JPH11202217A - 共焦点顕微鏡装置 - Google Patents
共焦点顕微鏡装置Info
- Publication number
- JPH11202217A JPH11202217A JP10002803A JP280398A JPH11202217A JP H11202217 A JPH11202217 A JP H11202217A JP 10002803 A JP10002803 A JP 10002803A JP 280398 A JP280398 A JP 280398A JP H11202217 A JPH11202217 A JP H11202217A
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- Japan
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- sample
- confocal microscope
- substrate
- objective lens
- lens
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Abstract
(57)【要約】
【課題】広い視野で低収差の高分解能なスライス画像が
容易に得られる共焦点顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】複数の微小開口を有する基板を回転させ、
この基板を通過した照射光を対物レンズを介して試料に
対して走査する共焦点スキャナを用いた共焦点顕微鏡装
置において、前記対物レンズとして、それぞれのフィル
ム面の位置が前記基板と試料の位置に一致するように両
者を対向配置させ無限遠のピントで結合した２つのカメ
ラレンズを用いる。
容易に得られる共焦点顕微鏡装置を提供する。 【解決手段】複数の微小開口を有する基板を回転させ、
この基板を通過した照射光を対物レンズを介して試料に
対して走査する共焦点スキャナを用いた共焦点顕微鏡装
置において、前記対物レンズとして、それぞれのフィル
ム面の位置が前記基板と試料の位置に一致するように両
者を対向配置させ無限遠のピントで結合した２つのカメ
ラレンズを用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、共焦点顕微鏡装置
に関し、詳しくは、複数の共焦点スライス画像を得る共
焦点顕微鏡装置、あるいは複数の共焦点スライス画像を
基に再構築して三次元立体画像を得ることのできる共焦
点顕微鏡装置において、広い視野で低収差の高分解能な
複数の共焦点スライス画像を取得するための改善に関す
るものである。
に関し、詳しくは、複数の共焦点スライス画像を得る共
焦点顕微鏡装置、あるいは複数の共焦点スライス画像を
基に再構築して三次元立体画像を得ることのできる共焦
点顕微鏡装置において、広い視野で低収差の高分解能な
複数の共焦点スライス画像を取得するための改善に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、この種の共焦点顕微鏡装置は
よく知られている。このような共焦点顕微鏡装置では対
物レンズのピント合わせが重要であり、いわゆるオート
フォーカス機能を有するものもある。図５は本願出願人
により出願した実開平６−５５１１２号に記載の共焦点
顕微鏡の構成を示す構成図であり、自動的に対物レンズ
のピント合わせが行える装置である。以下この装置につ
いて説明する。
よく知られている。このような共焦点顕微鏡装置では対
物レンズのピント合わせが重要であり、いわゆるオート
フォーカス機能を有するものもある。図５は本願出願人
により出願した実開平６−５５１１２号に記載の共焦点
顕微鏡の構成を示す構成図であり、自動的に対物レンズ
のピント合わせが行える装置である。以下この装置につ
いて説明する。
【０００３】図５において、図示しないレーザ光源から
の出射光は、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１を通っ
た後、ピンホールアレー板２に形成された多数のピンホ
ール（図示せず）のいくつかを通過し、偏光面を変える
１／４波長板（λ／４板）４と光ビームを集束する対物
レンズ５を経て試料６に集光される。
の出射光は、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）１を通っ
た後、ピンホールアレー板２に形成された多数のピンホ
ール（図示せず）のいくつかを通過し、偏光面を変える
１／４波長板（λ／４板）４と光ビームを集束する対物
レンズ５を経て試料６に集光される。
【０００４】なお、この装置では、ピンホールアレー板
