JP3185295B2 - マーキング装置 - Google Patents
マーキング装置Info
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- Japan
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- sample
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Description
【０００１】
【技術分野】本発明はマーキング装置に関し、特に半導
体産業やメモリ産業の如く微細欠陥部の分析を要する分
野に利用するマーキング装置に関する。
体産業やメモリ産業の如く微細欠陥部の分析を要する分
野に利用するマーキング装置に関する。
【０００２】
【従来技術】半導体産業やメモリ産業の発展は日進月歩
であり、現在の日常生活の中において重要な役割を果た
している。これらの技術の発展はＩＣ、ＬＳＩ、磁気デ
ィスク媒体、光ディスク媒体にみられるように増々微細
技術の方向に向かっている。すなわち、これらの技術分
野においては開発や生産の場面でしばしば意味不明な微
細欠陥が発生し、これを早急に分析して解決することが
求められる。
であり、現在の日常生活の中において重要な役割を果た
している。これらの技術の発展はＩＣ、ＬＳＩ、磁気デ
ィスク媒体、光ディスク媒体にみられるように増々微細
技術の方向に向かっている。すなわち、これらの技術分
野においては開発や生産の場面でしばしば意味不明な微
細欠陥が発生し、これを早急に分析して解決することが
求められる。
【０００３】このような要請に答えるため、光学顕微鏡
や通常ＳＥＭ（scanning electronmicroscope）と呼ば
れる電子顕微鏡、さらにＳＥＭに表面形状測定機能を付
加した断面ＳＥＭ、通常ＳＴＭ（scanning tunnel micr
oscope）と呼ばれる走査トンネル顕微鏡などの分析装置
の発達もめざましい。
や通常ＳＥＭ（scanning electronmicroscope）と呼ば
れる電子顕微鏡、さらにＳＥＭに表面形状測定機能を付
加した断面ＳＥＭ、通常ＳＴＭ（scanning tunnel micr
oscope）と呼ばれる走査トンネル顕微鏡などの分析装置
の発達もめざましい。
【０００４】これら分析装置の中で、光学顕微鏡が特に
優れており、１μｍ程度のものでも容易に観察できると
ともに、微細欠陥部の位置を探し出すのも容易である。
しかしながら、光学顕微鏡による観察では焦点距離内に
あるような極微細な欠陥部の立体構造を把握することが
できないという大きな欠点がある。
優れており、１μｍ程度のものでも容易に観察できると
ともに、微細欠陥部の位置を探し出すのも容易である。
しかしながら、光学顕微鏡による観察では焦点距離内に
あるような極微細な欠陥部の立体構造を把握することが
できないという大きな欠点がある。
【０００５】そのため、立体構造の分析が必要な場合に
はＳＥＭや断面ＳＥＭ、およびＳＴＭなどの分析装置に
頼らざるを得ない。これらの分析装置を用いて分析を行
う場合、分析の目標とする欠陥部へのマーキングが非常
に重要である。すなわち、これら分析装置においては視
野が狭くかつ映像が見づらいだけでなく、試料の断差が
緩やかな場合などは目に見える程の濃淡として表れない
からである。この点は微分干渉法などを用いて極く微細
な断差も見分けることができる光学顕微鏡との大きな相
違である。
はＳＥＭや断面ＳＥＭ、およびＳＴＭなどの分析装置に
頼らざるを得ない。これらの分析装置を用いて分析を行
う場合、分析の目標とする欠陥部へのマーキングが非常
に重要である。すなわち、これら分析装置においては視
野が狭くかつ映像が見づらいだけでなく、試料の断差が
緩やかな場合などは目に見える程の濃淡として表れない
からである。この点は微分干渉法などを用いて極く微細
な断差も見分けることができる光学顕微鏡との大きな相
違である。
【０００６】上述したマーキングの大きさは100 μｍ〜
1000μｍ程度が適当と思われるが、従来この種の微細な
マーキングを行える装置は見当らない。そのため、通
常、顕微鏡を見ながらハンドリングによってナイフや針
などで傷をつけるという原始的な方法でマーキングが行
われている。
1000μｍ程度が適当と思われるが、従来この種の微細な
マーキングを行える装置は見当らない。そのため、通
