JPS60178639A - ペレツト選別装置 - Google Patents
ペレツト選別装置Info
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- JPS60178639A JPS60178639A JP3431384A JP3431384A JPS60178639A JP S60178639 A JPS60178639 A JP S60178639A JP 3431384 A JP3431384 A JP 3431384A JP 3431384 A JP3431384 A JP 3431384A JP S60178639 A JPS60178639 A JP S60178639A
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- pellet
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、ペレット選別装置に関する。
［従来技術］
ペレット選別装置は、半導体素子等の素ｆ一群がその表
面に対し、２次元的に配置、形成されたウェハを、素子
片としての各ペレ・ントに切断、分離し、分割された各
ペレットをコレットにより選別、吸着する装置であり、
さらに選別されたペレットは、リードフレーム、ヘッダ
などの基板に対してマウントするようにしている。すな
わち、この装置は、平面ｘＹ方向に移動するピックアッ
プテーブルの上部に分割、整列されたベレフトを、コレ
ットにより選別、吸着するものであり、次いで搬送ライ
ン上に搬送される基板のマウント位置にペレットを移動
させ、該位置にマウントさせるようにするものである。
面に対し、２次元的に配置、形成されたウェハを、素子
片としての各ペレ・ントに切断、分離し、分割された各
ペレットをコレットにより選別、吸着する装置であり、
さらに選別されたペレットは、リードフレーム、ヘッダ
などの基板に対してマウントするようにしている。すな
わち、この装置は、平面ｘＹ方向に移動するピックアッ
プテーブルの上部に分割、整列されたベレフトを、コレ
ットにより選別、吸着するものであり、次いで搬送ライ
ン上に搬送される基板のマウント位置にペレットを移動
させ、該位置にマウントさせるようにするものである。
この際、分割、整列されたペレット群の中の不良ペレッ
トには、予め不良マークが表示されている。この不良マ
ークは、ウェハがピックアップテーブルの上部に支持さ
れる前の段階で、しかもウェハが各ペレットにジノ断、
分離される前に表示されるものであり、ウェハの表面に
配置、形成された素子群の一つ一つについて半導体検査
装置の探針を当接し、該探針に電流を流して各素子の良
、不良の試験を行い、これらの結果に基づき不良と判断
されたものについて不良マークを表示するようにしてい
る。
トには、予め不良マークが表示されている。この不良マ
ークは、ウェハがピックアップテーブルの上部に支持さ
れる前の段階で、しかもウェハが各ペレットにジノ断、
分離される前に表示されるものであり、ウェハの表面に
配置、形成された素子群の一つ一つについて半導体検査
装置の探針を当接し、該探針に電流を流して各素子の良
、不良の試験を行い、これらの結果に基づき不良と判断
されたものについて不良マークを表示するようにしてい
る。
このようにしてウェハの表面に配置、形成された素（４
’ｌの良、不良の判断を行い、さらにウェハをダイヤモ
ンドポイントなどによりそれぞれの素ｒにスクライブし
て各ペレットに破折、分離させ、これをピックアップテ
ーブルの上部に整列させるようにしている。整列させた
各ペレットをコレットにより吸着するに際しては、不良
マークの表示されたペレットおよびウェハを破折する喋
、割れ、欠けの生じたペレットなどの不良ペレットを予
め面センサにより検知させ、検知の結果、良品ペレット
とされたものについてのみ、コレットにより選別、吸着
しペレットポンディングを行うようにしている。
’ｌの良、不良の判断を行い、さらにウェハをダイヤモ
ンドポイントなどによりそれぞれの素ｒにスクライブし
て各ペレットに破折、分離させ、これをピックアップテ
ーブルの上部に整列させるようにしている。整列させた
各ペレットをコレットにより吸着するに際しては、不良
マークの表示されたペレットおよびウェハを破折する喋
、割れ、欠けの生じたペレットなどの不良ペレットを予
め面センサにより検知させ、検知の結果、良品ペレット
とされたものについてのみ、コレットにより選別、吸着
しペレットポンディングを行うようにしている。
しかしながら、このような従来のペレット選別装置置に
あっては、検知対象である整列されたペレットを面セン
サにより面情報として捕捉しているため、一つ一つのペ
レットについてみた場合、情報密度が低く、限られたビ
