JPH0555919A - アナログ・デイジタル変換方式 - Google Patents
アナログ・デイジタル変換方式Info
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- JPH0555919A JPH0555919A JP21080591A JP21080591A JPH0555919A JP H0555919 A JPH0555919 A JP H0555919A JP 21080591 A JP21080591 A JP 21080591A JP 21080591 A JP21080591 A JP 21080591A JP H0555919 A JPH0555919 A JP H0555919A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 アナログ・ディジタル変換方式に関し、A/
D変換器の変換分解能を改善することを目的とする。 【構成】 A/D変換器の出力にn段の1サンプル間隔
遅延回路を縦続接続し、A/D変換器の出力および各遅
延回路の出力を加算器で加算し、加算結果をn+1回に
1回通過させるゲートを通すように構成される。 【効果】 A/D変換器の分解能のn+1倍の分解能が
得られる。
D変換器の変換分解能を改善することを目的とする。 【構成】 A/D変換器の出力にn段の1サンプル間隔
遅延回路を縦続接続し、A/D変換器の出力および各遅
延回路の出力を加算器で加算し、加算結果をn+1回に
1回通過させるゲートを通すように構成される。 【効果】 A/D変換器の分解能のn+1倍の分解能が
得られる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアナログ・ディジタル変
換方式、特に、アナログ・ディジタル変換器の分解能を
向上するアナログ・ディジタル変換方式に関する。
換方式、特に、アナログ・ディジタル変換器の分解能を
向上するアナログ・ディジタル変換方式に関する。
【0002】
【従来の技術】高速のアナログ信号を高精度で信号処理
するディジタル信号処理システムの入力部において、ア
ナログ・ディジタル(A/D)変換器は必要不可欠であ
り、その性能がシステムの能力、特に出力情報の精度を
左右するといっても過言ではない。
するディジタル信号処理システムの入力部において、ア
ナログ・ディジタル(A/D)変換器は必要不可欠であ
り、その性能がシステムの能力、特に出力情報の精度を
左右するといっても過言ではない。
【0003】連続的なアナログ信号をディジタル信号に
変換するA/D変換において、量子化と標本化間隔(又
は標本化周波数)が重要な要因である。
変換するA/D変換において、量子化と標本化間隔(又
は標本化周波数)が重要な要因である。
【0004】図5は、A/D変換の基本原理を示すグラ
フである。図5において、曲線Aはアナログ信号であ
り、縦軸は量子化レベル、横軸は時間軸における標本化
(サンプリング)点を示す。各サンプリング点の間隔の
逆数が標本化周波数である。
フである。図5において、曲線Aはアナログ信号であ
り、縦軸は量子化レベル、横軸は時間軸における標本化
(サンプリング)点を示す。各サンプリング点の間隔の
逆数が標本化周波数である。
【0005】A/D変換器の標本化周波数は、対象とす
るアナログ信号Aの信号の周波数により標本化の定理に
よって得られる値に基づき、回路の経済性を勘案して決
定される。
るアナログ信号Aの信号の周波数により標本化の定理に
よって得られる値に基づき、回路の経済性を勘案して決
定される。
【0006】量子化レベルは、対象とするアナログ信号
の最大振幅電圧と最小振幅電圧との間を分割する電圧の
目盛であり、細かくとる程分解能は増すが、その分回路
は複雑となり従って高価となる。
の最大振幅電圧と最小振幅電圧との間を分割する電圧の
目盛であり、細かくとる程分解能は増すが、その分回路
は複雑となり従って高価となる。
【0007】従来の高速のA/D変換器のうち、最も一
般的に使用されるものは並列比較型である。これは、各
サンプリング点において、図5の各量子化レベルに対応
する多数の参照電圧とアナログ信号の電圧とを電圧比較