常、顕微鏡を見ながらハンドリングによってナイフや針
などで傷をつけるという原始的な方法でマーキングが行
われている。
【０００７】尚、走査トンネル顕微鏡では先鋭な針を測
定部分に対して数μｍのオーダで接近させる必要があ
り、顕微鏡を見ながらの作業は無理であるため、顕微鏡
観察における中心位置が正確な移動手段によってちょう
ど針先の下にくるようになっている。さらに、ハンドリ
ングで針先を至近距離まで近付けた後に設定したトンネ
ル電流が流れるまで移動手段で移動し、その後に一定の
面積内を走査している。
定部分に対して数μｍのオーダで接近させる必要があ
り、顕微鏡を見ながらの作業は無理であるため、顕微鏡
観察における中心位置が正確な移動手段によってちょう
ど針先の下にくるようになっている。さらに、ハンドリ
ングで針先を至近距離まで近付けた後に設定したトンネ
ル電流が流れるまで移動手段で移動し、その後に一定の
面積内を走査している。
【０００８】このような従来の分析装置では、100 μｍ
〜1000μｍ程度の適当なマーキングを行うことができる
装置が見当らず、顕微鏡を見ながらハンドリングによっ
てナイフや針などで傷をつけているので、大切な試料を
破損する場合があるという欠点がある。
〜1000μｍ程度の適当なマーキングを行うことができる
装置が見当らず、顕微鏡を見ながらハンドリングによっ
てナイフや針などで傷をつけているので、大切な試料を
破損する場合があるという欠点がある。
【０００９】
【発明の目的】本発明は上記のような従来のものの欠点
を除去すべくなされたもので、開発や生産における微細
欠陥部の分析に適したマーキングを行うことができるマ
ーキング装置の提供を目的とする。
を除去すべくなされたもので、開発や生産における微細
欠陥部の分析に適したマーキングを行うことができるマ
ーキング装置の提供を目的とする。
【００１０】
【発明の構成】本発明によるマーキング装置は、基台上
の予め設定された位置に固定されかつ試料の微細部分を
観察する光学顕微鏡と、前記基台上の前記光学顕微鏡か
ら予め設定された所定量離れた位置に固定されかつ前記
試料にマーキング針を押圧する押圧手段と、前記試料が
載置される試料台を前記基台上において前記光学顕微鏡
と前記押圧手段との間で移動する移動手段と、前記光学
顕微鏡によって微細部分が観察された前記試料を前記所
定量移動させて前記押圧手段直下とするよう前記移動手
段を制御する制御手段とを有し、前記マーキング針の試
料に押圧される先端は、試料の所定表面領域を取り囲む
断面形状になっており、且つこの取り囲む断面形状の一
部が切り欠いてあることを特徴とする。
の予め設定された位置に固定されかつ試料の微細部分を
観察する光学顕微鏡と、前記基台上の前記光学顕微鏡か
ら予め設定された所定量離れた位置に固定されかつ前記
試料にマーキング針を押圧する押圧手段と、前記試料が
載置される試料台を前記基台上において前記光学顕微鏡
と前記押圧手段との間で移動する移動手段と、前記光学
顕微鏡によって微細部分が観察された前記試料を前記所
定量移動させて前記押圧手段直下とするよう前記移動手
段を制御する制御手段とを有し、前記マーキング針の試
料に押圧される先端は、試料の所定表面領域を取り囲む
断面形状になっており、且つこの取り囲む断面形状の一
部が切り欠いてあることを特徴とする。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
り、図２は図１のＡＡ線に沿う矢視方向の断面図であ
る。これらの図において、基台１は振動の少ない場所も
しくは除振台の上に設置されており、この基台１上の予
め設定された位置に分解能の優れた光学顕微鏡２が固定
されている。また、基台１にはレール溝１ａが切ってあ
り、このレール溝１ａに試料台３の基台１との接触面側
に設けられた凸部３ａが嵌合されている。
り、図２は図１のＡＡ線に沿う矢視方向の断面図であ
る。これらの図において、基台１は振動の少ない場所も
しくは除振台の上に設置されており、この基台１上の予
め設定された位置に分解能の優れた光学顕微鏡２が固定
されている。また、基台１にはレール溝１ａが切ってあ
り、このレール溝１ａに試料台３の基台１との接触面側
に設けられた凸部３ａが嵌合されている。
【００１３】試料台３にはボール６ａが内蔵されてお
り、このボール６ａが支持具４，５間にベアリングなど
で支持されたボールネジ棒６の溝に嵌込まれている。ボ