ット数で良品ペレットか不良ペレットかの検知を行わな
ければならなかった。すなわち１面センサによる不良ペ
レットの検知は、分解能が低く、不良ペレットの細かな
割れ、欠けについて看過する可能性があった。このため
、面センサのビット数を増加させ、捕捉するペレット当
りの情報密度を高くすることが考えられるが、ビット数
を増加させることは装置の大型化、コストの増大につな
がり、これらの問題を解決し、ペレットの良、不良の検
知を確実に行うことのできるペレット選別装置の開発が
望まれていた。
あっては、検知対象である整列されたペレットを面セン
サにより面情報として捕捉しているため、一つ一つのペ
レットについてみた場合、情報密度が低く、限られたビ
ット数で良品ペレットか不良ペレットかの検知を行わな
ければならなかった。すなわち１面センサによる不良ペ
レットの検知は、分解能が低く、不良ペレットの細かな
割れ、欠けについて看過する可能性があった。このため
、面センサのビット数を増加させ、捕捉するペレット当
りの情報密度を高くすることが考えられるが、ビット数
を増加させることは装置の大型化、コストの増大につな
がり、これらの問題を解決し、ペレットの良、不良の検
知を確実に行うことのできるペレット選別装置の開発が
望まれていた。
［発明の目的］
本発明は、分割、整列されたペレットの中から良品ペレ
ットのみを選別する作業を確実に行わせ、これにより信
頼性の高いペレットボンデインク作業を行うことを１］
的としている。
ットのみを選別する作業を確実に行わせ、これにより信
頼性の高いペレットボンデインク作業を行うことを１］
的としている。
［発明の構成］
上記目的を達成させるために本発明の第１に係るペレッ
ト選別装置は、テーブル上のウェハを各ペレットに分割
、整列させるとともに、上記各ペレットを検知可能なラ
インセンサをテーブルの上部に設け、これらテーブルと
ラインセンサを相対移動させることにより、ラインセン
サにより得られる整列されたペレットに関する線情報を
順次メモリ部で記憶させて面情報とし、該メモリ部で予
め人力された良品ペレットに関する基準情報と上記面情
報とを比較して、テーブル上に分割、整列されたベレッ
Ｉ・のうち不良ペレットの位置を検出可能としたもので
ある。
ト選別装置は、テーブル上のウェハを各ペレットに分割
、整列させるとともに、上記各ペレットを検知可能なラ
インセンサをテーブルの上部に設け、これらテーブルと
ラインセンサを相対移動させることにより、ラインセン
サにより得られる整列されたペレットに関する線情報を
順次メモリ部で記憶させて面情報とし、該メモリ部で予
め人力された良品ペレットに関する基準情報と上記面情
報とを比較して、テーブル上に分割、整列されたベレッ
Ｉ・のうち不良ペレットの位置を検出可能としたもので
ある。
また本発明の第２に係るペレッＩ・選別装置は、テーブ
ル上のウェハな各ペレットに分割、整列させるとともに
、」二記各ペレットを検知Ｏｆ能なラインセンサをテー
ブルの上部に設け、これらテーブルとラインセンサを相
対移動させることにより、ラインセンサにより得られる
整列されたペレットに関する線情報を順次メモリ部で記
憶させて面情報とし、該メモリ部で予め入力された良品
ペレットに関する基準情報と」二記面情報とを比較して
、テーブル上に分割、整列されたペレットのうち不良ペ
レットの位置を検出し、該メモリ部の指令に基づき良品
ペレットのみをコレットにより選別、吸着可能としたも
のである。
ル上のウェハな各ペレットに分割、整列させるとともに
、」二記各ペレットを検知Ｏｆ能なラインセンサをテー
ブルの上部に設け、これらテーブルとラインセンサを相
対移動させることにより、ラインセンサにより得られる
整列されたペレットに関する線情報を順次メモリ部で記
憶させて面情報とし、該メモリ部で予め入力された良品
ペレットに関する基準情報と」二記面情報とを比較して
、テーブル上に分割、整列されたペレットのうち不良ペ
レットの位置を検出し、該メモリ部の指令に基づき良品
ペレットのみをコレットにより選別、吸着可能としたも
のである。
［発明の詳細な説明］
以下本発明を図面を参照して説ＩＪＩする。
第１図は本発明の一実施例に係るペレット選別装置を示
す平面図、第２図は第１図のＩＩ −ＩＩ線に沿う断面
図、第３図はラインセンサにより分割、整列されたペレ
ットを検知する手順を示すＷｉｕ’ｉｉ図、第４図は良
品ペレットの整列状態を示す平面図、第５図は不良ペレ
ットを示す平面図、第６図はラインセンサ、メモリ部、
ピックアップテーブルの関係を示すブロック図である。
す平面図、第２図は第１図のＩＩ −ＩＩ線に沿う断面
図、第３図はラインセンサにより分割、整列されたペレ
ットを検知する手順を示すＷｉｕ’ｉｉ図、第４図は良
品ペレットの整列状態を示す平面図、第５図は不良ペレ