器で比較し、最も近い参照電圧をアナログ電圧の値とす
るものである。
般的に使用されるものは並列比較型である。これは、各
サンプリング点において、図5の各量子化レベルに対応
する多数の参照電圧とアナログ信号の電圧とを電圧比較
器で比較し、最も近い参照電圧をアナログ電圧の値とす
るものである。
【0008】従って、A/D変換器の変換分解能は参照
電圧の数、すなわち、電圧比較器の数による。
電圧の数、すなわち、電圧比較器の数による。
【0009】並列比較型A/D変換器の変換速度は基本
的には電圧比較器の応答時間だけで制限されるので、非
常に高速に変換が行える点で他の追随を許さない。しか
し、高分解能のものでは電圧比較器の数が莫大なものと
なるので回路の規模が著しく大きくなり、従って価格も
著しく増大するという欠点を持つ。
的には電圧比較器の応答時間だけで制限されるので、非
常に高速に変換が行える点で他の追随を許さない。しか
し、高分解能のものでは電圧比較器の数が莫大なものと
なるので回路の規模が著しく大きくなり、従って価格も
著しく増大するという欠点を持つ。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来、
高速A/D変換器として主に使われている並列比較型は
高速である反面、高分解能になる程多数の電圧比較器が
必要となるので回路規模が大きくなり、価格も著しく上
昇する。
高速A/D変換器として主に使われている並列比較型は
高速である反面、高分解能になる程多数の電圧比較器が
必要となるので回路規模が大きくなり、価格も著しく上
昇する。
【0011】特に、従来の並列比較型A/D変換器は、
ビデオ信号帯域を越える周波数帯では変換分解能が約1
0ビットを越えると急激に価格が高くなる。そのため、
必要帯域に対して充分高速であるにもかかわらず変換分
解能が充分にとれないという欠点があった。
ビデオ信号帯域を越える周波数帯では変換分解能が約1
0ビットを越えると急激に価格が高くなる。そのため、
必要帯域に対して充分高速であるにもかかわらず変換分
解能が充分にとれないという欠点があった。
【0012】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みなさ
れたもので、必要帯域に対して充分高速であるが変換分
解能が十分でないA/D変換器の変換分解能を向上する
ためのA/D変換方式を提供することを目的とする。
れたもので、必要帯域に対して充分高速であるが変換分
解能が十分でないA/D変換器の変換分解能を向上する
ためのA/D変換方式を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明によるアナログ・
ディジタル変換方式は、一定のサンプル間隔でアナログ
信号を高速にサンプルしてディジタル情報に変換するア
ナログ・ディジタル変換手段と、アナログ・ディジタル
変換手段の出力に縦続的に接続され、それぞれ入力情報
を1サンプル間隔遅延させて出力するn(nは1以上の
整数)個の遅延手段と、アナログ・ディジタル変換手段
の出力情報およびn個の遅延手段の各出力情報を加算
し、有効桁数の増えたディジタル情報として出力する加
算手段と、加算手段の出力情報をN(N=n+1)サン
プル間隔に1回だけ通過させるゲート手段とを備えて構
成される。
ディジタル変換方式は、一定のサンプル間隔でアナログ
信号を高速にサンプルしてディジタル情報に変換するア
ナログ・ディジタル変換手段と、アナログ・ディジタル
変換手段の出力に縦続的に接続され、それぞれ入力情報
を1サンプル間隔遅延させて出力するn(nは1以上の
整数)個の遅延手段と、アナログ・ディジタル変換手段
の出力情報およびn個の遅延手段の各出力情報を加算
し、有効桁数の増えたディジタル情報として出力する加
算手段と、加算手段の出力情報をN(N=n+1)サン
プル間隔に1回だけ通過させるゲート手段とを備えて構
成される。
【0014】
【作用】上記構成により、アナログ・ディジタル変換手
段によって一定周期で高速にサンプルしてアナログ・デ
ィジタル変換されたディジタル出力情報と、そのディジ
タル出力情報を複数の遅延手段でそれぞれ1サンプル間