ールネジ棒６はタイミングベルト８を介してパルスモー
タ７に連結されている。
り、このボール６ａが支持具４，５間にベアリングなど
で支持されたボールネジ棒６の溝に嵌込まれている。ボ
ールネジ棒６はタイミングベルト８を介してパルスモー
タ７に連結されている。
【００１４】パルスモータ７が駆動されると、その回転
駆動がタイミングベルト８を介してボールネジ棒６に伝
達され、ボールネジ棒６が回転する。このとき、ボール
６ａがボールネジ棒６の溝に沿って移動するので、試料
台３も基台１上を左右方向に移動することになる。ここ
で、パルスモータ７はメモリを内蔵するコントローラ９
の制御によって正確な位置制御を行えるようになってい
る。
駆動がタイミングベルト８を介してボールネジ棒６に伝
達され、ボールネジ棒６が回転する。このとき、ボール
６ａがボールネジ棒６の溝に沿って移動するので、試料
台３も基台１上を左右方向に移動することになる。ここ
で、パルスモータ７はメモリを内蔵するコントローラ９
の制御によって正確な位置制御を行えるようになってい
る。
【００１５】すなわち、試料台３と、ボールネジ棒６
と、ボール６ａと、パルスモータ７と、タイミングベル
ト８と、コントローラ９とによって正確な移動動作が可
能な移動機構が構成されている。この場合の移動の正確
さは重要であり、繰返し再現性は少なくとも数μｍオー
ダの精度が必要である。この数μｍオーダの精度はステ
ップ数の大きなパルスモータ７を用いることによって可
能である。
と、ボール６ａと、パルスモータ７と、タイミングベル
ト８と、コントローラ９とによって正確な移動動作が可
能な移動機構が構成されている。この場合の移動の正確
さは重要であり、繰返し再現性は少なくとも数μｍオー
ダの精度が必要である。この数μｍオーダの精度はステ
ップ数の大きなパルスモータ７を用いることによって可
能である。
【００１６】試料台３上に載置された試料（図示せず）
は光学顕微鏡２で観察された後に、コントローラ９の制
御で上記の移動機構によって試料台３とともにマーキン
グ針１０の真下に移動する。この場合、光学顕微鏡２お
よびマーキング針１０の固定位置がコントローラ９のメ
モリに予め格納されている。
は光学顕微鏡２で観察された後に、コントローラ９の制
御で上記の移動機構によって試料台３とともにマーキン
グ針１０の真下に移動する。この場合、光学顕微鏡２お
よびマーキング針１０の固定位置がコントローラ９のメ
モリに予め格納されている。
【００１７】マーキング針１０は移動台１２に取付けら
れた針支持具１１に支持されている。移動台１２は基台
１の予め設定された位置に固定され、かつレールの役割
をする支柱１３に沿って上下方向に移動する。この移動
台１２の移動は上記の試料台３の移動機構と同様に構成
された移動機構によって正確に行われる。
れた針支持具１１に支持されている。移動台１２は基台
１の予め設定された位置に固定され、かつレールの役割
をする支柱１３に沿って上下方向に移動する。この移動
台１２の移動は上記の試料台３の移動機構と同様に構成
された移動機構によって正確に行われる。
【００１８】すなわち、移動台１２と、ボールネジ棒１
４と、ボール（図示せず）と、パルスモータ１５と、タ
イミングベルト１６と、コントローラ１９とによって正
確な移動動作が可能な移動機構が構成されている。ここ
で、ボールネジ棒１４は平行支持具１７，１８によって
支柱１３と平行なるように支持され、かつ平行支持具１
７，１８内のベアリング（図示せず）によって回転可能
に支持されている。
４と、ボール（図示せず）と、パルスモータ１５と、タ
イミングベルト１６と、コントローラ１９とによって正
確な移動動作が可能な移動機構が構成されている。ここ
で、ボールネジ棒１４は平行支持具１７，１８によって
支柱１３と平行なるように支持され、かつ平行支持具１
７，１８内のベアリング（図示せず）によって回転可能
に支持されている。
【００１９】パルスモータ１５は高さ調整のための支持
台２０上に設置され、コントローラ１９によって制御さ
れている。パルスモータ１５がコントローラ１９内のメ
モリ（図示せず）の内容にしたがって駆動されると、そ
の回転駆動がタイミングベルト１６を介してボールネジ
棒１４に伝達され、ボールネジ棒１４が回転する。この
とき、移動台１２内のボールがボールネジ棒１４の溝に
沿って移動するので、移動台１２も支柱１３に沿って上
下方向に移動することになる。この場合、コントローラ
