KR0185158B1 - 레티클의 자동 제어 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 레티클 자동 제어 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레티클을 보관 창고에 자동 저장하고 이송시 자동 분출시킴으로써 무인 자동화의 실현 및 작업자의 선택 과정에 따른 시간적 절감과 오류를 방지하는 레티클 자동 제어 장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명은 작업할 반도체 공정에 따른 각종 데이터가 저장된 반도체의 호스트 컴퓨터와, 레티클을 보관하는 보관창고와, 상기 호스트 컴퓨터에서 출력되는 데이터에 따라 복수개의 레티클을 공정 순서에 따라 웨이퍼상에 노광하는 O.S.S. 프로그램이 내장된 작업장내의 퍼스널 컴퓨터와, 상기 자동 보관 창고로부터 자동으로 분출,되는 레티클올 이송받아 사용하는 사용 장비와, 레티클 관리 프로그램이 별도로 내장된 서버로 구성한다.
Description
제1도는 종래 기술에 따른 레티클의 관리 시스템의 구성을 개략적으로 나타낸 블록도,
제2도는 본 발명에 따른 레티클의 자동 제어 장치의 구성올 나타낸 블록도,
제3도는 본 발명에 따른 레티클의 자동 제어의 방법을 나타낸 흐름도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 호스트컴퓨터 11 : 자동 보관 창고
12 : 퍼스널 컴퓨터 13 : 사용 장비
본 발명은 레티클(Reticle) 자동 제어 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레티클을 보관 창고에 자동 저장하고 이송시 자동 분출시킴으로써 무인 자동화의 실현 및 작업자의 선택 과정에 따른 시간적 절감과 오류를 방지하는 레티클 자동 제어 장치 및 방법에 관한 것이다.
레티클이란 마스크(Mask)라고도 하며 반도체 소자 혹은 집적 회로의 구조를 유리판위에 형성한 것으로 사진술을 이용하여 유리판상의 구조를 웨이퍼상에 복사하여 반도쳬를 제조하기 위한 반도체 소자회로가 인쇄된 유리 원판을 말한다.
종래의 레티클 관리 시스템은 첨부된 도면 제1도에 도시된 바와 같이, 작업할 반도체 공정에 따른 각종 데이터가 저장된 반도체의 호스트 컴퓨터(1)와, 레티클을 보관하는 보관창고(2)와, 상기 호스트 컴퓨터(1)에서 출력되는 데이터에 따라 복수개의 레티클을 공정 순서에 따라 웨이퍼상에 노광하는 O.S.S(Operator Support System) 프로그램이 내장된 퍼스널 컴퓨터(3)로 구성된다.
이와같이 구성된 종래의 레티클의 관리 시스템은 반도체의 호스트 컴퓨터(1)로부터 출력되는 작업할 복수개의 웨이퍼(미도시)에 부여된 로트 번호와 상기 로트 번호에 해당하는 공정 순서를 입력받은 작업장내의 O.S.S 프로그램이 내장된 퍼스널 컴퓨터(3)를 이용하여 작업자는 해당 공정에 따른 레티클을 레티클 보관 창고(2)에서 선별하여 손으로 웨에퍼가 있는 위치로 이동시켜 사진작업을 수행한다.
그러나, 이와같은 종래의 수동에 의한 레티클 관리는 작업자가 전적으로 손으로 해당 레티클을 보관 창고에서 선별하여 해당 작업 위치로 이동시킴으로써 작업자의 실수에 의한 엉뚱한 레티클이 선별되어 웨이퍼에 노광 작업이 수행되는 레티클 사고가 발생될 수 있는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와같은 종래의 문제점을 감안하여 자동으로 레티클을 보관하고 사용할 장비로 자동 선택, 분출시킴으로써 레티클 관리의 무인 자동화를 실현시켜 작업자의 레티클의 선별 과정의 시간적 절감과 오판을 방지하고 이동과정중의 이상 요소를 완전 배제하여 생산 계획에 차질이 없는 레티클의 자동 제어 장치 및 방법을 제공함에 있다.