隔づつ縦続的に遅延させた各々のディジタル情報とを加
算手段により加算して、有効桁数の増えたディジタル情
報を得る。
段によって一定周期で高速にサンプルしてアナログ・デ
ィジタル変換されたディジタル出力情報と、そのディジ
タル出力情報を複数の遅延手段でそれぞれ1サンプル間
隔づつ縦続的に遅延させた各々のディジタル情報とを加
算手段により加算して、有効桁数の増えたディジタル情
報を得る。
【0015】有効桁数が増えた加算手段の出力情報を、
ゲート手段によって遅延手段の段数より1つ多い数
(N)と等しい回数のサンプルごとに1回だけ通過させ
る。
ゲート手段によって遅延手段の段数より1つ多い数
(N)と等しい回数のサンプルごとに1回だけ通過させ
る。
【0016】その結果、ゲート手段の出力において、時
間的に変動するアナログ信号に対して、等価的にN倍の
サンプル間隔(1/N倍のサンプル周波数)で、N倍の
変換分解能をもった変換出力情報が得られる。
間的に変動するアナログ信号に対して、等価的にN倍の
サンプル間隔(1/N倍のサンプル周波数)で、N倍の
変換分解能をもった変換出力情報が得られる。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
して詳細に説明する。図1は本発明の一実施例の構成を
示す。
して詳細に説明する。図1は本発明の一実施例の構成を
示す。
【0018】図1において、8ビットA/D変換器1は
アナログ信号SAをサンプリング周波数2fspで8ビ
ットのディジタル信号SDにA/D変換し、ディジタル
信号SDを8ビットラッチ回路2および8ビット加算器
3へ出力する。
アナログ信号SAをサンプリング周波数2fspで8ビ
ットのディジタル信号SDにA/D変換し、ディジタル
信号SDを8ビットラッチ回路2および8ビット加算器
3へ出力する。
【0019】8ビットラッチ回路2は、Dタイプのフリ
ップフロップからなり、クロック周波数2fspで動作
し、8ビットA/D変換器1からのディジタル信号SD
を1クロック周期、すなわち、1サンプリング間隔だけ
遅延させ、8ビット加算器3へ出力する。
ップフロップからなり、クロック周波数2fspで動作
し、8ビットA/D変換器1からのディジタル信号SD
を1クロック周期、すなわち、1サンプリング間隔だけ
遅延させ、8ビット加算器3へ出力する。
【0020】8ビット加算器3は、現在A/D変換器1
から出力されている出力情報と8ビットラッチ回路2の
出力である、1サンプル間隔前の情報を加算して、有効
ビット数が1ビット増えた9ビットの加算結果を9ビッ
トラッチ回路4へ出力する。上記の一連の動作はサンプ
ル周期ごとに毎回繰り返されるので、加算結果はサンプ
ル周期ごとに得られる。
から出力されている出力情報と8ビットラッチ回路2の
出力である、1サンプル間隔前の情報を加算して、有効
ビット数が1ビット増えた9ビットの加算結果を9ビッ
トラッチ回路4へ出力する。上記の一連の動作はサンプ
ル周期ごとに毎回繰り返されるので、加算結果はサンプ
ル周期ごとに得られる。
【0021】9ビットラッチ回路4は8ビットA/D変
換器1のサンプリング周波数の2分の1のfspのクロ
ックで動作し、8ビット加算器3からの出力を2回に1
回抽出し、1/2に間引く。これにより、A/D変換器
1の出力が9ビットラッチ回路4の複数の出力に重複し
て含まれることはない。
換器1のサンプリング周波数の2分の1のfspのクロ
ックで動作し、8ビット加算器3からの出力を2回に1
回抽出し、1/2に間引く。これにより、A/D変換器
1の出力が9ビットラッチ回路4の複数の出力に重複し
て含まれることはない。
【0022】以下、図1のA/D変換回路の動作につい
て説明する。入力されたアナログ信号SAは、8ビット
A/D変換器1によって、2fspのサンプル周波数で
8ビットのディジタル情報SDに変換される。このディ
ジタル情報は8ビットラッチ回路2によって1サンプル
間隔(1/2fsp)だけ遅延される。
て説明する。入力されたアナログ信号SAは、8ビット
A/D変換器1によって、2fspのサンプル周波数で
8ビットのディジタル情報SDに変換される。このディ
ジタル情報は8ビットラッチ回路2によって1サンプル