ットを示す平面図、第６図はラインセンサ、メモリ部、
ピックアップテーブルの関係を示すブロック図である。
このペレット選別装置は、検知テーブルｌ上にウェハ２
を各ペレット３に分割、整列させ、これらペレット３を
ラインセンサ４を用いて良品ペレット５、不良ペレット
６のいずれかに検知、分類させ、次いでペレット３をピ
ックアップテーブル７に移載するようにし、移載された
ペレット３にうち良品ペレット５のみをコレット８で選
別、吸着させるものである０選別、吸着された良品ペレ
ット５は位置決め装置９の位置決め台１０へ移載させ、
さらに位置決め台１０上で整列させた良品ペレット５を
ＸＹ方向に駆動可能なマウントユニットｌｌにより搬送
ラインＡ上に搬送される基板１２のマウント位置１３に
マウントさせるようにしている。
を各ペレット３に分割、整列させ、これらペレット３を
ラインセンサ４を用いて良品ペレット５、不良ペレット
６のいずれかに検知、分類させ、次いでペレット３をピ
ックアップテーブル７に移載するようにし、移載された
ペレット３にうち良品ペレット５のみをコレット８で選
別、吸着させるものである０選別、吸着された良品ペレ
ット５は位置決め装置９の位置決め台１０へ移載させ、
さらに位置決め台１０上で整列させた良品ペレット５を
ＸＹ方向に駆動可能なマウントユニットｌｌにより搬送
ラインＡ上に搬送される基板１２のマウント位置１３に
マウントさせるようにしている。
検知テーブルｌは、架台１４に対しＸＹ方向に移動Ｎｆ
能であり、検知テーブルｌ上には、ボルト１６を介して
支持枠台１７が固着され、該支持枠台１７に対し、上面
にウェハ２が被着された粘着シート１８を支持、固定す
るカセットリング１９を支持させるようにしている。粘
着シート１８に被着されるウェハ２は、予めその表面に
配ｌ形成された素子群の一つ一つについて不図示の半導
体検査装置を用いてその良、不良が検査され、検査の結
果、不良と判断された素子については不良マーク２０が
その上面に表示されるようにしている。検査の終了した
ウェハ２は、粘着シート１８に被着させた後に、ダイヤ
モンドポイント等を用いてスクライブされ、さらにグイ
シングされて各ペレット３に破折、分離するようにして
いる。さらに粘着シート１８上の各ペレット３間に間隔
を設け、それらペレット３をシート１８゜Ｌに等間隔で
分割、整列させるため、粘着シー）１８を加熱、引き伸
ばして、これをカセットリング１９に支持、固定させ、
このカセットリング１９を検知テーブルｌ上の支持枠台
１７に対し支持させるようにしている。
能であり、検知テーブルｌ上には、ボルト１６を介して
支持枠台１７が固着され、該支持枠台１７に対し、上面
にウェハ２が被着された粘着シート１８を支持、固定す
るカセットリング１９を支持させるようにしている。粘
着シート１８に被着されるウェハ２は、予めその表面に
配ｌ形成された素子群の一つ一つについて不図示の半導
体検査装置を用いてその良、不良が検査され、検査の結
果、不良と判断された素子については不良マーク２０が
その上面に表示されるようにしている。検査の終了した
ウェハ２は、粘着シート１８に被着させた後に、ダイヤ
モンドポイント等を用いてスクライブされ、さらにグイ
シングされて各ペレット３に破折、分離するようにして
いる。さらに粘着シート１８上の各ペレット３間に間隔
を設け、それらペレット３をシート１８゜Ｌに等間隔で
分割、整列させるため、粘着シー）１８を加熱、引き伸
ばして、これをカセットリング１９に支持、固定させ、
このカセットリング１９を検知テーブルｌ上の支持枠台
１７に対し支持させるようにしている。
検知テーブル１の上方位置には、粘着シート１８の」−
面に整列されたペレット３を検知カメラ２１およびスト
ロボ２２の閃光により検知可能とするラインセンサ４が
配置される。ラインセンサ４は、長さＬの線２３で検知
対象を捕捉するものであり、本実施例では一木の線２３
を１０２４〜２０４８ピツＩ・の情報級で検知対象を捕
捉し、検知された線情報をラインセンサ４と接続される
メモリ部２４で記憶ｉｉ）能としている。ラインセンサ
４の検知範囲は、検知テーブルｌのＸＹ方向の移動によ
り、粘着シート１８に被着されたペレット３の全体に及
び、コントローラ２５により、検知テーブルｌの移動速
度、ＸＹ方向の移動順路、さらには一定周期で閃光する
ストロボ２２の閃光周期を制御し、移動により得られる
整列されたペレット３に関する線情報をラインセンサ４
により順次検知し、さらにこれら線情報をメモリ部２４
で順次記憶するようにしている。記憶された線情報はメ
モリ部２４で合成されて面情報とされ、この結果、粘７
ｉシー） １８ Ｊ二に整列するペレット３の全体が、
メモリ部２４で検知可能となる。
面に整列されたペレット３を検知カメラ２１およびスト