１９のメモリには移動台１２の移動前の位置と移動後の
位置とが格納されている。
台２０上に設置され、コントローラ１９によって制御さ
れている。パルスモータ１５がコントローラ１９内のメ
モリ（図示せず）の内容にしたがって駆動されると、そ
の回転駆動がタイミングベルト１６を介してボールネジ
棒１４に伝達され、ボールネジ棒１４が回転する。この
とき、移動台１２内のボールがボールネジ棒１４の溝に
沿って移動するので、移動台１２も支柱１３に沿って上
下方向に移動することになる。この場合、コントローラ
１９のメモリには移動台１２の移動前の位置と移動後の
位置とが格納されている。
【００２０】図３は図１の針支持具１１の詳細な構成を
示す図である。図において、針支持具１１は移動台１２
にネジ込むことによって固定されている。針支持具１１
の中心部には円筒状の穴が設けられており、この穴の内
部にバネ１１ａが収納されている。
示す図である。図において、針支持具１１は移動台１２
にネジ込むことによって固定されている。針支持具１１
の中心部には円筒状の穴が設けられており、この穴の内
部にバネ１１ａが収納されている。
【００２１】マーキング針１０を針支持具１１に取付け
る場合、バネ１１ａを押さえながらマーキング針１０を
穴内部に押込み、押込んだマーキング針１０が飛び出さ
ないように押え板１１ｂによって針支持具１１の中心部
の穴を塞ぐ。つまり、穴の内部でマーキング針１０はバ
ネ１１ａによって押え板１１ｂ側に付勢されている。こ
のマーキング針１０の交換は押え板１１ｂを針支持具１
１から取外すことによって容易に行うことができる。
る場合、バネ１１ａを押さえながらマーキング針１０を
穴内部に押込み、押込んだマーキング針１０が飛び出さ
ないように押え板１１ｂによって針支持具１１の中心部
の穴を塞ぐ。つまり、穴の内部でマーキング針１０はバ
ネ１１ａによって押え板１１ｂ側に付勢されている。こ
のマーキング針１０の交換は押え板１１ｂを針支持具１
１から取外すことによって容易に行うことができる。
【００２２】通常、ＳＥＭや断面ＳＥＭの観察試料には
試料のチャージアップを防止するために金属薄膜が形成
されており、ＳＴＭではトンネル電流を流すために金属
薄膜が形成されている。そこで、バネ１１ａとしては所
定の変位量が生じたときにマーキング針１０によって上
記の金属薄膜に傷がつく程度の強さのものが用いられ
る。
試料のチャージアップを防止するために金属薄膜が形成
されており、ＳＴＭではトンネル電流を流すために金属
薄膜が形成されている。そこで、バネ１１ａとしては所
定の変位量が生じたときにマーキング針１０によって上
記の金属薄膜に傷がつく程度の強さのものが用いられ
る。
【００２３】図４は図３のマーキング針１０の先端の断
面形状を示す図である。図４（ａ）は円形の断面を有す
るマーキング針１０を示し、図４（ｂ）は四角形の断面
を有するマーキング針１０を示し、図４（ｃ）は三角形
の断面を有するマーキング針１０を示し、図４（ｄ）は
星形状の断面を有するマーキング針１０を示している。
これらのマーキング針１０の先端部の形状寸法は100 μ
ｍ〜1000μｍ程度であり、100 μｍ〜1000μｍ程度にマ
ーキングされていればマーキング部を容易に探すことが
でき、またマーキング内の欠陥部などを容易に探すこと
ができる。尚、マーキング針１０の先端部の加工は放電
加工技術やフォトエッジング技術によって行われてい
る。
面形状を示す図である。図４（ａ）は円形の断面を有す
るマーキング針１０を示し、図４（ｂ）は四角形の断面
を有するマーキング針１０を示し、図４（ｃ）は三角形
の断面を有するマーキング針１０を示し、図４（ｄ）は
星形状の断面を有するマーキング針１０を示している。
これらのマーキング針１０の先端部の形状寸法は100 μ
ｍ〜1000μｍ程度であり、100 μｍ〜1000μｍ程度にマ
ーキングされていればマーキング部を容易に探すことが
でき、またマーキング内の欠陥部などを容易に探すこと
ができる。尚、マーキング針１０の先端部の加工は放電
加工技術やフォトエッジング技術によって行われてい
る。
【００２４】マーキング針１０の先端の断面形状におい
ては夫々断面形状の一部を切り欠いてある。これはチャ
ージアップを防止するために形成された金属薄膜やトン
ネル電流を流すために形成された金属薄膜を周囲から切
離さないようにしているためである。
