JP6452508B2 - 3次元形状測定装置 - Google Patents
3次元形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6452508B2 JP6452508B2 JP2015053192A JP2015053192A JP6452508B2 JP 6452508 B2 JP6452508 B2 JP 6452508B2 JP 2015053192 A JP2015053192 A JP 2015053192A JP 2015053192 A JP2015053192 A JP 2015053192A JP 6452508 B2 JP6452508 B2 JP 6452508B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- score
- measurement
- data
- dimensional shape
- height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 164
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 57
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 57
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 47
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 37
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 26
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 17
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 16
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 11
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 5
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 235000004522 Pentaglottis sempervirens Nutrition 0.000 description 3
- 238000004624 confocal microscopy Methods 0.000 description 3
- 240000004050 Pentaglottis sempervirens Species 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000013523 data management Methods 0.000 description 1
- 239000004053 dental implant Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/50—Depth or shape recovery
- G06T7/55—Depth or shape recovery from multiple images
- G06T7/571—Depth or shape recovery from multiple images from focus
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10028—Range image; Depth image; 3D point clouds
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10056—Microscopic image
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
Description
ここで、部品表面の幾何学的な形状を測定する一の方法として、国際標準化機構ISOの定める工業標準ISO3274:1996(和訳版は、日本工業規格JIS B0651:2001)に記載されている触針式表面粗さ測定機が、古くから利用されてきている。この方法によれば、機械的な触針の先端で測定対象物の固体表面を精密になぞるため、信頼性の高いデータを取得することが可能である。
本発明の第2の態様に係る3次元形状測定装置によれば、非接触で被検物の3次元形状の測定を行う3次元形状測定装置であって、前記被検物の高さ推定を行う工程で得られる情報または推定された高さを用いて、測定点ごとに、測定データの信頼性を評価するスコアを算出するスコア算出部と、前記スコアを用いて前記測定点ごとに前記測定データを評価した結果に応じて、前記測定データを処理するデータ処理部と、を備え、前記スコア算出部は、少なくとも2種類のスコアから1つのトータルスコアを算出し、前記データ処理部は、前記トータルスコアが予め設定されているしきい値以下である測定点については、前記測定点における測定データを無効データとして処理することを特徴とする。
本発明の第3の態様に係る3次元形状測定装置によれば、非接触で被検物の3次元形状の測定を行う3次元形状測定装置であって、前記被検物の高さ推定を行う工程で得られる情報または推定された高さを用いて、測定点ごとに、測定データの信頼性を評価するスコアを算出するスコア算出部と、前記スコアを用いて前記測定点ごとに前記測定データを評価した結果に応じて、前記測定データを処理するデータ処理部と、を備え、前記スコア算出部は、前記被検物の高さ推定を行う工程においてZ走査に伴う測定点の輝度値の変化を曲線近似して得られる近似曲線の形状特性または近似誤差から前記スコアを算出することを特徴とする。
