JP2590006Y2 - ピンホール走査型レーザ顕微鏡 - Google Patents
ピンホール走査型レーザ顕微鏡Info
- Publication number
- JP2590006Y2 JP2590006Y2 JP1992015132U JP1513292U JP2590006Y2 JP 2590006 Y2 JP2590006 Y2 JP 2590006Y2 JP 1992015132 U JP1992015132 U JP 1992015132U JP 1513292 U JP1513292 U JP 1513292U JP 2590006 Y2 JP2590006 Y2 JP 2590006Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pinhole
- sample
- substrate
- laser microscope
- microscope
- Prior art date
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、ピンホ−ル基板を回転
させ、このピンホ−ル基板を通過した照射光を試料に対
して走査させ、前記試料からの反射光を検出して、前記
試料の像を得るピンホール走査型レーザ顕微鏡に関し、
特にピンホール基板を交換しなくても共焦点効果を変化
できるようにしたピンホール走査型レーザ顕微鏡に関す
るものである。
させ、このピンホ−ル基板を通過した照射光を試料に対
して走査させ、前記試料からの反射光を検出して、前記
試料の像を得るピンホール走査型レーザ顕微鏡に関し、
特にピンホール基板を交換しなくても共焦点効果を変化
できるようにしたピンホール走査型レーザ顕微鏡に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】図３はピンホール走査型レーザ顕微鏡の
従来例である。このピンホール走査型レーザ顕微鏡は、
複数のピンホールが形成されたピンホール基板１を一定
速度で回転させ、ピンホール基板１の回転に伴うピンホ
ールの移動により試料３への集束光点を走査している。
従来例である。このピンホール走査型レーザ顕微鏡は、
複数のピンホールが形成されたピンホール基板１を一定
速度で回転させ、ピンホール基板１の回転に伴うピンホ
ールの移動により試料３への集束光点を走査している。
【０００３】図３において、図示しない光源からの出射
光は、ピンホール基板１に照射される。この照射光の
内、ピンホール基板１に形成された複数のピンホールを
通過した光は、顕微鏡２のＣマウント２ａを介して顕微
鏡２内に入射され、顕微鏡２の対物レンズ２ｂを経て試
料３に集束される。試料３からの反射光は、同一の光路
を通って、顕微鏡２に入射され、接眼レンズ等を介して
観察されると共に、ピンホール基板１を通過して、図示
しない光検出器で検出され、試料３の画像化が行われ
る。
光は、ピンホール基板１に照射される。この照射光の
内、ピンホール基板１に形成された複数のピンホールを
通過した光は、顕微鏡２のＣマウント２ａを介して顕微
鏡２内に入射され、顕微鏡２の対物レンズ２ｂを経て試
料３に集束される。試料３からの反射光は、同一の光路
を通って、顕微鏡２に入射され、接眼レンズ等を介して
観察されると共に、ピンホール基板１を通過して、図示
しない光検出器で検出され、試料３の画像化が行われ
る。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ピンホール走査型レーザ顕微鏡では、ピンホール基板１
に形成されたピンホールの直径を変えることにより、共
焦点効果を変化させていた。つまり、ピンホールの直径
を変えた何種類かのピンホール基板を用意しておき、共
焦点効果を変化させる時にピンホール基板を交換させて
いた。したがって、ピンホール基板の交換の度に光学系
の再調整を行う必要があり、コストや時間がかかってい
た。
ピンホール走査型レーザ顕微鏡では、ピンホール基板１
に形成されたピンホールの直径を変えることにより、共
焦点効果を変化させていた。つまり、ピンホールの直径
を変えた何種類かのピンホール基板を用意しておき、共
焦点効果を変化させる時にピンホール基板を交換させて
いた。したがって、ピンホール基板の交換の度に光学系
の再調整を行う必要があり、コストや時間がかかってい
た。
【０００５】本考案は、上記従来技術の課題を踏まえて
成されたものであり、ピンホールの直径を変えることな
く、つまりピンホール基板の交換を行うことなく、共焦
点効果を変化できるピンホール走査型レーザ顕微鏡を提
供することを目的としたものである。
成されたものであり、ピンホールの直径を変えることな
く、つまりピンホール基板の交換を行うことなく、共焦
点効果を変化できるピンホール走査型レーザ顕微鏡を提