이와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 레티클의 자동 제어 장치는 작업할 반도체 공정에 따른 각종 데이터가 저장된 반도체의 호스트 컴퓨터와, 자동으로 레티클을 보관 및 선택하여 분출하는 자동 보관 창고와, 상기 호스트 컴퓨터에서 출력되는 데이터에 따라 복수개의 레티클올 공정 순서에 따라 웨이퍼상에 노광하는 O.S.S 프로그램이 내장된 작업장내의 퍼스널 컴퓨터와, 상기 호스트 컴퓨터에서 출력되는 데이터에 따라 레티클을 자동 분출하여 사용하는 사용 장비를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 목적을 달성하기 위한 레티클의 자동 제어 방법은 반도체 설비의 가용 여부에 대한 정보와 자동 보관 창고에 보관된 레티클 정보를 입력받는 제 1 단계와, 상기 제 1 단계의 수행을 완료한 후 웨이퍼와 선택된 레티클 및 가용 설비가 공정 순서에 맞는 가를 판단하여 아니면 시작 단계로 되돌아 가고 공정 순서에 맞으면 호스트 컴퓨터가 웨이퍼의 로트 및 레티클을 가용 설비로 이동시키는 명령을 출력하는 제 2 단계와, 상기 제 2 단계의 수행에 따른 이동된 웨이퍼의 로트와 레티클이 맞는가를 반복 판단하여 이상이 없으면 노광 공정을 진행하는 제 3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하 본 발명에 따른 레티클의 자동 제어 장치 및 방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.
제2도는 본 발명에 따른 레티클의 자동 제어 장치의 구성을 나타낸 블록도로서, 작업할 반도체 공정에 따른 각종 데이터가 저장된 반도체의 호스트 컴퓨터(10)와, 레티클을 자동 보관 및 분출하는 자동 보관 창고(11)와, 상기 호스트 컴퓨터(10)에서 출력되는 데이터에 따라 복수개의 레티클을 공정 순서에 따라 웨이퍼상에 노광하는 O.S.S 프로그램이 내장된 퍼스널 컴퓨터(12)와, 상기 자동 보관 창고(11)로부터 자동으로 분출되는 레티클을 이송받아 사용하는 사용 장비(13)와, 레티클 관리 프로그램이 별도로 내장된 서버(14)로 구성한다.
제3도는 본 발명에 따른 레티클의 자동 제어의 방법올 나타낸 흐름도로서, 반도체 설비의 가용 여부에 대한 정보와 자동 보관 창고에 보관된 레티클정보를 호스트 컴퓨터로 입력받는 제 1 단계와, 상기 제 1 단계의 수행을 완료한 후 웨이퍼와 선택된 레티클 및 가용 설비가 공정 순서에 맞는 가를 판단하여 아니면 시작 단계로 되돌아 가고 공정 순서에 맞으면 호스트 컴퓨터가 웨이퍼외의 로트 및 레티클을 가용 설비로 이동시키는 명령을 출력하는 제 2 단계와, 상기 제 2 단계의 수행에 따른 이동된 웨이퍼의 로트와 레티클이 맞는가를 반복 판단하여 이상이 없으면 노광 공정을 진행하는 제 3 단계로 구성한다.
여기서, 제 1 단계는 설비외 가용시 호스트 컴퓨터에 보고하는 설비의 상태 보고 단계와, 상기 단계의 수행후 자동 보관 창고에 사용 가능한 레티클의 보관 유무에 대한 정보를 획득하는 정보 획득 단계로 구성한다.
여기서, 제 2 단계는 작업할 웨이퍼와 가용 설비와 서버로부터 입력받은 레티클 정보가 서로 옳은 정보인지를 판단하는 판단 단계와, 상기 판단 단계의 판단 단계 결과 옳으면 호스트 컴퓨터에서 해당 웨이퍼 로트를 가용설비로 이동시키는 명령을 출력하는 단계와, 상기 단계 수행후 선택된 레티클을 상기 웨이퍼 로트로 이동시키는 명령을 출력하는 단계로 구성한다.
여기서, 제 3 단계는 재작업 방지를 위하여 웨이퍼 로트와 선택된 레티클이 서로 일치되는 지를 판단하는 판단 단계와, 상기 판단 단계의 수행 결과 일치되면 사진 공정을 진행하여 종료하는 단계로 구성한다.
이와같이 구성된 본 발명에 따른 레티클의 자동 제어 장치의 작용을 제2도 및 제3도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 반도체 설비는 작업이 끝나면 자동으로 자신이 가용 상태인 것을 호스트(Host) 컴퓨터(10)에 입력시키고 현제 진행될 반도체 공정에 대한 데이터를 저장하고 있는 호스트 컴퓨터[10)는 자동 보관 창고(11)로부터 각종 레티클에 관한 정보를 획득하여 작업될 웨이퍼의 로트(Lot)에 해당되는 레티클이 보관 창고(11)에 보관되어 있는 지를 체크한다.