本発明の第4の態様に係る3次元形状測定装置によれば、非接触で被検物の3次元形状の測定を行う3次元形状測定装置であって、前記被検物の高さ推定を行う工程で得られる情報または推定された高さを用いて、測定点ごとに、測定データの信頼性を評価するスコアを算出するスコア算出部と、前記スコアを用いて前記測定点ごとに前記測定データを評価した結果に応じて、前記測定データを処理するデータ処理部と、を備え、前記スコア算出部は、推定された高さを用い、注目する測定点近傍の複数の測定点の近似平面の傾きから前記スコアを算出することを特徴とする。
<第1の実施形態>
(構成)
図1は、本実施形態に係る3次元形状測定装置の構成図である。図1に示す3次元形状測定装置100は、共焦点顕微鏡から構成され、コンピュータ17と接続されて、非接触で被検物3の3次元形状の測定を行う。
レーザ光源2と2次元光偏向器9との間には、ビームスプリッタ10が配置される。ビームスプリッタ10の反射光路側には、結像レンズ11が配置される。結像レンズ11の焦点位置には、共焦点絞り13と、光ディテクタ14とが配置される。光ディテクタ14としては、例えば、フォトマルチプライヤやアバランシェフォトダイオード等を使用する。
指示部20は、キーボードやマウス等の入力手段であり、ユーザからの指示の入力を受け付ける。記憶部22は、ハードディスクやメモリ等の記憶手段であり、本実施形態に係る3次元形状測定に係わる各種データや、3次元形状の測定及び測定データの信頼性を評価するためのプログラムを記憶する。画像入力部23は、制御部16を介して顕微鏡画像データの入力を受け付ける。インターフェース部24は、制御部16との間で各種データや指示内容をやり取りする際のインターフェースである。演算処理部19は、例えばCPUからなり、各種演算を行う。例えば、演算処理部19は、記憶部22に記憶されているプログラムを読み出して、3次元形状の測定データの信頼性を評価するためのスコアの算出等の各種処理を実施する。
まず、図1に示す構成の共焦点顕微鏡100による共焦点顕微鏡画像を得る動作の原理について説明する。
レーザ光源2から発せられた平行光1は、ビームスプリッタ10を透過し、2次元光偏向器9で反射される。偏向された光は、投影レンズ8で拡大され、対物レンズ5の後側焦点位置30を介して対物レンズ5へと入射する。対物レンズ5に入射した光は、被検物3の1点をスポット状に照明する。このスポット状の光は、2次元光偏向器9によって被検物3上をラスタスキャンされる。
次に、図1に示す共焦点顕微鏡装置100による高さ測定の動作の原理について説明する。
3次元形状測定装置100は、制御部16の制御にしたがって、Z走査ステージ7を移動させて対物レンズ5と被検物3との間の相対距離を変えながら、共焦点顕微鏡画像を複数枚取得する。以下においては、この動作をZ走査と呼ぶ。図2は、Z走査して複数枚取得した画像を示す図である。これら一連の画像は、画像を取得する度に、コンピュータ17の記憶部22に保存されていく。各画像には、対物レンズ5と被検物3との相対距離に応じて、n=1,2,…,k(kは自然数)等のように付番されて保存される。
図4においては矢印で複数個所を指し示しているように、推定された高さデータには、スパイク状の測定点が含まれることがある。上記の方法で求めた高さデータには、誤って検出した誤測定データや、正しい測定かどうかが疑わしい測定データが含まれてしまうことがあるためである。このようなデータは、設置環境の振動や騒音、光ディテクタ14やその増幅回路に含まれるノイズ、光学的に反射光を検出できる限界を超える場合等に発生することが知られている。
まず、高さ推定の工程において得られる情報を用いてスコアを算出する方法について説明する。
図5は、共焦点顕微鏡画像の輝度値に基づき算出されるスコアについて説明する図である。
輝度値が低い場合は、図6(a)や図6(b)に示すように、近似曲線の半値全幅(FWHM)も、測定位置により異なる場合がある。ここで、先に述べたように、測定条件が同じであれば、理論上の近似曲線の形状は同じ曲線形状になる。しかし、実際の測定の場面においては、ノイズや被検物3の表面の状態(傾きや光学分解能以下の微細形状等)の影響を受けて、図6(c)に示すように、測定場所により異なった半値全幅となる。
近似曲線の半値全幅だけでなく、フィッティング残差も、ノイズや被検物3の状態の影響を受ける。フィッティング残差とは、輝度変化から求めた近似曲線と近似ポイントとの差分の二乗和である。図7(a)及び(b)は、それぞれ図7(c)のフィッティング残差の分布のうちの特定の測定点(画素)におけるフィッティング残差を示している。図7(a)及び(b)に示す2つの測定位置では、最大輝度値や半値全幅は同程度であるが、近似曲線のフィッティング残差は、図7(a)の方が図7(b)よりも明らかに大きい。
先に図2を参照して説明したように、輝度値のピーク位置を算出する際には、所定のデータ範囲をピーク値近傍のフィッティングのために利用する。図8においては、このデータ範囲を「フィッティング範囲」と記載している。図8に例示するように、フィッティング範囲の外側に推定されるピーク位置がくる場合は、明らかに誤測定と判断することができるため、スコアを「0」とする。これ以外の場合、すなわち、輝度値のピーク位置がフィッティング範囲内に含まれる場合は、スコアを「1」とする。このようにして求めるピーク位置に基づくスコア分布から求めるスコアを、以下においては「ピーク位置スコア」ということとする。
図10においては、上記の「輝度スコア」、「半値全幅スコア」、「残差スコア」、「ピーク位置スコア」及び「局所傾斜角スコア」を測定点ごとすなわち画素ごとに乗算した値の分布を示す。複数種類のスコアから得られる評価値を、以下においては、「トータルスコア」と呼び、トータルスコア算出に用いる輝度スコア等の各スコアについては、「スコア要素」と呼ぶこととする。
図12は、本実施形態に係る3次元形状測定装置100が管理するデータの構成を示す図である。このうち、図12(a)は、図3等を参照して説明した方法で推定して得られたピーク輝度分布画像であり、この画像は、顕微鏡の観察画像として利用することができる。図12(b)は、図3等を参照して説明した方法で推定して得られた高さデータである。この推定した高さデータは、信頼性の判定はされておらず、生の測定データである。図12(c)は、トータルスコアデータである。図12(d)は、対物レンズの倍率や開口数、測定日時等の測定条件等の情報を、(a)〜(c)のデータに対応付けたデータ束を表している。3次元形状測定装置100は、図12(d)のデータ束を単位としてデータ管理や保存を行う。
