JPH10206740A - 共焦点装置 - Google Patents
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Abstract
る。 【解決手段】 試料の立体形状を測定する共焦点装置に
おいて、光源と、この光源の出力光が照射される開口部
と、試料上に開口部の像を結像させ、試料からの反射光
を集光する対物レンズと、受光器と、開口部を通過した
光を透過させて対物レンズに入射し、対物レンズからの
出力光を受光器に反射させるビームスプリッタとを設け
る。
Description
高速に測定できる共焦点装置に関し、特に非コヒーレン
ト光を用い照射光の走査が不要な共焦点装置に関する。
前記試料からの反射光をピンホール若しくはスリットを
介して受光することにより、前記試料面の分解能のみな
らず光軸方向の分解能を有するものである。
れる光軸方向の分解能に関しては”「共焦点レーザ走査
蛍光顕微鏡の検出器の面積について」河田聡、第3回レ
ーザ顕微鏡研究会講演会資料,p23-p28”に記載されて
いる。
を示す構成図である。図9において1はレーザ光源、2
はガルバノスキャナ、3はミラー、4はビームスプリッ
タ、5は対物レンズ、6は試料、7は1次元のラインC
CD(Charge Coupled Device)カメラである。
2に入射され、ガルバノスキャナ2の反射光はミラー3
を介してビームスプリッタ4に入射される。ビームスプ
リッタ4はガルバノスキャナ2からの入射光を反射さ
せ、対物レンズ5を介して試料6に照射する。
ズ5に入射され、ビームスプリッタ4を介してCCDカ
メラ7に入射される。
を用いて説明する。図10はCCDカメラ7の各画素の
詳細を説明する平面図である。
2により走査され、このため、試料6上の照射光は1次
元方向に走査される。この試料6からの1次元方向に走
査された反射光はCCDカメラ7に入射される。
10”イ”に示す方向に一致するように設置され、例え
ば、図10中”ロ”、”ハ”及び”ニ”に示すような画
素で反射光は順次受光される。
素の高さの範囲でしか反射光を受光するこができないた
め、実質的にスリット幅”ホ”のスリットを通過した反
射光のみを受光していることになる。
る面を”x−y面”とし、走査方向を”x軸”とすれ
ば、”z軸”方向にも分解能を有することになり、試料
6を”z軸”方向に走査することにより”xz面”の断
層形状を測定することができる。
せながら、”z軸”方向に走査させることにより、試料
6全体の立体形状を測定することが可能になる。
し、その反射光を1次元のラインCCDカメラ7で受光
することにより、前記試料面の分解能のみならず光軸方
向の分解能を得ることができる。
来例においてレーザ光源1等の高価な光学機器が必要で
あり、ガルバノスキャナ2等の走査手段が必要であると
言った問題点があった。
光源は大きさや価格面から言っても赤色系となるため波
長が長く分解能が低くなってしまう。さらに、レーザ光
はコヒーレント光であるためにスペックルノイズが生じ
てS/Nを低下させると言った問題点があった。従って
本発明が解決しようとする課題は、照射光の走査が不要
な共焦点装置を実現することにある。
るために、本発明の第1では、試料の立体形状を測定す
る共焦点装置において、光源と、この光源の出力光が照
射される開口部と、前記試料上に前記開口部の像を結像
させ、前記試料からの反射光を集光する対物レンズと、
受光器と、前記開口部を通過した光を透過させて前記対
物レンズに入射し、前記対物レンズからの出力光を前記
受光器に反射させるビームスプリッタとを備えたことを
特徴とするものである。
の第2では、本発明の第1において、前記ビームスプリ
ッタが前記光源と前記開口部との間に設けられたことを
特徴とするものである。
の第3では、本発明の第1乃至第2において、前記開口
部の形状が円形、矩形、直交するスリットを重ねた網目
状、多重リング若しくは放射状スリットであることを特
徴とするものである。
の第4では、本発明の第1乃至第2において、前記開口
部の幅がエアリ第1暗帯の直径の1/20以上5倍以内
であることを特徴とするものである。
の第5では、本発明の第4において、光源が非コヒーレ
ント光源であることを特徴とするものである。
の第6では、本発明の第1乃至第2において、前記開口
部が金属板若しくはガラス基板上遮光膜のエッチングに
よって形成されることを特徴とするものである。
の第7では、本発明の第1乃至第2において、前記開口
部が透過型液晶パネルであることを特徴とするものであ
る。
の第8では、本発明の第1乃至第2において、前記複数
の開口部をエアリ第1暗帯の2倍以上の間隔で配置した
ことを特徴とするものである。
の第9では、本発明の第8において、前記複数の開口部
を光軸に対して垂直方向に移動させ得られた複数の立体
像を合成することにより、前記複数の開口部の間を補完
することを特徴とするものである。
の第10では、本発明の第1乃至第2において、前記複
数の開口部に異なる色のフィルタを付加し前記複数の開
口部を密着して配置したことを特徴とするものである。
の第11では、本発明の第1乃至第2において、前記光
源と前記開口部との間に設けられ、前記光源の出力光を
前記開口部に集光する集光手段を備えたことを特徴とす
るものである。
の第12では、顕微鏡の落射照明、落射蛍光照明若しく
は透過照明の光源絞りの位置に前記開口部を設けたこと
を特徴とするものである。
の第13では、試料の立体形状を測定する共焦点装置に
おいて、光源と、この光源の出力光を直線偏光にする偏
光子と、この偏光子の出力光が照射される開口部と、前
記試料上に前記開口部の像を結像させ、前記試料からの
反射光を集光する対物レンズと、受光器と、前記開口部
を通過した光を透過させて前記対物レンズに入射し、前
記対物レンズからの出力光を前記受光器に反射させる偏
光ビームスプリッタと、前記対物レンズと前記偏光ビー
ムスプリッタとの間に設けられたλ/4板とを備えたこ
とを特徴とするものである。
の第14では、本発明の第13において、前記偏光ビー
ムスプリッタが前記光源と前記開口部との間に設けられ
たことを特徴とするものである。
説明する。図1は本発明に係る共焦点装置の一実施例を
示す構成図である。
源である白色光源、9はレンズ、10は開口部である複
数のスリットが設けられたスリットアレイ、11はハー
フミラー等のビームスプリッタ、12は対物レンズ、1
3は試料、14は受光器である2次元のCCDカメラで
ある。
リットアレイ10に入射され、スリットアレイ10の各