２をモータ３により一定速度で回転させている。したが
って、ピンホールアレー板２の回転に伴うピンホールの
移動により、試料６への集束光点は光軸に対して直角方
向（ＸＹ方向）に走査される。
２をモータ３により一定速度で回転させている。したが
って、ピンホールアレー板２の回転に伴うピンホールの
移動により、試料６への集束光点は光軸に対して直角方
向（ＸＹ方向）に走査される。
【０００５】試料６からの反射光は、入射光と同一の光
路を通ってピンホールアレー板２のピンホールの１つに
集光される。ピンホールを通過した戻り光は偏光ビーム
スプリッタ１で反射され、アナライザ７に入る。アナラ
イザ７では戻り光だけを選択的に通過させる。
路を通ってピンホールアレー板２のピンホールの１つに
集光される。ピンホールを通過した戻り光は偏光ビーム
スプリッタ１で反射され、アナライザ７に入る。アナラ
イザ７では戻り光だけを選択的に通過させる。
【０００６】なお、偏光ビームスプリッタ１、ピンホー
ルアレー板２、モータ３、λ／４板４、アナライザ７、
集光レンズ８から成る部分はいわゆる共焦点スキャナと
呼ばれる部分である。
ルアレー板２、モータ３、λ／４板４、アナライザ７、
集光レンズ８から成る部分はいわゆる共焦点スキャナと
呼ばれる部分である。
【０００７】アナライザ７を通った光は集光レンズ８に
より集光して、試料６の像が受光器９上に結像する。受
光器９としては、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カ
メラ等が利用され、試料６からの反射光を受光して画面
上の１点あるいは複数点の光量をモニタする。
より集光して、試料６の像が受光器９上に結像する。受
光器９としては、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カ
メラ等が利用され、試料６からの反射光を受光して画面
上の１点あるいは複数点の光量をモニタする。
【０００８】Ｚステージ１０は試料６を光軸方向（Ｚ軸
方向）に移動させることができ、中央処理装置（以下Ｃ
ＰＵという）１１により駆動・制御される。ＣＰＵ１１
は、試料６のＺ軸方向への移動と関連して、受光器９で
モニタする点の光量の最大値（あるいは、複数点の光量
をモニタする場合は複数点の光量の平均値）を探し、最
大値を検出したときにその位置でＺステージ１０を止め
る。
方向）に移動させることができ、中央処理装置（以下Ｃ
ＰＵという）１１により駆動・制御される。ＣＰＵ１１
は、試料６のＺ軸方向への移動と関連して、受光器９で
モニタする点の光量の最大値（あるいは、複数点の光量
をモニタする場合は複数点の光量の平均値）を探し、最
大値を検出したときにその位置でＺステージ１０を止め
る。
【０００９】なお、共焦点系では、最大光量点が試料６
の表面を示している。したがって、Ｚステージ１０を光
軸方向に動かし、ある所定の点の光量が最大光量となっ
たときのＺステージ１０の位置が、試料表面にピントが
合ったときである。このようにして対物レンズのオート
フォーカスが実現される。
の表面を示している。したがって、Ｚステージ１０を光
軸方向に動かし、ある所定の点の光量が最大光量となっ
たときのＺステージ１０の位置が、試料表面にピントが
合ったときである。このようにして対物レンズのオート
フォーカスが実現される。
【００１０】図６は従来の他の一例を示す構成図であ
る。図５と異なるところは試料６を動かすのではなく対
物レンズ５の方を動かすようにした点である。対物レン
ズ５は、ＣＰＵ１１により駆動されるモータ１２によっ
てZ軸方向に移動されるようになっている。
る。図５と異なるところは試料６を動かすのではなく対
物レンズ５の方を動かすようにした点である。対物レン
ズ５は、ＣＰＵ１１により駆動されるモータ１２によっ
てZ軸方向に移動されるようになっている。
【００１１】このような構成において、ＣＰＵ１１は、
対物レンズ５のＺ軸方向への移動と関連して、受光器９
でモニタする点の光量の最大値（あるいは、複数点の光
量をモニタする場合は複数点の光量の平均値）を探し、
最大値を検出したときにその位置で対物レンズ５を止め
る。このようにしてオートフォーカスが実現できる。
対物レンズ５のＺ軸方向への移動と関連して、受光器９
でモニタする点の光量の最大値（あるいは、複数点の光
量をモニタする場合は複数点の光量の平均値）を探し、
最大値を検出したときにその位置で対物レンズ５を止め
る。このようにしてオートフォーカスが実現できる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の装置では次のような課題があった。
うな従来の装置では次のような課題があった。
【００１３】(1) 図５に示す装置の場合 試料が、例えば剛性がないかあるいは剛性が小さい場合
には、Ｚ方向に走査する度に試料の形状が変化する。こ
のためＺステージを動かす方式は、試料の微細な三次元
形状を観察するのには不適切である。
には、Ｚ方向に走査する度に試料の形状が変化する。こ
のためＺステージを動かす方式は、試料の微細な三次元
形状を観察するのには不適切である。
【００１４】また、試料の剛性を保持したままＺ方向に
走査する場合には、走査速度を下げゆっくりと時間をか
けて走査していた。このため、三次元形状を計測するの
に時間がかかるという問題があった。更に、広い視野で
高い分解能の画像を得るためには、対物レンズの開口数
ＮＡを高ＮＡとすると共にＺステージをＸＹ方向にも走
査する必要があり、Ｚステージが高価で大掛かりなもの
になるという欠点があった。
走査する場合には、走査速度を下げゆっくりと時間をか
けて走査していた。このため、三次元形状を計測するの
に時間がかかるという問題があった。更に、広い視野で
高い分解能の画像を得るためには、対物レンズの開口数
ＮＡを高ＮＡとすると共にＺステージをＸＹ方向にも走
査する必要があり、Ｚステージが高価で大掛かりなもの
になるという欠点があった。
【００１５】(2) 図６に示す装置の場合 高分解能な高ＮＡの対物レンズをＺ方向に走査すれば上
記の問題は解決し、低収差の画像を得ることができる。
しかしこの場合、高ＮＡのため観察視野が狭くなり目的
とする広い視野で低収差、高分解能な画像は得られない
という欠点がある。
記の問題は解決し、低収差の画像を得ることができる。
しかしこの場合、高ＮＡのため観察視野が狭くなり目的
とする広い視野で低収差、高分解能な画像は得られない
という欠点がある。
【００１６】本発明は、上記の課題を解決するもので、
広い視野で低収差の高分解能なスライス画像が容易に得
られる共焦点顕微鏡装置を提供することを目的とする。
広い視野で低収差の高分解能なスライス画像が容易に得
られる共焦点顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために請求項１に記載の発明では、複数の微小開口を
有する基板を回転させ、この基板を通過した照射光を対
物レンズを介して試料に対して走査する共焦点スキャナ
を用いた共焦点顕微鏡装置において、前記対物レンズと
して、それぞれのフィルム面の位置が前記基板と試料の
位置に一致するように両者を対向配置させ無限遠のピン
トで結合した２つのカメラレンズを用いたことを特徴と
する。
るために請求項１に記載の発明では、複数の微小開口を
有する基板を回転させ、この基板を通過した照射光を対
物レンズを介して試料に対して走査する共焦点スキャナ
を用いた共焦点顕微鏡装置において、前記対物レンズと
して、それぞれのフィルム面の位置が前記基板と試料の
位置に一致するように両者を対向配置させ無限遠のピン
トで結合した２つのカメラレンズを用いたことを特徴と
する。
【００１８】請求項１に記載の発明では、２つのカメラ
レンズをそれぞれのフィルム面の位置が基板と試料の位
置に一致するように両者を対向配置させて無限遠のピン
トで結合したものを対物レンズとして使用する。このよ
うな対物レンズによれば、カメラレンズ自身が持つフォ
ーカスとズーム機能により容易に倍率と焦点合わせがで
き、低収差で高分解能な高画質の画像を容易に得ること
ができる。
レンズをそれぞれのフィルム面の位置が基板と試料の位
置に一致するように両者を対向配置させて無限遠のピン
トで結合したものを対物レンズとして使用する。このよ
うな対物レンズによれば、カメラレンズ自身が持つフォ
ーカスとズーム機能により容易に倍率と焦点合わせがで
き、低収差で高分解能な高画質の画像を容易に得ること
ができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明に係る共焦点顕微鏡装置の要部
であるレンズ部分の構成図である。レンズとしては、２
組の１眼レフカメラレンズ５１と５２が使用され、各フ
ィルム面（無収差面）がピンホール面と試料にそれぞれ
一致すると共に両レンズ５１，５２が無限遠のピントで
結合するように同一光軸上に配置されている。
説明する。図１は本発明に係る共焦点顕微鏡装置の要部
であるレンズ部分の構成図である。レンズとしては、２
組の１眼レフカメラレンズ５１と５２が使用され、各フ
ィルム面（無収差面）がピンホール面と試料にそれぞれ
一致すると共に両レンズ５１，５２が無限遠のピントで
結合するように同一光軸上に配置されている。
【００２０】更に、詳述すれば、一方のレンズ５１とし
ては例えば焦点距離８０ｍｍ〜２００ｍｍ、明るさがＦ
２．８、開口数ＮＡが０．１７９のカメラレンズが用い
られる。他方のレンズ５２としては例えば焦点距離５０