間隔(1/2fsp)だけ遅延される。
【0023】A/D変換器1の出力と8ビットラッチ回
路2の各出力は1サンプル間隔だけ時間的に離れた2点
のアナログ信号の値にそれぞれ対応している。この二つ
の出力は8ビット加算器3で加算される。8ビット加算
器3の出力には9ビットのディジタル情報が得られる。
路2の各出力は1サンプル間隔だけ時間的に離れた2点
のアナログ信号の値にそれぞれ対応している。この二つ
の出力は8ビット加算器3で加算される。8ビット加算
器3の出力には9ビットのディジタル情報が得られる。
【0024】9ビットラッチ回路4はサンプル周波数f
spに同期して入力をラッチするので、8ビット加算器
3の出力を一つおき(2回のうち1回)にサンプルし
て、A/D変換回路の出力とする。
spに同期して入力をラッチするので、8ビット加算器
3の出力を一つおき(2回のうち1回)にサンプルし
て、A/D変換回路の出力とする。
【0025】このようにして、等価的にサンプル周期が
2倍(サンプル周波数は1/2)で、変換分解能が2倍
の(ビット数が1ビット増えた)ディジタル情報が得ら
れる。
2倍(サンプル周波数は1/2)で、変換分解能が2倍
の(ビット数が1ビット増えた)ディジタル情報が得ら
れる。
【0026】図2は、図1のA/D変換回路の動作の一
例を、入力アナログ信号がゆっくり変化する場合につい
て説明するための図である。図2において、アナログ信
号は1/2T(T=1/fsp)の勾配(変化率)で変
化している。
例を、入力アナログ信号がゆっくり変化する場合につい
て説明するための図である。図2において、アナログ信
号は1/2T(T=1/fsp)の勾配(変化率)で変
化している。
【0027】なお、使用するA/D変換器1の特性は簡
単のため、入力アナログ値を四捨五入した整数値を出力
するものとする。
単のため、入力アナログ値を四捨五入した整数値を出力
するものとする。
【0028】図2において縦軸は量子化レベル(参照電
圧)を示し、細線矢印はサンプリング周波数2fspで
のサンプリング点を、太線矢印(白抜き)はサンプリン
グ周波数fspでのサンプリング点を示す。
圧)を示し、細線矢印はサンプリング周波数2fspで
のサンプリング点を、太線矢印(白抜き)はサンプリン
グ周波数fspでのサンプリング点を示す。
【0029】サンプリング周波数2fspの場合の各サ
ンプリング点におけるアナログ信号の実際の値は、0.
5,0.75,1.0,1.25,1.5,1.75,
2.0,2.25,2.5,2.75,3.0,3.2
5である。これに対する、A/D変換器1の出力は、
1,1,1,1,2,2,2,2,3,3,3,3であ
る。
ンプリング点におけるアナログ信号の実際の値は、0.
5,0.75,1.0,1.25,1.5,1.75,
2.0,2.25,2.5,2.75,3.0,3.2
5である。これに対する、A/D変換器1の出力は、
1,1,1,1,2,2,2,2,3,3,3,3であ
る。
【0030】8ビット加算器3の出力は、fspサンプ
リング点(白抜き矢印)において、2,3,4,5,6
である。加算結果の1/2倍で考えた変換結果は1.
0,1.5,2.0,2.5,3.0が得られる。
リング点(白抜き矢印)において、2,3,4,5,6
である。加算結果の1/2倍で考えた変換結果は1.
0,1.5,2.0,2.5,3.0が得られる。
【0031】8ビットA/D変換器1を単独で、サンプ
リング周波数fspで動作させた場合には、図中のサン
プル点fspの時点で出力をみればよい。これは1,
2,2,3,3となる。
リング周波数fspで動作させた場合には、図中のサン
プル点fspの時点で出力をみればよい。これは1,
2,2,3,3となる。
【0032】両者の結果を比較すると、A/D変換器を
単独で用いた場合には、変換出力の値は整数値だけを採
るのに対して、本発明によるA/D変換回路では、0.
5刻みの値を採ることができる。最大入力に対する出力
情報の値は(加算結果を1/2倍しているから)変わら
ないから、本発明による場合には分解能を2倍に高めら
れることが分かる。
単独で用いた場合には、変換出力の値は整数値だけを採
るのに対して、本発明によるA/D変換回路では、0.