スリットを通過した光はビームスプリッタ11に入射さ
れる。
レンズ12を介して試料13に照射される。
ンズ12を介してビームスプリッタ11に入射され、ビ
ームスプリッタ11で反射された光はCCDカメラ14
に入射される。さらに、試料13は図示しない手段によ
り、図1中”イ”に示す光軸方向に走査される。
図1(B)を用いて説明する。スリットアレイ10は対
物レンズ12の結像面に設置され、スリット幅は前記結
像面におけるエアリ第1暗帯と同一の幅である。また、
各スリットの間隔は前記スリット幅の10倍程度であ
る。
1点には集まらないで、中央の明るい部分を取り巻いて
その周囲に明暗のリングが交互に配列した微細な像にな
る。これらは「エアリの円盤」と呼ばれ、中央部に隣接
する暗リングが前記エアリ第1暗帯である。
λ”、開口数を”NA”とした場合、 b=1.22×λ/NA (1) となる。
倍”、”NA=0.9”及び”λ=0.5μm”とした
場合、図1(A)中”ロ”の位置の開口数は”1/10
0”となるので、 b=1.22×0.5/(0.9/100) =68μm (2) となる。従って、この程度のスリットであればエッチン
グ等により容易に作成できる。
に入射されるとスリットアレイ10の複数のスリット像
が対物レンズ12によって試料13上に結像される。
メラ14に入射される。CCDカメラ14は2次元のC
CDカメラであり平面上に複数の画素が配列されている
ので、スリット幅に対応した画素列に着目すれば前述と
同様に一定スリット幅のスリットを通過した反射光のみ
を受光していることになる。
ト像は結像されている位置の画素列で測定されるので図
1(A)中”x方向”の画素列の幅を”a”とすれば、
前記画素列はスリット幅”a”のスリットを通過した光
のみを受光することになる。従って、前記試料面の分解
能のみならず光軸方向の分解能を有することになる。
点面にあればスリット像ははっきりするが、図示しない
手段により試料13を前記焦点面から上下させると前記
スリット像はピンぼけになる。
の各画素で受光した場合には図1(B)に示すように光
軸方向位置が焦点面に合致した場合に最大の光量が入射
され、光軸方向位置が焦点面からずれるに従って入射さ
れる光量が減少して行く。
軸方向位置がその点の試料の光軸方向の高さを示してい
ることになる。
図1中”イ”に示す光軸方向に走査し、CCDカメラ1
4で測定される光量が最大な光軸方向位置を求めること
により、試料13の表面の光軸方向の変化を得ることが
できる。
する3次元形状試料を本願の共焦点装置で測定した場合
には図2(A)中の破線に示すようなスリット像が結像
される。
あれば図2(A)中”ロ”の面のスリット像はピンぼけ
になり、逆に、図2(A)中”ロ”の面が焦点面であれ
ば図2(A)中”イ”の面のスリット像がピンぼけにな
る。
の光量が入力される光軸方向位置をそれぞれ求めること
により、図2(B)に示すような断層画像を得ることが
可能になる。
受光器であるCCDカメラ14の各画素に最大の光量が
入力される光軸方向位置をそれぞれ求めることにより、
非コヒーレント光を用い照射光の走査を行うことなく光
軸方向に分解能が得られることになる。
ると共に光軸と垂直な方向には通常の光学顕微鏡と同様
の分解能を有している。
するが空間分解能が低下し、スリット幅を狭くすると空
間分解能は向上する光量は低下する。従って、スリット
幅としてはエアリ第1暗帯幅に限定する必要はなく、エ
アリ第1暗帯の直径の1/20以上5倍以内程度の幅で
あれば良い。
接するスリットからの干渉が低減するので光軸方向の分
解能は向上するが、同時に測定できるスリット数が減少
してしまう。一方、前記間隔を狭くすると前記スリット
数は増加するがスリット相互の干渉が生じ正確な測定が
困難になる。
暗帯の10倍に限定されるものではなく、エアリ第1暗
帯の2倍程度以上であれば良い。
のではなく、撮像管、フィルム等でも良く、また、接眼
レンズを用いて直接目で観測しても良い。
るのもではなく、図3(A)に示すように直交するスリ
ットを重ねた網目状の開口であっても良い。このような
形状にすることにより、試料の3次元形状をより正確に
測定することが可能になる。
図3(B)及び(C)に示すような多重リング及び放射
状スリットが有効であり、試料の形状が予め分かってい
る場合には、測定が必要な個所を限定した図3(D)の
様な開口部も有効である。
なる場合には図3(E)に示すように、反射率の小さい
部分に対応するスリット”イ”の幅を広くしても良い。
のピンホールの場合にはコヒーレント光を用いてもスペ
ックルノイズは生じないので、コヒーレント光を用いる
ことが可能である。
したものだけではなく、ガラス基板上に形成した遮光膜
をエッチングによって除去したものであっても良い。
を構成することも可能である。この場合、開口部の形状
等を電気的に適宜変更することが可能なので有効であ
る。
合には、スリットを光軸に対して垂直方向に移動させる
ことにより、複数の立体像を得て、その後これを合成す
ることにより、各スリットの間を補完することも可能で
ある。
等を移動させてもよく、前述の透過型液晶パネルを制御
して開口部の移動、形状の変更等により実現しても良
い。
ト間隔の比は”1:10”であり、開口面積比が10%
で入射光の10%しか利用できていない。このため、図
4に示す様な構成にしても良い。
符号を付してあり、15は集光手段であるシリンドリカ
ルレンズ・アレイである。
リンドリカルレンズ・アレイ15に入射され、シリンド
リカルレンズ・アレイ15により集光された光はスリッ
トアレイ10の各スリットに入射される。
シリンドリカルレンズの集光点にそれぞれ設置される。
射光を有効に利用することが可能になる。また、集光手
段としては通常の凸レンズのみならずフレネルレンズや
屈折率分布型レンズでも良い。さらに、透過型液晶パネ
ルを開口部に用いる場合には各液晶素子にマイクロレン
ズを付加しても良い。
フミラーを例示したが偏光ビームスプリッタを用いても
良い。図5は偏光ビームスプリッタを用いた実施例を示
す構成図である。
図1と同一符号を付してあり、16は偏光子、17は偏
光ビームスプリッタ、18はλ/4板である。
し、偏光ビームスプリッタ17はS偏光を透過し、P偏
光を反射させるものである。
16を透過してS偏光となり、偏光ビームスプリッタ1
7に入射される。このS偏光は偏光ビームスプリッタ1
7を透過してλ/4板18に入射される。このため、入
射光は円偏光となり対物レンズ12を介して試料13に
照射させる。
12を介して再びλ/4板18に入射される。この結