ては夫々断面形状の一部を切り欠いてある。これはチャ
ージアップを防止するために形成された金属薄膜やトン
ネル電流を流すために形成された金属薄膜を周囲から切
離さないようにしているためである。
【００２５】上述の如く、試料の微細部分が光学顕微鏡
２で観察されると、試料が載置された試料台３がコント
ローラ９の制御の下で移動機構によって所定量移動さ
れ、マーキング針１０の直下に移動する。この後に、マ
ーキング針１０を支持する針支持具１１が取付けられた
移動台１２がコントローラ１９の制御の下で移動機構に
よって試料台３側に移動され、マーキング針１０が試料
に押圧される。
２で観察されると、試料が載置された試料台３がコント
ローラ９の制御の下で移動機構によって所定量移動さ
れ、マーキング針１０の直下に移動する。この後に、マ
ーキング針１０を支持する針支持具１１が取付けられた
移動台１２がコントローラ１９の制御の下で移動機構に
よって試料台３側に移動され、マーキング針１０が試料
に押圧される。
【００２６】このマーキング針１０が押圧された試料を
確認する場合、試料がマーキング針１０によって押圧さ
れた後に試料台３および移動台１２が元の位置に戻るよ
うに自動復帰機能を予めコントローラ９，１９に設定し
ておく。これによって、マーキング装置が正常な動作を
行っているか否かを逐次確認することができる。
確認する場合、試料がマーキング針１０によって押圧さ
れた後に試料台３および移動台１２が元の位置に戻るよ
うに自動復帰機能を予めコントローラ９，１９に設定し
ておく。これによって、マーキング装置が正常な動作を
行っているか否かを逐次確認することができる。
【００２７】また、マーキング装置を構成する個々の部
品は各々精密に機械加工されているが、機械加工の加工
精度には限界があるので、個々の部品を組立てたときに
100μｍ〜1000μｍのマーキング針１０の先端部の断面
形状の中心位置に数μｍ以内で目標箇所をもってくるこ
とは難しい。したがって、マーキング装置の構成部品の
組立て時におおよその設定を行った後に、現物合せによ
って各移動機構の微調整が行われる。
品は各々精密に機械加工されているが、機械加工の加工
精度には限界があるので、個々の部品を組立てたときに
100μｍ〜1000μｍのマーキング針１０の先端部の断面
形状の中心位置に数μｍ以内で目標箇所をもってくるこ
とは難しい。したがって、マーキング装置の構成部品の
組立て時におおよその設定を行った後に、現物合せによ
って各移動機構の微調整が行われる。
【００２８】このように、光学顕微鏡２で試料の微細部
分を観察した後に試料台３をコントローラ９の制御の下
で移動機構によって所定量移動してマーキング針１０の
直下に移動し、この後にマーキング針１０を支持する針
支持具１１が取付けられた移動台１２をコントローラ１
９の制御の下で移動機構によって試料台３側に移動して
マーキング針１０を試料に押圧することによって、開発
や生産における微細欠陥部の分析に適したマーキングを
行うことができる。
分を観察した後に試料台３をコントローラ９の制御の下
で移動機構によって所定量移動してマーキング針１０の
直下に移動し、この後にマーキング針１０を支持する針
支持具１１が取付けられた移動台１２をコントローラ１
９の制御の下で移動機構によって試料台３側に移動して
マーキング針１０を試料に押圧することによって、開発
や生産における微細欠陥部の分析に適したマーキングを
行うことができる。
【００２９】また、針支持具１１に対してマーキング針
１０を取付け取外し自在とすることによって、欠陥部の
内容に応じてマーキング針１０を取換えることができる
ので、欠陥部の内容をマーキングの段階で区分けするこ
とができる。
１０を取付け取外し自在とすることによって、欠陥部の
内容に応じてマーキング針１０を取換えることができる
ので、欠陥部の内容をマーキングの段階で区分けするこ
とができる。
【００３０】さらに、試料がマーキング針１０によって
押圧された後に試料台３および移動台１２が元の位置に
戻るように予めコントローラ９，１９に自動復帰機能を
設定しておくことによって、マーキングの状態を直ちに
確認することができる。
押圧された後に試料台３および移動台１２が元の位置に
戻るように予めコントローラ９，１９に自動復帰機能を
設定しておくことによって、マーキングの状態を直ちに
確認することができる。
【００３１】さらにまた、マーキング針１０の先端の断