5刻みの値を採ることができる。最大入力に対する出力
情報の値は(加算結果を1/2倍しているから)変わら
ないから、本発明による場合には分解能を2倍に高めら
れることが分かる。
【0033】図3は、図1の回路において、さらに入力
の変化率が大きいアナログ信号が入力した場合の例を示
す。この場合は、A/D変換器1の出力は0,1,2,
2,3,4,5,6,6,7であり、従って、加算結果
は1,4,7,11,13である。
の変化率が大きいアナログ信号が入力した場合の例を示
す。この場合は、A/D変換器1の出力は0,1,2,
2,3,4,5,6,6,7であり、従って、加算結果
は1,4,7,11,13である。
【0034】加算結果の2分の1は、それぞれ0.5,
2.0,3.5,5.5,6.5である。これをA/D
変換器1を単独でサンプリング周波数fspで使用した
場合の出力1,2,4,6,7と比較すると、前述の実
施例と同様に、分解能が2倍に向上したことが分かる。
2.0,3.5,5.5,6.5である。これをA/D
変換器1を単独でサンプリング周波数fspで使用した
場合の出力1,2,4,6,7と比較すると、前述の実
施例と同様に、分解能が2倍に向上したことが分かる。
【0035】上記実施例において、A/D変換器1、ラ
ッチ回路2、加算器3を8ビットとしラッチ回路4を9
ビットとしたが、これに限定するものではない。
ッチ回路2、加算器3を8ビットとしラッチ回路4を9
ビットとしたが、これに限定するものではない。
【0036】図4は、本発明の他の実施例を示す。図4
において、10は5fspでサンプリングされるA/D
変換器、11,12,13,14はそれぞれの入力を1
サンプリング間隔だけ遅延させて出力する遅延回路、1
5は遅延回路11,12,13,14の各出力を加算す
る加算器、16は加算器15の出力を5分の1に間引く
ゲート回路である。
において、10は5fspでサンプリングされるA/D
変換器、11,12,13,14はそれぞれの入力を1
サンプリング間隔だけ遅延させて出力する遅延回路、1
5は遅延回路11,12,13,14の各出力を加算す
る加算器、16は加算器15の出力を5分の1に間引く
ゲート回路である。
【0037】この場合においては、A/D変換器10を
単独でサンプリング周波数fspで使用した場合に比し
て5倍の分解能が得られる。
単独でサンプリング周波数fspで使用した場合に比し
て5倍の分解能が得られる。
【0038】一般に、A/D変換器の出力を縦続接続さ
れたn段の遅延回路で、それぞれ1サンプル間隔ずつ遅
延させ、A/D変換器および各遅延回路の出力を加算回
路で加算し、その結果有効桁数の増えた加算回路の出力
を、ゲート回路により遅延回路の段数より1つ多い数N
(=n+1)と等しい回数に1回通過させることによ
り、等価的にN倍のサンプル間隔でN倍の変換分解能を
持った出力を得ることができる。
れたn段の遅延回路で、それぞれ1サンプル間隔ずつ遅
延させ、A/D変換器および各遅延回路の出力を加算回
路で加算し、その結果有効桁数の増えた加算回路の出力
を、ゲート回路により遅延回路の段数より1つ多い数N
(=n+1)と等しい回数に1回通過させることによ
り、等価的にN倍のサンプル間隔でN倍の変換分解能を
持った出力を得ることができる。
【0039】
【発明の効果】本発明によれば、必要帯域に対して充分
高速であるが変換分解能が不足であるA/D変換器の変
換分解能を経済的に向上することができる。従って、高
速で分解能の高いA/D変換回路を安価に得ることがで
きる。
高速であるが変換分解能が不足であるA/D変換器の変
換分解能を経済的に向上することができる。従って、高
速で分解能の高いA/D変換回路を安価に得ることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図2】図1の回路の動作を説明するための図(その
1)である。
1)である。
【図3】図1の回路の動作を説明するための図(その
2)である。
2)である。
【図4】本発明の他の実施例の構成を示す図である。
【図5】A/D変換器の原理を示す図である。
1 8ビットA/D変換器 2 8ビットラッチ回路 3 8ビット加算器 4 9ビットラッチ回路 10 A/D変換器 11,12,13,14 遅延回路 15 加算器 16 ゲート
Claims (1)
- 【請求項1】 一定のサンプル間隔でアナログ信号を高
速にサンプルしてディジタル情報に変換するアナログ・
ディジタル変換手段と、 前記アナログ・ディジタル変換手段の出力に縦続的に接
続され、それぞれ入力情報を1サンプル間隔遅延させて
出力するn(nは1以上の整数)個の遅延手段と、 前記アナログ・ディジタル変換手段の出力情報および前
記n個の遅延手段の各出力情報を加算し、有効桁数の増
えたディジタル情報として出力する加算手段と、 前記加算手段の出力情報をN(N=n+1)サンプル間
隔に1回だけ通過させるゲート手段とを備えることを特
徴とするアナログ・ディジタル変換方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21080591A JPH0555919A (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | アナログ・デイジタル変換方式 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21080591A JPH0555919A (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | アナログ・デイジタル変換方式 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0555919A true JPH0555919A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16595429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21080591A Pending JPH0555919A (ja) | 1991-08-22 | 1991-08-22 | アナログ・デイジタル変換方式 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0555919A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002118463A (ja) * | 2000-08-22 | 2002-04-19 | Lucent Technol Inc | デジタル・サンプル値を結合することによるアナログ・デジタル変換のための方法およびシステム |
JP2002246907A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-30 | Kawasaki Microelectronics Kk | Adコンバータ |