果、円偏光から直線偏光に戻り、90度回転したP偏光
として偏光ビームスプリッタ17に入射される。
17で反射され、CCDカメラ14に入射される。
較してスリットアレイ10からの入射光をCCDカメラ
に100%入射することが可能になる。
としてはパルスモータ等により顕微鏡ステージを動かす
ことが一般的であるが、圧電素子で試料13を動かして
も構わない。また、対物レンズ12自体を光軸方向に動
かしても構わない。
イ10は対物レンズ12の結像面に設置されているが、
顕微鏡の照明系を用いることも可能である。
す構成図である。図6において19は照明用光源、2
0,24,26,27及び29はレンズ、21は光源絞
り、22はミラー、23はコンデンサー絞り、25は試
料面、28は視野絞りである。
光され、光源絞り21を介してミラー22に入射され
る。この入射光は反射されコンデンサー絞り23を介し
てレンズ24に入射される。
てレンズ26及び27、視野絞り28をそれぞれ介して
レンズ29に入射され観測される。
る。光源絞り21の位置にある像は試料面25上に結像
されるのでこの部分に開口部を設ける。
料面25に投影されるのでこの像を通常の接眼レンズ若
しくはカメラ等で観測することにより、通常の顕微鏡を
容易に共焦点方式に変更することが可能になる。
微鏡について説明しているが落射照明の照明系であって
も同様である。
リッタ11及び偏光ビームスプリタ17にはスリットア
レイ10の通過光が入射される構成になっているが、例
えば、図7に示すような構成であっても構わない。
付してあり、30はレンズである。構成上図1と異なる
点はビームスプリッタ11が光源8とスリットアレイ1
0との間に設けられた点である。なお、分岐光をCCD
カメラ14に集光するためにレンズ30が必要ににな
る。
ため各スリット間の間隔をエアリ第1暗帯の2倍程度以
上にしていたため、前述のように各スリットの間の形状
を測定する場合には、スリットを光軸に対して垂直方向
に移動させ得られた立体像を合成することにより各スリ
ットの間を補完したが下記のような方法であっても良
い。
タを付加したスリットを密着して配置すると共に受光側
であるCCDカメラ側にも該当するスリットと同色のフ
ィルタを配置する。
リットには「赤」のフィルタ、図8中”ロ”に示すスリ
ットには「緑」のフィルタ、そして、図8中”ハ”に示
すスリットには「青」のフィルタを付加する。
フィルタの色毎にデータ処理を行うことにより、スリッ
ト間の補完が可能となり、空間分解能が3倍になる。
るものではなく、色フィルタとしてカラー液晶を用い、
カラーCCDカメラを用いることによっても同様の効果
が得られる。
なく、対物レンズの代わりに通常のカメラレンズを用い
ることで、機械部品等の大型の品物の形状測定も可能で
ある。
本発明によれば次のような効果がある。スリット像を試
料面に結像させ受光器であるCCDカメラの各画素に最
大の光量が入力される光軸方向位置をそれぞれ求めるこ
とにより、照射光の走査が不要な共焦点装置が実現でき
る。
いることにより青色や紫外光等の短波長の光を利用でき
るので分解能を向上させることが可能になり、スペック
ルノイズが生じない。
図である。
画像である。
を示す構成図である。
成図である。
ある。
成図である。
ある。
図である。
Claims (14)
- 【請求項1】試料の立体形状を測定する共焦点装置にお
いて、 光源と、 この光源の出力光が照射される開口部と、 前記試料上に前記開口部の像を結像させ、前記試料から
の反射光を集光する対物レンズと、 受光器と、 前記開口部を通過した光を透過させて前記対物レンズに
入射し、前記対物レンズからの出力光を前記受光器に反
射させるビームスプリッタとを備えたことを特徴とする
共焦点装置。 - 【請求項2】前記ビームスプリッタが前記光源と前記開
口部との間に設けられたことを特徴とする特許請求の範
囲請求項1記載の共焦点装置。 - 【請求項3】前記開口部の形状が円形、矩形、直交する
スリットを重ねた網目状、多重リング若しくは放射状ス
リットであることを特徴とする特許請求の範囲請求項1
乃至請求項2記載の共焦点装置。 - 【請求項4】前記開口部の幅がエアリ第1暗帯の直径の
1/20以上5倍以内であることを特徴とする特許請求
の範囲請求項1乃至請求項2記載の共焦点装置。 - 【請求項5】光源が非コヒーレント光源であることを特
徴とする特許請求の範囲請求項4記載の共焦点装置。 - 【請求項6】前記開口部が金属板若しくはガラス基板上
遮光膜のエッチングによって形成されることを特徴とす
る特許請求の範囲請求項1乃至請求項2記載の共焦点装
置。 - 【請求項7】前記開口部が透過型液晶パネルであること
を特徴とする特許請求の範囲請求項1乃至請求項2記載
の共焦点装置。 - 【請求項8】前記複数の開口部をエアリ第1暗帯の2倍
以上の間隔で配置したことを特徴とする特許請求の範囲
請求項1乃至請求項2記載の共焦点装置。 - 【請求項9】前記複数の開口部を光軸に対して垂直方向
に移動させ得られた複数の立体像を合成することによ
り、前記複数の開口部の間を補完することを特徴とする
特許請求の範囲請求項8記載の共焦点装置。 - 【請求項10】前記複数の開口部に異なる色のフィルタ
を付加し前記複数の開口部を密着して配置したことを特
徴とする特許請求の範囲請求項1乃至請求項2記載の共
焦点装置。 - 【請求項11】前記光源と前記開口部との間に設けら
れ、前記光源の出力光を前記開口部に集光する集光手段
を備えたことを特徴とする特許請求の範囲請求項1乃至
請求項2記載の共焦点装置。 - 【請求項12】顕微鏡の落射照明、落射蛍光照明若しく
は透過照明の光源絞りの位置に前記開口部を設けたこと
を特徴とする共焦点装置。 - 【請求項13】試料の立体形状を測定する共焦点装置に
おいて、 光源と、 この光源の出力光を直線偏光にする偏光子と、 この偏光子の出力光が照射される開口部と、 前記試料上に前記開口部の像を結像させ、前記試料から
の反射光を集光する対物レンズと、 受光器と、 前記開口部を通過した光を透過させて前記対物レンズに
入射し、前記対物レンズからの出力光を前記受光器に反
射させる偏光ビームスプリッタと、 前記対物レンズと前記偏光ビームスプリッタとの間に設
けられたλ/4板とを備えたことを特徴とする共焦点装
置。 - 【請求項14】前記偏光ビームスプリッタが前記光源と
前記開口部との間に設けられたことを特徴とする特許請
