JP6151824B2 - 差分測定に基づき顕微鏡検査をスキャンするためのオートフォーカス - Google Patents
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により与えられる。
Claims (17)
- 顕微鏡システムに関するオートフォーカス撮像システムであって、
関心対象物のプライマリ画像データ並びに前記関心対象物の斜め断面の第1及び第2のオートフォーカス画像データを取得する、光学軸に対して傾けられる一つの物理的な画像センサと、
前記第1のオートフォーカス画像データに関する第1のデータと前記第2のオートフォーカス画像データに関する第2のデータとの比較に基づき、前記顕微鏡システムの焦点位置の有極誤差信号を生成する計算ユニットとを有し、
前記第1及び第2のオートフォーカス画像データは、前記関心対象物の異なる位置について取得される、オートフォーカス撮像システム。 - 前記第1及び第2のオートフォーカス画像データが、前記関心対象物の並進の前後に取得される、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 前記比較が、
前記第1のデータにおいて、前記画像センサにおけるx位置の関数として、第1のコントラストを決定し、及び、前記第2のデータにおいて、前記画像センサにおけるx位置の関数として、第2のコントラストを決定することと、
前記第1のコントラスト関数と前記第2のコントラスト関数とを比較することとを有する、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。 - 前記第1のコントラスト関数と前記第2のコントラスト関数とを比較するため、前記計算ユニットが、前記関心対象物の並進について前記第2のコントラスト関数を修正し、前記第1及び第2のコントラスト関数、又はフィルタリング若しくは変形されたバージョンの前記第1及び第2のコントラスト関数を互いから減算するよう構成され、これにより、S字曲線が生じる、請求項3に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 前記有極誤差信号を生成するため、前記計算ユニットが、前記S字曲線のゼロ交差を決定するよう構成される、請求項4に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 最適な焦点位置の決定後、前記焦点位置のフィードバック又はフィードフォワード制御を実行するよう更に構成される、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 前記画像センサが、前記関心対象物から放射される放射線を前記画像センサ上に焦束させるレンズの光学軸に対して傾けられる、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 前記有極誤差信号が、焦点の上下を示す符号を有する、請求項1に記載のオートフォーカス撮像システム。
- 請求項1から8のいずれか一項に記載のオートフォーカス撮像システムを有する顕微鏡システム。
- 顕微鏡システムのオートフォーカス撮像に関する方法において、
光学軸に対して傾けられる一つの物理的な画像センサで、関心対象物のプライマリ画像データを取得するステップと、
前記画像センサで前記関心対象物の斜め断面の第1のオートフォーカス画像データと第2のオートフォーカス画像データを取得するステップと、
前記第1のオートフォーカス画像データに関する第1のデータと前記第2のオートフォーカス画像データに関する第2のデータとの比較に基づき、前記顕微鏡システムの焦点位置の有極誤差信号を生成するステップとを有し、
前記第1及び第2のオートフォーカス画像データは、前記関心対象物の異なる位置について取得される、方法。 - 前記第1及び第2のオートフォーカス画像データが、前記関心対象物の並進の前後に取得される、請求項10に記載の方法。
- 前記比較が、
前記第1のデータにおいて、前記オートフォーカス画像センサにおけるx位置の関数として、第1のコントラストを決定し、及び、前記第2のデータにおいて、前記オートフォーカス画像センサにおけるx位置の関数として、第2のコントラストを決定するステップと、
前記第1のコントラスト関数と前記第2のコントラスト関数とを比較するステップとを有する、請求項10に記載の方法。 - 前記第1のコントラスト関数と前記第2のコントラスト関数とを比較するステップが、
前記第1及び第2のコントラスト関数、又はフィルタリング若しくは変形されたバージョンの前記第1及び第2のコントラスト関数を互いから減算することにより、S字曲線を決定するステップと、
前記S字曲線のゼロ交差を決定することにより前記有極誤差信号を生成するステップとを有する、請求項12に記載の方法。 - 前記有極誤差信号が、焦点の上下を示す符号を有する、請求項10に記載の方法。
- 顕微鏡システムのオートフォーカス撮像に関するプログラム要素であって、前記顕微鏡システムのプロセッサにより実行されるとき、前記プロセッサに、
光学軸に対して傾けられる一つの物理的な画像センサで、関心対象物のプライマリ画像データを取得するステップと、
前記画像センサで前記関心対象物の斜め断面の第1のオートフォーカス画像データと第2のオートフォーカス画像データを取得するステップと、
前記第1のオートフォーカス画像データに関する第1のデータと前記第2のオートフォーカス画像データに関する第2のデータとの比較に基づき、前記顕微鏡の焦点位置の有極誤差信号を生成するステップとを実行させ、
前記第1及び第2のオートフォーカス画像データは、前記関心対象物の異なる位置について取得される、プログラム要素。 - 前記第1及び第2のオートフォーカス画像データが、前記関心対象物の並進の前後に取得される、請求項15に記載のプログラム要素。
- 前記有極誤差信号が、焦点の上下を示す符号を有する、請求項15に記載のプログラム要素。
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