JP2009032445A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡を備えた外観検査装置及び走査電子顕微鏡を用いた画像生成方法 |
JP2010063055A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-18 | Sony Corp | 逐次比較型a/d変換器、逐次比較型a/d変換器の制御方法、固体撮像装置および撮像装置 |
JP2010165697A (ja) * | 2010-04-30 | 2010-07-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡を備えた外観検査装置及び走査電子顕微鏡を用いた画像生成方法 |
JP2011055535A (ja) * | 2010-11-10 | 2011-03-17 | Sony Corp | 逐次比較型a/d変換器および撮像装置 |
US8086021B2 (en) | 2008-02-15 | 2011-12-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Appearance inspection apparatus with scanning electron microscope and image data processing method using scanning electron microscope |
EP3627530A1 (en) * | 2018-09-19 | 2020-03-25 | Jeol Ltd. | Primary beam scanning apparatus and signal processing method |
-
1991
- 1991-08-22 JP JP21080591A patent/JPH0555919A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002118463A (ja) * | 2000-08-22 | 2002-04-19 | Lucent Technol Inc | デジタル・サンプル値を結合することによるアナログ・デジタル変換のための方法およびシステム |
EP1182783A3 (en) * | 2000-08-22 | 2003-05-28 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for analog-to-digital conversion by combining digital sample values |
JP2002246907A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-30 | Kawasaki Microelectronics Kk | Adコンバータ |
JP4610753B2 (ja) * | 2001-02-14 | 2011-01-12 | 川崎マイクロエレクトロニクス株式会社 | Adコンバータ |
JP4528317B2 (ja) * | 2007-07-25 | 2010-08-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡を備えた外観検査装置及び走査電子顕微鏡を用いた画像生成方法 |
JP2009032445A (ja) * | 2007-07-25 | 2009-02-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡を備えた外観検査装置及び走査電子顕微鏡を用いた画像生成方法 |
US8086022B2 (en) | 2007-07-25 | 2011-12-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron beam inspection system and an image generation method for an electron beam inspection system |
US8086021B2 (en) | 2008-02-15 | 2011-12-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Appearance inspection apparatus with scanning electron microscope and image data processing method using scanning electron microscope |
JP2010063055A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-18 | Sony Corp | 逐次比較型a/d変換器、逐次比較型a/d変換器の制御方法、固体撮像装置および撮像装置 |
US8022856B2 (en) | 2008-09-08 | 2011-09-20 | Sony Corporation | Successive approximation type A/D converter, method of controlling successive approximation type A/D converter, solid-state imaging device, and imaging apparatus |
US8823574B2 (en) | 2008-09-08 | 2014-09-02 | Sony Corporation | Successive approximation type A/D converter, method of controlling successive approximation type A/D converter, solid-state imaging device, and imaging apparatus |
JP2010165697A (ja) * | 2010-04-30 | 2010-07-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡を備えた外観検査装置及び走査電子顕微鏡を用いた画像生成方法 |
JP2011055535A (ja) * | 2010-11-10 | 2011-03-17 | Sony Corp | 逐次比較型a/d変換器および撮像装置 |
EP3627530A1 (en) * | 2018-09-19 | 2020-03-25 | Jeol Ltd. | Primary beam scanning apparatus and signal processing method |
US10923316B2 (en) | 2018-09-19 | 2021-02-16 | Jeol Ltd. | Primary beam scanning apparatus and signal processing method |
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