ロボ２２の閃光により検知可能とするラインセンサ４が
配置される。ラインセンサ４は、長さＬの線２３で検知
対象を捕捉するものであり、本実施例では一木の線２３
を１０２４〜２０４８ピツＩ・の情報級で検知対象を捕
捉し、検知された線情報をラインセンサ４と接続される
メモリ部２４で記憶ｉｉ）能としている。ラインセンサ
４の検知範囲は、検知テーブルｌのＸＹ方向の移動によ
り、粘着シート１８に被着されたペレット３の全体に及
び、コントローラ２５により、検知テーブルｌの移動速
度、ＸＹ方向の移動順路、さらには一定周期で閃光する
ストロボ２２の閃光周期を制御し、移動により得られる
整列されたペレット３に関する線情報をラインセンサ４
により順次検知し、さらにこれら線情報をメモリ部２４
で順次記憶するようにしている。記憶された線情報はメ
モリ部２４で合成されて面情報とされ、この結果、粘７
ｉシー） １８ Ｊ二に整列するペレット３の全体が、
メモリ部２４で検知可能となる。
検知テーブルｌの移動順路は、ウェハ２の外径寸法Ｄφ
により様々であり、第３図に示す例では、Ｄφは線２３
の長さＬの２倍以内であり、Ｂ点をラインセンサ４によ
る検知開始点として、矢印に示す順序で検知移動し、０
点を検知終了点として、ペレット３の全体を検知するよ
うにしている。すなわち、検知テーブル１の移動順路は
、予めコントローラ２５にウェハ２の外径寸ｉ１Ａ Ｄ
φを人力することにより決定され、さらに検知テーブル
！の移動速度、ストロボ２２の閃光周期などは、予めコ
ントローラ２５に入力することにより行われるようにし
ている。
により様々であり、第３図に示す例では、Ｄφは線２３
の長さＬの２倍以内であり、Ｂ点をラインセンサ４によ
る検知開始点として、矢印に示す順序で検知移動し、０
点を検知終了点として、ペレット３の全体を検知するよ
うにしている。すなわち、検知テーブル１の移動順路は
、予めコントローラ２５にウェハ２の外径寸ｉ１Ａ Ｄ
φを人力することにより決定され、さらに検知テーブル
！の移動速度、ストロボ２２の閃光周期などは、予めコ
ントローラ２５に入力することにより行われるようにし
ている。
メモリ部２４には、予め検知テーブルｌ」−に分割、整
列されたペレット３と同じ型の良品ペレット５に関する
基準情報が入力されている。良品ペレット５に関する基
準情報には、第４図に示すようにペレット５の縦Ｅおよ
び横Ｆの外形寸法、整列されたペレット５間の間隔Ｗ、
隣接するペレット５間の中心間距離Ｇなど様々なものが
あり、メモリ部２４でこれら良品ペレット５に関する基
準情報と検知テーブルｌ上に整列されたベレッ１３に関
する面情報を比較し、比較の結果、粘着シート１８に被
着されたペレット３のうち不良ペレット６の位置を認定
し検出するようにしている。不良ペレッＩ・６の位置の
認定方法には、様々なものがあり１例えばカセットリン
グ１９に支持された粘着シー）１８の」二面の任意位置
を座櫟中心とし、ｉｔＡ座標中心からのＸＹ方向への移
動距離に基づき、不良ペレット６の位置を認定し、さら
に記憶を行うようにしておけばよい、不良ペレット６に
は、第５図に示すように半導体検査装置による検査の結
果、不良マーク２０の表示されたペレット２６、破折、
分離の際割れの生じたペレット２７、あるいは欠けの生
じたペレット２８、さらには円形のウェハ２の端部に相
当し、規格から外れたペレット２９などがあり、粘着シ
ー）１８上におけるこれらの位置をメモリ部２４で検出
することにより、結果として良品ペレット５の位置の検
出を行うものである。
列されたペレット３と同じ型の良品ペレット５に関する
基準情報が入力されている。良品ペレット５に関する基
準情報には、第４図に示すようにペレット５の縦Ｅおよ
び横Ｆの外形寸法、整列されたペレット５間の間隔Ｗ、
隣接するペレット５間の中心間距離Ｇなど様々なものが
あり、メモリ部２４でこれら良品ペレット５に関する基
準情報と検知テーブルｌ上に整列されたベレッ１３に関
する面情報を比較し、比較の結果、粘着シート１８に被
着されたペレット３のうち不良ペレット６の位置を認定
し検出するようにしている。不良ペレッＩ・６の位置の
認定方法には、様々なものがあり１例えばカセットリン
グ１９に支持された粘着シー）１８の」二面の任意位置
を座櫟中心とし、ｉｔＡ座標中心からのＸＹ方向への移
動距離に基づき、不良ペレット６の位置を認定し、さら
に記憶を行うようにしておけばよい、不良ペレット６に
は、第５図に示すように半導体検査装置による検査の結
果、不良マーク２０の表示されたペレット２６、破折、
分離の際割れの生じたペレット２７、あるいは欠けの生
じたペレット２８、さらには円形のウェハ２の端部に相
当し、規格から外れたペレット２９などがあり、粘着シ
ー）１８上におけるこれらの位置をメモリ部２４で検出
