JPH0535565B2

JPH0535565B2 -

Info

Publication number: JPH0535565B2
Application number: JP60164798A
Authority: JP
Inventors: Ryuichi Sato; Masanori Numata; Fumyoshi Hamazaki; Naoki Ayada
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1985-07-25
Filing date: 1985-07-25
Publication date: 1993-05-26
Also published as: JPS6225417A

Description

【発明の詳細な説明】［発明の分野］本発明は、LSI、VLSI等の半導体デバイスを
製造する装置に関し、特に、装置に標準設定され
ている動作を任意に組合せてユーザ独自のシーケ
ンスを作成することを可能にした半導体製造装置
に関する。

［発明の背景］従来のステツプアンドリピート式の投影露光装
置においては、装置本来の動作である所定のシー
ケンスに従つて露光動作の他、この露光動作を構
成する個々の単位動作すなわちウエハ挿脱やステ
ツプ送りや位置合せやＺステージ駆動等の動作を
それぞれ単独で実行させることができる。

しかし、前記露光動作以外の動作例えばＺステ
ージの駆動量を較正するための一連の動作等はシ
ーケンスとしては実装されておらず、このような
動作を実行させようとする場合はオペレータが装
置に付きつきりで、装置の動作に合せて、Ｚステ
ージ駆動、エアマイクロセンサ値計測表示等の動
作指令を必要回数繰返しキー入力しなければなら
ず、その手間と時間は大変なものであつた。

［発明の目的］本発明の目的は、上述の従来形における問題点
に鑑み、半導体製造装置において、ユーザが、メ
ーカ設定の動作シーケンスや単位動作を適宜組合
せた所望のシーケンスを作成できるようにするこ
とである。

［実施例の説明］以下、図面に従つて本発明の実施例を説明す
る。

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装
置の外観を示す。同図において、１は集積回路パ
ターンを具えたマスクで、他にマスクアライメン
トマークやマスク・ウエハ・アライメントマーク
を具えるものとする。２はマスクステージで、マ
スク１を保持してマスク１を平面内（XY方向）
及び回転方向（θ方向）に移動させる。３は縮小
投影レンズ、４は感光層を具えるウエハで、マス
ク・ウエハ・アライメントマークとテレビ・ウエ
ハアライメントマークを具えるものとする。５は
ウエハステージである。ウエハステージ５はウエ
ハ４を保持してそれを平面内および回転方向に移
動させるものであり、またウエハ焼付位置（投影
野内）とテレビ・ウエハアライメント位置間を移
動する。６はテレビ・ウエハアライメント用検知
装置の対物レンズ、７は撮像管（または固体撮像
素子）である。９は双眼ユニツトで、投影レンズ
３を介してウエハ４の表面を観察するために役立
つ。１０は照明光学系ならびにマスク・ウエハ・
アライメント用の検知装置を収容する上部ユニツ
トである。１１はモニタ受像機（コントロール
CRT）、１２は装置における各種の動作指令やパ
ラメータを入力するためのキーボードである。

第２図は、第１図の装置の電気回路構成を示
す。

同図において、２１は装置全体の制誤を司る本
体CPUで、マイクコンピユータまたはミニコン
ピユータ多の中央演算処理装置からなる。２２は
ウエハステージ駆動装置、２３はアライメント検
出系、２４はレチクルステージ駆動装置、２５は
照明系、２６はシヤツタ駆動装置、２７はフオー
カス検出系、２８はＺ駆動装置で、これらは、本
体CPU２１により制御される。２９は搬送系で
ある。

３０はコンソールユニツトで、本体CPU２１
にこの露光装置の動作に関する各種の指令やパラ
メータを与えるためのものである。３１はコンソ
ールCPU、３２はパラメータ等を記憶する外部
メモリである。なお、CPU１１およびキーボー
ド１２は第１図のものと同一である。

