JPH0312937A - ペレットの位置合せ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はペレット位置合せ方法に関し、特に半導体ウェ
ハをタイリングした後、個々に分割されたペレットを粘
着シート上からピックアップする際のペレットの位置合
せ方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、拡散工程にて素子を形成されたウェハは、ウェハ
内の全ての素子（ペレット）について電気検査が行なわ
れ、検査結果が不良と判定されたペレットにキズまたは
インクマークが付けられている。

その後組立工程に於て粘着シートに貼り付けられ、リン
グに固定した状態でダイシングが行なわれ、個々のペレ
ットに分割される。

次にペレットをリードフレーム等にマウントする装置の
ペレット位置合せステージにウェハを供給し、まず任意
のペレットをカメラのセンター位置付近へ移動させ、そ
のペレットをカメラを用いて自動認識してペレットの位
置ズレ量を算出した後、そのズレ量を補正しペレットの
位置合せを行なう。

この後ペレッ１−上の不良マークの有無を検出し、不良
マークがない場合は、粘着シート下方から突き上げピン
によりペレットを突き上げ、これと同期してコレットに
よりペレットを吸着し、粘着シートからペレットをピッ
クアップしてリードフレーム等にマウントしている。

また不良マークがある場合またはペレットのピックアッ
プ完了後はとなりのペレットへ移動し同様の処理を行な
う。

このようにして同一列の処理が終了すると次の列を行な
い、全てのペレットについて同様の処理を行なっている
。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のペレット位置合せ方法は、１　ウェハの
検査工程に於て不良と判定されたペレットにキズまたは
インク等の不良マークを打点する必要がある。

２、ウェハ内の全てのペレットについて１ケ毎に位置の
検出と、その位置ズレの補正を行なった後、ペレット上
の不良マークの検出を行なう為、多くの時間を要してい
る。

３、不良ペレット上面に打点された不良マークには、大
きさ及び位置のバラツキがあり、ペレット位置及び不良
マーク検出時に誤検出が発生する。

４、不良マークとしてインク打点を用いた場合は、イン
クの良品ペレット等への転移が生じる。

またキズ打点を用いた時は、打点時のウェハクラック及
び破損が生じる場合があるという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のペレット位置合せ方法は、ウェハ検査工程でウ
ェハ内の各ペレットを電気検査した際に、ウェハデータ
として各ペレットの位置データとそのペレットの良・不
良判定データ及びウェハーセンターから基準ペレット位
置までの距離データがフロッピーディスクに書き込まれ
る。

またあらかじめウェハに対応したバーコードが粘着シー
トを固定しているリングに貼り付けられており、 ペレット位置合せステージにウェハを供給した時点でリ
ング上のバーコードを読み取り、バーコードに対応した
ウェハデータをフロッピーディスク内のウェハファイル
から取り出す。

そうしてウェハデータ内のウェハーセンターから基準ペ
レット位置までの距離データに基ずきペレット位置合せ
ステージを移動して、カメラセンター位置に基準ペレッ
トを移動させる。

その後基準ペレットから対象な位置にある任意のパター
ンを自動認識し、あらかじめ登録されている上記パター
ンとの位置を比較しそのズレ量をペレット位置合せステ
ージの移動により補正する。

このようにしてウェハ検査データ内のペレット位置デー
タと一致する全てのペレットの位置を決定した後、ウェ
ハ検査データ内の良品ペレットのみ、その位置データに
基ずき、順次ペレット位置合せステージを移動しながら
位置合せを行ない、粘着シートからピックアップしてリ
ードフレーみ等にマウントする。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の模式図、第２図（ａ）
〜（ｄ）はウェハの位置合せを説明するための側面図及
びＡ部の平面図である。

粘着シート１に貼り付けられリング２で固定されたウェ
ハ３は、ダイシングにより個々のペレットに分割され、
ペレット位置合せステージ４に供給される。

ここで、ウェハ３は前工程に於て電気特性検査が行なわ
れており、個々のペレットの検査結果及一 − びウェハセンターから基準ペレット位置までの距離デー
タがフロッピーディスクに記憶されて、データ処理装置
５にセットされている。

績たウェハ３に対応したバーコード６がダイシング前に
リング２上に貼り付けられている。

ペレット位置合せステージ４に供給されたウェハ３は、
まずリング２上のバーコード６をバーコードリーダー７
により読み取り、読み取ったバーコードに対応したウェ
ハ検査データをフロッピーディスク内のウェハデータフ
ァイルからデータ処理装置５により検索する。