することにより、結果として良品ペレット５の位置の検
出を行うものである。
ラインセンサ４による検知が終了し、不良ペレット６の
位置の認定が行われたら、粘着シート１８の上面に分割
、整列されたペレット３をカセットリング１９に支持さ
せたままの状ｉ島でビックアンプテーブル７に移載させ
る。ピックアップテーブル７は、検知テーブルｌと同様
に架台３０に対してＸＹ方向に移動自在であり、カセッ
トリング１９は、検知テーブルｌでの支持状態に相応さ
せてピックアップテーブル７上に支持され、ピックアッ
プテーブル７の上部に位置し、ポンディングアーム３１
の先端に取付けられたコレット８により、粘着シート１
８上面のベレッｌ−３を吸着、摘出可能としている。コ
レット８は、ピックアップ点３２でペレット３を吸着し
て矢示１１方向に回動し５次いで位置決め装置９の位置
決め台ｌＯ上で吸着を解除し、該位置にペレット３を移
載するようにしている。ピックアップテーブル７は、コ
レット８のピックアップ点３２に順次ペレット３が位置
されるようにＸＹ方向に移動され、ピックアップテーブ
ル７のＸＹ方向の移動は、メモリ部２４の指令に基づい
て行われるようにしている。すなわち、メモリ部２４で
その整Ｊ１位置が検出された不良ペレット６が、コレッ
ト８のピンクアップ点３２に位置されなり亀よう番とピ
ックアップテーブル７の移動がメモリ部２４の指令によ
り制御され、この結果良品ペレット５のみ力（コレット
８により選別、吸着され、位置決め台１０に移載ｎｆ能
となる。さらに位置決め台１０に移４し整列された良品
ペレット５は、マウントユニットｌｌにより基板１２の
マウント位置１３にマウントされ、これによりペレット
ポンディングが行われるようにしている。
位置の認定が行われたら、粘着シート１８の上面に分割
、整列されたペレット３をカセットリング１９に支持さ
せたままの状ｉ島でビックアンプテーブル７に移載させ
る。ピックアップテーブル７は、検知テーブルｌと同様
に架台３０に対してＸＹ方向に移動自在であり、カセッ
トリング１９は、検知テーブルｌでの支持状態に相応さ
せてピックアップテーブル７上に支持され、ピックアッ
プテーブル７の上部に位置し、ポンディングアーム３１
の先端に取付けられたコレット８により、粘着シート１
８上面のベレッｌ−３を吸着、摘出可能としている。コ
レット８は、ピックアップ点３２でペレット３を吸着し
て矢示１１方向に回動し５次いで位置決め装置９の位置
決め台ｌＯ上で吸着を解除し、該位置にペレット３を移
載するようにしている。ピックアップテーブル７は、コ
レット８のピックアップ点３２に順次ペレット３が位置
されるようにＸＹ方向に移動され、ピックアップテーブ
ル７のＸＹ方向の移動は、メモリ部２４の指令に基づい
て行われるようにしている。すなわち、メモリ部２４で
その整Ｊ１位置が検出された不良ペレット６が、コレッ
ト８のピンクアップ点３２に位置されなり亀よう番とピ
ックアップテーブル７の移動がメモリ部２４の指令によ
り制御され、この結果良品ペレット５のみ力（コレット
８により選別、吸着され、位置決め台１０に移載ｎｆ能
となる。さらに位置決め台１０に移４し整列された良品
ペレット５は、マウントユニットｌｌにより基板１２の
マウント位置１３にマウントされ、これによりペレット
ポンディングが行われるようにしている。
次に上記実施例の作用を説明する。
先ず、第６図に示すように予め検知テーブル１１−の粘
Ｒシート１８の」二面に分割、整列され−たペレット３
と同型の良品ペレット５に関する基準情報をメモリ部２
４に入力し、さらにコントローラ２５に対し、フェノ＼
２の外径寸法φＤおよびその他の情報を人力するように
して、ラインセンサ４によるペレット３の検知を開始さ
せる。検知テーブルｌの移動によりラインセンサ４から
順次メモリ部２４へ送られる線情報は、メモリ部２４で
記憶合成されることにより面情報とされ、該面情報と予
めメモリ部２４に入力された良品ペレット５に関する基
準情報を比較させることにより、整列されたペレット３
から不良ペレット６を認定するようにしている。認定さ
れた不良ペレット６の位置は、メモリ部２４で検出され
、ピックアップテーブル７上に移載されたペレット３の
うちからメモリ部２４の指令により良品ペレット５のみ
を選別、吸着させてペレットポンディングを行うように
する。
Ｒシート１８の」二面に分割、整列され−たペレット３
と同型の良品ペレット５に関する基準情報をメモリ部２
４に入力し、さらにコントローラ２５に対し、フェノ＼
２の外径寸法φＤおよびその他の情報を人力するように
して、ラインセンサ４によるペレット３の検知を開始さ
せる。検知テーブルｌの移動によりラインセンサ４から
順次メモリ部２４へ送られる線情報は、メモリ部２４で
記憶合成されることにより面情報とされ、該面情報と予