그후, 호스트 컴퓨터(10)는 작업할 웨이퍼의 로트와 가용 설비 및 서버(14)로부터 입력받은 별도의 레티클 관리 데이터가 서로 일치되는 지를 판단하여 판단 결과 일치하면 호스트 컴퓨터(10)는 복수개의 웨이퍼 묶음인 로트(Lot) 및 그에 해당되는 레티클에 대한 이동 명령을 출력하여 가용 설비로 이동시킨다.
즉, 웨이퍼에 작업할 레티클을 자동으로 선별하는 것이다.
이때, 호스트 컵퓨터(10)는 레티클의 선택 오류에 의한 재작업을 방지하기 위하여 한 번 더 반복하여 서버(14)로부터 레티클에 관한 정보를 입력받아 이동된 로트의 웨이퍼와 선택된 레티클이 설정된 반도체의 사진 공정에 맞는 지를 판단하여 틀리면 최초의 작업 공정으로 되돌림으로써 재작업을 방지시키고 선택된 레티클이 이동된 웨이퍼의 로트에 노광될 레티클이면 공정 작업을 진행시킨다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 례티클의 자동 제어장치 및 방법은 사진 공정에 따른 별도의 레티클 관리 정보를 수록한 서버를 채용함으로써 공정에 따른 해당 래티클을 자동으로 선빌하고 레티클의 이동을 무인 자동화하여 작업자의 레티클 선택 과정에 따른 시간 절감 및 오류를 방지하고 레티클 이동 과정중의 이상 요소를 완전히 배제하여 생산 계획표에 의한 차질없는 생산을 진행시킨다.
Claims (5)
- 작업할 반도체 공정에 따른 각종 데이터가 저장된 반도체의 호스트 컴퓨터와, 자동으로 레티클을 보관 및 선택하여 분출하는 자동 보관 창고와, 상기 호스트 컴퓨터에서 출력되는 데이터에 따라 복수개의 레티클을 공정 순서에 따라 웨이퍼상에 노광하는 O.S.S 프로그램이 내장된 작업장내의 퍼스널 컴퓨터와, 상기 호스트 컴퓨터에서 출력되는 데이터에 따라 레티클을 자동 분출하여 사용하는 사용 장비를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클의 자동 제어 장치.
- 반도체 설비의 가용 여부에 대한 정보와 자동 보관 창고에 보관된 레티클 정보를 호스트 컵퓨터가 입력받는 제 1 단계와, 상기 제 1 단계의 수행을 완료한 후 웨이퍼와 선택된 래티클 및 가용 설비가 공정 순서에 맞는 가를 판단하여 아니면 시작 단계로 되돌아 가고 공정 순서에 맞으면 호스트 컴퓨터가 웨이퍼의 로트 및 래티클을 가용 설비로 이동시키는 명령을 출력하는 제 2 단계와, 상기 제 2 단계의 수행에 따른 이동된 웨이퍼의 로트와 레티클이 맞는 가를 반복 판단하여 이상이 없으면 노광 공정을 진행하는 제 3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클의 자동 제어 방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 단계는 설비의 가용시 호스트 컴퓨터에 보고하는 가용 설비 보고 단계와, 상기 보고 단계의 수행후 자동 보관 창고에 사용 가능한 레티클의 보관 유무에 대한 정보를 입력받는 정보 입력 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클의 자동 제어 방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 단계는 작업할 웨이퍼와 가용 설비와 서버로부터 입력받은 레티클 정보가 서로 옳은 정보인지를 판단하는 판단 단계와, 상기 판단 단계의 판단 단계 결과 옳으면 호스트 컴퓨터에서 해당 웨이퍼 로트를 가용설비로 이동시키는 명령을 출력하는 단계와, 상기 단계 수행후 선택된 레티클을 상기 웨이퍼 로트로 이동시키는 명령을 출력하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클의 자동 제어 방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 제 3 단계는 재작업 방지를 위하여 웨이퍼 로트와 선택된 레티클이 서로 일치되는 지를 반복 판단하는 판단 단계와, 상기 판단 단계의 수행 결과 일치되면 사진 공정을 진행하여 종료하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클의 자동 제어 방법.
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| KR1019960003627A KR0185158B1 (ko) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 레티클의 자동 제어 장치 및 방법 |
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1996
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| KR970063408A (ko) | 1997-09-12 |
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