求の範囲請求項13記載の共焦点装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00999197A JP3438855B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 共焦点装置 |
US09/003,068 US6031661A (en) | 1997-01-23 | 1998-01-05 | Confocal microscopic equipment |
GB9800966A GB2321517B (en) | 1997-01-23 | 1998-01-16 | Confocal microscopic equipment |
US09/433,903 US6111690A (en) | 1997-01-23 | 1999-11-05 | Confocal microscopic equipment |
US09/886,058 US6388808B1 (en) | 1997-01-23 | 2000-05-03 | Confocal microscopic equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00999197A JP3438855B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 共焦点装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10206740A true JPH10206740A (ja) | 1998-08-07 |
JP3438855B2 JP3438855B2 (ja) | 2003-08-18 |
Family
ID=11735339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00999197A Expired - Fee Related JP3438855B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 共焦点装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6031661A (ja) |
JP (1) | JP3438855B2 (ja) |
GB (1) | GB2321517B (ja) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001013445A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点光スキャナ |
JP2001027728A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-01-30 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点光スキャナ |
JP2001311874A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Yokogawa Electric Corp | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 |
JP2003066337A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-03-05 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | 被検試料検出方法及び顕微鏡 |
JP2003248175A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-09-05 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 試料内で励起および/または後方散乱を経た光ビームの光学的捕捉のための配置 |
KR100443143B1 (ko) * | 2000-03-06 | 2004-08-04 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 섹셔닝상 관찰장치에 적용되는 패턴형성부재 및 그것을이용한 섹셔닝상 관찰장치 |
JP2004528605A (ja) * | 2001-06-05 | 2004-09-16 | カール ツアイス マイクロエレクトロニック システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学機器用オートフォーカス装置 |
JP2004309514A (ja) * | 2003-04-01 | 2004-11-04 | Pulstec Industrial Co Ltd | ピンホール素子および同素子を用いた光学装置 |
JP2006031004A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 光走査型顕微鏡およびその使用 |
JP2007286379A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Korea Advanced Inst Of Sci Technol | 分散光学系を用いた実時間共焦点顕微鏡 |
JP2008076059A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | V Technology Co Ltd | 微小高さ測定方法及び微小高さ測定装置 |
JP2012002670A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | 高さ検出装置 |
WO2017061110A1 (ja) * | 2015-10-07 | 2017-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 顕微鏡装置および結像方法 |
JP2018509640A (ja) * | 2015-03-19 | 2018-04-05 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | デジタル病理学スキャンにおける照明 |
JP2019535005A (ja) * | 2016-10-13 | 2019-12-05 | ウェイモ エルエルシー | 開口部を用いた光検出器における雑音の制限 |