めメモリ部２４に入力された良品ペレット５に関する基
準情報を比較させることにより、整列されたペレット３
から不良ペレット６を認定するようにしている。認定さ
れた不良ペレット６の位置は、メモリ部２４で検出され
、ピックアップテーブル７上に移載されたペレット３の
うちからメモリ部２４の指令により良品ペレット５のみ
を選別、吸着させてペレットポンディングを行うように
する。
このように上記実施例に係るペレット選別装置によれば
、−木の線２３当り１０２４〜２０４８ビツトという高
密度の情報量で検知対象である整列されたペレット３を
捕捉し、しかも検知テーブルｌの移動により、ラインセ
ンサ４より得られる整列されたペレット３に関する線情
報を順次メモリ部２４で記憶し、面情報とすることがで
きるので、検知により得られた面情報は分解能が高く、
信頼性の高いものとなる。この結果、メモリ部２４で行
われる良品ペレット５に関する基準情報と上記面情報を
比較し、検知テーブルｌ上の不良ペレット６の位置を記
憶する作業も信頼性が高いものとなり、よって確実に良
品ペレット５のみがコレット８により選別、吸着される
ことが可能となる。
、−木の線２３当り１０２４〜２０４８ビツトという高
密度の情報量で検知対象である整列されたペレット３を
捕捉し、しかも検知テーブルｌの移動により、ラインセ
ンサ４より得られる整列されたペレット３に関する線情
報を順次メモリ部２４で記憶し、面情報とすることがで
きるので、検知により得られた面情報は分解能が高く、
信頼性の高いものとなる。この結果、メモリ部２４で行
われる良品ペレット５に関する基準情報と上記面情報を
比較し、検知テーブルｌ上の不良ペレット６の位置を記
憶する作業も信頼性が高いものとなり、よって確実に良
品ペレット５のみがコレット８により選別、吸着される
ことが可能となる。
なお、上記実施例によればメモリ部２４とピックアップ
テーブル７側を直接信号伝達線で接続し、検知テーブル
ｌ上で得られた不良ペレット６の位置に関する検出情報
に基づき良品ペレット５を選別、吸着するものとしてい
るが、本発明はこのようなものに限定されず、メモリ部
２４とピックアップテーブル７側を分離し、検知テーブ
ル１１−で得られた不良ペレット６に関する検出情報を
一旦フロッピーディスク、磁気テープなどに記憶させこ
れらの記憶情報に基づきピックアップテーブル７１〕で
良品ペレット５を選別、吸着させるものとしてもよい。
テーブル７側を直接信号伝達線で接続し、検知テーブル
ｌ上で得られた不良ペレット６の位置に関する検出情報
に基づき良品ペレット５を選別、吸着するものとしてい
るが、本発明はこのようなものに限定されず、メモリ部
２４とピックアップテーブル７側を分離し、検知テーブ
ル１１−で得られた不良ペレット６に関する検出情報を
一旦フロッピーディスク、磁気テープなどに記憶させこ
れらの記憶情報に基づきピックアップテーブル７１〕で
良品ペレット５を選別、吸着させるものとしてもよい。
［発明の効果］
以ｌ二説明したように本発明の第１に係るペレット選別
装置は、テーブル上のウェハな各ベレー／ ）に分割、
整列させるとともに、上記各ペレットを検知可能なライ
ンセンサをテーブルのＬ＃８に；１シけ、これらテーブ
ルとラインセンサを相対移動させることにより、ライン
センサにより得られる整列されたペレットに関する線情
報を順次メモリ部で記憶させて面情報とし、該メモリ部
で予め入力された良品ペレットに関する基準情報と上記
面情報とを比較して、テーブル上に分割、整列されたベ
レー／ トのうち不良ペレットの位置を検出ｉｉ（能と
し、また本発明の第２に係るペレット選別装置は、テー
ブル上のウェハを各ペレットに分割、整列させるととも
に、上記各ペレットを検知ｉｌｌ能なラインセンサをテ
ーブルの上部に設け、これらテーブルとラインセンサを
相対移動させることにより、ラインセンサにより得られ
る整列されたペレットに関する線情報を順次メモリ部で
記憶させて面情報とし、該メモリ部で予め入力された良
品ペレットに関する基準情報と上記面情報とを比較して
、テーブル上に分割、整列されたペレットのうち不良ペ
レットの位置を検出し、該メモリ部の指令に基づき良品
ペレットのみをコレットにより選別、吸着可能とするこ
とにより１分割、整列されたペレットの中から良品ペレ
ットのみを選別する作業を確実に行うことが可能となり
、これにより信頼性の高いペレットポンディング作業を
行うことができるという効果がある。
装置は、テーブル上のウェハな各ベレー／ ）に分割、
整列させるとともに、上記各ペレットを検知可能なライ
ンセンサをテーブルのＬ＃８に；１シけ、これらテーブ
ルとラインセンサを相対移動させることにより、ライン
センサにより得られる整列されたペレットに関する線情
報を順次メモリ部で記憶させて面情報とし、該メモリ部