供することを目的としたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本考案の第1の構成は、ピンホール基板を回転させ、
このピンホール基板を通過した照射光を試料に対して走
査させ、前記試料からの反射光を検出して、前記試料の
像を得るピンホール走査型レーザ顕微鏡において、前記
顕微鏡の対物レンズの中間像面と前記ピンホール基板面
との間に開口数の異なるリレーレンズを交換可能に配置
し、前記リレーレンズを交換して開口数を変えることに
より等価的に前記ピンホールの直径を拡大または縮小さ
せるように構成したことを特徴とする。このような構成
によれば、リレーレンズを交換してその開口数を変える
ことにより、ピンホール基板の交換を行うことなくピン
ホールの直径を等価的に拡大または縮小させることがで
きる。また、第２の構成は、前記リレーレンズは開口絞
りを備えた構成としたことを特徴とする。この開口絞り
を変化させると、試料からの反射レーザ光のピンホール
への入射開口数を変化させることができる。更に、第３
の構成は、ピンホール基板を回転させ、このピンホール
基板を通過した照射光を試料に対して走査させ、前記試
料からの反射光を検出して、前記試料の像を得るピンホ
ール走査型レーザ顕微鏡において、前記顕微鏡の対物レ
ンズの中間像面と前記ピンホール基板面との間にズーム
レンズを配置し、前記ズームレンズにより等価的に前記
ピンホールの直径を拡大または縮小させるように構成し
たことを特徴とする。このような構成によれば、前記第
１の構成のようにレンズ交換を行わずに、ズームレンズ
の調整によりピンホールの直径を等価的に拡大または縮
小させることができる。
の本考案の第1の構成は、ピンホール基板を回転させ、
このピンホール基板を通過した照射光を試料に対して走
査させ、前記試料からの反射光を検出して、前記試料の
像を得るピンホール走査型レーザ顕微鏡において、前記
顕微鏡の対物レンズの中間像面と前記ピンホール基板面
との間に開口数の異なるリレーレンズを交換可能に配置
し、前記リレーレンズを交換して開口数を変えることに
より等価的に前記ピンホールの直径を拡大または縮小さ
せるように構成したことを特徴とする。このような構成
によれば、リレーレンズを交換してその開口数を変える
ことにより、ピンホール基板の交換を行うことなくピン
ホールの直径を等価的に拡大または縮小させることがで
きる。また、第２の構成は、前記リレーレンズは開口絞
りを備えた構成としたことを特徴とする。この開口絞り
を変化させると、試料からの反射レーザ光のピンホール
への入射開口数を変化させることができる。更に、第３
の構成は、ピンホール基板を回転させ、このピンホール
基板を通過した照射光を試料に対して走査させ、前記試
料からの反射光を検出して、前記試料の像を得るピンホ
ール走査型レーザ顕微鏡において、前記顕微鏡の対物レ
ンズの中間像面と前記ピンホール基板面との間にズーム
レンズを配置し、前記ズームレンズにより等価的に前記
ピンホールの直径を拡大または縮小させるように構成し
たことを特徴とする。このような構成によれば、前記第
１の構成のようにレンズ交換を行わずに、ズームレンズ
の調整によりピンホールの直径を等価的に拡大または縮
小させることができる。
【０００７】
【作用】顕微鏡の対物レンズの中間像面とピンホール基
板面の間にリレーレンズを配置し、そのリレーレンズに
より、ピンホール入射光の開口数を変化させ、ビームウ
ェストを可変にして、共焦点効果を変化させている。し
たがって、ピンホールの直径を変えることなく、つま
り、ピンホール基板の交換を行うことなく、共焦点効果
を連続的に変化させることができ、ピンホール基板の交
換取付け後の再調整が必要なくなり、調整の容易化、低
コストを可能にできる。
板面の間にリレーレンズを配置し、そのリレーレンズに
より、ピンホール入射光の開口数を変化させ、ビームウ
ェストを可変にして、共焦点効果を変化させている。し
たがって、ピンホールの直径を変えることなく、つま
り、ピンホール基板の交換を行うことなく、共焦点効果
を連続的に変化させることができ、ピンホール基板の交
換取付け後の再調整が必要なくなり、調整の容易化、低
コストを可能にできる。
【０００８】
【実施例】以下、本考案を図面に基づいて説明する。図
１は本考案のピンホール走査型レーザ顕微鏡の一実施例
を示す構成図である。なお、図１において図３と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。図１
において図３との相違点は、顕微鏡２の対物レンズ２ａ
の中間像面に相当する顕微鏡２のＣマウント２ａの結像
面とピンホール基板１面の間にリレーレンズ４を配置し
ている点であり、このリレーレンズ４として開口数の異
なるものを何種類か用意しておく。
１は本考案のピンホール走査型レーザ顕微鏡の一実施例
を示す構成図である。なお、図１において図３と同一要
