JP2578376B2 - ピンホール基板及びその作製方法 - Google Patents
ピンホール基板及びその作製方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、球面波発生装置や共焦点顕微鏡等に用いる
ピンホール基板に関するものである。
ピンホール基板に関するものである。
〈従来の技術〉 第４図は螺旋状に配置された多数のピンホールを有す
るピンホール基板を用いた共焦点顕微鏡の一例を示す構
成図である。第４図において、図示しない光源からの出
射光は偏向子1a、ビームスプリッタ２を通ってピンホー
ル基板３に照射される。この照射光の内、ピンホール基
板３に螺旋状に配置された多数のピンホール3aの幾つか
を通過した光は、1/4波長板４、対物レンズ５を経て試
料６に集光される。試料６からの反射光は同一の光路を
通ってピンホール基板３のピンホール3aの１つに集光さ
れ、ピンホール3aを通って、ビームスプリッタ２、偏向
子1bを経て接眼レンズ７を介して試料６の像を目で捕ら
えることができる。この装置ではピンホール基板３をモ
ータ3bで一定速度で回転させており、ピンホール基板３
の回転に伴うピンホール3aの移動により、試料６への集
束光点を走査している。
るピンホール基板を用いた共焦点顕微鏡の一例を示す構
成図である。第４図において、図示しない光源からの出
射光は偏向子1a、ビームスプリッタ２を通ってピンホー
ル基板３に照射される。この照射光の内、ピンホール基
板３に螺旋状に配置された多数のピンホール3aの幾つか
を通過した光は、1/4波長板４、対物レンズ５を経て試
料６に集光される。試料６からの反射光は同一の光路を
通ってピンホール基板３のピンホール3aの１つに集光さ
れ、ピンホール3aを通って、ビームスプリッタ２、偏向
子1bを経て接眼レンズ７を介して試料６の像を目で捕ら
えることができる。この装置ではピンホール基板３をモ
ータ3bで一定速度で回転させており、ピンホール基板３
の回転に伴うピンホール3aの移動により、試料６への集
束光点を走査している。
〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら上記従来技術に示す螺旋状に配置された
多数のピンホール3aを有するピンホール基板３に図示し
ない光源から光が照射された際、ピンホール3aの開口面
積が１％とすれば、ピンホール3aを通過する光はピンホ
ール基板３への全照射光の１％、即ち光の利用効率が１
％と非常に悪いものであるという課題があった。
多数のピンホール3aを有するピンホール基板３に図示し
ない光源から光が照射された際、ピンホール3aの開口面
積が１％とすれば、ピンホール3aを通過する光はピンホ
ール基板３への全照射光の１％、即ち光の利用効率が１
％と非常に悪いものであるという課題があった。
本発明は上記従来技術の課題を踏まえて成されたもの
であり、光利用効率を向上したピンホール基板を提供す
ることを目的としたものである。
であり、光利用効率を向上したピンホール基板を提供す
ることを目的としたものである。
〈課題を解決するための手段〉 上記課題を解決するための本発明の構成は、ピンホー
ルが設けられた基板の入射光側の前記ピンホールの入口
に透明樹脂を球面状に硬化して形成されたマイクロレン
ズを備えた構成としたことを特徴とするものであり、そ
の作製方法として、ピンホールが設けられた基板の入射
光側の面に光硬化型透明樹脂を塗布し、次いで前記基板
の出射光側の面に強い強度の光を照射して前記ピンホー
ルから球面波を発生させて、前記光硬化型透明樹脂を球
面状に硬化させ、その後球面状に硬化した部分以外の樹
脂を除去することにより、前記ピンホールの入口に球面
状のマイクロレンズを形成させることを特徴とするもの
である。
ルが設けられた基板の入射光側の前記ピンホールの入口
に透明樹脂を球面状に硬化して形成されたマイクロレン
ズを備えた構成としたことを特徴とするものであり、そ
の作製方法として、ピンホールが設けられた基板の入射
光側の面に光硬化型透明樹脂を塗布し、次いで前記基板
の出射光側の面に強い強度の光を照射して前記ピンホー
ルから球面波を発生させて、前記光硬化型透明樹脂を球
面状に硬化させ、その後球面状に硬化した部分以外の樹
脂を除去することにより、前記ピンホールの入口に球面
状のマイクロレンズを形成させることを特徴とするもの
である。
〈作用〉 本発明によると、ピンホールの開口面積より広い面積
を有するマイクロレンズをピンホールの入射光側に設け
ており、より多くの入射光をピンホールに集めることが
できる。
を有するマイクロレンズをピンホールの入射光側に設け
ており、より多くの入射光をピンホールに集めることが
できる。
〈実施例〉 以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明に係わるピンホール基板の一実施例を
示す構成図である。第１図において、ピンホール10bが
設けられた基板10aの入射光側には、光硬化型透明樹脂
が球面状に硬化して成るマイクロレンズ10cがピンホー
ル10bの入口部分に形成されている。ここで、第２図は
本発明に係わるピンホール基板の作製方法を示す工程図
である。第２図において、基板10aにはピンホール10bが
設けてある。この基板10aの入射光側に光硬化型透明樹
脂20を塗布する（イ図）。この時、ピンホール10bの孔
径は１〜数十μｍと小さいため、表面張力により光硬化
型透明樹脂20がピンホール10bを通って出射光側に漏れ
ることはない。その後、出射光側から強い強度の光を基
