JPH053923Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はデイスク装置の磁気ヘツドに用いられ
ているコアチツプのような小型のチツプの端面を
検査するに好適なチツプの表面検査機に関するも
のである。

（従来の技術） 上記のようなチツプは例えば第３図に示される
ように、上面が５mm×0.3mm程度で高さが４mm程
度の扁平な形状の基板５１の端面に読取用及び書
込み用のコア５２を形成したものであるが、コア
５２が幅0.3mm程度のチツプ端面の中央に正しく
位置するように両側面から研摩を行つている。こ
のためには4μｍ程度の精度でチツプ５０の端面
を検査する必要がある。

従来は顕微鏡の下方に設置されたＸ−Ｙ両軸方
向に位置調節できる移動テーブル上のホルダーに
チツプ５０を垂直に保持させ、送りねじによつて
移動テーブルを動かしながら一枚ずつのチツプ５
０を検査していたが、チツプ５０の取付け、顕微
鏡光軸との位置合わせ、取外し等に多くの時間を
必要とし、一枚当りの検査に30秒以上を必要とす
る状況にあつた。

（考案が解決しようとする問題点） 本考案は上記のような従来の問題点を解決し、
上記のようなチツプの端面を短時間で正確に検査
することができるチツプの表面検査機を目的とし
て完成されたものである。

（問題点を解決するための手段） 本考案は回転軸に対して小角度αだけ傾斜した
チツプ保持面を備えた回転テーブルを、回転軸を
垂直線に対して角度αだけ傾斜させた状態でチツ
プ表面検査用の顕微鏡の下部側方に設けたことを
特徴とするものである。

（実施例） 次に本考案を図示の実施例について詳細に説明
すると、第１図において１はベース、２はベース
１上に設置された顕微鏡、３はこの顕微鏡２の下
部側方に設けられた回転テーブルである。回転テ
ーブル３はその回転軸４に対して５〜10°程度傾
斜したチツプ保持面５をテーブルの周面上部の例
えば２個所に備えている。チツプ保持面５は第２
図に拡大して示したように、真空吸引孔６に真空
圧を作用させることによつてチツプ５０をそのコ
ア５２が形成されている端面を上向きとして確実
に保持することができるようにしたものである。
また第１図に明示されているように、この回転テ
ーブル３はその回転軸４を垂直線（ベース１に対
する垂直線であつて、通常は鉛直線と一致する）
に対して上記と同一の角度αだけ傾斜させた状態
でベース１上に取付けられている。回転テーブル
３はエアモータのような適宜の駆動機構７によつ
て例えば180°ずつ反転され、片側のチツプ保持面
５が外側に来たときにチツプ５０が吸着され、反
対側のチツプ保持面５は顕微鏡２の光軸Ｌ上に位
置して顕微鏡２による検査が行われる構造となつ
ている。なお検査の方法は人が顕微鏡２を覗いて
判断してもよいが、CCDカメラ８等を顕微鏡２
にセツトして自動検査を行えるようにすることも
できる。

（作用） このように構成されたものは、垂直線に対して
角度αだけ傾斜させた回転軸４を持つ回転テーブ
ル３上に、この回転軸４に対して更に角度αだけ
傾斜したチツプ保持面５が形成してあるため、チ
ツプ保持面５は外側に来たときには垂直線に対し
て2αの角度傾斜することとなり、この大きい傾
斜を利用して肉薄で小型のチツプ５０を倒すよう
にして容易かつ正確にチツプ保持面５に吸着させ
ることができる。また回転テーブル３を回転させ
てこのチツプ保持面５を顕微鏡２の光軸下に位置
させれば、チツプ保持面５は垂直となり、チツプ
５０の端面は垂直な光軸Ｌを持つ顕微鏡２によつ
てその端面を正確に検査されることとなる。なお
チツプ保持面５を実施例のように回転テーブル３
の２個所に形成しておけば、一方が顕微鏡２の光
軸Ｌ上に位置している間に他方のチツプ保持面５
に対してチツプ５０の供給及び取出しを行うこと
ができる。このようにして端面の検査が行われた
チツプ５０はコア５２の幅方向の位置ずれの程度
に応じて数段階にランク分けされ、次工程で、そ
れぞれ側面からの研摩を施されることとなる。

（考案の効果） 本考案は以上の説明からも明らかなように、極
めて肉薄で小型のチツプを正確に検査するに適し
たものであり、チツプ保持面が外側では大きく傾
斜するのでチツプの装着を容易に行うことがで
き、またチツプ保持面を光軸下に位置させたとき
にはチツプを垂直に保つて正確な検査を可能とし
たものである。このように本考案のチツプの表面
検査機を用いれば従来の移動テーブル式のものに
比較してチツプ一枚当りの検査時間を1/2以下の
約13秒にまで短縮することができた。なお本考案
は以上に説明した磁気ヘツド用のコアチツプのみ
ならず、これと同様な各種のチツプの検査にも利
用できることは言うまでもない。よつて本考案は
従来の問題点を一掃したチツプの表面検査機とし
て、その実用的価値は極めて大きいものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す正面図、第２図
はそのチツプ保持面部分の一部切欠正面図、第３
図は幅方向の寸法を誇張して示したチツプの拡大
斜視図である。 ２……顕微鏡、３……回転テーブル、４……回
転軸、５……チツプ保持面。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 回転軸４に対して小角度αだけ傾斜したチツプ
   保持面５を備えた回転テーブル３を、回転軸４を
   垂直線に対して角度αだけ傾斜させた状態でチツ
   プ表面検査用の顕微鏡２の下部側方に設けたこと
   を特徴とするチツプの表面検査機。