素には同一符号を付して重複する説明は省略する。図１
において図３との相違点は、顕微鏡２の対物レンズ２ａ
の中間像面に相当する顕微鏡２のＣマウント２ａの結像
面とピンホール基板１面の間にリレーレンズ４を配置し
ている点であり、このリレーレンズ４として開口数の異
なるものを何種類か用意しておく。
【０００９】このような構成において、共焦点効果はビ
ーム径とピンホール径の比で変化するものであり、ビー
ム径は、 ビーム径＝１．２２×（波長／開口数） で表される。したがって、開口数の異なる何種類かのリ
レーレンズ４を交換することにより、共焦点効果を変化
させられる。
ーム径とピンホール径の比で変化するものであり、ビー
ム径は、 ビーム径＝１．２２×（波長／開口数） で表される。したがって、開口数の異なる何種類かのリ
レーレンズ４を交換することにより、共焦点効果を変化
させられる。
【００１０】また、このリレーレンズ４に開口絞り５を
設け、この開口絞り５を変化させる。この場合、試料３
から反射されたレーザ光のピンホールへの入射開口数を
変化せることが可能となる。例えば、開口絞り５を絞る
と開口数が小さくなるので、ビーム径を太くできる。し
たがって、ピンホール基板面でのビームウェストが変化
するため、共焦点効果を連続的に変化させることができ
る。
設け、この開口絞り５を変化させる。この場合、試料３
から反射されたレーザ光のピンホールへの入射開口数を
変化せることが可能となる。例えば、開口絞り５を絞る
と開口数が小さくなるので、ビーム径を太くできる。し
たがって、ピンホール基板面でのビームウェストが変化
するため、共焦点効果を連続的に変化させることができ
る。
【００１１】このように上記実施例によれば、試料から
反射されたレーザ光のピンホールへの入射開口数を変化
させることが可能となり、ピンホール基板面でのビーム
ウェストが変化することにより、共焦点効果を連続的に
変化させることができる。したがって、従来、共焦点効
果を変化させるために、ピンホールの直径の異なる何種
類かのピンホール基板の交換を行い、その度に再調整を
行っていたが、その必要がなくなり、調整の容易化、低
コスト化を図れる。
反射されたレーザ光のピンホールへの入射開口数を変化
させることが可能となり、ピンホール基板面でのビーム
ウェストが変化することにより、共焦点効果を連続的に
変化させることができる。したがって、従来、共焦点効
果を変化させるために、ピンホールの直径の異なる何種
類かのピンホール基板の交換を行い、その度に再調整を
行っていたが、その必要がなくなり、調整の容易化、低
コスト化を図れる。
【００１２】図２は本考案のピンホール走査型レーザ顕
微鏡の他の実施例を示す構成図である。図２においても
同様に同一要素には同一符号を付して重複する説明は省
略する。図２において図１との相違点は、リレーレンズ
４の代わりにズームレンズ６を用いた点である。このズ
ームレンズ６によりピンホール入射レーザの開口数を変
化させることが可能であるため、ピンホール基板面での
ビームウェストが変化する。したがって、共焦点効果を
連続的に変化させることができる。なお、この場合は、
共焦点効果を高くすると、像の倍率も大きくなってしま
うという点が課題として生じる。
微鏡の他の実施例を示す構成図である。図２においても
同様に同一要素には同一符号を付して重複する説明は省
略する。図２において図１との相違点は、リレーレンズ
４の代わりにズームレンズ６を用いた点である。このズ
ームレンズ６によりピンホール入射レーザの開口数を変
化させることが可能であるため、ピンホール基板面での
ビームウェストが変化する。したがって、共焦点効果を
連続的に変化させることができる。なお、この場合は、
共焦点効果を高くすると、像の倍率も大きくなってしま
うという点が課題として生じる。
【００１３】
【考案の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本考案によれば、ピンホ−ルの直径を変えること
なく、入射ビームのビームウェスト変化により共焦点効
果を連続的に変化させることができる。故に、ピンホー
ル直径の異なる何種類かのピンホール基板を用意して、
取付け交換後の再調整をする必要がなくなり、低コス
ト、調整の容易化を可能とする効果がある。
うに、本考案によれば、ピンホ−ルの直径を変えること
なく、入射ビームのビームウェスト変化により共焦点効
果を連続的に変化させることができる。故に、ピンホー
ル直径の異なる何種類かのピンホール基板を用意して、
取付け交換後の再調整をする必要がなくなり、低コス
ト、調整の容易化を可能とする効果がある。
【図１】本考案のピンホール走査型レーザ顕微鏡の一実
施例を示す構成図である。
施例を示す構成図である。
【図２】本考案のピンホ−ル走査型レーザ顕微鏡の他の
実施例を示す構成図である。
実施例を示す構成図である。