そうして、検索されたウェハ検査データのウェハセンタ
ーから基準ペレット位置までの距離データをデータ処理
装置５から制御ユニット８へ伝送し、データをモータ駆
動信号に変換した後ペレット位置合せステージ４の駆動
モータ９を駆動させ第２図（ｂ）に示すようにウェハ３
内の基準ペレット１１をカメラ１０センターへ移動させ
る。

次に、第２図（ｃ）に示すように基準ペレットから点対
称の位置にある２ケ所のパターン１２を自動認識により
検出し、あらかじめ登録されている上記２ケ所のパター
ン位置とのスレ量をペレット位置合せステージ４を移動
させて補正する。

このようにして、第２図（ｄ）に示すようにウェハの位
置、すなわち各ペレットをウェハ検査データ内の位置デ
ータと一致させる。

その後、ウェハ検査データの良品ペレット位置データに
基ずき、上記方法にてペレット位置合せステージ４を移
動させ、良品ペレットの位置合せを行ないペレットのピ
ックアップを行なう。

そうして同様にウェハ３内の良品ペレットを順次位置合
せしてピックアップした後、リードフレーム等にマウン
トする。

第３図は本発明の第２の実施例の模式図である。

ペレット位置合せステージ４に供給されたウェハ３はリ
ング２を押えリンク］３により押し下げ、粘着シート１
を周囲に引き伸ばすことによりペレット間にすき間を設
けている。

前述の第１の実施例と同様にしてウェハ検査データをフ
ロッピーディスクから取り出しな後、ペレット間のすき
間を考慮しウェハ検査データの修正を行なう。

これにより、第１の実施例と同様な方法でペレットの位
置合せを行ない、ペレットを粘着シート１からピックア
ップする。

この実施例では、ペレット間にすき間を設けている為ペ
レットのピックアップ時のペレット相互間の干渉がなく
なり、ペレットのカケがなくなるという利点がある。

〔発明の効果〕 以上説明したようＧこ本発明は、ウェハの検査工程に於
て、ペレットの電気検査結果を記憶装置に書き込み、組
立工程に於てリードフレーム等にペレットをマウントす
る際、上記対象ウェハの検査結果をデータ処理装置で検
索し、良品ペレットのみの位置データを取り出し、ウェ
ハを搭載しているペレット位置合せステージを移動して
ペレットの位置合せを行なうことにより、 １、ウェハの検査工程に於て、不良と判定されたペレッ
トに不良マークを打点する必要がなくなる。

２、ウェハ内の全てのペレットについてペレットの位置
合せ及び不良マーク有無の検出を行なう必要かなく処理
能力が向上する。

３、不良マークとしてインク打点を使用した時のインク
の良品ペレッ１−への転移及びキズ打点を用いた時のウ
ェハクラック及びウェハ破損がなくなるという効果があ
る。

本発明の第２の実施例の平面図及び側面図である。

］・・・粘着シート、２・・・リング、３・・・ウェハ
、４・ペレット位置合せステージ、５・・データ処理装
置、６・・・バーコード、７・・・バーコードリーダー
、８・・・制御ユニット、９・・・モーター、１０・・
・カメ　０ ラ、 ］ １・・・基準ペレット、 ■ ２・・・パターン、 ・押えリング。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 粘着シートに貼り付けダイシングされたウェハから個々
   のペレットをピックアップする際のペレットの位置合せ
   方法に於て、前記粘着シートを固定するリングに設けら
   れたバーコードを読み取る手段と、読み取った前記バー
   コードに対応したウェハの検査データを検査データの記
   憶装置から取り出す手段と、ダイシング済ウェハをペレ
   ット位置合せステージに供給した後、前記ウェハの検査
   データ内に含まれるウェハの位置補正データに基ずきペ
   レット位置合せステージを移動し、ウェハ内の基準ペレ
   ット位置をカメラセンター位置に合せる手段と、基準ペ
   レットから対称の位置にある任意の２ケ所のパターン位
   置をカメラを用いた自動認識により検出し、あらかじめ
   登録されている上記２ケ所のパターン位置と比較し、そ
   のずれ量をペレット位置合せステージを移動して補正す
   る手段と、指定されたウェハ内の特定ペレットのみを上
   記ウェハ検査データに基ずき前記ペレット位置合せステ
   ージの移動により位置合せする手段とを有するペレット
   の位置合せ方法。