板10aに照射させると、ピンホール10bを通った光は、光
硬化型透明樹脂20が塗布された基板10aの入射光側に球
面波となって発生する。光硬化型透明樹脂20は、強い強
度の光が照射された部分が硬化していくため、球面波の
照射された部分20aだけが球面状に硬化していく（ロ
図）。次に、硬化された以外の液状部分は洗い流して除
去することにより、基板10aには光硬化型透明樹脂20が
球面状に硬化して成るマイクロレンズ10c（球面状に硬
化した部分20a）がピンホール10bの入口部分に形成され
る（ハ図）。第１図に戻り、このピンホール基板10に図
示しない光源から光が照射されると、マイクロレンズ10
cにより入射光がピンホール10bの入口に集められ、マイ
クロレンズ10cがない構成のものに比べて、より多くの
光を集光できるため、光の利用効率を向上することがで
きる。なお、マイクロレンズ10cがピンホール10bの出射
光側に設けてあると、出射光には波面収差が発生し、き
れいな球面波を得ることができないが、マイクロレンズ
10cをピンホール10bの入射光側に設けてあるため、出射
光は波面収差の小さいきれいな球面波となる。
示す構成図である。第１図において、ピンホール10bが
設けられた基板10aの入射光側には、光硬化型透明樹脂
が球面状に硬化して成るマイクロレンズ10cがピンホー
ル10bの入口部分に形成されている。ここで、第２図は
本発明に係わるピンホール基板の作製方法を示す工程図
である。第２図において、基板10aにはピンホール10bが
設けてある。この基板10aの入射光側に光硬化型透明樹
脂20を塗布する（イ図）。この時、ピンホール10bの孔
径は１〜数十μｍと小さいため、表面張力により光硬化
型透明樹脂20がピンホール10bを通って出射光側に漏れ
ることはない。その後、出射光側から強い強度の光を基
板10aに照射させると、ピンホール10bを通った光は、光
硬化型透明樹脂20が塗布された基板10aの入射光側に球
面波となって発生する。光硬化型透明樹脂20は、強い強
度の光が照射された部分が硬化していくため、球面波の
照射された部分20aだけが球面状に硬化していく（ロ
図）。次に、硬化された以外の液状部分は洗い流して除
去することにより、基板10aには光硬化型透明樹脂20が
球面状に硬化して成るマイクロレンズ10c（球面状に硬
化した部分20a）がピンホール10bの入口部分に形成され
る（ハ図）。第１図に戻り、このピンホール基板10に図
示しない光源から光が照射されると、マイクロレンズ10
cにより入射光がピンホール10bの入口に集められ、マイ
クロレンズ10cがない構成のものに比べて、より多くの
光を集光できるため、光の利用効率を向上することがで
きる。なお、マイクロレンズ10cがピンホール10bの出射
光側に設けてあると、出射光には波面収差が発生し、き
れいな球面波を得ることができないが、マイクロレンズ
10cをピンホール10bの入射光側に設けてあるため、出射
光は波面収差の小さいきれいな球面波となる。
第３図は本発明に係わるピンホール基板の他の作製方
法を示す図である。この作製方法では、ピンホール10b
が設けられた基板10aの出射光側から透明樹脂30をピン
ホール10bを通して圧力をかけて注入する。基板10aの入
射光側には表面張力により球面状に透明樹脂30が押出さ
れた部分30aが形成される。この球面状に形成された透
明樹脂30aを硬化させることにより、ピンホール基板10
が作製できる。この作製方法に用いる透明樹脂30は光硬
化型に限るものではなく、時間硬化型や熱硬化型を用い
ても可能である。
法を示す図である。この作製方法では、ピンホール10b
が設けられた基板10aの出射光側から透明樹脂30をピン
ホール10bを通して圧力をかけて注入する。基板10aの入
射光側には表面張力により球面状に透明樹脂30が押出さ
れた部分30aが形成される。この球面状に形成された透
明樹脂30aを硬化させることにより、ピンホール基板10
が作製できる。この作製方法に用いる透明樹脂30は光硬
化型に限るものではなく、時間硬化型や熱硬化型を用い
ても可能である。
又、ガラス基板の片面に薄膜を形成させ、薄膜にピン
ホールが設けてあるような構成の場合においても、第２
図の作製方法によれば、本発明のピンホール基板を作製
することは可能であり、同様の効果を得ることができ
る。
ホールが設けてあるような構成の場合においても、第２
図の作製方法によれば、本発明のピンホール基板を作製
することは可能であり、同様の効果を得ることができ
る。
更に、マイクロレンズを１回で形成させるのではな
く、何回かに分けて形成させても良く、その場合、各層
の屈折率や粘性を変化させることにより、マイクロレン
ズ部分の設計の自由度を広くすることができ、第２図に
示す作製方法だけでなく、第２図と第３図の作製方法を
組合せて用いても可能である。
く、何回かに分けて形成させても良く、その場合、各層
の屈折率や粘性を変化させることにより、マイクロレン
ズ部分の設計の自由度を広くすることができ、第２図に
示す作製方法だけでなく、第２図と第３図の作製方法を
組合せて用いても可能である。
〈発明の効果〉 以上、実施例と共に具体的に説明したように、本発明
によれば、光硬化や注入等の方法を用いて容易に形成で
きる球面状のマイクロレンズをピンホールの入射光側に
設けることにより、より多くの入射光をピンホールに集
光できるので、光の利用効率を向上できるピンホール基
板を実現することができる。
によれば、光硬化や注入等の方法を用いて容易に形成で
きる球面状のマイクロレンズをピンホールの入射光側に