上記の第1の実施形態においては、図5(d)、図6(d)、図7(d)及び図9(c)のように、スコア算出テーブルに0以上1以下の値を割り当てて、ここからスコアを算出する。そして、算出した各スコア要素の値を乗算して、図10のような0以上1以下の値をもつトータルスコアを算出している。しかし、スコア要素やトータルスコアの算出方法はこれに限定されない。
上記の第1の実施形態においては、共焦点顕微鏡法にて被検物3の高さ推定を行う構成を例に説明しているが、これに限定されるものではない。例えば、垂直走査低コヒーレンス干渉法にて高さ推定を行う場合にも同様に適用が可能である。
垂直走査低コヒーレンス干渉法は、ハロゲン光やLED(Light Emitting Diode)光等の低コヒーレント光源から発せられた光をビームスプリッタ等により分岐させる。分岐させた光の一方の光を対物レンズにより被検物3表面に集光させ、他方の光を参照ミラーに集光させる。被検物3表面にて反射した反射光と参照ミラーにて反射した反射光とを再び結合させると、光波の干渉縞が生じる。この干渉縞を、CCD(Charge Coupled Device)やCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等の撮像素子により撮影する。このとき、光源は、低コヒーレント光を用いているため、被検物3表面及び参照ミラーからの反射光の光路長差が小さいとき、例えば数マイクロメートル程度であるときにしか、干渉縞は現れない。光路長が完全に一致したとき、すなわち、被検物3までの距離が参照ミラーまでの距離と一致したときに、干渉強度が最も強くなる。
図14に示すように、垂直走査低コヒーレンス干渉法では、輝度の変化曲線は、インターフェログラムと呼ばれる振動波形となる。コンピュータ17の演算処理部19は、振動波形の包絡曲線からピーク輝度値とZ位置とを推定する。
本実施形態においては、第1の実施形態に係る方法の実施により得られたデータを用いて、ステッチング処理を実施する。
ステッチング処理とは、ここでは、3次元形状測定装置100が一度に測定できる範囲が限られていることから、所望の測定領域をいくつかの細かな領域に分割して測定を行い、個々の測定データをつなぎ合わせて1つの測定データとする処理をいうこととする。
図15の(a)〜(d)は、3次元形状測定装置100が、先に説明した方法により被検物3のピーク輝度分布画像から推定した高さ画像である。(a)〜(d)の各画像の間には、重複する領域A1〜A4が設けられている。(a)〜(d)のそれぞれ隣接する画像と重複する領域を適切な位置でつなぎ合わせることで、1枚の画像が生成される。但し、図15に示す例では、(a)〜(d)の画像のうち、(c)及び(d)の画像には、被検物3が存在しない箇所がある。
2 レーザ光源
3 被検物
5 対物レンズ
6 光軸
7 Z走査ステージ
8 投影レンズ
9 2次元偏向器
10 ビームスプリッタ
11 結像レンズ
13 共焦点絞り
14 光ディテクタ
15 変位計
16 制御部
17 コンピュータ
100 3次元形状測定装置
Claims (7)
- 非接触で被検物の3次元形状の測定を行う3次元形状測定装置であって、
前記被検物の高さ推定を行う工程で得られる情報または推定された高さを用いて、測定点ごとに、測定データの信頼性を評価するスコアを算出するスコア算出部と、
前記スコアを用いて前記測定点ごとに前記測定データを評価した結果に応じて、前記測定データを処理するデータ処理部と、
を備え、
前記スコア算出部は、少なくとも2種類のスコアから1つのトータルスコアを算出し、
前記スコア算出部は、前記高さ推定を行う工程において求めた前記測定点における明るさと、前記推定された高さから求めた前記測定点における傾きからそれぞれスコアを算出し、少なくともこれらのスコアを用いて、前記トータルスコアを算出する
ことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 非接触で被検物の3次元形状の測定を行う3次元形状測定装置であって、
前記被検物の高さ推定を行う工程で得られる情報または推定された高さを用いて、測定点ごとに、測定データの信頼性を評価するスコアを算出するスコア算出部と、
前記スコアを用いて前記測定点ごとに前記測定データを評価した結果に応じて、前記測定データを処理するデータ処理部と、
を備え、
前記スコア算出部は、少なくとも2種類のスコアから1つのトータルスコアを算出し、
前記データ処理部は、前記トータルスコアが予め設定されているしきい値以下である測定点については、前記測定点における測定データを無効データとして処理する
ことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 前記しきい値は、測定条件ごとに推奨する標準値が予め設定されている
ことを特徴とする請求項2記載の3次元形状測定装置。 - 前記しきい値は、可変であり、前記データ処理部は、変更されたしきい値に応じて前記測定点における測定データの有効または無効を判定して処理を行う
ことを特徴とする請求項2記載の3次元形状測定装置。 - 非接触で被検物の3次元形状の測定を行う3次元形状測定装置であって、
前記被検物の高さ推定を行う工程で得られる情報または推定された高さを用いて、測定点ごとに、測定データの信頼性を評価するスコアを算出するスコア算出部と、
前記スコアを用いて前記測定点ごとに前記測定データを評価した結果に応じて、前記測定データを処理するデータ処理部と、
を備え、
前記スコア算出部は、前記被検物の高さ推定を行う工程においてZ走査に伴う測定点の輝度値の変化を曲線近似して得られる近似曲線の形状特性または近似誤差から前記スコアを算出する
ことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 非接触で被検物の3次元形状の測定を行う3次元形状測定装置であって、