【図３】ピンホール走査型レーザ顕微鏡の従来例であ
る。
る。
１ ピンホール基板 ２ 顕微鏡 ２ａ Ｃマウント ２ｂ 対物レンズ ３ 試料 ４ リレーレンズ ５ 開口絞り ６ ズームレンズ
Claims (3)
- 【請求項１】 ピンホール基板を回転させ、このピンホ
ール基板を通過した照射光を試料に対して走査させ、前
記試料からの反射光を検出して、前記試料の像を得るピ
ンホール走査型レーザ顕微鏡において、前記顕微鏡の対物レンズの中間像面と前記ピンホール基
板面との間に開口数の異なるリレーレンズを交換可能に
配置し、 前記リレーレンズを交換して開口数を変えることにより
等価的に前記ピンホールの直径を拡大または縮小させる
ように 構成したことを特徴とするピンホール走査型レー
ザ顕微鏡。 - 【請求項２】 請求項１記載のピンホール走査型レーザ
顕微鏡において、 前記リレーレンズは開口絞りを備えた構成としたことを
特徴とするピンホール走査型レーザ顕微鏡。 - 【請求項３】 ピンホール基板を回転させ、このピンホ
ール基板を通過した照射光を試料に対して走査させ、前
記試料からの反射光を検出して、前記試料の像を得るピ
ンホール走査型レーザ顕微鏡において、 前記顕微鏡の対物レンズの中間像面と前記ピンホール基
板面との間にズームレンズを配置し、 前記ズームレンズにより等価的に前記ピンホールの直径
を拡大または縮小させるように構成したことを特徴とす
るピンホール走査型レーザ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992015132U JP2590006Y2 (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | ピンホール走査型レーザ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992015132U JP2590006Y2 (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | ピンホール走査型レーザ顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0575719U JPH0575719U (ja) | 1993-10-15 |
| JP2590006Y2 true JP2590006Y2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=11880300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992015132U Expired - Lifetime JP2590006Y2 (ja) | 1992-03-23 | 1992-03-23 | ピンホール走査型レーザ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2590006Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3291825B2 (ja) * | 1993-04-07 | 2002-06-17 | 石川島播磨重工業株式会社 | レーザ顕微鏡によるパターン形状測定方法 |
| JP4550380B2 (ja) | 2003-07-03 | 2010-09-22 | オリンパス株式会社 | 共焦点顕微鏡 |
| DE102012217967A1 (de) * | 2012-10-01 | 2014-04-03 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Konfokales Mikroskop mit frei einstellbarer Probenabtastung |
| JP7134727B2 (ja) * | 2018-06-13 | 2022-09-12 | 横河電機株式会社 | ディスク走査型顕微鏡 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2578376B2 (ja) * | 1989-12-19 | 1997-02-05 | 横河電機株式会社 | ピンホール基板及びその作製方法 |
| JP2918995B2 (ja) * | 1990-06-07 | 1999-07-12 | オリンパス光学工業株式会社 | 共焦点光学系 |
-
1992
- 1992-03-23 JP JP1992015132U patent/JP2590006Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0575719U (ja) | 1993-10-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |