＹ動作が可能な範囲で穴１７がお
いている。
Ｙ軸ベース６はＸ軸ベース５のＹ軸案内ガイドバー１３
を案内としてスライド部１２を介してＹ軸方向に移動可
能になっている。Ｘ軸ベース５と同しように片面にはＹ
軸駆軸用ラック１８がはまりこむためのＹ軸駆軸用スラ
イド溝１９がある。Ｙ軸へ−ス６の中央にはＺ軸方向に
スライドできるＺ軸ベース７が上下摺動可能にはまりこ
んでおり、Ｚ軸駆動ラック９がＺ軸ベース７の下部のＸ
Ｙススライド溝１を通してＺ軸ベース７を上下動させる
ことができる。またＺ軸駆動ラック９に貫通穴２２を明
けておけば外部からＺ軸ベース７ヘガス等を導入するこ
とも可能である。
を案内としてスライド部１２を介してＹ軸方向に移動可
能になっている。Ｘ軸ベース５と同しように片面にはＹ
軸駆軸用ラック１８がはまりこむためのＹ軸駆軸用スラ
イド溝１９がある。Ｙ軸へ−ス６の中央にはＺ軸方向に
スライドできるＺ軸ベース７が上下摺動可能にはまりこ
んでおり、Ｚ軸駆動ラック９がＺ軸ベース７の下部のＸ
Ｙススライド溝１を通してＺ軸ベース７を上下動させる
ことができる。またＺ軸駆動ラック９に貫通穴２２を明
けておけば外部からＺ軸ベース７ヘガス等を導入するこ
とも可能である。
駆動モータ２３は外部に位置しモータによりピニオン２
４を回転させｘ、ｙ、ｚ軸駆動ラック１４．１８゜９に
動力を伝える機能を果たすことになるが、その気密のた
めの手段は第１図（Ａ）のように金属ベロー２５をつか
ってやるか、あるいは同図（Ｂ）のようにチャンバー１
内ヘモータ２３のシャフト２０部分を磁性流体シール２
６を通していれるか従来からの手段は任意である。
４を回転させｘ、ｙ、ｚ軸駆動ラック１４．１８゜９に
動力を伝える機能を果たすことになるが、その気密のた
めの手段は第１図（Ａ）のように金属ベロー２５をつか
ってやるか、あるいは同図（Ｂ）のようにチャンバー１
内ヘモータ２３のシャフト２０部分を磁性流体シール２
６を通していれるか従来からの手段は任意である。
さらにクローズトループでｘ、ｙ、ｚベースの位置を制
御する場合は第１図（Ｂ）に示すようにそれぞれのベー
スにＸ反射鏡２７．７反射鏡２８．２反射鏡２９をつけ
外部からチャンバー１の窓３ｏを通してレーザー光線に
よる光干渉法によって位置制御可能である。Ｚ反射！１
１２９はＹ軸ベース６にプリズムをおきＺ軸ベース７に
反射鏡をおきプリズムを介して定位置の窓３０からレー
ザー光を導入できる。
御する場合は第１図（Ｂ）に示すようにそれぞれのベー
スにＸ反射鏡２７．７反射鏡２８．２反射鏡２９をつけ
外部からチャンバー１の窓３ｏを通してレーザー光線に
よる光干渉法によって位置制御可能である。Ｚ反射！１
１２９はＹ軸ベース６にプリズムをおきＺ軸ベース７に
反射鏡をおきプリズムを介して定位置の窓３０からレー
ザー光を導入できる。
次に第２図（Ａ）と（Ｂ）に本発明の要部を拡大して示
す。
す。
第２図（Ａ） 、 （Ｂ）に示すものはＸ、 Ｙ軸とも
同じ構造なので一つにして示しである。このようにＸ。
同じ構造なので一つにして示しである。このようにＸ。
Ｙ軸スライド溝１５．１９とＸ、Ｙ軸駆動ラック１４，
１８の先端の形はスライド方向に自由に移動できるよう
にラックに保持されたボール３１がある。また底板２を
下げチャンバー１と離間するときには溝１５、１９から
ラック１４．１８は簡単にはずれるようになる。
１８の先端の形はスライド方向に自由に移動できるよう
にラックに保持されたボール３１がある。また底板２を
下げチャンバー１と離間するときには溝１５、１９から
ラック１４．１８は簡単にはずれるようになる。
第３図に示す断面図は真空チャンバー内にワークを［２
するＺベースを示すもので、このようにＸＹスライドｌ
Ｉ２１はＸ、Ｙ方向にはＺ軸駆動ラック９に内蔵された
ボール３１により自由に移動でき、貫通穴２２を通して
導かれたガス等は金属ベロー２５をとおしてＺ軸ベース
に導かれる。
するＺベースを示すもので、このようにＸＹスライドｌ
Ｉ２１はＸ、Ｙ方向にはＺ軸駆動ラック９に内蔵された
ボール３１により自由に移動でき、貫通穴２２を通して
導かれたガス等は金属ベロー２５をとおしてＺ軸ベース
に導かれる。
以上、本発明の真空チャンバー内でワークを３次元方向
に移動させる移動テーブルをチャンバー外からクローズ
トループで位置制御して駆動できるように構成したため
高パワーなモータでも低コストで使用できるようになり
高真空・極低温などの環境を害することなく、移動テー
ブルの位置制御ができるという効果を有する。
に移動させる移動テーブルをチャンバー外からクローズ
トループで位置制御して駆動できるように構成したため
高パワーなモータでも低コストで使用できるようになり
高真空・極低温などの環境を害することなく、移動テー
ブルの位置制御ができるという効果を有する。
第１図（Ａ） 、 （Ｂ）は、本発明の断面図で（Ａ）
は側面方向から、（Ｂ）は平面方向からの断面図である
。 第２図（Ａ）、（［１）は、本発明のｘ、Ｘ軸駆軸用ス
ライド溝とラックの断面図で（Ａ）は側面方向から、（
［１）は平面方向からの断面図である。 第３図は、本発明のワークを載置する要部を示す断面図
である。 ｌ・・・チャンバー ２ ・ ・ ・ 底（反 ５・・・Ｘ軸ベース ６・・・Ｙ軸ベース ７・・・Ｚ軸ベース ９・・・Ｚ信用駆動ラック ｌＯ・・・穴 １４・・・Ｘ軸駆動ラック １５・・・Ｘ軸駆軸用スライド溝 １７・・・穴 １８・・・Ｙ軸駆軸用ラック １９・・・Ｙ軸駆軸用スライド溝 ２１・・・ｘｙススライド 溝３・・・駆動モータ ２４・・・ピニオン 以 土 出願人 セイコー電子部品株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助３１方で−ｊし 不発日日の、巧区Ｖ力餞部の但・１筐ｒか何の防面図第
２図（Ａ） １５．１９ ｘ、Ｙｔ白、りす有用スフイＬｊ（本
え口開Ｉ？ｌ邸動±相登１の平面万句Ｖ直面図第２図（
８）
は側面方向から、（Ｂ）は平面方向からの断面図である
。 第２図（Ａ）、（［１）は、本発明のｘ、Ｘ軸駆軸用ス
ライド溝とラックの断面図で（Ａ）は側面方向から、（
［１）は平面方向からの断面図である。 第３図は、本発明のワークを載置する要部を示す断面図
である。 ｌ・・・チャンバー ２ ・ ・ ・ 底（反 ５・・・Ｘ軸ベース ６・・・Ｙ軸ベース ７・・・Ｚ軸ベース ９・・・Ｚ信用駆動ラック ｌＯ・・・穴 １４・・・Ｘ軸駆動ラック １５・・・Ｘ軸駆軸用スライド溝 １７・・・穴 １８・・・Ｙ軸駆軸用ラック １９・・・Ｙ軸駆軸用スライド溝 ２１・・・ｘｙススライド 溝３・・・駆動モータ ２４・・・ピニオン 以 土 出願人 セイコー電子部品株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助３１方で−ｊし 不発日日の、巧区Ｖ力餞部の但・１筐ｒか何の防面図第
２図（Ａ） １５．１９ ｘ、Ｙｔ白、りす有用スフイＬｊ（本
え口開Ｉ？ｌ邸動±相登１の平面万句Ｖ直面図第２図（
８）
Claims (1)
- 真空チャンバー内のワークを３次元方向に移動させる移
動テーブルを、チャンバー外からモータで駆動するもの
において、該モータとピニオンとラックで構成し、Ｘ軸
とＹ軸を駆動するラックの先端はそれぞれＸ軸用とＹ軸
用ベースの駆動用溝に係合し、Ｚ軸駆動ラックの先端は
、前記Ｘ軸用とＹ軸用のベースを貫いてＺ軸ベースに係
合し、前記Ｘ軸用とＹ軸用ベース及び前記Ｚ軸ベースと
その駆動機構は底板と一体であり、前記Ｘ軸とＹ軸を駆
動するラックはチャンバーと一体であり、該チャンバー
と前記底板が離間するとき、前記Ｘ軸とＹ軸を駆動する
ラックの先端と、前記駆動用溝との係合がはずれること
を特徴とする真空チャンバー用移動テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25987088A JPH02105094A (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | 真空チャンバー用移動テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25987088A JPH02105094A (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | 真空チャンバー用移動テーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02105094A true JPH02105094A (ja) | 1990-04-17 |
| JPH0585039B2 JPH0585039B2 (ja) | 1993-12-06 |
Family
ID=17340100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25987088A Granted JPH02105094A (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | 真空チャンバー用移動テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02105094A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009534707A (ja) * | 2006-04-19 | 2009-09-24 | レイセオン カンパニー | 調節可能な光学的取付け装置及び取付け方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6041894U (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-25 | 株式会社島津製作所 | 密閉室中の機器取付台作動装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6041894B2 (ja) * | 1977-08-10 | 1985-09-19 | 株式会社日立製作所 | 利得制御回路 |
-
1988
- 1988-10-14 JP JP25987088A patent/JPH02105094A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6041894U (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-25 | 株式会社島津製作所 | 密閉室中の機器取付台作動装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009534707A (ja) * | 2006-04-19 | 2009-09-24 | レイセオン カンパニー | 調節可能な光学的取付け装置及び取付け方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0585039B2 (ja) | 1993-12-06 |
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