で予め入力された良品ペレットに関する基準情報と上記
面情報とを比較して、テーブル上に分割、整列されたベ
レー／ トのうち不良ペレットの位置を検出ｉｉ（能と
し、また本発明の第２に係るペレット選別装置は、テー
ブル上のウェハを各ペレットに分割、整列させるととも
に、上記各ペレットを検知ｉｌｌ能なラインセンサをテ
ーブルの上部に設け、これらテーブルとラインセンサを
相対移動させることにより、ラインセンサにより得られ
る整列されたペレットに関する線情報を順次メモリ部で
記憶させて面情報とし、該メモリ部で予め入力された良
品ペレットに関する基準情報と上記面情報とを比較して
、テーブル上に分割、整列されたペレットのうち不良ペ
レットの位置を検出し、該メモリ部の指令に基づき良品
ペレットのみをコレットにより選別、吸着可能とするこ
とにより１分割、整列されたペレットの中から良品ペレ
ットのみを選別する作業を確実に行うことが可能となり
、これにより信頼性の高いペレットポンディング作業を
行うことができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例に係るペレット選別装置を示
す平面図、第２図は第１図のＩＩ −ＩＩ線に沿う断面
図、第３図はラインセンサにより分割。 整列されたペレットを検知する手順を示す平面図、第４
図は良品ペレットの整列状態を示す平面図、第５図は不
良ペレットを示す平面図、第６図はラインセンサ、メモ
リ部、ピックアップテーブルの関係を示すブロック図で
ある。 １・・・検知テーブル、２・・・ウェハ、３・・・ペレ
ット、４・・・ラインセンサ、５・・・良品ペレット、
６・・・不良ペレーＩト、７・・・ピックアップテーブ
ル、８・・・コレット、２４・・・メモリ部。 第１図 １ 第３図 第６図 第４図 第５図 ２６川コ冒ト２７
す平面図、第２図は第１図のＩＩ −ＩＩ線に沿う断面
図、第３図はラインセンサにより分割。 整列されたペレットを検知する手順を示す平面図、第４
図は良品ペレットの整列状態を示す平面図、第５図は不
良ペレットを示す平面図、第６図はラインセンサ、メモ
リ部、ピックアップテーブルの関係を示すブロック図で
ある。 １・・・検知テーブル、２・・・ウェハ、３・・・ペレ
ット、４・・・ラインセンサ、５・・・良品ペレット、
６・・・不良ペレーＩト、７・・・ピックアップテーブ
ル、８・・・コレット、２４・・・メモリ部。 第１図 １ 第３図 第６図 第４図 第５図 ２６川コ冒ト２７
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （＋）テーブル１−のウェハを各ペレットに分割、整列
させるとともに、上記各ペレットを検知可能なラインセ
ンサをテーブルの上部に設け、これらテーブルとライン
センサを相対移動させることにより、ラインセンサによ
り得られる整列されたペレットに関する線情報を順次メ
モリ部で記憶させて面情報とし、該メモリ部で予め入力
された良品ペレットに関するノ＾準情報と上記面情報と
を比較して、テーブルにに分割、整列されたペレットの
うち不良ペレットの位置を検出可能としたベレット選別
装♂Ｉ。 （２）テーブル上のウェハを各ペレットに分割、整列さ
せるとともに、上記各ペレットを検知可能なラインセン
サをテーブルの」二部に設け、これらテーブルとライン
センサを相対移動させることにより、ラインセンサによ
り得られる整列されたペレットに関する線情報を順次メ
モリ部で記憶させて面情報とし、該メモリ部で予め入力
された良品ペレットに関する基準情報と上記面情報とを
比較して、テーブルＬに分割、整列されたペレットのう
ち不良ペレットの位置を検出し、該メモリ部の指令に基
づき良品ペレットのみをコレットにより選別、吸着可能
とするペレット選別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3431384A JPS60178639A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | ペレツト選別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3431384A JPS60178639A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | ペレツト選別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60178639A true JPS60178639A (ja) | 1985-09-12 |
Family