次に、第３および５図のフローチヤートならび
に第４図の表示画面例を参照しながら、第１図の
装置の動作を説明する。

第３図のフローチヤートは、本発明の特徴とす
るユーザ・プログラマブル・シーケンス作成処理
（以下、自動シーケンス作成処理という）を示す。
第１図の装置においては、電源投入後の初期化が
終了したとき等のコマンド入力待機状態となる。
つまり、コンソールCPU３１はキーボード１２
におけるキー操作を待機し、本体CPU２１はコ
ンソールCPU３１からの通信待ち状態となる。
そして、この状態でキーボード１２から自動シー
ケンス作成のためのコマンド（例えばAS）が入
力されると、コンソールCPU３１の制御のもと
に以下の自動シーケンス作成処理を開始する。

第３図において、ステツプ５１では、CRT１
１の画面表示を第４図ａのもの（但し、点線部４
３内のデータは表示されていない）に切換え、キ
ーボード１２から順次入力される数字または英字
をCRT１１の画面の最下段（第４図ａの点線部
４３）に表示し、さらに、キーボード１２で改行
キーが押下された後この改行キーが押下される前
までに入力されたデータ（またはデータ列）に基
づいてCRT１１の画面に表示された項目（1.フ
アイル名、2.コメント、3.エデイタ）で示される
モードまたは終了モードのうちいずれが選択され
たかを判定する。ここでは、各モードは上記項目
に付された１〜３の数字または終了を示す英字
「Ｅ」により選択される。なお、自動シーケンス
作成処理に入つたばかりの時点では第４図ａの点
線部４１および４２内に未だ何も表示されない。
また、点線部４３の改行マーク（〓）は便宜的に
表示したもので実際上は表示されない。

ステツプ51において１のフアイル名登録モード
が選択されたときは、ステツプ52に進む。そし
て、以後、改行キーが押下されるまでのキー入力
データを順次、CRT１１の画面中、第４図ａの
点線部４１に表示するとともに、改行キーが押下
されると、それまでに入力されたデータ（ここで
はZMEASURE）を現在作成しようとしている
（または作成中の）動作シーケンスのフアイル名
として外部メモリ３２のフアイル名エリアに登録
し、その後、ステツプ51に戻る。なお、このコメ
ント名は、装置を動作させる際、メーカ設定のコ
メントと同列に扱われる。つまり、後述するよう
に、前述のコマンド待ち状態において、このフア
イル名をキー入力すると、装置はこのフアイル名
で作成された動作シーケンスを実行する。

また、ステツプ51において２のコメント登録モ
ードが選択されたときは、ステツプ53に進む。ス
テツプ53では、以後、改行キーが押下されるまで
のキー入力データを順次、CRT１１の画面中、
第４図ａの点線部４２に表示するとともに、改行
キーが押下されると、それまでに入力されたデー
タを現在作成しようとしているかまたは作成中の
動作シーケンスのコメントつまり注意書きとして
外部メモリ３２のコメントエリアに登録し、その
後、ステツプ51に戻る。なお、このコメントは上
記フアイルをコマンドとして使用する際、何ら影
響しない。

また、ステツプ51において３のエデイタモード
が選択されたときは、ステツプ54に進む。このエ
デイタモードは、新たな動作シーケンスを作成し
たり、現在作成中の動作シーケンスを訂正するた
めのモードである。ステツプ54では、CRT１１
の画面表示を第４図ｂのもの（但し、点線部４４
内のデータは表示されていない）に切換え、キー
ボード１２から順次入力される数字または英字を
点線部４４に表示し、さらに、キーボード１２で
改行キーが押下された後、上記点線部４４の表示
データがコマンドのステツプナンバを示すＳ１，
Ｓ２，…および終了を示す英字「Ｅ」のいずれで
あるかを判定する。もし、ステツプナンバが入力
されていれば、ステツプ55に進む。ステツプ55で
はキーボード１２から入力されるコマンドを上記
キー入力により指定されたステツプナンバのコマ
ンドとして第４図ｃのようにCRT１１に表示す
るとともに外部メモリ３２に記憶させた後、ステ
ツプ54に戻る。このステツプ54と55を繰返すこと
により、第４図ｃに示すような一連の動作シーケ
ンスが作成される。また、既にコマンドが書込ま
れているステツプナンバを指定して新たなコマン
ドをキー入力すれば、動作シーケンスを訂正する
ことができる。このエデイタモードは、ステツプ
54において、キーボード１２から「Ｅ」が入力さ
れると終了し、処理はステツプ51に戻る。このス
テツプ51におけるCRT１１の表示は前述の第４
図ａに示すものである。

ステツプ51において、キーボード１２から
「Ｅ」が入力されたとき（第４図ｄ）は、終了モ
ードが選択されたときである。この場合は、ステ
ツプ56に進み、自動シーケンス作成処理を終了す
る。

この装置において、自動シーケンスを作成する
際の操作を示すと以下の通りである。

装置のコマンド待ち状態においてキーボード
１２より自動シーケンス作成コマンド（AS）
を入力する。

CRT１１への表示（第４図ａ）に従つて、
キーボード１２で「３」を入力し、エデイタモ
ードを選択する。

CRT１１への表示（第４図ｂ）を見ながら、
キーボード１２を操作してステツプナンバおよ
び該ステツプナンバにおけるコマンドを必要数
だけ繰返し入力する。

上記キー入力の結果、所望の動作シーケンス
が完成したことをCRT１１への表示（第４図
ｃ）により確認したら、キーボード１２より
「Ｅ」を入力し、エデイタモードを終了する。

CRT表示が第４図ａに示す状態において、
キーボード１２より「１」を入力し、さらにフ
アイル名を入力して完成した動作シーケンスの
フアイル名を登録する。

CRT表示が第４図ａに示す状態において、
キーボード１２より「２」を入力し、さらにコ
メントを入力してこのフアイルのコメントを登
録する。

最後に、CRT表示が第４図ａに示す状態の
ときキーボード１２より「Ｅ」を入力し、この
自動シーケンス作成モードを終了する。

なお、上記〜の操作、の操作、および
の操作の順序は相前後してもよい。また、の操
作は省略することもできる。

第５図は、上述のようにして作成した動作シー
ケンスを実行する際の処理を示す。

上記コマンド入力待ち状態において、フアイル
名（例えば上記「Ｚ MEASURE」を入力する
と、先ず、コンソールCPU３１が外部メモリ３
２に格納されているフアイル名を検索し、該当す
るフアイルに書込まれているデータを読出す。こ
れにより、露光装置における自動動作シーケンス
実行処理を開始する。

この処理においては、コンソールCPU３１が
外部メモリ３２から１ライン分ずつのデータを読
出して解析し（ステツプ61、62）、この解析結果
に応じて以下の処理を行なう。

すなわち、上記データがコマンドであれば、そ
のコマンドを本体CPU２１に送信した後（ステ
ツプ63）、本体CPU２１から該コマンド処理実行
終了コードが送信されるまで待機する（ステツプ
64）。これに対し、本体CPU２１では、コンソー
ルCPU３１から受信したコマンドに従つて露光
装置各部を制御するとともに、コマンドの実行状
況に応じて該当するコマンド処理の実行終了コー
ドをコンソールCPU３１に送信する。これは、
本体CPU２１とコンソールCPU３１とを同期さ
せるためである。ステツプ64で待機中のコンソー
ルCPU３１は、本体CPU２１からのコマンド処
理実行終了コードを受信するとステツプ61に戻つ
て、次ラインのデータ読出を行なう。

また、ステツプ61で読出したデータがコマンド
の繰返し実行を表わすステートメント「LOOP」
であれば、ステツプ65に進んでループ処理を実行
する。このループ処理は、繰返して実行すべきコ
マンド（またはコマンド群）が記載されているス
テツプナンバ範囲と繰返し回数とを記憶し、上記
１ラインを読出す際のいわばライン（またはステ
ツプナンバ）ポインタともいうべきカウンタをセ
ツトするものである。