ｍｍ、明るさがＦ１．０、開口数ＮＡが０．５０のカメ
ラレンズが用いられる。
ては例えば焦点距離８０ｍｍ〜２００ｍｍ、明るさがＦ
２．８、開口数ＮＡが０．１７９のカメラレンズが用い
られる。他方のレンズ５２としては例えば焦点距離５０
ｍｍ、明るさがＦ１．０、開口数ＮＡが０．５０のカメ
ラレンズが用いられる。
【００２１】本発明はこのように２組のカメラレンズを
組み合わせて対物レンズを形成する。対物レンズとして
の倍率や焦点合わせはカメラレンズ自身のフォーカスや
ズーム機能により行うことができる。上記のようなレン
ズを用いた場合、１．６〜４倍のズーム可変および焦点
合わせが可能である。
組み合わせて対物レンズを形成する。対物レンズとして
の倍率や焦点合わせはカメラレンズ自身のフォーカスや
ズーム機能により行うことができる。上記のようなレン
ズを用いた場合、１．６〜４倍のズーム可変および焦点
合わせが可能である。
【００２２】図２は本発明の他の実施例図であり、２つ
のカメラレンズ５１，５２の間にミラー５３を設置した
ものである。共焦点スキャナ２０からの出射光を受ける
カメラ３０が大型であって、顕微鏡光軸と垂直に設置す
ることが困難な場合でも、水平に設置したリニアモータ
や液中サンプルなどの試料を上方から観察することが可
能となる。
のカメラレンズ５１，５２の間にミラー５３を設置した
ものである。共焦点スキャナ２０からの出射光を受ける
カメラ３０が大型であって、顕微鏡光軸と垂直に設置す
ることが困難な場合でも、水平に設置したリニアモータ
や液中サンプルなどの試料を上方から観察することが可
能となる。
【００２３】また、このミラー５３またはミラーとレン
ズを一体で回転あるいは面内で動かすことにより光ビー
ムの位置決めを変えることができる。なお、ミラーは図
３のように複数枚あってもよく、例えば１枚では試料側
レンズ５２の中心からビームがずれる場合でも、他の１
枚のミラーの使用によってビームを中心に戻す補正が可
能である。
ズを一体で回転あるいは面内で動かすことにより光ビー
ムの位置決めを変えることができる。なお、ミラーは図
３のように複数枚あってもよく、例えば１枚では試料側
レンズ５２の中心からビームがずれる場合でも、他の１
枚のミラーの使用によってビームを中心に戻す補正が可
能である。
【００２４】図４は本発明の他の実施例図であり、２つ
のカメラレンズ５１，５２をそれぞれモータ６１とモー
タ６2で制御する例である。ＣＣＤカメラ９からの画像
情報をもとにＣＰＵ１１がそれぞれの一眼レフカメラレ
ンズをモータ６１，６２で制御することにより、オート
フォーカスが実現できる。
のカメラレンズ５１，５２をそれぞれモータ６１とモー
タ６2で制御する例である。ＣＣＤカメラ９からの画像
情報をもとにＣＰＵ１１がそれぞれの一眼レフカメラレ
ンズをモータ６１，６２で制御することにより、オート
フォーカスが実現できる。
【００２５】なお、モータ６１，６２としては、リニア
モータまたはＶＣＭ（Voice CoilMotor）あるいはステ
ッピングモータ等を使用することができる。
モータまたはＶＣＭ（Voice CoilMotor）あるいはステ
ッピングモータ等を使用することができる。
【００２６】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば次の
ような効果がある。請求項１に記載の発明によれば、２
つのカメラレンズをそれぞれのフィルム面の位置が基板
と試料の位置に一致するように両者を対向配置させ無限
遠のピントで結合させてこれを対物レンズとして用いる
ことにより、低収差で高分解能な高画質の画像を取得す
ることができる。
ような効果がある。請求項１に記載の発明によれば、２
つのカメラレンズをそれぞれのフィルム面の位置が基板
と試料の位置に一致するように両者を対向配置させ無限
遠のピントで結合させてこれを対物レンズとして用いる
ことにより、低収差で高分解能な高画質の画像を取得す
ることができる。
【００２８】請求項２によれば、カメラ用ズームレンズ
を使用し、比較的安価に低収差で高分解能な高画質の画
像を取得することができる。
を使用し、比較的安価に低収差で高分解能な高画質の画
像を取得することができる。
【００２９】請求項３に記載の発明では、２つのカメラ
レンズの間に１枚または複数枚の反射ミラーを配置する
ことにより光軸を任意の方向に変えることができ、共焦
点スキャナや、受光器としてのカメラ等に対して大きさ
や配置の制限が緩和される。
レンズの間に１枚または複数枚の反射ミラーを配置する
ことにより光軸を任意の方向に変えることができ、共焦
点スキャナや、受光器としてのカメラ等に対して大きさ
や配置の制限が緩和される。
【００３０】請求項４によれば、ミラーを試料側のカメ