面形状の一部を切り欠くことによって、チャージアップ
防止やトンネル電流を流すことに支障なく、マーキング
を行うことができる。
面形状の一部を切り欠くことによって、チャージアップ
防止やトンネル電流を流すことに支障なく、マーキング
を行うことができる。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
学顕微鏡によって微細部分が観察された試料が載置され
た試料台を所定量移動させてマーキング針の移動機構直
下とするよう試料台の移動機構を制御することによっ
て、開発や生産における微細欠陥部の分析に適したマー
キングを行うことができるという効果がある。
学顕微鏡によって微細部分が観察された試料が載置され
た試料台を所定量移動させてマーキング針の移動機構直
下とするよう試料台の移動機構を制御することによっ
て、開発や生産における微細欠陥部の分析に適したマー
キングを行うことができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】図１のＡＡ線に沿う矢視方向の断面図である。
【図３】図１の針支持具の詳細な構成を示す図である。
【図４】図３のマーキング針の先端の断面形状を示す図
である。
である。
１ 基台 １ａ レール溝 ２ 光学顕微鏡 ３ 試料台 ３ａ 凸部 ６，１４ ボールネジ棒 ６ａ ボール ７，１５ パルスモータ ９，１９ コントローラ １０ マーキング針 １１ 針支持具 １１ａ バネ １１ｂ 押え板 １２ 移動台 １３ 支柱
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 1/28 B23Q 17/24 G01N 21/84 G01N 21/88
Claims (3)
- 【請求項１】 基台上の予め設定された位置に固定され
かつ試料の微細部分を観察する光学顕微鏡と、前記基台
上の前記光学顕微鏡から予め設定された所定量離れた位
置に固定されかつ前記試料にマーキング針を押圧する押
圧手段と、前記試料が載置される試料台を前記基台上に
おいて前記光学顕微鏡と前記押圧手段との間で移動する
移動手段と、前記光学顕微鏡によって微細部分が観察さ
れた前記試料を前記所定量移動させて前記押圧手段直下
とするよう前記移動手段を制御する制御手段とを有し、
前記マーキング針の試料に押圧される先端は、試料の所
定表面領域を取り囲む断面形状になっており、且つこの
取り囲む断面形状の一部が切り欠いてあることを特徴と
するマーキング装置。 - 【請求項２】 前記押圧手段において前記マーキング針
を取付け取外し自在とし、前記先端部の断面形状の異な
るマーキング針を交換自在としたことを特徴とする請求
項１記載のマーキング装置。 - 【請求項３】 前記押圧手段によって前記試料にマーキ
ング針が押圧された後に前記試料台を前記光学顕微鏡直
下まで復帰する復帰手段を含むことを特徴とする請求項
１または請求項２記載のマーキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33133591A JP3185295B2 (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | マーキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33133591A JP3185295B2 (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | マーキング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142121A JPH05142121A (ja) | 1993-06-08 |
| JP3185295B2 true JP3185295B2 (ja) | 2001-07-09 |
Family
ID=18242534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33133591A Expired - Fee Related JP3185295B2 (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | マーキング装置 |
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