JPH0536854A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH0536854A
JPH0536854A JP3187159A JP18715991A JPH0536854A JP H0536854 A JPH0536854 A JP H0536854A JP 3187159 A JP3187159 A JP 3187159A JP 18715991 A JP18715991 A JP 18715991A JP H0536854 A JPH0536854 A JP H0536854A
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JP
Japan
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glass window
metal cap
semiconductor device
metal
joined
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Withdrawn
Application number
JP3187159A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsunori Matsuzawa
克則 松澤
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0536854A publication Critical patent/JPH0536854A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16195Flat cap [not enclosing an internal cavity]

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  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は半導体装置に関し、ガラスウインド
を有する金属製キャップをシームウエルド方式でベース
に接合できるEPROM型半導体装置を実現することを
目的とする。 【構成】 光により消去可能な半導体記憶素子11を搭
載したベース10に、ガラスウインド15を有する金属
製キャップ14をシームウエルド法により接合し気密封
止して成るように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置に関する。詳
しくは、ガラスウインドを有するキャップをシームウエ
ルド方式で封止可能としたEPROM型半導体装置に関
する。半導体素子を保護するパッケージング方式におい
て、まず第1に要求されることは、高い気密性を高い信
頼性において行うことであり、また部材の価格において
も低コスト化及び薄型化が望まれている。
【0002】
【従来の技術】現在、半導体素子をパッケージングする
方法には気密封止と樹脂封止とに大別できる。EPRO
M型半導体装置は記憶データを消去するための光を通す
窓が必要であるため、気密封止が採用されている。気密
封止方法には、半導体素子を搭載したセラミックベース
に金属製又は非金属製のキャップをAu−Sn合金又は
半田等で封止する方法と、金属部を溶融し接合する方法
とがある。
【0003】そして、金属部を溶融して接合する方法に
も種々の手法があるが、現在行なわれている中で最も信
頼性が高く部材が低コストで薄い材質を使用するのはシ
ームウエルド方式である。このシームウエルド方式で
は、その封止方法がキャップの金属部を溶融し接合する
ものであるため、キャップの接合部の厚さを金属部の溶
融が容易に可能な値である0.08mm〜0.125mmに
しなければならない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、EPROM
型半導体装置の金属製キャップのガラスウインドでは、
図6に示すように、ガラスウインドと金属部の密着性を
保持し高い気密性を保つためにはガラスウインドと金属
部の接合幅、即ち各部材の厚さが0.50mm以上必要で
ある。従ってガラスウインド付金属製キャップについて
は、ベースとキャップを封止する方法には信頼性が高く
部材が低コストなシームウエルド方式の採用が出来ずA
u−Sn合金又は半田又はガラス等の接合材を使用して
行わなければならずコストアップの原因となっている。
また、封止時に部材の厚さが0.50mm以上と厚いた
め、キャップとベースの反り、寸法等が大きくなり、そ
の影響によって気密性が保持できない等の問題が発生
し、信頼性が欠けるという問題がある。
【0005】本発明は、ガラスウインドを有する金属製
キャップをシームウエルド方式でベースに接合できるE
PROM型半導体装置を実現しようとする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体装置に於
いては、光により消去可能な半導体記憶素子11を搭載
したベース10に、ガラスウインド15を有する金属製
キャップ14をシームウエルド法により接合し気密封止
して成ることを特徴とする。
【0007】また、それに加えて、上記金属製キャップ
14は、その厚さを、ガラスウインド15をその側面で
接合する部分は気密保持を可能とするように厚くし、ベ
ース10への接合部分はシームウエルド可能となるよう
に薄くしたことを特徴とする。また、それに加えて、上
記金属製キャップ14は、その厚さをシームウエルド可
能な厚さとし、ガラスウインド15との接合はガラスウ
インド15の平面部周辺で行なわれていることを特徴と
する。
【0008】また、それに加えて、上記金属製キャップ
14は、その厚さをシームウエルド可能な厚さとし、ガ
ラスウインド15は金属製キャップ14の窓穴に嵌合す
る段差部15aを設け、金属製キャップ14への接合
は、ガラスウインド15の前記段差部及び平面部で接合
されていることを特徴とする。
【0009】また、それに加えて、上記金属製キャップ
14は、その厚さをシームウエルド可能な厚さとし、且