前記被検物の高さ推定を行う工程で得られる情報または推定された高さを用いて、測定点ごとに、測定データの信頼性を評価するスコアを算出するスコア算出部と、
前記スコアを用いて前記測定点ごとに前記測定データを評価した結果に応じて、前記測定データを処理するデータ処理部と、
を備え、
前記スコア算出部は、推定された高さを用い、注目する測定点近傍の複数の測定点の近似平面の傾きから前記スコアを算出する
ことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 前記測定点ごとの高さ推定を行う工程にて得られる情報または前記トータルスコアの少なくとも一方を推定された高さと関連付けて記憶する記憶部と、
を更に備え、
前記スコア算出部及びデータ処理部は、前記記憶部に記憶されている情報を読み出して、それぞれ前記スコア及びトータルスコアの算出処理及びデータの処理を行う
ことを特徴とする請求項2記載の3次元形状測定装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015053192A JP6452508B2 (ja) | 2015-03-17 | 2015-03-17 | 3次元形状測定装置 |
US15/057,943 US10041783B2 (en) | 2015-03-17 | 2016-03-01 | Three-dimensional shape measurement apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015053192A JP6452508B2 (ja) | 2015-03-17 | 2015-03-17 | 3次元形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016173294A JP2016173294A (ja) | 2016-09-29 |
JP6452508B2 true JP6452508B2 (ja) | 2019-01-16 |
Family
ID=56925175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015053192A Active JP6452508B2 (ja) | 2015-03-17 | 2015-03-17 | 3次元形状測定装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10041783B2 (ja) |
JP (1) | JP6452508B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6618819B2 (ja) * | 2016-01-25 | 2019-12-11 | オリンパス株式会社 | 三次元形状測定装置 |
JP7002178B2 (ja) * | 2017-10-17 | 2022-01-20 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
JP7119621B2 (ja) * | 2018-06-18 | 2022-08-17 | オムロン株式会社 | 画像処理システムおよび画像処理方法 |
JP7213465B2 (ja) * | 2019-03-25 | 2023-01-27 | 株式会社東京精密 | 画像処理方法及び測定装置 |
JP7538679B2 (ja) | 2020-10-06 | 2024-08-22 | 株式会社エビデント | 測定システム、測定支援方法、プログラム |
JP7507380B2 (ja) | 2021-02-05 | 2024-06-28 | 株式会社東京精密 | 幾何要素判別装置、幾何要素判別方法、プログラム及び三次元測定機 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5381360A (en) * | 1993-09-27 | 1995-01-10 | Hitachi America, Ltd. | Modulo arithmetic addressing circuit |
JP3403875B2 (ja) * | 1995-10-16 | 2003-05-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 三次元計測方法および表示方法、ならびに三次元計測装置 |
JP3438855B2 (ja) * | 1997-01-23 | 2003-08-18 | 横河電機株式会社 | 共焦点装置 |
JP3847422B2 (ja) | 1997-08-28 | 2006-11-22 | オリンパス株式会社 | 高さ測定方法及びその装置 |
JPH11148811A (ja) | 1997-11-14 | 1999-06-02 | Komatsu Ltd | 3次元形状計測装置および該装置のデータ有効性判定方法 |
WO2003038503A1 (fr) * | 2001-11-02 | 2003-05-08 | Olympus Corporation | Microscope de balayage confocal |
JP3960862B2 (ja) | 2002-06-18 | 2007-08-15 | オリンパス株式会社 | 高さ測定方法 |
JP2004354469A (ja) * | 2003-05-27 | 2004-12-16 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡表示装置 |
JP4213527B2 (ja) * | 2003-06-25 | 2009-01-21 | 株式会社日立製作所 | 立体形状計測装置 |
JP2005043624A (ja) | 2003-07-28 | 2005-02-17 | Nikon Corp | 顕微鏡制御装置、顕微鏡装置、及び顕微鏡対物レンズ |
JP4315169B2 (ja) * | 2006-06-15 | 2009-08-19 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 三次元形状測定システム |