例えば、第４図ｃに示す動作シーケンスを実行
する場合について説明すると、ステツプナンバＳ
１のデータは、ステートメント「LOOP」である
から、繰返して実行すべきコマンドが記載されて
いるステツプナンバ範囲Ｓ２〜Ｓ３および繰返し
回数10をコンソールCPU３１内のRAMエリアに
記憶しておく。そして、次のステツプナンバＳ２
からＳ３の間の読出処理（ステツプ63、64実行）
の際、ステツプナンバＳ３の実行回数を計数して
これが10回未満であれば、上記カウンタをステツ
プナンバＳ３からステツプナンバＳ２に戻し、10
回になつて初めて、ステツプナンバＳ３から次の
ステツプナンバＳ４に進める。

また、ステツプ61で読出したデータがステート
メント「END」であれば、このステートメント
「END」は動作シーケンスが終了したことを示す
から、ステツプ66に進んで、この動作シーケンス
実行処理を終了する。

従つて、この露光装置においては、前述のコマ
ンド入力待ち状態で、キーボード１２よりコマン
ドとしてフアイル名「Ｚ MEASURE」を入力
すると、第４図ｃに示す動作シーケンスを実行す
る。つまり、第６図に示すように、Ｚステージ
を、0.5μｍ上昇させて（ステツプナンバＳ２）は
フオーカス検出装置２７で計測したウエハ４の位
置（ｚ座標）をCRT１１に表示する（ステツプ
ナンバＳ３）という動作を10回繰返した（ステツ
プナンバＳ１）後、動作を終了する（ステツプナ
ンバＳ４）。

従来の装置において、このようにＺステージを
0.5μｍずつ上昇させてエアフオーカス検出装置２
７でＺステージ位置を計測しコンソール表示しよ
うとすれば、オペレータが付きつきりで、コマン
ド入力待ち状態において先ずコマンド「ZD」を
入力し、その露光装置がＺ駆動を終了してコマン
ド入力待ち状態に戻つたことを確認した後、コマ
ンド「FC」を入力するというようなキー入力操
作を10回繰返す必要があつた。

［発明の効果］以上のように、本発明によれば、ユーザサイド
でユーザの希望する動作シーケンスを１つのコマ
ンドとして登録することができるので、半導体製
造装置のＺ駆動装置の精度検査や駆動量較正のよ
うに従来極めて面倒であつた操作を１つのコマン
ドを入力するという極めて簡単な操作だけで装置
に自動的に行なわせることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装
置の外観斜視図、第２図は、第１図の装置の電気
回路構成図、第３，５および６図は第１図の装置
の動作を説明するためのフローチヤート、第４図
は、第１図の装置におけるCRTの表示画面例を
示す図である。１１：モニタ用CRT、１２：キーボード、２
１：本体CPU、３０：コンソールCPU、３４：
外部メモリ。

Claims

【特許請求の範囲】１動作指令入力手段を介して入力される動作指
令に従つた複数種類の動作が可能な半導体製造装
置において、複数個の動作指令およびその動作指
令の実行タイミングを予め入力する動作シーケン
ス入力手段と、誤動作シーケンス入力手段により
入力された動作指令／実行タイミング列を１つの
コマンドとして記憶する手段と、該記憶したコマ
ンドが上記動作指令入力手段を介して指定された
ときは上記実行タイミングごとに上記動作指令を
読出して装置本体に与える読出手段とを設け、ユ
ーザが上記動作指令群を組合せて新しいシーケン
スを作成し実行させることを可能にしたことを特
徴とする半導体製造装置。２前記動作指令入力手段がキーボードであり、
前記動作シーケンス入力手段を兼ねている特許請
求の範囲第１項記載の半導体製造装置。