つガラスウインド15を嵌合する凹部が設けられ、ガラ
スウインド15との接合は、ガラスウインド15の外周
と平面部周辺で行なわれていることを特徴とする。また
それに加えて、上記金属製キャップ14は、その厚さを
シームウエルド可能な厚さとし、且つガラスウインド1
5を嵌合する凹部が設けられ、ガラスウインド15には
金属製キャップ14の窓穴に嵌合する段差部15aを設
け、金属製キャップ14への接合は外周と平面部周辺
と、前記段差部で行なわれていることを特徴とする。こ
の構成を採ることにより、ガラスウインドを有する金属
製キャップをシームウエルド方式でベースに接合できる
EPROM型半導体装置が得られる。
【0010】
【作用】ガラスウインドを有する金属製キャップ14
の、ガラスウインド15と金属部16との接合部は十分
な気密が保てるようにし、且つベース10への接合部は
シームウエルド可能な厚さとすることにより、ベース1
0への接合を安価で且つ信頼性のあるシームウエルド方
式で接合することができる。
【0011】
【実施例】図1は本発明の第1の実施例を示す断面図で
ある。同図において、10はセラミックのベースであ
り、その凹部にはEPROM型半導体素子11が搭載さ
れ、該半導体素子11の電極とリード(図示省略)との
間はワイヤ12でワイヤボンディングされている。さら
に該ベース10のキャップが接合される部分には金属層
13が形成されている。
【0012】14は金属製キャップであり、ガラスウイ
ンド15が設けられている。そして、ガラスウインド1
5と金属部16との接合部は十分な気密性が得られるよ
うに該部の金属部16の板厚Tを厚く(0.50mm以
上)してあり、ベース10への接合部の厚さtは、シー
ムウエルド可能な厚さ(0.08〜0.125mm)とし
ている。そして該金属製キャップ14は厚さの薄い部分
でベース10へ矢印A方向からシームウエルドにより接
合されている。
【0013】このように構成された本実施例は、金属製
キャップ14の厚さを、ガラスウインド15の接合部で
は十分気密を保つことができる厚さとしているため十分
な気密保持ができ、ベース10への接合部ではシームウ
エルド可能な厚さに薄くしているためシームウエルド可
能である。これにより安価で且つ信頼性のあるシームウ
エルドにより封止した半導体装置が実現できる。
【0014】図2は本発明の第2の実施例を示す断面図
である。同図において、図1と同一部分は同一符号を付
して示した。本実施例は、金属製キャップ14以外は前
実施例と同様である。本実施例の金属製キャップ14
は、その金属部16の厚さをシームウエルド可能な厚さ
(0.08〜0.125mm)としている。ガラスウイン
ド15と金属部16との接合は、ガラスウインド15の
平面部周辺を用い、気密封止に十分な面積をとれるよう
にしている。そしてベース10への接合は、前実施例と
同様に矢印A方向からシームウエルドにより接合してい
る。
【0015】このように構成された本実施例は、ガラス
ウインド15と金属部16との接合は気密を十分に保つ
ことができ、また金属製キャップ14とベース10との
接合はシームウエルドにより接合されているため、安価
で且つ信頼性のある半導体装置が実現できる。
【0016】図3は本発明の第3の実施例を示す断面図
である。同図において、図1と同一部分は同一符号を付
して示した。本実施例は図2に示した第2の実施例とほ
ぼ同様であり、異なるところは、金属キャップ14にお
いて、ガラスウインド15の金属部16へ接合される部
分に金属部の窓穴に嵌合する段差部15aを設け、該段
差部と平面部で金属部16へ接合したことである。この
ように構成された本実施例は、第2の実施例と同様な効
果を有する上、さらにガラスウインドと金属部との接合
の信頼性が向上する。
【0017】図4は本発明の第4の実施例を示す断面図
である。同図において、図1と同一部分は同一符号を付
して示した。本実施例は金属製キャップ14以外は第1
乃至第3の実施例と同様である。本実施例の金属製キャ
ップ14は、その金属部16の厚さをシームウエルド可
能な厚さ(0.08〜0.125mm)とし、ガラスウイ
ンド15が嵌合される凹部を形成し、該凹部にガラスウ
インド15を挿入し、その側面と平面部周辺とで金属部
16に接合させている。またベース10への接合は前実
施例と同様に矢印A方向からシームウエルドにより接合
している。
【0018】このように構成された本実施例は、前実施
例と同様な効果があり、さらにベースから突出部分が少
なくなるため薄型化が可能となる。
【0019】図5は本発明の第5の実施例を示す図であ
る。同図において、図1と同一部分は同一符号を付して
示した。本実施例は図4に示した第4の実施例とほぼ同
様であり、異なるところは、金属キャップ14におい
て、ガラスウインド15の金属部16へ接合される部分
に、金属部の窓穴に嵌合する段差部15aを設け、該段
差部及び側面と、該段差と側面間の平面部で金属部16
に接合していることである。
【0020】このように構成された本実施例は、第4の
実施例と同様な効果がある上、さらにガラスウインドと
金属部との接合の信頼性が向上する。
【0021】
【発明の効果】本発明に依れば、EPROM型半導体装
置において、その金属製キャップをシームウエルド方式
を用いてベースに接合可能としたことにより、封止時の
工数削減、気密に対する高信頼性、コストダウン、薄型
化等が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す断面図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示す断面図である。
【図3】本発明の第3の実施例を示す断面図である。
【図4】本発明の第4の実施例を示す断面図である。
【図5】本発明の第5の実施例を示す断面図である。
【図6】従来の半導体装置を示す図で、(a)は斜視
図、(b)は(a)図のb−b線における断面図であ
る。
【符号の説明】
10…ベース 11…半導体素子 12…ワイヤ 13…金属層 14…金属製キャップ 15…ガラスウインド 15a…段差部 16…金属部

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光により消去可能な半導体記憶素子(1
    1)を搭載したベース(10)に、ガラスウインド(1
    5)を有する金属製キャップ(14)をシームウエルド
    法により接合し気密封止して成ることを特徴とする半導
    体装置。
  2. 【請求項2】 上記金属製キャップ(14)は、その厚
    さを、ガラスウインド(15)をその側面で接合する部
    分は気密保持を可能とするように厚くし、ベース(1
    0)への接合部分はシームウエルド可能となるように薄
    くしたことを特徴とする請求項1の半導体装置。
  3. 【請求項3】 上記金属製キャップ(14)は、その厚
    さをシームウエルド可能な厚さとし、ガラスウインド
    (15)との接合はガラスウインド(15)の平面部周
    辺で行なわれていることを特徴とする請求項1の半導体
    装置。
  4. 【請求項4】 上記金属製キャップ(14)は、その厚
    さをシームウエルド可能な厚さとし、ガラスウインド
    (15)は金属製キャップ(14)の窓穴に嵌合する段
    差部(15a)を設け、金属製キャップ(14)への接
    合は、ガラスウインド(15)の前記段差部及び平面部
    で接合されていることを特徴とする請求項1の半導体装
    置。
  5. 【請求項5】 上記金属製キャップ(14)は、その厚
    さをシームウエルド可能な厚さとし、且つガラスウイン
    ド(15)を嵌合する凹部が設けられ、ガラスウインド
    (15)との接合は、ガラスウインド(15)の外周と
    平面部周辺で行なわれていることを特徴とする請求項1
    の半導体装置。
  6. 【請求項6】 上記金属製キャップ(14)は、その厚
    さをシームウエルド可能な厚さとし、且つガラスウイン
    ド(15)を嵌合する凹部が設けられ、ガラスウインド
    (15)には金属製キャップ(14)の窓穴に嵌合する
    段差部(15a)を設け、金属製キャップ(14)への
    接合は外周と、平面部周辺と、前記段差部で行われてい
    ることを特徴とする請求項1の半導体装置。
JP3187159A 1991-07-26 1991-07-26 半導体装置 Withdrawn JPH0536854A (ja)

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JP3187159A JPH0536854A (ja) 1991-07-26 1991-07-26 半導体装置

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JP3187159A Withdrawn JPH0536854A (ja) 1991-07-26 1991-07-26 半導体装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011013581A1 (ja) * 2009-07-30 2011-02-03 日亜化学工業株式会社 発光装置及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011013581A1 (ja) * 2009-07-30 2011-02-03 日亜化学工業株式会社 発光装置及びその製造方法
US8546841B2 (en) 2009-07-30 2013-10-01 Nichia Corporation Light emitting device
US8703511B2 (en) 2009-07-30 2014-04-22 Nichia Corporation Method of manufacturing light emitting device

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Effective date: 19981008