JP2008002995A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Konica Minolta Sensing Inc | 三次元形状測定装置 |
US8482733B2 (en) * | 2007-07-24 | 2013-07-09 | Kent State University | Measurement of the absorption coefficient of light absorbing liquids and their use for quantitative imaging of surface topography |
CN101960253B (zh) * | 2008-02-26 | 2013-05-01 | 株式会社高永科技 | 三维形状测量装置及测量方法 |
JP5371848B2 (ja) * | 2009-12-07 | 2013-12-18 | 株式会社神戸製鋼所 | タイヤ形状検査方法、及びタイヤ形状検査装置 |
JP5746477B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2015-07-08 | キヤノン株式会社 | モデル生成装置、3次元計測装置、それらの制御方法及びプログラム |
JP2014001966A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Keyence Corp | 形状測定装置および形状測定方法 |
JP6351201B2 (ja) * | 2012-12-06 | 2018-07-04 | キヤノン株式会社 | 距離計測装置および方法 |
JP2014169947A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Hitachi Ltd | 形状検査方法およびその装置 |
-
2015
- 2015-03-17 JP JP2015053192A patent/JP6452508B2/ja active Active
-
2016
- 2016-03-01 US US15/057,943 patent/US10041783B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160275689A1 (en) | 2016-09-22 |
JP2016173294A (ja) | 2016-09-29 |
US10041783B2 (en) | 2018-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6452508B2 (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP6671426B2 (ja) | 欠陥特定情報を用いるウェハ上の欠陥の検出 | |
JP5043629B2 (ja) | レーザ走査型顕微鏡及びその表面形状の測定方法 | |
JP5631025B2 (ja) | 情報処理装置、その処理方法及びプログラム | |
JP6151824B2 (ja) | 差分測定に基づき顕微鏡検査をスキャンするためのオートフォーカス | |
CN106052591B (zh) | 测量设备、测量方法、系统和物品生产方法 | |
JP2012521005A (ja) | 光学式ゲージ及び3次元表面プロファイル測定方法 | |
CN105960569B (zh) | 使用二维图像处理来检查三维物体的方法 | |
JP5500462B2 (ja) | 形状測定装置、観察装置および画像処理方法 | |
JP6359466B2 (ja) | サブ解像度での光学的検出 | |
JP6811950B2 (ja) | 走査型共焦点顕微鏡装置、走査制御方法、及び、プログラム | |
JPWO2005103610A1 (ja) | 微小変位計測法及び装置 | |
JP2010261949A (ja) | 正反射面の相対位置を測定する方法及び装置 | |
JP6112909B2 (ja) | シャック・ハルトマンセンサーを用いた形状計測装置、形状計測方法 | |
WO2012057284A1 (ja) | 三次元形状測定装置、三次元形状測定方法、構造物の製造方法および構造物製造システム | |
TW201305531A (zh) | 圖案量測裝置及圖案量測方法 | |
US11168976B2 (en) | Measuring device for examining a specimen and method for determining a topographic map of a specimen | |
JP6762608B2 (ja) | 走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法 | |
TWI428568B (zh) | 測距方法、測距系統與其處理軟體 | |
JP6179366B2 (ja) | 標準ゲージ、三次元測定装置、及び、三次元測定装置のキャリブレーション方法 | |
JP6853572B2 (ja) | 走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法 | |
JP7390239B2 (ja) | 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法 | |
JP2022097472A (ja) | クロマティックレンジセンサーシステム | |
TW201809592A (zh) | 自動化三維量測 | |
JP4496149B2 (ja) | 寸法測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181211 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6452508 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |