JPH0575719U - ピンホール走査型レーザ顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ピンホールの直径を変えることなく、つまり
ピンホール基板の交換を行うことなく、共焦点効果を変
化できるピンホール走査型レーザ顕微鏡を提供する。 【構成】 ピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ−ル
基板を通過した照射光を試料に対して走査させ、前記試
料からの反射光を検出して、前記試料の像を得るピンホ
ール走査型レーザ顕微鏡において、前記ピンホール基板
面と顕微鏡の対物レンズの中間像面の間にリレーレンズ
を配置した構成としたことを特徴とする。また、前記リ
レーレンズは開口絞りを備えた構成としたことを特徴と
する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ−ル基板を通過した照射光 を試料に対して走査させ、前記試料からの反射光を検出して、前記試料の像を得 るピンホール走査型レーザ顕微鏡に関し、特にピンホール基板を交換しなくても 共焦点効果を変化できるようにしたピンホール走査型レーザ顕微鏡に関するもの である。

【０００２】

【従来の技術】

図３はピンホール走査型レーザ顕微鏡の従来例である。このピンホール走査型 レーザ顕微鏡は、複数のピンホールが形成されたピンホール基板１を一定速度で 回転させ、ピンホール基板１の回転に伴うピンホールの移動により試料３への集 束光点を走査している。

【０００３】 図３において、図示しない光源からの出射光は、ピンホール基板１に照射され る。この照射光の内、ピンホール基板１に形成された複数のピンホールを通過し た光は、顕微鏡２のＣマウント２ａを介して顕微鏡２内に入射され、顕微鏡２の 対物レンズ２ｂを経て試料３に集束される。試料３からの反射光は、同一の光路 を通って、顕微鏡２に入射され、接眼レンズ等を介して観察されると共に、ピン ホール基板１を通過して、図示しない光検出器で検出され、試料３の画像化が行 われる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来のピンホール走査型レーザ顕微鏡では、ピンホール基板１ に形成されたピンホールの直径を変えることにより、共焦点効果を変化させてい た。つまり、ピンホールの直径を変えた何種類かのピンホール基板を用意してお き、共焦点効果を変化させる時にピンホール基板を交換させていた。したがって 、ピンホール基板の交換の度に光学系の再調整を行う必要があり、コストや時間 がかかっていた。

【０００５】 本考案は、上記従来技術の課題を踏まえて成されたものであり、ピンホールの 直径を変えることなく、つまりピンホール基板の交換を行うことなく、共焦点効 果を変化できるピンホール走査型レーザ顕微鏡を提供することを目的としたもの である。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するための本発明の第１の構成は、 ピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ−ル基板を通過した照射光を試料に対 して走査させ、前記試料からの反射光を検出して、前記試料の像を得るピンホー ル走査型レーザ顕微鏡において、 前記ピンホール基板面と顕微鏡の対物レンズの中間像面の間にリレーレンズを 配置した構成としたことを特徴とする。 また、第２の構成は、 前記リレーレンズは開口絞りを備えた構成としたことを特徴とする。

【０００７】

【作用】

顕微鏡の対物レンズの中間像面とピンホール基板面の間にリレーレンズを配置 し、そのリレーレンズにより、ピンホール入射光の開口数を変化させ、ビームウ ェストを可変にして、共焦点効果を変化させている。したがって、ピンホールの 直径を変えることなく、つまり、ピンホール基板の交換を行うことなく、共焦点 効果を連続的に変化させることができ、ピンホール基板の交換取付け後の再調整 が必要なくなり、調整の容易化、低コストを可能にできる。

【０００８】

【実施例】

以下、本考案を図面に基づいて説明する。 図１は本考案のピンホール走査型レーザ顕微鏡の一実施例を示す構成図である 。なお、図１において図３と同一要素には同一符号を付して重複する説明は省略 する。図１において図３との相違点は、顕微鏡２の対物レンズ２ａの中間像面に 相当する顕微鏡２のＣマウント２ａの結像面とピンホール基板１面の間にリレー レンズ４を配置している点であり、このリレーレンズ４として開口数の異なるも のを何種類か用意しておく。

【０００９】 このような構成において、共焦点効果はビーム径とピンホール径の比で変化す るものであり、ビーム径は、 ビーム径＝１．２２×（波長／開口数） で表される。したがって、開口数の異なる何種類かのリレーレンズ４を交換する ことにより、共焦点効果を変化させられる。

【００１０】 また、このリレーレンズ４に開口絞り５を設け、この開口絞り５を変化させる 。この場合、試料３から反射されたレーザ光のピンホールへの入射開口数を変化 せることが可能となる。例えば、開口絞り５を絞ると開口数が小さくなるので、 ビーム径を太くできる。したがって、ピンホール基板面でのビームウェストが変 化するため、共焦点効果を連続的に変化させることができる。

【００１１】 このように上記実施例によれば、試料から反射されたレーザ光のピンホールへ の入射開口数を変化させることが可能となり、ピンホール基板面でのビームウェ ストが変化することにより、共焦点効果を連続的に変化させることができる。し たがって、従来、共焦点効果を変化させるために、ピンホールの直径の異なる何 種類かのピンホール基板の交換を行い、その度に再調整を行っていたが、その必 要がなくなり、調整の容易化、低コスト化を図れる。

【００１２】 図２は本考案のピンホール走査型レーザ顕微鏡の他の実施例を示す構成図であ る。図２においても同様に同一要素には同一符号を付して重複する説明は省略す る。図２において図１との相違点は、リレーレンズ４の代わりにズームレンズ６ を用いた点である。このズームレンズ６によりピンホール入射レーザの開口数を 変化させることが可能であるため、ピンホール基板面でのビームウェストが変化 する。したがって、共焦点効果を連続的に変化させることができる。なお、この 場合は、共焦点効果を高くすると、像の倍率も大きくなってしまうという点が課 題として生じる。

【００１３】

【考案の効果】

以上、実施例と共に具体的に説明したように、本考案によれば、ピンホ−ルの 直径を変えることなく、入射ビームのビームウェスト変化により共焦点効果を連 続的に変化させることができる。故に、ピンホール直径の異なる何種類かのピン ホール基板を用意して、取付け交換後の再調整をする必要がなくなり、低コスト 、調整の容易化を可能とする効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のピンホール走査型レーザ顕微鏡の一実
施例を示す構成図である。

【図２】本考案のピンホ−ル走査型レーザ顕微鏡の他の
実施例を示す構成図である。

【図３】ピンホール走査型レーザ顕微鏡の従来例であ
る。

【符号の説明】

１ ピンホール基板 ２ 顕微鏡 ２ａ Ｃマウント ２ｂ 対物レンズ ３ 試料 ４ リレーレンズ ５ 開口絞り ６ ズームレンズ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ピンホ−ル基板を回転させ、このピンホ
   −ル基板を通過した照射光を試料に対して走査させ、前
   記試料からの反射光を検出して、前記試料の像を得るピ
   ンホール走査型レーザ顕微鏡において、 前記ピンホール基板面と顕微鏡の対物レンズの中間像面
   の間にリレーレンズを配置した構成としたことを特徴と
   するピンホール走査型レーザ顕微鏡。
2. 【請求項２】 請求項１記載のピンホール走査型レーザ
   顕微鏡において、 前記リレーレンズは開口絞りを備えた構成としたことを
   特徴とするピンホール走査型レーザ顕微鏡。