ID=12410667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3431384A Pending JPS60178639A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | ペレツト選別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60178639A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008087138A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-17 | Iyo Matsuyama Hitech Kk | びびり振動防止治具 |
| JP2012248837A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-13 | Orbotech Lt Solar Llc | 壊れたウェーハ回収システム |
| EP3223305A1 (en) * | 2016-03-25 | 2017-09-27 | Mikro Mesa Technology Co., Ltd. | Intermediate structure for transfer of semiconductor micro-devices, method for preparing semiconductor micro-devices for transfer and processing array of semiconductor micro-devices |
-
1984
- 1984-02-27 JP JP3431384A patent/JPS60178639A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008087138A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-17 | Iyo Matsuyama Hitech Kk | びびり振動防止治具 |
| JP2012248837A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-13 | Orbotech Lt Solar Llc | 壊れたウェーハ回収システム |
| US9462921B2 (en) | 2011-05-24 | 2016-10-11 | Orbotech LT Solar, LLC. | Broken wafer recovery system |
| EP3223305A1 (en) * | 2016-03-25 | 2017-09-27 | Mikro Mesa Technology Co., Ltd. | Intermediate structure for transfer of semiconductor micro-devices, method for preparing semiconductor micro-devices for transfer and processing array of semiconductor micro-devices |
| CN107228289A (zh) * | 2016-03-25 | 2017-10-03 | 美科米尚技术有限公司 | 用于转移的中间结构以及转移的多个微型装置的制备方法 |
| US9842782B2 (en) | 2016-03-25 | 2017-12-12 | Mikro Mesa Technology Co., Ltd. | Intermediate structure for transfer, method for preparing micro-device for transfer, and method for processing array of semiconductor device |
| CN107228289B (zh) * | 2016-03-25 | 2019-12-03 | 美科米尚技术有限公司 | 用于转移的多个微型装置的制备方法 |
| EP3223305B1 (en) * | 2016-03-25 | 2022-04-27 | Mikro Mesa Technology Co., Ltd. | Intermediate structure for transfer of semiconductor micro-devices, method for preparing semiconductor micro-devices for transfer and processing array of semiconductor micro-devices |
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