ラレンズと一体に動かすことができ、試料に対する照射
光の入射方向の自由度が大きくなる。
ラレンズと一体に動かすことができ、試料に対する照射
光の入射方向の自由度が大きくなる。
【００３１】請求項５に記載の発明によれば、対物レン
ズとしての倍率および焦点合わせは、カメラレンズ自身
が持つフォーカスおよびズーム機能により容易に行われ
る。
ズとしての倍率および焦点合わせは、カメラレンズ自身
が持つフォーカスおよびズーム機能により容易に行われ
る。
【００３２】請求項６に記載の発明によれば、２つのカ
メラレンズをそれぞれのフィルム面の位置が基板と試料
の位置に一致するように両者を対向配置させ無限遠のピ
ントで結合させてこれを対物レンズとして用い、この２
つのカメラレンズを光軸方向に移動させつつ試料からの
反射光の１点または複数点の光量の最大点を求め、光量
が最大点となったときにカメラレンズの光軸方向の移動
を止めるようにしたため、自動的に対物レンズのピント
合わせが行える。
メラレンズをそれぞれのフィルム面の位置が基板と試料
の位置に一致するように両者を対向配置させ無限遠のピ
ントで結合させてこれを対物レンズとして用い、この２
つのカメラレンズを光軸方向に移動させつつ試料からの
反射光の１点または複数点の光量の最大点を求め、光量
が最大点となったときにカメラレンズの光軸方向の移動
を止めるようにしたため、自動的に対物レンズのピント
合わせが行える。
【図１】 本発明に係る共焦点顕微鏡装置の要部である
レンズ部分の構成図である。
レンズ部分の構成図である。
【図２】 本発明の他の実施例図である。
【図３】 本発明の更に他の実施例図である。
【図４】 本発明の更に他の実施例図である。
【図５】 従来の共焦点顕微鏡装置の一例を示す構成図
である。
である。
【図６】 従来の共焦点顕微鏡装置の他の一例を示す構
成図である。
成図である。
１ 偏光ビームスプリッタ ２ ピンホールアレー板 ３ モータ ４ λ／４板 ６ 試料 ７ アナライザー ８ 集光レンズ ９ 受光器 １１ ＣＰＵ ２０ 共焦点スキャナ ３０ 大型カメラ ５１，５２ カメラレンズ ５３，５４ ミラー ６１，６２ モータ
Claims (6)
- 【請求項１】複数の微小開口を有する基板を回転させ、
この基板を通過した照射光を対物レンズを介して試料に
対して走査する共焦点スキャナを用いた共焦点顕微鏡装
置において、 前記対物レンズとして、それぞれのフィルム面の位置が
前記基板と試料の位置に一致するように両者を対向配置
させ無限遠のピントで結合した２つのカメラレンズを用
いたことを特徴とする共焦点顕微鏡装置。 - 【請求項２】前記カメラレンズとしてカメラ用ズームレ
ンズを使用したことを特徴とする請求項１記載の共焦点
顕微鏡装置。 - 【請求項３】前記２つのカメラレンズの間に１枚または
複数枚の反射ミラーを配置し光軸を変えるようにしたこ
とを特徴とする請求項１記載の共焦点顕微鏡装置。 - 【請求項４】前記ミラーは試料側のカメラレンズと一体
で動かすことができるように構成したことを特徴とする
請求項３記載の共焦点顕微鏡装置。 - 【請求項５】前記対物レンズとしての倍率および焦点合
わせは、前記カメラレンズ自身が持つフォーカスおよび
ズーム機能を用いて行われるように構成したことを特徴
とする請求項１記載の共焦点顕微鏡装置。 - 【請求項６】複数の微小開口を有する基板を回転させ、
この基板を通過した照射光を対物レンズを介して試料に
対して走査する共焦点スキャナを用いた共焦点顕微鏡装
置において、 前記対物レンズとして、それぞれフィルム面を前記基板
と試料に一致させ、両者を対向させて無限遠のピントで
結合した２つのカメラレンズを用い、 この２つのカメラレンズをそれぞれ光軸方向に移動させ
るモータと、 前記試料からの反射光を受光して１点または複数点で光
量をモニタする受光器と、 前記光量の最大点または平均値の最大点の位置で前記モ
ータを止める制御手段を備えたことを特徴とする共焦点
顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10002803A JPH11202217A (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 共焦点顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10002803A JPH11202217A (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 共焦点顕微鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11202217A true JPH11202217A (ja) | 1999-07-30 |
Family
ID=11539547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10002803A Pending JPH11202217A (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 共焦点顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11202217A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2416453A (en) * | 2004-07-16 | 2006-01-25 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Zoom optics for a confocal laser scanning microscope |
| GB2416452A (en) * | 2004-07-16 | 2006-01-25 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Zoom optics for a confocal laser scanning microscope |
| US8275226B2 (en) | 2008-12-09 | 2012-09-25 | Spectral Applied Research Ltd. | Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope |
| US8670178B2 (en) | 2009-12-08 | 2014-03-11 | Spectral Applied Research Inc. | Imaging distal end of multimode fiber |
-
1998
- 1998-01-09 JP JP10002803A patent/JPH11202217A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2416453A (en) * | 2004-07-16 | 2006-01-25 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Zoom optics for a confocal laser scanning microscope |
| GB2416452A (en) * | 2004-07-16 | 2006-01-25 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Zoom optics for a confocal laser scanning microscope |
| US7488931B2 (en) | 2004-07-16 | 2009-02-10 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Optical zoom system for a light scanning electron microscope |
| US8275226B2 (en) | 2008-12-09 | 2012-09-25 | Spectral Applied Research Ltd. | Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope |
| US9134519B2 (en) | 2008-12-09 | 2015-09-15 | Spectral Applied Reseach Inc. | Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope |
| US8670178B2 (en) | 2009-12-08 | 2014-03-11 | Spectral Applied Research Inc. | Imaging distal end of multimode fiber |
| US8922887B2 (en) | 2009-12-08 | 2014-12-30 | Spectral Applied Research Inc. | Imaging distal end of multimode fiber |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040129 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040401 |