設けることにより、より多くの入射光をピンホールに集
光できるので、光の利用効率を向上できるピンホール基
板を実現することができる。
第１図は本発明に係わるピンホール基板の一実施例を示
す構成図、第２図は本発明に係わるピンホール基板の作
製方法を示す工程図、第３図は本発明に係わるピンホー
ル基板の他の作製方法を示す図、第４図は従来のピンホ
ール基板を用いた共焦点顕微鏡の構成図である。 10…ピンホール基板、10a…基板、10b…ピンホール、10
c…マイクロレンズ、20…光硬化型透明樹脂、20a…球面
状に硬化した部分。
す構成図、第２図は本発明に係わるピンホール基板の作
製方法を示す工程図、第３図は本発明に係わるピンホー
ル基板の他の作製方法を示す図、第４図は従来のピンホ
ール基板を用いた共焦点顕微鏡の構成図である。 10…ピンホール基板、10a…基板、10b…ピンホール、10
c…マイクロレンズ、20…光硬化型透明樹脂、20a…球面
状に硬化した部分。
Claims (2)
- 【請求項１】ピンホールが設けられた基板の入射光側の
前記ピンホールの入口に透明樹脂を球面状に硬化して形
成されたマイクロレンズを備えた構成としたことを特徴
とするピンホール基板。 - 【請求項２】ピンホールが設けられた基板の入射光側の
面に光硬化型透明樹脂を塗布し、次いで前記基板の出射
光側の面に強い強度の光を照射して前記ピンホールから
球面波を発生させて、前記光硬化型透明樹脂を球面状に
硬化させ、その後球面状に硬化した部分以外の樹脂を除
去することにより、前記ピンホールの入口に球面状のマ
イクロレンズを形成させることを特徴とするピンホール
基板の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32916489A JP2578376B2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | ピンホール基板及びその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32916489A JP2578376B2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | ピンホール基板及びその作製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03189601A JPH03189601A (ja) | 1991-08-19 |
| JP2578376B2 true JP2578376B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=18218360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32916489A Expired - Fee Related JP2578376B2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | ピンホール基板及びその作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2578376B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021040116A1 (en) * | 2019-08-28 | 2021-03-04 | Lg Electronics Inc. | Electronic device |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0527714U (ja) * | 1991-09-13 | 1993-04-09 | 横河電機株式会社 | 透過型共焦点用光スキヤナ |
| JPH0533109U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点レ−ザ顕微鏡 |
| JPH0533111U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点用光スキヤナ |
| DE727684T1 (de) * | 1991-10-31 | 1997-02-13 | Yokogawa Electric Corp | Konfokaler optischer Scanner |
| JP2590006Y2 (ja) * | 1992-03-23 | 1999-02-10 | 横河電機株式会社 | ピンホール走査型レーザ顕微鏡 |
| JP3023085B2 (ja) * | 1998-03-13 | 2000-03-21 | 財団法人神奈川科学技術アカデミー | 集光素子の製造方法 |
-
1989
- 1989-12-19 JP JP32916489A patent/JP2578376B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021040116A1 (en) * | 2019-08-28 | 2021-03-04 | Lg Electronics Inc. | Electronic device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03189601A (ja) | 1991-08-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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