Families Citing this family (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19811202C2 (de) * | 1998-03-09 | 2002-01-17 | Gf Mestechnik Gmbh | Konfokales Scanmikroskop |
IL125659A (en) * | 1998-08-05 | 2002-09-12 | Cadent Ltd | Method and device for three-dimensional simulation of a structure |
DE19918689C2 (de) * | 1999-04-23 | 2003-05-28 | Rudolf Groskopf | Vorrichtung zur dreidimensionalen konfocalen optischen Untersuchung eines Objektes mit Beleuchtung durch eine Lochplatte |
AU5600300A (en) * | 1999-06-25 | 2001-01-31 | Gim Systems Ltd. | Scanning microscope by lcd |
DE10005852C2 (de) * | 2000-02-10 | 2002-01-17 | Nano Focus Mestechnik Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Höhenbildern technischer Oberflächen in mikroskopischer Auflösung |
ES2642930T3 (es) | 2000-04-11 | 2017-11-20 | Chemometec A/S | Procedimiento y aparato para detectar fluorescencia de una muestra |
EP1258766A3 (de) * | 2001-05-14 | 2004-09-22 | Robert Bosch Gmbh | Optische Messvorrichtung zur Formvermessung |
DE10227120A1 (de) * | 2002-06-15 | 2004-03-04 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Mikroskop, insbesondere Laserscanningmikroskop mit adaptiver optischer Einrichtung |
JP2004037317A (ja) * | 2002-07-04 | 2004-02-05 | Murata Mfg Co Ltd | 三次元形状測定方法、三次元形状測定装置 |
US20050225849A1 (en) * | 2004-04-05 | 2005-10-13 | Fujifilm Electronic Imaging Ltd. | Slit confocal microscope and method |
US7329860B2 (en) | 2005-11-23 | 2008-02-12 | Illumina, Inc. | Confocal imaging methods and apparatus |
US8023184B2 (en) * | 2006-04-20 | 2011-09-20 | Nanofocus Ag | Device and method for high-intensity uniform illumination with minimal light reflection for use in microscopes |
US7768629B2 (en) * | 2006-05-12 | 2010-08-03 | Voith Patent Gmbh | Device and process for optical distance measurement |
US20070263228A1 (en) * | 2006-05-12 | 2007-11-15 | Voith Paper Patent Gmbh | Device and process for optical distance measurement |
DE102006059435A1 (de) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Mikroskop und Mikroskopierverfahren zur ortsaufgelösten Vermessung einer vorbestimmten Struktur, insbesondere einer Struktur einer Lithographiemaske |
JP2008170366A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブルに保持された被加工物の計測装置およびレーザー加工機 |
US9679215B2 (en) | 2012-01-17 | 2017-06-13 | Leap Motion, Inc. | Systems and methods for machine control |
US9501152B2 (en) | 2013-01-15 | 2016-11-22 | Leap Motion, Inc. | Free-space user interface and control using virtual constructs |
US11493998B2 (en) | 2012-01-17 | 2022-11-08 | Ultrahaptics IP Two Limited | Systems and methods for machine control |
US20150253428A1 (en) | 2013-03-15 | 2015-09-10 | Leap Motion, Inc. | Determining positional information for an object in space |
US8693731B2 (en) | 2012-01-17 | 2014-04-08 | Leap Motion, Inc. | Enhanced contrast for object detection and characterization by optical imaging |
US10691219B2 (en) | 2012-01-17 | 2020-06-23 | Ultrahaptics IP Two Limited | Systems and methods for machine control |
US9070019B2 (en) | 2012-01-17 | 2015-06-30 | Leap Motion, Inc. | Systems and methods for capturing motion in three-dimensional space |
US8638989B2 (en) | 2012-01-17 | 2014-01-28 | Leap Motion, Inc. | Systems and methods for capturing motion in three-dimensional space |
US9285893B2 (en) | 2012-11-08 | 2016-03-15 | Leap Motion, Inc. | Object detection and tracking with variable-field illumination devices |
US10609285B2 (en) | 2013-01-07 | 2020-03-31 | Ultrahaptics IP Two Limited | Power consumption in motion-capture systems |
US9626015B2 (en) | 2013-01-08 | 2017-04-18 | Leap Motion, Inc. | Power consumption in motion-capture systems with audio and optical signals |
US9459697B2 (en) | 2013-01-15 | 2016-10-04 | Leap Motion, Inc. | Dynamic, free-space user interactions for machine control |
US9632658B2 (en) | 2013-01-15 | 2017-04-25 | Leap Motion, Inc. | Dynamic user interactions for display control and scaling responsiveness of display objects |
KR102025716B1 (ko) * | 2013-03-21 | 2019-09-26 | 삼성전자주식회사 | 3차원 형상 측정장치 |
US10620709B2 (en) | 2013-04-05 | 2020-04-14 | Ultrahaptics IP Two Limited | Customized gesture interpretation |
CN104111229A (zh) * | 2013-04-16 | 2014-10-22 | 深圳中科卉而立生物科技有限公司 | 一种光路探测装置 |
US9916009B2 (en) | 2013-04-26 | 2018-03-13 | Leap Motion, Inc. | Non-tactile interface systems and methods |
US9747696B2 (en) | 2013-05-17 | 2017-08-29 | Leap Motion, Inc. | Systems and methods for providing normalized parameters of motions of objects in three-dimensional space |
US10281987B1 (en) | 2013-08-09 | 2019-05-07 | Leap Motion, Inc. | Systems and methods of free-space gestural interaction |
US10846942B1 (en) | 2013-08-29 | 2020-11-24 | Ultrahaptics IP Two Limited | Predictive information for free space gesture control and communication |
US9632572B2 (en) | 2013-10-03 | 2017-04-25 | Leap Motion, Inc. | Enhanced field of view to augment three-dimensional (3D) sensory space for free-space gesture interpretation |
US9996638B1 (en) | 2013-10-31 | 2018-06-12 | Leap Motion, Inc. | Predictive information for free space gesture control and communication |
US9613262B2 (en) | 2014-01-15 | 2017-04-04 | Leap Motion, Inc. | Object detection and tracking for providing a virtual device experience |
JP2016038889A (ja) | 2014-08-08 | 2016-03-22 | リープ モーション, インコーポレーテッドLeap Motion, Inc. | モーション感知を伴う拡張現実 |
CN104296687A (zh) * | 2014-11-05 | 2015-01-21 | 哈尔滨工业大学 | 基于荧光共焦显微技术的光滑大曲率样品测量装置与方法 |
US9696795B2 (en) | 2015-02-13 | 2017-07-04 | Leap Motion, Inc. | Systems and methods of creating a realistic grab experience in virtual reality/augmented reality environments |
JP6452508B2 (ja) * | 2015-03-17 | 2019-01-16 | オリンパス株式会社 | 3次元形状測定装置 |
CN105203044B (zh) * | 2015-05-27 | 2019-06-11 | 珠海真幻科技有限公司 | 以计算激光散斑为纹理的立体视觉三维测量方法及系统 |
US9869588B2 (en) * | 2015-10-13 | 2018-01-16 | Beijing Information Science & Technology University | Fiber grating demodulation system for enhancing spectral resolution by finely shifting slit |
US9869587B2 (en) * | 2015-10-14 | 2018-01-16 | Bejing Information Science & Technology University | Fiber grating demodulation system for enhancing spectral resolution by finely shifting linear array detector |
TWI573432B (zh) * | 2016-05-04 | 2017-03-01 | 全友電腦股份有限公司 | 掃描具有深度影像之物件之影像掃瞄方法及其系統 |
DE102016221630A1 (de) * | 2016-11-04 | 2018-05-09 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Konfokal chromatischer Sensor zur Bestimmung von Koordinaten eines Messobjekts |
JP7089719B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2022-06-23 | ナノフォトン株式会社 | 分光顕微鏡、及び分光観察方法 |
US11875012B2 (en) | 2018-05-25 | 2024-01-16 | Ultrahaptics IP Two Limited | Throwable interface for augmented reality and virtual reality environments |
US11543640B2 (en) * | 2020-04-21 | 2023-01-03 | Laxco Incorporated | Confocal optical system and components thereof |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3843227A (en) * | 1969-02-08 | 1974-10-22 | Nippon Kogaku Kk | Light dissecting optical system |
US4806004A (en) * | 1987-07-10 | 1989-02-21 | California Institute Of Technology | Scanning microscopy |
US4884881A (en) * | 1987-11-16 | 1989-12-05 | Washington University | Single aperture confocal scanning epi-illumination microscope |
US5239178A (en) * | 1990-11-10 | 1993-08-24 | Carl Zeiss | Optical device with an illuminating grid and detector grid arranged confocally to an object |
JP2975719B2 (ja) * | 1991-05-29 | 1999-11-10 | オリンパス光学工業株式会社 | 共焦点光学系 |
DE539691T1 (de) * | 1991-10-31 | 1993-10-14 | Yokogawa Electric Corp | Nipkowscheibe für konfokalen optischen Scanner. |
US5248876A (en) * | 1992-04-21 | 1993-09-28 | International Business Machines Corporation | Tandem linear scanning confocal imaging system with focal volumes at different heights |
US5612818A (en) * | 1993-09-08 | 1997-03-18 | Nikon Corporation | Confocal microscope |
US5737084A (en) * | 1995-09-29 | 1998-04-07 | Takaoka Electric Mtg. Co., Ltd. | Three-dimensional shape measuring apparatus |
US5731894A (en) * | 1995-12-19 | 1998-03-24 | Gross; Leo | Multi-purpose microscope objective |
JP3533295B2 (ja) * | 1996-01-31 | 2004-05-31 | 株式会社ニデック | 共焦点走査型顕微鏡 |
-
1997
- 1997-01-23 JP JP00999197A patent/JP3438855B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-01-05 US US09/003,068 patent/US6031661A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-01-16 GB GB9800966A patent/GB2321517B/en not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-11-05 US US09/433,903 patent/US6111690A/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-05-03 US US09/886,058 patent/US6388808B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001013445A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点光スキャナ |
JP2001027728A (ja) * | 1999-07-15 | 2001-01-30 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点光スキャナ |
KR100443143B1 (ko) * | 2000-03-06 | 2004-08-04 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 섹셔닝상 관찰장치에 적용되는 패턴형성부재 및 그것을이용한 섹셔닝상 관찰장치 |
JP2001311874A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Yokogawa Electric Corp | 光スキャナ及びこれを用いた断層画像取得装置 |
JP2004528605A (ja) * | 2001-06-05 | 2004-09-16 | カール ツアイス マイクロエレクトロニック システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 光学機器用オートフォーカス装置 |
JP2003066337A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-03-05 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | 被検試料検出方法及び顕微鏡 |
JP4670031B2 (ja) * | 2001-12-10 | 2011-04-13 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 試料内で励起および/または後方散乱を経た光ビームの光学的検出のための装置 |
JP2003248175A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-09-05 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 試料内で励起および/または後方散乱を経た光ビームの光学的捕捉のための配置 |
JP2004309514A (ja) * | 2003-04-01 | 2004-11-04 | Pulstec Industrial Co Ltd | ピンホール素子および同素子を用いた光学装置 |
JP2006031004A (ja) * | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 光走査型顕微鏡およびその使用 |
JP2007286379A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Korea Advanced Inst Of Sci Technol | 分散光学系を用いた実時間共焦点顕微鏡 |
JP2008076059A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | V Technology Co Ltd | 微小高さ測定方法及び微小高さ測定装置 |
JP2012002670A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | 高さ検出装置 |
JP2018509640A (ja) * | 2015-03-19 | 2018-04-05 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | デジタル病理学スキャンにおける照明 |
WO2017061110A1 (ja) * | 2015-10-07 | 2017-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 顕微鏡装置および結像方法 |
JP2017072700A (ja) * | 2015-10-07 | 2017-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 顕微鏡装置および結像方法 |
JP2019535005A (ja) * | 2016-10-13 | 2019-12-05 | ウェイモ エルエルシー | 開口部を用いた光検出器における雑音の制限 |
JP2022008880A (ja) * | 2016-10-13 | 2022-01-14 | ウェイモ エルエルシー | 開口部を用いた光検出器における雑音の制限 |
US11536834B2 (en) | 2016-10-13 | 2022-12-27 | Waymo Llc | Limitation of noise on light detectors using an aperture |
US11921206B2 (en) | 2016-10-13 | 2024-03-05 | Waymo Llc | Limitation of noise on light detectors using an aperture |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2321517B (en) | 2001-10-03 |
US6388808B1 (en) | 2002-05-14 |
US6031661A (en) | 2000-02-29 |
GB2321517A (en) | 1998-07-29 |
JP3438855B2 (ja) | 2003-08-18 |
US6111690A (en) | 2000-08-29 |
GB9800966D0 (en) | 1998-03-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080613 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090613 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100613 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100613 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130613 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140613 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |